TWM582493U - 旋蓋裝置 - Google Patents

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TWM582493U
TWM582493U TW108207048U TW108207048U TWM582493U TW M582493 U TWM582493 U TW M582493U TW 108207048 U TW108207048 U TW 108207048U TW 108207048 U TW108207048 U TW 108207048U TW M582493 U TWM582493 U TW M582493U
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chemical
capping
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魯建國
彭啟元
葉啟達
張紹賜
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帆宣系統科技股份有限公司
張紹賜
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Abstract

一種旋蓋裝置，包含有一旋蓋器、一液體輸送器以及一光學偵測器。液體輸送器設置於旋蓋器的一側，而及光學偵測器則設置於旋蓋器與液體輸送器之間。其中，光學偵測器用以偵測化學桶之密封蓋的位置，以使旋蓋器對準密封蓋，並利用旋蓋器開啟密封蓋，然後再以液體輸送器傳輸化學液體。

Description

旋蓋裝置
本新型係有關於一種旋蓋裝置。特別是有關於一種多功能旋蓋裝置。
隨著近年來國內外半導體市場因電腦及其週邊產品材料之需求而蓬勃發展，半導體產業亦不斷的持續擴展，更替國家創造了大量的外匯收入。
半導體元件的製作流程非常複雜，所涉及的技術幾乎含蓋所有人類近代科學發展上最重要且關鍵的科技與新型。因此，半導體元件的生產不但是一項尖端科技的產業，也是一項需要龐大資金，以維持發展的需求。
然而，由於半導體元件的設計日趨複雜，因此半導體元件製造技術愈趨精密與複雜化，所潛在的職業危害與財產損失也愈來愈複雜，舉凡半導體製程中的磊晶、擴散、離子植入、化學氣相沈積、蝕刻和微影等製程單元所常使用的化學品，雖然儲存量與使用量皆遠小於化學或石化工業所處理與使用量，但是由於具有著火性、可燃性、毒性、腐蝕性等特性，一旦發生洩漏或操作異常，亦造成人員傷亡，甚至可能造成重大財產損失。
在半導體工廠，化學液體以化學儲存桶儲存， 使用時接上工廠中的供應線路。當化學液體使用完畢，則需進行化學儲存桶的更換。
如何能方便地進行化學儲存桶的更換，將有助於提升半導體廠工作的安全性，更有助於提升半導體廠的整體產能。
新型內容旨在提供本揭示內容的簡化摘要，以使閱讀者對本揭示內容具備基本的理解。此新型內容並非本揭示內容的完整概述，且其用意並非在指出本新型實施例的重要/關鍵元件或界定本新型的範圍。
本新型內容之一目的是在提供一種旋蓋裝置，可以方便地開啟或密合化學儲存桶的密封蓋，以提升更換化學儲存桶的安全性與便利性。
為達上述目的，本新型內容之一技術態樣係關於一種旋蓋裝置，包含有一旋蓋器、一液體輸送器以及一光學偵測器。液體輸送器設置於旋蓋器的一側，而及光學偵測器則設置於旋蓋器與液體輸送器之間。其中，光學偵測器用以偵測化學桶之密封蓋的位置，以使旋蓋器對準密封蓋，並利用旋蓋器開啟密封蓋，然後再以液體輸送器傳輸化學液體。
在一些實施例中，液體輸送器包含有一液體抽取器，以抽取化學液體。
在一些實施例中，液體輸送器包含有一液體回流器，以讓化學液體回流至化學桶。
在一些實施例中，旋蓋裝置更包含有一固定板、二上下移動裝置以及二水平移動裝置。二上下移動裝置分別連接於固定板與旋蓋器，以及固定板與液體輸送器之間，以分別上下移動旋蓋器以及液體輸送器。而二水平移動裝置則連接於固定板，以使固定板可水平移動。
在一些實施例中，旋蓋裝置更包含有一隔離板以及二彈性隔離罩，二彈性隔離罩連接隔離板以及固定板之間，以隔離化學桶所揮發的化學氣體。
在一些實施例中，旋蓋裝置更包含有一第一馬達，連接於液體輸送器，以將液體輸送器連接於化學桶之一開口。旋蓋裝置更包含有一第二馬達，連接於旋蓋器，以利用旋蓋器將密封蓋由化學桶之開口上開啟或關閉。
在一些實施例中，第一馬達與第二馬達包含有扭力馬達並且可以偵測實際的扭力值。
在一些實施例中，旋蓋裝置更包含有一液體輸送管連接於液體輸送器，以直接由化學桶之開口傳輸化學液體。
在一些實施例中，上下移動裝置分別包含一氣壓缸以及一位置偵測器，以偵測氣壓缸的一工作位置。
在一些實施例中，旋蓋器與液體輸送器可以根據化學桶的密封蓋的形式選擇對應的開蓋接頭。
綜上所述，旋蓋裝置可利用光學偵測器精確地對準化學桶，並利用旋蓋器開啟或關閉化學桶上的密封蓋，同時利用液體輸送器連接密封蓋開啟後之開口。旋蓋裝置更可以利用液體輸送管直接由化學桶中吸取化學液體，減少接 點，以避免化學液體的洩漏與污染。此外，旋蓋裝置更可以利用扭力馬達的扭力值以及位置偵測器確保開啟與關閉密封蓋的正確性與安全性。
100‧‧‧多功能換蓋模組
110‧‧‧旋蓋模組
112‧‧‧密封壁
120‧‧‧旋蓋模組
130‧‧‧旋蓋模組支撐器
210‧‧‧旋蓋模組
230‧‧‧旋蓋模組支撐器
300‧‧‧旋蓋模組
310‧‧‧旋蓋模組中心柱
320‧‧‧第一旋蓋裝置
322‧‧‧旋蓋器
324‧‧‧液體輸送器
326‧‧‧光學偵測器
328‧‧‧液體輸送管
330‧‧‧第二旋蓋裝置
332‧‧‧旋蓋器
334‧‧‧液體輸送器
336‧‧‧光學偵測器
338‧‧‧液體輸送管
340‧‧‧通風管道
342‧‧‧吸風口
346‧‧‧排風口
350‧‧‧隔離板
360‧‧‧基板
370‧‧‧彈性隔離罩
380‧‧‧上下移動裝置
385‧‧‧水平移動裝置
390‧‧‧固定板
410‧‧‧第一馬達
420‧‧‧第二馬達
430‧‧‧位置偵測器
500‧‧‧化學桶容置裝置
510‧‧‧支撐架
520‧‧‧化學桶
522‧‧‧密封蓋
524‧‧‧密封蓋
530‧‧‧化學桶
532‧‧‧密封蓋
534‧‧‧密封蓋
為讓本揭露之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖是依照本新型一實施例所繪示的一種旋蓋裝置應用於一多功能換蓋模組之示意圖。
第2圖是依照本新型一實施例所繪示的一種旋蓋裝置應用於另一多功能換蓋模組之示意圖。
第3圖是依照本新型一實施例所繪示的一種旋蓋裝置應用於一旋蓋模組之示意圖。
第4圖是依照本新型一實施例所繪示的一種旋蓋裝置之示意圖。
下文係舉實施例配合所附圖式進行詳細說明，但所提供之實施例並非用以限制本揭露所涵蓋的範圍，而結構運作之描述非用以限制其執行之順序，任何由元件重新組合之結構，所產生具有均等功效的裝置，皆為本揭露所涵蓋的範圍。另外，圖式僅以說明為目的，並未依照原尺寸作圖。為使便於理解，下述說明中相同元件或相似元件將以相同之符號標示來說明。
另外，在全篇說明書與申請專利範圍所使用之 用詞(terms)，除有特別註明外，通常具有每個用詞使用在此領域中、在此揭露之內容中與特殊內容中的平常意義。某些用以描述本揭露之用詞將於下或在此說明書的別處討論，以提供本領域技術人員在有關本揭露之描述上額外的引導。
於實施方式與申請專利範圍中，除非內文中對於冠詞有所特別限定，否則『一』與『該』可泛指單一個或複數個。而步驟中所使用之編號僅係用來標示步驟以便於說明，而非用來限制前後順序及實施方式。
其次，在本文中所使用的用詞『包含』、『包括』、『具有』、『含有』等等，均為開放性的用語，即意指包含但不限於。
參閱第1-4圖，第1圖係旋蓋裝置應用於一多功能換蓋模組之示意圖，第2圖則係旋蓋裝置應用於另一多功能換蓋模組之示意圖，第3圖係旋蓋裝置應用於一旋蓋模組之示意圖，而第4圖係旋蓋裝置之示意圖。
首先參閱第1圖，如圖中所示，多功能換蓋模組100包含有一旋蓋模組支撐器130、一旋蓋模組110以及另一旋蓋模組120。旋蓋模組110以及另一旋蓋模組120安裝於旋蓋模組支撐器130的下方，而旋蓋模組支撐器130則安裝於化學桶容置裝置500的上方。化學桶容置裝置500包含有一支撐架510，以容置至少一化學桶，例如是化學桶520以及化學桶530，且旋蓋模組支撐器130可以外加的方式設置於支撐架510之上方。
進一步參閱第3圖，如圖中所示，旋蓋模組300， 其可以應用於第1圖中的旋蓋模組110及旋蓋模組120，旋蓋模組300包含有一組以上的旋蓋裝置，例如圖中所示的第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330，其中，第一旋蓋裝置320可以開啟化學桶530之密封蓋532，並由化學桶530抽取化學液體，而第二旋蓋裝置330則可以開啟化學桶530之另一密封蓋534，並讓化學液體回流至化學桶530，以提供廠房中生產製程所需的化學液體。第一旋蓋裝置320與第二旋蓋裝置330兩者可以具有相同之結構，以便於提供廠房中生產製程所需的化學液體。
此外，旋蓋模組300更包含有一基板360以及一旋蓋模組中心柱310連接於基板360，其中第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330均可移動地安裝於基板360之上。
在一些實施例中，多功能換蓋模組100更包含有一固定板390、一上下移動裝置380以及一水平移動裝置385。上下移動裝置380，例如是一汽缸或一液壓缸，連接於固定板390與第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330之間，用以上下移動第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330，而水平移動裝置385則設置於固定板390與基板360之間，以使第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330可以進行水平移動。
在一些實施例中，第一旋蓋裝置320包含有一旋蓋器322、一液體輸送器324、一光學偵測器326以及一液體輸送管328。液體輸送器324例如是一液體抽取器。其中，光學偵測器326用以偵測化學桶530之密封蓋532的位置，以使旋蓋器322可以準確地對準密封蓋532，並利用旋蓋器322開啟密封蓋532，接著移動液體輸送器324至密封蓋532的位置 並加以密合，進而以液體輸送器324抽取化學液體，然後經由液體輸送管328傳送至廠房中的機台中使用。
在一些實施例中，第二旋蓋裝置330，包含一旋蓋器332、一液體輸送器334、一光學偵測器336以及一液體輸送管338。液體輸送器334例如是一液體回流器。其中，第二旋蓋裝置330的光學偵測器336可以偵測化學桶530之另一密封蓋534位置，以使第二旋蓋裝置330的旋蓋器332對準另一密封蓋534，然後利用第二旋蓋裝置330的旋蓋器332開啟密封蓋534，接著移動液體輸送器334至密封蓋534的位置，並加以密合，進而利用液體輸送器334讓化學液體回流至化學桶530之中。
參閱第4圖，如圖中所示，以第二旋蓋裝置330為例，第二旋蓋裝置330更包含有一第一馬達410與一第二馬達420。第一馬達410連接於液體輸送器334，以將液體輸送器334連接於化學桶530之一開口。第二馬達420則連接於旋蓋器332，以利用旋蓋器332將密封蓋532由化學桶530之開口上開啟或關閉。
在一些實施例中，第一馬達410與第二馬達420包含扭力馬達，其可以精確地控制旋蓋器332以及液體輸送器334進行密封蓋532的開啟與關閉，當關閉密封蓋532時，扭力馬達在達到預定的扭力時，即可正確地密合密封蓋532在化學桶530的開口。
在一些實施例中，第二旋蓋裝置330更包含有一液體輸送管338，其連接於液體輸送器334，以直接由化學桶530之開口傳輸化學液體，以避免化學液體洩漏等情況的發 生，有效地減少廠房的污染。
在一些實施例中，第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330使用相同或近似之兩組元件，以進行化學液體的抽取與回流，然本新型並不限定於此，第一旋蓋裝置320以及第二旋蓋裝置330亦可採用不同結構的兩組元件，以進行化學液體的抽取與回流，其亦不脫離本新型的精神與範圍。
在一些實施例中，旋蓋器322與液體輸送器324，分別具有獨立的上下移動裝置380，以分別控制旋蓋器322與液體輸送器324的上下移動。此外，旋蓋器332與液體輸送器334，亦分別具有獨立的上下移動裝置380，以分別控制旋蓋器332與液體輸送器334的上下移動。
亦同時參閱第4圖，如圖中所示，以第二旋蓋裝置330為例，上下移動裝置380係由一氣壓缸以及一位置偵測器430所構成，位置偵測器430可以偵測氣壓缸的實際工作位置，以更為正確地判斷，密封蓋532是否已正確地由化學桶530之開口上開啟或關閉。
在一些實施例中，多功能換蓋模組100更包含有一隔離板350以及一彈性隔離罩370。隔離板350具有兩開口以分別讓旋蓋器322與液體輸送器324，或旋蓋器332與液體輸送器334穿過。彈性隔離罩370連接隔離板350以及基板360之間，以避免化學桶530所揮發的化學氣體直接接觸旋蓋模組300的內部元件，以致於造成腐蝕或污染。其中，第一旋蓋裝置320的隔離板350與第二旋蓋裝置330的隔離板350具有相同的形狀與功能，在此並未繪示，以便於露出其中的元件。
在一些實施例中，同時參閱第1圖，多功能換蓋模組100利用基板360、隔離板350以及彈性隔離罩370有效地將揮發的化學氣體與多功能換蓋模組100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件隔離，進而增加多功能換蓋模組100使用上的安全性與穩定性。此外，旋蓋模組110更設置有密封壁112，其連接基板360以避免揮發的化學氣體與多功能換蓋模組100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件接觸，進而增加多功能換蓋模組100使用上的安全性與穩定性。而旋蓋模組120在此並未繪示密封壁，以露出內部元件，便於說明與瞭解旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件。
在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310中包含有一通風管道340，其包含有一吸風口342位於基板360之中，以及一排風口346連接於外部的排風裝置，以將化學桶520及化學桶530所揮發的化學氣體抽離旋蓋模組300，以避免造成污染與腐蝕，並提升多功能換蓋模組100的使用壽命。
在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310可以進行旋轉，以便於第一旋蓋裝置320或第二旋蓋裝置330的定位以及開蓋，進而抽取與回流化學液體。
參閱第2圖，如圖中所示，多功能換蓋模組200利用單一的旋蓋模組210，並藉由旋蓋模組支撐器230中所設置的一水平移動模組，以使旋蓋模組210可在複數個化學桶之間移動，例如是化學桶520以及化學桶530，並對準其中之一，以進行所需的化學液體抽取與回流。相較於第1圖之多功能換蓋模組100，多功能換蓋模組100則採取多個旋蓋模組分別連接多個化學桶，以分別抽取與回流所需的化學液體。 多功能換蓋模組200則採取單一旋蓋模組，選擇連接多個化學桶其中之一，以抽取與回流所需的化學液體。
在一些實施例中，旋蓋器332與液體輸送器334的前端具有開蓋接頭，其可以根據化學桶530的密封蓋532的形式彈性選擇對應的開蓋接頭，其均不脫離本新型的精神與範圍。
綜上所述，旋蓋裝置可利用光學偵測器精確地對準化學桶，並利用旋蓋器開啟或關閉化學桶上的密封蓋，同時利用液體輸送器連接密封蓋開啟後之開口。旋蓋裝置更可以利用液體輸送管直接由化學桶中吸取化學液體，減少接點，以避免化學液體的洩漏與污染。此外，旋蓋裝置更可以利用扭力馬達以及位置偵測器確保開啟與關閉密封蓋的正確性與安全性。
雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何本領域具通常知識者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (10)

  1. 一種旋蓋裝置，包含：一旋蓋器；一液體輸送器，設置於該旋蓋器的一側；以及一光學偵測器，設置於該旋蓋器與該液體輸送器之間，其中該光學偵測器用以偵測一化學桶之一密封蓋的位置，以使該旋蓋器對準該密封蓋，並利用該旋蓋器開啟該密封蓋，然後再以該液體輸送器傳輸一化學液體。
  2. 如請求項1所述之旋蓋裝置，其中該液體輸送器包含一液體抽取器，以抽取該化學液體。
  3. 如請求項1所述之旋蓋裝置，其中該液體輸送器包含一液體回流器，以讓該化學液體回流至該化學桶。
  4. 如請求項1所述之旋蓋裝置，更包含：一固定板；二上下移動裝置，分別連接於該固定板與該旋蓋器，以及該固定板與該液體輸送器之間，以分別上下移動該旋蓋器以及該液體輸送器；以及二水平移動裝置，連接於該固定板，以使該固定板水平移動。
  5. 如請求項4所述之旋蓋裝置，更包含： 一隔離板；以及二彈性隔離罩，連接該隔離板以及該固定板，以隔離該化學桶所揮發的化學氣體。
  6. 如請求項5所述之旋蓋裝置，更包含一第一馬達，連接於該液體輸送器，以將該液體輸送器連接於該化學桶之一開口。
  7. 如請求項6所述之旋蓋裝置，更包含一第二馬達，連接於該旋蓋器，以利用該旋蓋器將該密封蓋由該化學桶之該開口上開啟或關閉。
  8. 如請求項7所述之旋蓋裝置，其中該第一馬達與該第二馬達包含扭力馬達。
  9. 如請求項8所述之旋蓋裝置，更包含一液體輸送管，連接於該液體輸送器，以直接由該化學桶之該開口傳輸該化學液體。
  10. 如請求項9所述之旋蓋裝置，其中該些上下移動裝置分別包含一氣壓缸以及一位置偵測器，以偵測該氣壓缸的一工作位置，且該旋蓋器與該液體輸送器根據該化學桶的該密封蓋的形式選擇對應的開蓋接頭。
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