TWI731669B - 整合式旋蓋設備 - Google Patents

Abstract

一種整合式旋蓋設備包含有一旋蓋模組支撐器以及一旋蓋模組。旋蓋模組則包含有一旋蓋裝置、一整合式接管裝置以及一光學偵測器。旋蓋裝置用以開啟至少一化學儲存容器之一密封蓋，而整合式接管裝置，用以連接化學儲存容器之一開口，以由化學儲存容器抽取一化學液體，並讓化學液體回流至化學儲存容器。光學偵測器設置於旋蓋裝置以及整合式接管裝置之間，用以偵測化學儲存容器之密封蓋位置，以分別使旋蓋裝置以及整合式接管裝置對準密封蓋及開口，並利用旋蓋裝置開啟密封蓋，進而利用整合式接管裝置抽取化學液體。

Description

整合式旋蓋設備

本發明係有關於一種旋蓋設備。特別是有關於一種整合式旋蓋設備。

隨著近年來國內外半導體市場因電腦及其週邊產品材料之需求而蓬勃發展，半導體產業亦不斷的持續擴展，更替國家創造了大量的外匯收入。

半導體元件的製作流程非常複雜，所涉及的技術幾乎含蓋所有人類近代科學發展上最重要且關鍵的科技與發明。因此，半導體元件的生產不但是一項尖端科技的產業，也是一項需要龐大資金，以維持發展的需求。

然而，由於半導體元件的設計日趨複雜，因此半導體元件製造技術愈趨精密與複雜化，所潛在的職業危害與財產損失也愈來愈複雜，舉凡半導體製程中的磊晶、擴散、離子植入、化學氣相沈積、蝕刻和微影等製程單元所常使用的化學品，雖然儲存量與使用量皆遠小於化學或石化工業所處理與使用量，但是由於具有著火性、可燃性、毒性、腐蝕性等特性，一旦發生洩漏或操作異常，亦造成人員傷亡，甚至可能造成重大財產損失。

在半導體工廠，化學液體以化學儲存容器儲存，使用時接上工廠中的供應線路。當化學液體使用完畢，則需進行化學儲存桶的更換。

如何能方便地進行化學儲存容器的更換，將有助於提升半導體廠工作的安全性，更有助於提升半導體廠的整體產能。

發明內容旨在提供本揭示內容的簡化摘要，以使閱讀者對本揭示內容具備基本的理解。此發明內容並非本揭示內容的完整概述，且其用意並非在指出本發明實施例的重要/關鍵元件或界定本發明的範圍。

本發明內容之一目的是在提供一種整合式旋蓋設備，可以方便地進行化學儲存容器的更換，提升更換化學儲存容器的安全性與便利性。

為達上述目的，本發明內容之一技術態樣係關於一種整合式旋蓋設備包含有一旋蓋模組支撐器以及一旋蓋模組，安裝於旋蓋模組支撐器。旋蓋模組則包含有一旋蓋裝置、一整合式接管裝置以及一光學偵測器。

旋蓋裝置用以開啟至少一化學儲存容器之一密封蓋，而整合式接管裝置，用以連接化學儲存容器之一開口，以由化學儲存容器抽取一化學液體，並讓化學液體回流至化學儲存容器。此外，光學偵測器設置於旋蓋裝置以及整合式接管裝置之間，其中光學偵測器用以偵測化學儲存容器之一密封蓋位置，以分別使旋蓋裝置以及整合式接管裝置對準密封蓋及開口，並利用旋蓋裝置開啟密封蓋，進而利用整合式接管裝置抽取化學液體。

在一些實施例中，整合式接管裝置包含有一整合式連接頭、一液體抽取管連接於整合式連接頭、一液體回流管連接於整合式連接頭以及一氣體輸入管連接於整合式連接頭。

在一些實施例中，液體抽取管，液體回流管以及氣體輸入管，分別包含有一止回閥。

在一些實施例中，旋蓋模組支撐器包含有一水平移動模組，以使旋蓋模組在複數個化學儲存容器之間移動，並對準其中之一。

在一些實施例中，複數個旋蓋模組分別對應於複數個化學儲存容器，以分別抽取化學儲存容器中的化學液體。

在一些實施例中，旋蓋模組支撐器包含有一水平移動模組，以使旋蓋模組對準化學儲存容器，且化學儲存容器係為一噸方桶。

在一些實施例中，整合式旋蓋設備更包含有一化學儲存容器容置裝置，化學儲存容器容置裝置包含有一支撐架，以容置一噸方桶，且旋蓋模組支撐器設置於支撐架之上方。

在一些實施例中，旋蓋裝置包含有一旋蓋器，其中光學偵測器用以偵測化學儲存容器之密封蓋位置，以使旋蓋器對準密封蓋，並利用旋蓋器開啟密封蓋。

在一些實施例中，整合式旋蓋設備更包含有一固定板、一上下移動裝置以及一水平移動裝置。上下移動裝置連接於固定板與旋蓋裝置或整合式接管裝置之間，用以上下移動旋蓋裝置或整合式接管裝置，而水平移動裝置連接於固定板與基板之間，以使旋蓋裝置或整合式接管裝置水平移動。

在一些實施例中，整合式旋蓋設備更包含有一隔離板以及一彈性隔離罩。彈性隔離罩連接於隔離板以及基板，以隔離化學儲存容器所揮發的化學氣體。

綜上所述，整合式旋蓋設備可以安全與可靠地被配置在現有的化學儲存容器的上方，且利用一旋蓋裝置與一整合式接管裝置，即可使用化學儲存容器中的化學液體。單一的整合式接管裝置即可進行化學液體的抽取與回流，更可以同時提供所需的氣體。此外，整合式旋蓋設備更可以利用旋蓋模組進行一噸方桶的液體抽取與回流。

下文係舉實施例配合所附圖式進行詳細說明，但所提供之實施例並非用以限制本揭露所涵蓋的範圍，而結構運作之描述非用以限制其執行之順序，任何由元件重新組合之結構，所產生具有均等功效的裝置，皆為本揭露所涵蓋的範圍。另外，圖式僅以說明為目的，並未依照原尺寸作圖。為使便於理解，下述說明中相同元件或相似元件將以相同之符號標示來說明。

另外，在全篇說明書與申請專利範圍所使用之用詞（terms），除有特別註明外，通常具有每個用詞使用在此領域中、在此揭露之內容中與特殊內容中的平常意義。某些用以描述本揭露之用詞將於下或在此說明書的別處討論，以提供本領域技術人員在有關本揭露之描述上額外的引導。

於實施方式與申請專利範圍中，除非內文中對於冠詞有所特別限定，否則『一』與『該』可泛指單一個或複數個。而步驟中所使用之編號僅係用來標示步驟以便於說明，而非用來限制前後順序及實施方式。

其次，在本文中所使用的用詞『包含』、『包括』、『具有』、『含有』等等，均為開放性的用語，即意指包含但不限於。

參閱第1圖，其是依照本發明一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。第2圖是依照本發明另一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。第3圖則是整合式旋蓋設備的旋蓋模組之示意圖。第4圖則是整合式旋蓋設備的整合式接管裝置之示意圖。而5圖是依照本發明又一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。

首先參閱第1圖，如圖中所示，整合式旋蓋設備100包含有一旋蓋模組支撐器130、一旋蓋模組110以及另一旋蓋模組120。旋蓋模組110以及另一旋蓋模組120安裝於旋蓋模組支撐器130的下方，而旋蓋模組支撐器130則安裝於化學儲存容器容置裝置500的上方。化學儲存容器容置裝置500包含有一支撐架510，以容置至少一化學桶，例如是化學桶520以及化學桶530，且旋蓋模組支撐器130可以外加的方式設置於支撐架510之上方。

進一步參閱第3圖，如圖中所示，旋蓋模組300，其可以應用於第1圖中的旋蓋模組110及旋蓋模組120，旋蓋模組300包含有一旋蓋裝置320、一整合式接管裝置330，以及一光學偵測器326。其中，旋蓋裝置320可以開啟化學桶530之密封蓋532，而整合式接管裝置330則可以連接開啟密封蓋532之化學桶530的開口，並由化學桶530抽取化學液體且亦可以讓化學液體回流至化學桶530，以提供廠房中生產製程所需的化學液體。此外，整合式接管裝置330更可以提供化學桶530一氣體，例如是氮氣或潔淨空氣（clean dry air；CDA），以平衡化學桶530內外的壓力。

在一些實施例中，旋蓋裝置320包含有一旋蓋器322。其中，光學偵測器326用以偵測化學桶530之密封蓋532的位置，以使旋蓋器322可以準確地對準密封蓋532，並利用旋蓋器322開啟密封蓋532液體抽取管。

在一些實施例中，整合式接管裝置330，包含一液體抽取管338、一液體回流管339以及一氣體輸入管336。液體抽取管338抽取化學液體，傳送至廠房中的機台中使用，同時液體回流管339可將多餘的化學液體回流至化學桶530之中。此外，氣體輸入管336則可以提供化學桶530一氮氣或潔淨空氣（CDA），以平衡化學桶530內外的壓力。

其中，光學偵測器326設置於旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330之間，用以偵測化學桶530之密封蓋532的位置，以使旋蓋器322可以準確地對準密封蓋532，並利用旋蓋器322開啟密封蓋532，接著移動整合式接管裝置330至原密封蓋532的位置的開口，並將整合式接管裝置330與開口密合，然後以液體抽取管338抽取化學液體，傳送至廠房中的機台中使用，同時液體回流管339可將多餘的化學液體回流至化學桶530之中。此外，氣體輸入管336則可以提供化學桶530一氮氣或潔淨空氣（CDA），以平衡化學桶530內外的壓力。

此外，旋蓋模組300更包含有一基板360以及一旋蓋模組中心柱310連接於基板360，其中旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330均可移動地安裝於基板360之上。

在一些實施例中，旋蓋模組300更包含有一固定板390、一上下移動裝置380以及一水平移動裝置385。上下移動裝置380，例如是一汽缸或一液壓缸，連接於固定板390與旋蓋裝置320或整合式接管裝置330之間，用以上下移動旋蓋裝置320或整合式接管裝置330，而水平移動裝置385則設置於固定板390與基板360之間，以使旋蓋裝置320或整合式接管裝置330可以進行水平移動。

參閱第4圖，如圖中所示，其係繪示整合式旋蓋設備的整合式接管裝置之示意圖。整合式接管裝置400包含有一整合式連接頭440，可以連接化學儲存容器之開口。此外，整合式接管裝置400更包含有一液體抽取管410、一液體回流管420以及一氣體輸入管430，分別連接於整合式連接頭440，以同時連接至化學儲存容器之開口。在一些實施例中，液體抽取管410、液體回流管420以及氣體輸入管430則分別包含有一止回閥412、一止回閥422以及一止回閥432，以避免液體及氣體逆向流動，進而確保生產時所需的化學液體的品質。

在一些實施例中，旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330，分別具有獨立的上下移動裝置380，以分別控制旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330的上下移動。此外，旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330整合式連接頭，亦可以共用上下移動裝置380，以控制旋蓋裝置320以及整合式接管裝置330整合式連接頭的上下移動。

在一些實施例中，整合式旋蓋設備100更包含有一隔離板350以及一彈性隔離罩370。隔離板350具有開口以分別讓旋蓋器322，或整合式連接頭334穿過。彈性隔離罩370連接隔離板350以及基板360，以避免化學桶530所揮發的化學氣體直接接觸旋蓋模組300的內部元件，以致於造成腐蝕或污染。其中，整合式接管裝置330的隔離板350與旋蓋裝置320的隔離板350可以具有相同的形狀與功能，在此並未繪示，以便於露出其中的元件，然，本發明並不限定於此。

在一些實施例中，同時參閱第1圖，整合式旋蓋設備100利用基板360、隔離板350以及彈性隔離罩370有效地將揮發的化學氣體與整合式旋蓋設備100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件隔離，進而增加整合式旋蓋設備100使用上的安全性與穩定性。此外，旋蓋模組110更設置有密封壁112，其連接基板360以避免揮發的化學氣體與整合式旋蓋設備100的旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件接觸，進而增加整合式旋蓋設備100使用上的安全性與穩定性。而旋蓋模組120在此並未繪示密封壁，以露出內部元件，便於說明與瞭解旋蓋模組110及旋蓋模組120的內部元件。

在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310中包含有一通風管道340，其包含有一吸風口342位於基板360之中，以及一排風口346連接於外部的排風裝置，以將化學桶520及化學桶530所揮發的化學氣體抽離旋蓋模組300，以避免造成污染與腐蝕，並提升整合式旋蓋設備100的使用壽命。

在一些實施例中，旋蓋模組中心柱310可以進行旋轉，以便於旋蓋裝置320或整合式接管裝置330的定位以及開蓋，進而抽取與回流化學液體。

參閱第2圖，如圖中所示，整合式旋蓋設備200利用單一的旋蓋模組210，並藉由旋蓋模組支撐器230中所設置的一水平移動模組232，以使旋蓋模組210可在複數個化學桶之間移動，例如是化學桶520以及化學桶530，並對準其中之一，以進行所需的化學液體抽取與回流。相較於第1圖之整合式旋蓋設備100，整合式旋蓋設備100則採取多個旋蓋模組分別連接多個化學桶，以分別抽取與回流所需的化學液體。整合式旋蓋設備200則採取單一旋蓋模組，選擇連接多個化學桶其中之一，以抽取與回流所需的化學液體。

參閱第5圖，如圖中所示，整合式旋蓋設備600利用旋蓋模組610，並藉由旋蓋模組支撐器630中所設置的一水平移動模組632，以使旋蓋模組610可以對準化學儲存容器720之密封蓋722，並利用旋蓋裝置612開啟密封蓋722，然後利用整合式接管裝置614連接化學儲存容器720上的開口，以抽取與回流所需的化學液體，且提供氣體平衡化學儲存容器720的內外壓力。

在一些實施例中，旋蓋模組支撐器630架設於化學儲存容器容置裝置700的支撐架710之上，其亦可以架設於存放化學儲存容器720的建築結構的上方，例如是化學儲存室的上方天花板，而將化學儲存容器720設置於建築結構的地板，以便進行化學儲存容器720的更換，以及化學液體的抽取。其中，化學儲存容器720可以是一個一噸方桶（Intermediate Bulk Container；IBC），其具有容量大、質量輕、強度高、耐酸鹼、防腐蝕、節省空間、貯存安全的優點，用以化學液體運輸和儲存，以便於工廠大量化學液體的運送與使用。

綜上所述，整合式旋蓋設備可以安全與可靠地被配置在現有的化學儲存容器的上方，且利用一旋蓋裝置與一整合式接管裝置，即可使用化學儲存容器中的化學液體。單一的整合式接管裝置即可進行化學液體的吸取與回流，更可以同時提供所需的氣體。此外，整合式旋蓋設備亦可以設置於專屬的化學儲存容器容置裝置之中，以使用化學桶中的化學液體，其均不脫離本發明的精神與保護範圍。此外，整合式旋蓋設備更可以利用單一旋蓋模組進行複數個化學桶的液體抽取與回流，或者複數個旋蓋模組同時進行複數個化學桶的液體抽取與回流，其均不脫離本發明的精神與範圍。此外，整合式旋蓋設備更可以利用旋蓋模組進行一噸方桶的液體抽取與回流，其亦不脫離本發明的精神與範圍。

雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何本領域具通常知識者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100:整合式旋蓋設備 110:旋蓋模組 112:密封壁 120:旋蓋模組 130:旋蓋模組支撐器 200:整合式旋蓋設備 210:旋蓋模組 230:旋蓋模組支撐器 232:水平移動模組 300:旋蓋模組 310:旋蓋模組中心柱 320:旋蓋裝置 322:旋蓋器 326:光學偵測器 330:整合式接管裝置 334:整合式連接頭 336:氣體輸入管 338:液體抽取管 339:液體回流管 340:通風管道 342:吸風口 346:排風口 350:隔離板 360:基板 370:彈性隔離罩 380:上下移動裝置 385:水平移動裝置 390:固定板 400:整合式接管裝置 410:液體抽取管 412:止回閥 420:液體回流管 422:止回閥 430:氣體輸入管 432:止回閥 440:整合式連接頭 500:化學儲存容器容置裝置 510:支撐架 520:化學桶 522:密封蓋 530:化學桶 532:密封蓋 600:整合式旋蓋設備 610:旋蓋模組 612:旋蓋裝置 614:整合式接管裝置 630:旋蓋模組支撐器 632:水平移動模組 700:化學儲存容器容置裝置 710:支撐架 720:化學儲存容器 722:密封蓋

為讓本揭露之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下： 第1圖是依照本發明一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。 第2圖是依照本發明另一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。 第3圖是依照本發明一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備的旋蓋模組之示意圖。 第4圖是依照本發明一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備的整合式接管裝置之示意圖。 第5圖是依照本發明又一實施例所繪示的一種整合式旋蓋設備之示意圖。

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

600:整合式旋蓋設備

610:旋蓋模組

612:旋蓋裝置

614:整合式接管裝置

630:旋蓋模組支撐器

632:水平移動模組

700:化學儲存容器容置裝置

710:支撐架

720:化學儲存容器

722:密封蓋

Claims (9)

1. 一種整合式旋蓋設備，包含：一旋蓋模組支撐器；以及至少一旋蓋模組，安裝於該旋蓋模組支撐器，其中該旋蓋模組，包含：一旋蓋裝置，以開啟至少一化學儲存容器之一密封蓋；一整合式接管裝置，以連接該化學儲存容器之一開口，以由該化學儲存容器抽取一化學液體，並讓該化學液體回流至該化學儲存容器；以及一光學偵測器，設置於該旋蓋裝置以及該整合式接管裝置之間，其中該光學偵測器用以偵測該化學儲存容器之一密封蓋位置以分別使該旋蓋裝置以及該整合式接管裝置對準該密封蓋及該開口，並利用該旋蓋裝置開啟該密封蓋，進而利用該整合式接管裝置抽取該化學液體，其中該整合式接管裝置包含一整合式連接頭、一液體抽取管連接於該整合式連接頭、一液體回流管連接於該整合式連接頭以及一氣體輸入管連接於該整合式連接頭。
2. 如請求項1所述之整合式旋蓋設備，其中該液體抽取管，該液體回流管以及該氣體輸入管，分別包含有一止回閥。
3. 如請求項2所述之整合式旋蓋設備，其中該 旋蓋模組支撐器包含一水平移動模組，以使該旋蓋模組在複數個化學儲存容器之間移動，並對準其中之一。
4. 如請求項2所述之整合式旋蓋設備，其中該至少一旋蓋模組的數量為複數個，分別對應於複數個化學儲存容器，以分別抽取該些化學儲存容器中的化學液體。
5. 如請求項2所述之整合式旋蓋設備，其中該旋蓋模組支撐器包含一水平移動模組，以使該旋蓋模組對準該化學儲存容器，且該化學儲存容器係為一噸方桶。
6. 如請求項5所述之整合式旋蓋設備，更包含一化學儲存容器容置裝置，該化學儲存容器容置裝置包含一支撐架，以容置該一噸方桶，且該旋蓋模組支撐器設置於該支撐架之上方。
7. 如請求項6所述之整合式旋蓋設備，其中該旋蓋裝置包含一旋蓋器，其中該光學偵測器用以偵測該化學儲存容器之該密封蓋位置，以使該旋蓋器對準該密封蓋，並利用該旋蓋器開啟該密封蓋。
8. 如請求項7所述之整合式旋蓋設備，更包含：一固定板；一上下移動裝置，連接於該固定板與該旋蓋裝置或該 整合式接管裝置之間，用以上下移動該旋蓋裝置或該整合式接管裝置；以及一水平移動裝置，連接於該固定板與一基板之間，以使該旋蓋裝置或整合式接管裝置水平移動。
9. 如請求項8所述之整合式旋蓋設備，更包含：一隔離板；以及一彈性隔離罩，連接於該隔離板以及該基板，以隔離該化學儲存容器所揮發的化學氣體。

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