TWM577020U - Insoluble anodizing copper equipment - Google Patents

Abstract

本創作揭示了一種不溶性陽極電鍍銅設備，該設備包括供電電源、電鍍陽極、電鍍槽體以及對預鍍銅件進行固定的電鍍掛具；在所述電鍍槽體內填充有電鍍液，所述電鍍陽極與供電電源的陽極相連，所述供電電源的陰極與電鍍掛具相連，且在預鍍銅件與電鍍陽極之間形成電鍍電場；在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於完全隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布。本創作通過聚酯纖維布的阻隔特性使得氧氣與光亮劑相隔開，大大減少了光亮劑的消耗量；另一方面，聚酯纖維布區別於傳統所使用的離子交換膜，其自身不會對電鍍液中電力線的分佈造成影響，確保電鍍件鍍層厚度的均勻性。

Description

不溶性陽極電鍍銅設備

本創作係關於電鍍技術領域，尤其是關於一種不溶性陽極電鍍銅設備。

電路板、晶圓、或者液體面板等通常電鍍銅制程使其表面形成導電銅體。在電鍍銅制程中，陽極利用惰性材料製成，比如銥鉭陽極、鈦包銅陽極，並以氧化銅粉末或其它銅鹽當作銅源，確保鍍液中銅離子的數量。另外，為了提高鍍層的光亮度，加快電沉積速度，需要在電鍍液中增入光亮劑，然而，在實際工作過程中，陽極附近會產生大量氧根負離子而導致光亮劑被大量消耗，需持續不斷的增入光亮劑，從而導致電鍍成本的升高。為瞭解決上述問題，業內部分企業在電鍍槽內增設了離子交換膜，利用其阻隔特性來降低氧根負離子以及析出氧氣對光亮劑的消耗。然而，由於離子交換膜的使用會影響電鍍液中電力線的分佈均勻性，從而導致電鍍件表面的鍍膜厚度均勻性較差。且離子交換膜自身價格較昂貴，提高了生產成本。因而，亟待技術人員解決上述問題。

針對上述技術中存在的不足之處，本創作提供一種投入成本較低、電鍍件鍍膜厚度均勻性好及單位工作時間內消耗光亮劑量較少的不溶性陽極電鍍銅設備。

為實現上述目的，本創作提供一種不溶性陽極電鍍銅設備，包括供電電源、電鍍陽極、電鍍槽體以及對預鍍銅件進行固定的電鍍掛具；在所述電鍍槽體內填充有電鍍液，所述電鍍陽極與供電電源的陽極相連，所述供電電源的陰極與電鍍掛具相連，且在所述預鍍銅件與電鍍陽極之間形成電鍍電場；在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布。

其中，該設備還包括用於展平且固定該聚酯纖維布的放置架，所述放置架可抽插地放置於電鍍槽體內，所述聚酯纖維布固定在放置架上。

其中，在所述電鍍槽體的兩相對的側壁上設置有與所述放置架相適配的滑槽，所述放置架通過該滑槽抽插於該電鍍槽體內。

其中，在滑槽的頂部插入部位設置為V形導向槽，所述放置架通過該V形導向槽滑入滑槽內。

其中，所述電鍍陽極為銥鉭陽極、白金鈦陽極或鈦包銅陽極的任一種。

其中，所述預鍍銅件為電路板、晶圓或者玻璃面板中的任一種。

本創作的有益效果是：與現有技術相比，本創作提供的不溶性陽極電鍍銅設備，該設備中在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於完全隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布，通過聚酯纖維布的阻隔特性使得氧氣與光亮劑相隔開，大大減少了光亮劑的消耗量；另一方面，聚酯纖維布區別於傳統所使用的離子交換膜，其自身不會對電鍍液中電力線的分佈造成影響，確保電鍍件鍍層厚度的均勻性。由此上述結構的改進，達到了投入成本較低、電鍍件鍍膜厚度均勻性好及單位工作時間內消耗光亮劑量較少等效果。

為了更清楚地表述本創作，下面結合附圖對本創作作進一步地描述。

請參閱圖1，本創作提供的不溶性陽極電鍍銅設備，包括供電電源1、電鍍陽極2、電鍍槽體3以及對預鍍銅件4進行固定的電鍍掛具5；在所述電鍍槽體內填充有電鍍液，所述電鍍陽極與供電電源的陽極相連，這裡的相連是指電連接，所述供電電源的陰極與電鍍掛具相連，且在所述預鍍銅件與電鍍陽極之間形成電鍍電場；在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於完全隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布6。上述電鍍陽極2採用不溶性陽極，其為利用惰性材料製成，比如銥鉭陽極、白金鈦陽極、鈦包銅陽極，並以氧化銅或其它銅鹽當作銅源，且在電鍍液中加入光亮劑，從而更有利於電鍍液流通並有效控制電鍍液中陽極、陰極之間的電場分佈，進而控制電流密度分佈，提高電鍍銅厚度及電氣特性的均一性。

已知，在實際生產過程中，電鍍陽極2附近由於電離作用會產生大量氧根負離子，且絕大多數析出為遊離態氧氣。上述氧根負離子及氧氣會氧化分解光亮劑，提高光亮劑的消耗量。為瞭解決這一問題，可以在電鍍槽體3內、靠近電鍍陽極2設置至少一層聚酯纖維布6，完全隔開電鍍陽極2與電鍍掛具5。這樣一來，聚酯纖維布6利用其自身的阻隔特性使得氧氣與光亮劑相隔開，從而避免了上述問題的發生。另一方面，聚酯纖維布6區別於傳統電鍍過程中所使用的離子交換膜，其自身不會對電鍍液中電力線的分佈造成影響，確保預鍍銅件4鍍層厚度的均勻性。理論上講，聚酯纖維布6距離電鍍陽極2越小越好，具體可根據實際情況進行調整，一般取1～10mm為宜。

相較於現有技術的情況，本創作提供的不溶性陽極電鍍銅設備，該設備中在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於完全隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布，通過聚酯纖維布的阻隔特性使得氧氣與光亮劑相隔開，大大減少了光亮劑的消耗量；另一方面，聚酯纖維布區別於傳統所使用的離子交換膜，其自身不會對電鍍液中電力線的分佈造成影響，確保電鍍件鍍層厚度的均勻性。由此上述結構的改進，達到了投入成本較低、電鍍件鍍膜厚度均勻性好及單位工作時間內消耗光亮劑量較少等效果。

在本實施例中，該設備還包括用於展平且固定該聚酯纖維布的放置架7，所述放置架可抽插地放置於電鍍槽體內，所述聚酯纖維布固定在放置架上。為了降低操作難度及聚酯纖維布的伸展平整度，做為上述不溶性陽極電鍍銅設備的進一步改進，聚酯纖維布6展平於框形放置架7上，且通過四周邊框上的條狀壓板（圖中未示出）進行固定。通過採用上述技術方案進行設置，大大簡化了聚酯纖維布的安裝流程，且避免了其在使用過程中發生折疊，伸展面不平整的問題出現，另外，當其發生意外情況損壞時可快速地進行換新操作。

請進一步參閱圖2，在所述電鍍槽體的兩相對的側壁上設置有與所述放置架相適配的滑槽31，所述放置架通過該滑槽抽插於該電鍍槽體內。在滑槽的頂部插入部位設置為V形導向槽311，所述放置架通過該V形導向槽滑入滑槽內。優選方式為：在電鍍槽體3的兩相對的側壁上開設有與放置架相適配的矩形滑槽，槽深3～5cm，當然，也可以設置為燕尾槽，以提高放置架7安裝的可靠性。為了降低放置架7的初始對位難度，還可以在滑槽31的頂部插入部設置為V形導向槽311，從而降低了操作人員勞動強度。另外，為了進一步減少電鍍液中所析出氧氣相對於光亮劑的混入量，降低光亮劑的消耗量。聚酯纖維布設置為一層或多層，固定於放置架，通過採用上述技術方案進行設置，進一步減少電鍍液中所析出氧氣相對於光亮劑的混入量，降低了光亮劑的消耗量。

在本實施例中，所述預鍍銅件為電路板、晶圓或者玻璃面板中的任一種，該設備可應用於電路板、晶圓、或者玻璃面板中任一種的電鍍制程中。

以上公開的僅為本創作的幾個具體實施例，但是本創作並非局限於此，任何本領域的技術人員能思之的變化都應落入本創作的保護範圍。

1‧‧‧供電電源

2‧‧‧電鍍陽極

3‧‧‧電鍍槽體

4‧‧‧預鍍銅件

5‧‧‧電鍍掛具

6‧‧‧聚酯纖維布

7‧‧‧框形放置架

31‧‧‧滑槽

311‧‧‧V形導向槽

圖1為本創作的不溶性陽極電鍍銅設備的結構示意圖； 圖2為本創作中滑槽的結構示意圖。

Claims (6)

1. 一種不溶性陽極電鍍銅設備，其特徵在於：包括供電電源、電鍍陽極、電鍍槽體以及對預鍍銅件進行固定的電鍍掛具；在所述電鍍槽體內填充有電鍍液，所述電鍍陽極與供電電源的陽極相連，所述供電電源的陰極與電鍍掛具相連，且在所述預鍍銅件與電鍍陽極之間形成電鍍電場；在電鍍槽體內且靠近電鍍陽極的位置上設置有至少一層用於隔開電鍍陽極與電鍍掛具的聚酯纖維布。
2. 如請求項1所述的不溶性陽極電鍍銅設備，其中該設備還包括用於展平且固定該聚酯纖維布的放置架，所述放置架可抽插地放置於電鍍槽體內，所述聚酯纖維布固定在放置架上。
3. 如請求項2所述的不溶性陽極電鍍銅設備，其中在所述電鍍槽體的兩相對的側壁上設置有與放置架相適配的滑槽，所述放置架通過該滑槽抽插於該電鍍槽體內。
4. 如請求項3所述的不溶性陽極電鍍銅設備，其中在滑槽的頂部插入部位設置為V形導向槽，所述放置架通過該V形導向槽滑入滑槽內。
5. 如請求項1所述的不溶性陽極電鍍銅設備，其中所述電鍍陽極為銥鉭陽極、白金鈦陽極或鈦包銅陽極的任一種。
6. 如請求項1所述的不溶性陽極電鍍銅設備，其中所述預鍍銅件為電路板、晶圓或者玻璃面板中的任一種。