TWM575192U - 用於製造太陽能電池的設備、和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置 - Google Patents

Abstract

本揭露內容提供了一種用於製造太陽能電池的設備和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置。設備(100)包括處理站(110)、運輸佈置(120)和位於處理站(110)處的沉積佈置(112)。運輸佈置(120)包括：第一線性運輸裝置(122)，該第一線性運輸裝置經配置以用於在第一方向(1)上運輸基板(10)；以及運輸裝置(124)，該運輸裝置鄰近第一線性運輸裝置(122)並且經配置以用於將基板(10)運輸至處理站(110)。沉積佈置(112)經配置以平行於第一方向(1)而移動，用於處理要沉積在基板(10)上的材料。

Description

用於製造太陽能電池的設備、和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置

本揭露內容的實施例係關於一種用於製造太陽能電池的設備、和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置。本揭露內容的實施例具體係關於在轉台處的絲網印刷頭。

太陽能電池是將陽光直接轉換為電力的光伏裝置。在這個領域內，已知使用沉積工具（特別是印刷工具）在結晶矽基上生產太陽能電池，從而在太陽能電池的前表面上實現選擇性發射器結構。處理週期可以包括至少一個印刷操作和另一可選材料處理操作，在該印刷操作期間經由沉積裝置在基板上沉積材料。設備的生產率和/或產量可由處理週期的週期時間限制。此外，印刷單元應當易於監視和/或應當是容易接取的（accessible），例如，用於進行維護和進行印刷製程控制。

鑒於以上，克服本領域的至少一些問題的用於製造太陽能電池的新的設備和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置是有益的。本揭露內容旨在提供一種易於監視並容易接取的設備和沉積佈置。

鑒於以上，提供了一種用於製造太陽能電池的設備、和用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置。本揭露內容的另外態樣、優點和特徵從權利要求書、說明書和隨附附圖中顯而易見。

根據本揭露內容的一個態樣，提供了一種用於製造太陽能電池的設備。該設備包括處理站、運輸佈置（arrangement）和位於該處理站處的沉積佈置。運輸佈置包括：第一線性運輸裝置，該第一線性運輸裝置經配置以用於在第一方向上運輸基板；和運輸裝置，該運輸裝置鄰近該第一線性運輸裝置並且經配置以將該基板運輸至處理站。沉積佈置經配置以在第一方向上移動，用於處理要沉積在基板上的材料。

根據本揭露內容的另外態樣，提供了一種用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置。該沉積佈置包括至少一個絲網印刷頭，該至少一個絲網印刷頭經配置以在平行於基板的線性運輸方向的處理方向上移動。

現將詳細參考本揭露內容的各種實施例，它們的一個或多個示例在附圖中示出。在以下針對附圖的描述中，相同元件符號是指相同元件。一般來說，僅描述了相對於個別實施例的差異。每個示例以解釋本揭露內容的方式而提供，而非意欲作為本揭露內容的限制。另外，示出或描述為一個實施例的部分的特徵可以用於其它實施例或與其它實施例結合以產生又一實施例。描述意欲包括這樣的修改和變化。

用於生產太陽能電池的工具架構可以基於雙通道（dual-lane）式架構和具有能夠以300 mm/s或更高的速率印刷的太陽能電池漿料的高生產率（例如，5000-5500 wph）的轉台式印刷機。例如將這種架構應用於異質結電池上可能受到特定太陽能漿料要求的限制。例如，對異質結電池的要求可由150 mm/s的印刷速度和400 mm/s的覆墨速度（flood speed）（相對於300 mm/s和800 mm/s的常規電池）表示。在此類條件下，對於156×156電池規格，生產率可能被限制在3200 wph。本揭露內容的實施例可應用於異質結電池的製造。然而，本揭露內容不限於此並且本揭露內容的實施例可應用於其它種類的太陽能電池的製造。

本揭露內容可以使用將電池從通道運輸至印刷位置的運輸裝置，諸如轉台。印刷方向平行於電池的通道。特定地，沉積佈置基本上平行於基板線性運輸方向移動，而並非垂直於該線性運輸方向移動。沉積佈置易於監視並且容易接取，例如，用於進行維護或缺陷修理。另外，產量可以增加。本揭露內容的實施例可特定地增加異質結電池的產量，例如，經由在轉線架構上另外實現「 併發（concurrent）印刷製程」（參見圖2B）。在常規轉線架構中，因為操作者看不見印刷頭的後側，「併發印刷製程 」的實施是不利的。此外，可以減少設備（可能是雙線系統）的佔地面積。

圖1示出了根據本文該的實施例的用於製造太陽能電池的設備100的示意圖。

設備100包括處理站110、運輸佈置120和位於處理站110處的沉積佈置112。在一些實現方式中，沉積佈置112可以包括在處理站110中。運輸佈置120包括：第一線性運輸裝置122，第一線性運輸裝置122經配置以用於在第一方向1中運輸基板10；和運輸裝置124，運輸裝置124鄰近第一線性運輸裝置122並且經配置以用於將該基板運輸至處理站110。特定地，運輸裝置124可以經配置以從第一線性運輸裝置122接收基板10。沉積佈置122經配置以在基本上平行於第一方向1的方向（「處理方向 」）上移動，用於處理要沉積在基板10上的材料。例如，設備100包括驅動裝置，該驅動裝置經配置以在基本上平行於第一方向1的方向上移動沉積佈置122或沉積佈置122的一部分（諸如印刷頭）。

術語「基本上平行的 」涉及由第一線性運輸裝置提供的基板的基本上平行的移動與沉積佈置或沉積佈置的一部分的基本上平行的移動方向，其中與準確平行移動有數度偏差（例如多達5°或甚至多達10°）仍然被認為是“平行移動”。在一些實現方式中，第一方向1是基本上水平的方向。

對準處理方向以平行於第一方向1（也被稱為「通道方向 」）提供了沉積佈置兩側（諸如刮板材兩側）可被操作者看見的優點。特定地，操作者可看到這兩個印刷側。每一個印刷側可由漿料填充。例如，沉積佈置在操作期間易於監視並且容易接取。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，沉積佈置112經配置以在第一方向1和與第一方向1相反的第二方向2上移動。例如，沉積佈置112經配置以在第一方向1上移動，用於處理絲網上的材料，並且在第二方向2上移動，用於將材料從絲網傳送至基板10，或反之亦然。在一些實現方式中，沉積佈置112可以包括用於處理絲網上的材料的一個或多個材料處理裝置和用於將材料從絲網傳送至基板10的一個或多個沉積裝置。示例在圖2中示出。

根據可與本文該的其它實施例相結合的一些實施例，運輸裝置124包括至少一個轉台，或是至少一個轉台。處理站110，且特別是沉積佈置112可以被提供在至少一個轉台處。至少一個轉台的旋轉軸線125可以佈置在垂直於第一方向1的直線上。在一些實現方式中，旋轉軸線125是基本上豎直的旋轉軸線。第一方向1可以是基本上水平的方向。

在一些實現方式中，運輸佈置120包括第二線性運輸裝置126。運輸裝置124（諸如至少一個轉台）可以佈置在第一線性運輸裝置122與第二線性運輸裝置126之間（例如，沿著第一方向）。第二線性運輸裝置126可以經配置以用於在運輸方向（諸如第一方向1）上運輸基板10。例如，運輸裝置124可以從第一線性運輸裝置122接收基板10並且可以將基板10運輸至處理站110。第二線性運輸裝置126可以從運輸裝置124接收已經在處理站110中處理過的基板10。在一些實施例中，檢查裝置可提供在至少一個轉台的出口位置處，諸如在第二線性運輸裝置126處。

根據一些實施例，第一線性運輸裝置122和/或第二線性運輸裝置126可以是運送機（conveyor），諸如帶式運送機。例如，第一線性運輸裝置122可以是傳入運送機並且第二線性運輸裝置126可以是傳出運送機。第一線性運輸裝置122和第二線性運輸裝置126可以例如在第一方向1上基本上平行於彼此延伸。

在圖1所示的示例中，設備100包括至少一個轉台，該至少一個轉台可圍繞旋轉軸線125而旋轉，用於將基板10移動至處理站110，該處理站可以是印刷站。然而，本揭露內容不限於此，並且可以使用除轉台之外的運輸裝置（諸如線性運輸裝置）將基板從第一線性運輸裝置122運輸至處理站110。

在一些實現方式中，基板10定位在基板支撐件20上，諸如可移動基板支撐件（“搬運梭（shuttle）”和/或“印刷套（printing nest）”），基板支撐件可附接至運輸裝置124（例如，至少一個轉台）。在其它實現方式中，運輸裝置124提供基板支撐件。例如，運輸裝置124可以具有支撐表面，基板10可以定位在支撐表面上。

根據一些實施例，運輸佈置120包括經配置以將基板10傳送至轉台的第一線性運輸裝置122、和經配置以用於從轉台接收具有沉積圖案印刷在其上的基板10的第二線性運輸裝置126。第一線性運輸裝置122可以是傳入運送機。傳入運送機可以具有一個或多個第一運送帶。例如，傳入運送機可以包括平行佈置的兩個第一運送帶，例如，兩個第一運送帶彼此相距5 cm與15 cm之間的距離。第二線性運輸裝置126可以經配置以從轉台接收具有沉積圖案印刷在其上的基板10。第二線性運輸裝置126可以是傳出運送機。傳出運送機可以具有一個或多個第二運送帶。例如，傳出運送機可以包括平行佈置的兩個第二運送帶，例如，兩個第二運送帶彼此相距5 cm與15 cm之間的距離。第一線性運輸裝置122（轉台）和第二線性運輸裝置126可以沿著水平方向而順序地佈置。第一線性運輸裝置122（轉台）和第二線性運輸裝置126可以是作為大型生產線的一部分的自動基板搬運裝置。

轉台可以圍繞旋轉軸線125旋轉，旋轉軸線可以佈置在基本上平行於第一方向1的直線上並且基本上垂直於這條直線。例如，轉台可以經配置而可圍繞旋轉軸線至少在基板接收位置A與處理位置B之間旋轉。第一線性運輸裝置122可以佈置在基板接收位置A處，並且處理站110、且特別是沉積佈置112可以佈置在處理位置B處。

根據一些實施例，轉台經配置而可以在基板接收位置A、處理位置B、和基板排出位置C與基板傾卸位置D中的至少一個之間旋轉。在一些實現方式中，檢查裝置可以提供在基板排出位置C處，基板排出位置C可以是轉台的「離開 」或「 出口 」位置。第二線性運輸裝置126可以佈置在基板排出位置C處。檢查裝置的佈置僅是示例性的，並且檢查裝置可以佈置在其它位置（諸如基板接收位置A）處，以偵測電池（或圖案）的位置並且執行絲網對準。

轉台可以經配置以沿著由轉台的旋轉移動（例如，圍繞旋轉軸線125）而限定的軌道旋轉並且運輸基板10。轉台可以旋轉，以便根據順時針的旋轉（針對沿著第一方向1移動的太陽能電池）或逆時針的旋轉（針對沿著與第一方向1相反的方向移動的太陽能電池）移動定位在轉台上的基板10或附接至轉台的基板支撐件（例如，可移動基板支撐件或搬運梭）上的基板10。轉台可以經配置以加速至最大旋轉速度並且隨後再次使移動減速以再次暫停轉台。

在一些實現方式中，在相鄰位置（諸如基板接收位置A和處理位置B）之間的旋轉角度可以是約90°。例如，轉台可以旋轉90°，用於將基板10從基板接收位置A移動至處理位置B。同樣，轉台可以旋轉90°，用於將基板10從處理位置B移動至基板排出位置C。

圖2A示出了用於在製造太陽能電池中使用的基板10上絲網印刷的沉積佈置200的示意圖。

沉積佈置200包括至少一個絲網印刷頭210，至少一個絲網印刷頭210經配置以在基本上平行於基板的線性運輸方向的處理方向上移動。處理方向和線性運輸方向可對應於由關於圖1所述的第一線性運輸裝置提供的第一方向1。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，沉積佈置200可以包括絲網裝置250。絲網裝置250可以佈置在基板10和/或基板支撐件20與至少一個絲網印刷頭210之間。絲網裝置250可以包括框架252和附接至框架的絲網254。絲網254可以包括下列中的至少一個：網、印刷掩薄膜、片、金屬片、塑膠片、板材、金屬板材、和塑膠板材。在一些實施例中，絲網254界定了對應於要印刷在基板上的結構的圖案，其中圖案可以包括洞、槽、溝槽、切口或其它孔隙中的至少一個。圖案可對應於要印刷在基板上的導線圖案，諸如太陽能電池的指狀物（finger）和/或匯流排（bus）。例如，絲網254可以具有開口，從而限定在開口內提供的導線圖案和金屬絲網(wire mesh)。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，沉積佈置（特別是至少一個絲網印刷頭210）可以包括一個或多個沉積裝置220和/或一個或多個材料處理裝置230。一個或多個沉積裝置220可以經配置用於將材料從絲網254傳送至基板10。一個或多個材料處理裝置230可以經配置用於對絲網254上的材料進行材料處理。

在一些實施例中，一個或多個材料處理裝置230經配置以在第一方向1上移動，用於對絲網254上的材料進行材料處理，並且一個或多個沉積裝置220經配置以在與第一方向1相反的第二方向2上移動，用於將材料從絲網254傳送至基板。或者，一個或多個沉積裝置220經配置以在第一方向1上移動，用於將材料從絲網254傳送至基板10，並且一個或多個材料處理裝置230經配置以在與第一方向1相反的第二方向2上移動，用於對絲網254上的材料進行材料處理。材料處理（也可以被稱為「覆墨階段（flood phase）」）可以在絲網上提供基本上均勻的材料層，基本上均勻的材料層將傳送至（例如）在已經處理基板之後的後續基板。

在一些實施例中，一個或多個沉積裝置220是經配置以將材料從絲網254傳送至基板10的一個或多個印刷裝置。一個或多個印刷裝置可各自包括刮板材。刮板材可以經配置以接觸絲網254用於進行印刷。在一些實施例中，刮板材尖端接觸絲網254並且促使材料經由絲網254印刷至基板10上。刮板材可以是菱形刮板材或傾斜刮板材。材料可以是適用於在基板的表面12上形成導線圖案（諸如指狀物和/或匯流排）的材料。例如，材料可以是漿料，諸如銀漿料。

一個或多個材料處理裝置230可以經配置以用於處理絲網254上的材料。根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，一個或多個材料處理裝置230經配置以用於在絲網254上提供基本上均勻的材料薄膜。在一些實現方式中，材料處理可以實現材料至基板10上的最佳傳送。可選或替代地，一個或多個材料處理裝置230經配置以用於回收基板10和/或絲網254上的多餘材料。在一些實現方式中，一個或多個材料處理裝置230可以是覆墨刀(flood bar)。該材料處理可被稱為「 覆墨(flooding) 」。

沉積佈置200、且特別是至少一個絲網印刷頭210可以經配置以執行（例如）在第一位置A與第二位置B之間的行程。在第一位置A與第二位置B之間的距離可等於或大於基板10延度或導線圖案延度，使得在一個行程期間導線圖案或導線圖案的層可以沉積在基板10上。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，沉積佈置200包括驅動裝置，驅動裝置經配置以用於在第一方向1上至少從第一位置A移動至第二位置B移動至少一個絲網印刷頭210，以至少在從第一位置A至第二位置B的移動期間執行絲網254上的材料的沉積/傳送和/或處理（例如，分佈）。例如，在行程的至少一部分期間，絲網254上的材料的沉積/傳送和處理（例如，分佈）可以同時執行（參見圖2B）。從第一位置A至第二位置B的移動(或反之亦然)可分別對應於由至少一個絲網印刷頭210執行的一個行程，諸如第一行程和第二行程。第一方向1可以是垂直於豎直方向4的水平方向3。

根據可與本文該的其它實施例相結合的一些實施例，驅動裝置經配置以用於在與第一方向1相反的第二方向2上移動至少一個絲網印刷頭210，以在第二方向上的移動期間進行沉積/傳送和/或處理。至少一個絲網印刷頭210在第二方向2中的移動可對應於至少一個絲網印刷頭210從第二位置B至第一位置A的移動。第二位置可以是垂直於豎直方向4的水平方向3。

在一些實現方式中，至少一個絲網印刷頭210在第一位置A與第二位置B之間的移動（諸如第一行程和/或第二行程）可對應於400 mm或更小、特定地300 mm或更小，並且更特定地200 mm或更小的行程距離。例如，行程距離可以在150 mm至300 mm之間的範圍內，並且可特定地是約220 mm。行程長度與太陽能電池的大小可以是相關的。例如，通常對於125×125 mm電池，可以使用約200 mm行程，並且對於156×156 mm電池，可以使用約220 mm行程。更大尺寸（也即，160×160 mm）可以具有220 mm的相同行程或按比例放大的行程，諸如228 mm。

根據一些實施例，可以在一個或多個沉積裝置220與一個或多個材料處理裝置230之間提供一定距離或間距。特定地，可以在相鄰或鄰近的沉積裝置與材料處理裝置之間提供該距離或間距。例如，在第一方向1上在沉積裝置與相鄰材料處理裝置之間的距離或間距可以是50 mm或更小，特定地40 mm或更小，並且可以更特定地是約30 mm。該距離或間距可以提供用於材料累積（「 漿料輥」）的空間。

在一些實施例中，設備100經配置以用於單次印刷、雙次印刷或多次印刷。例如，導線圖案（諸如太陽能電池的指狀物和/或匯流排）可以包括兩個或更多個材料層。第一材料層可以印刷在基板10上並且第二材料層可至少部分地印刷在第一材料層的頂部上，從而形成導線圖案。在一些實現方式中，沉積佈置200可以在包括從第一位置A至第二位置B的移動或者說是第一行程的第一沉積製程期間印刷第一材料層。在一些實施例中，沉積佈置200可以在包括從第二位置B至第一位置A的移動或者說是第二行程的第二沉積製程期間印刷第二材料層。然而，本揭露內容不限於此，並且沉積製程可以利用在相同方向（例如，第一方向1或第二方向2）上移動的沉積佈置200而執行。在一些實施例中，基板被交替印刷，例如，一個基板使用第一方向1，另一基板使用第二方向2，諸如此類（例如，針對每次處理或印刷站）。

在一些實現方式中，第一方向1和第二方向2可以是基本上水平的方向。術語「水平方向」被理解為與「 豎直方向 」區分。即，「水平方向 」涉及（例如）沉積佈置200和/或至少一個絲網印刷頭210的基本上水平的移動，其中與準確水平方向有數度偏差（例如多達5°或甚至多達10°）仍然被認為是「基本上水平的方向」。豎直方向4可以基本上平行於重力。

圖2B和圖2C示出了根據本文所述的實施例的分別在第一方向1和第二方向2上移動以進行印刷和材料處理的至少一個絲網印刷頭210的示意圖。

根據一些實施例，根據本揭露內容的設備經配置以分別使用一個或多個沉積裝置和一個或多個材料處理裝置同時執行基板上的材料沉積和材料處理。例如，沉積和材料處理可以在至少一個絲網印刷頭210的相同行程或移動期間完成。處理週期的週期時間可以減少，並且設備的生產率和/或產量可以增加。特定地，材料層可以提供在絲網上。可以使用沉積裝置（該沉積裝置可以是刮板材）將材料從絲網傳送至基板。材料處理裝置可在沉積裝置之後並且在絲網上提供另一個材料層以用於例如在後續基板上的沉積。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，一個或多個材料處理裝置包括至少第一材料處理裝置232和第二材料處理裝置234。當處理頭元件（例如，至少一個絲網印刷頭210）在第一位置A中時，第一材料處理裝置232在位置(a)處，沉積裝置222在位置(b)處，並且第二材料處理裝置234在位置(a’)處。當至少一個絲網印刷頭210在第二位置B中時，第一材料處理裝置232在位置(c)處，沉積裝置222在位置(d)處，並且第二材料處理裝置234在位置(c’)處。

在一些實現方式中，一個或多個沉積裝置中的至少一個沉積裝置定位在第一材料處理裝置232與第二材料處理裝置234之間。雖然圖2B和圖2C示例性地示出了在第一材料處理裝置232與第二材料處理裝置234之間的一個沉積裝置，但是本揭露內容不限於此。特定地，可以在第一材料處理裝置232與第二材料處理裝置234之間提供多於一個沉積裝置（諸如兩個沉積裝置）。

在另外實施例中，一個或多個沉積裝置至少包括第一沉積裝置和第二沉積裝置。一個或多個材料處理裝置中的至少一個材料處理裝置可以定位在第一沉積裝置與第二沉積裝置之間。例如，可以在第一沉積裝置與第二沉積裝置之間定位兩個材料處理裝置。

根據可與本文該的其它實施例相結合的一些實施例，當至少一個絲網印刷頭210在第一方向1上移動時，第一材料處理裝置232定位在一個或多個沉積裝置後方。當至少一個絲網印刷頭210在第二方向2上移動時，第二材料處理裝置234可定位在一個或多個沉積裝置後方。換句話說，在移動方向（諸如第一方向或第二方向）上，相應材料處理裝置位於一個或多個沉積裝置之後。

如圖2B所示，在第一方向1上的至少一個絲網印刷頭210的移動期間，至少一個絲網印刷頭210使用一個或多個材料處理裝置中的第一材料處理裝置232進行材料處理。另外，如圖2C所示，在第二方向2上的至少一個絲網印刷頭210的移動期間，至少一個絲網印刷頭210使用第二材料處理裝置234進行材料處理。用於在至少一個絲網印刷頭210的移動期間進行材料處理的材料處理裝置可以足夠靠近絲網254而定位，從而允許進行材料處理，諸如在絲網254上提供基本上均勻的材料層。例如，在用於進行材料處理的材料處理裝置與絲網254之間的距離（例如，第一距離d1或第二距離d2）可根據以下因素中的至少一個進行選擇：在絲網254上沉積的材料的層厚度、材料（例如，漿料）的流變和材料組成。

根據一些實施例，在第一方向1上的至少一個絲網印刷頭210的移動期間，在絲網254與第一材料處理裝置232之間的第一距離d1小於在絲網254與第二材料處理裝置234之間的第二距離d2。在第二方向2上的至少一個絲網印刷頭210的移動期間，在絲網254與第二材料處理裝置234之間的第二距離d2可以小於在絲網254與第一材料處理裝置232之間的第一距離d1。第一距離d1和第二距離d2可以限定在豎直方向上。

在一些實現方式中，第一距離d1和第二距離d2中的較大距離（即，圖2B中的第二距離d2和圖2C中的第一距離d1）可以在5 mm與25 mm之間的範圍內，特定地在10 mm與20 mm之間的範圍內，並且可以更特定地是約15 mm。第一距離d1和第二距離d2中的較小距離（即，圖2B中的第一距離d1和圖2C中的第二距離d2）可以在0.01 mm與2 mm之間的範圍內，特定地在0.05 mm與1.5 mm之間的範圍內，並且可以更特定地在0.1 mm與1 mm之間的範圍內。

在一些實現方式中，在第一位置A與第二位置B之間的移動期間，可調節或控制第一距離d1和/或第二距離d2。第一距離d1和/或第二距離d2的即時調節可以確保至少一個材料處理裝置不會干擾絲網254。根據一些實施例，可調節第一距離d1和/或第二距離d2以遵循絲網輪廓。根據一些實施例，僅調節正被使用的材料處理裝置的距離。可保持未使用的材料處理裝置的距離恆定。作為一個示例，可調節正被使用的材料處理裝置的距離，以保持在該材料處理裝置與絲網254之間的距離（諸如第一距離d1或第二距離d2）是基本上恆定的。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，至少一個絲網印刷頭210另外包括致動器元件，致動器元件經配置以用於移動一個或多個沉積裝置和/或一個或多個材料處理裝置。例如，致動器元件包括一個或多個第一致動器，一個或多個第一致動器經配置以調節下列中的至少一個：在一個或多個材料處理裝置中的至少一個材料處理裝置與絲網254和/或基板支撐件之間的距離（例如，第一距離d1和/或第二距離d2）、和至少一個材料處理裝置相對於絲網254和/或基板支撐件的角度。例如，一個或多個第一致動器可以包括經配置以調節在第一材料處理裝置232與絲網254和/或基板支撐件之間的第一距離d1的第一致動器單元、和經配置以調節在第二材料處理裝置234與絲網254和/或基板支撐件之間的第二距離d2的第二致動器單元。

致動器元件的致動器（諸如一個或多個第一致動器和/或一個或多個第二致動器）可以從由以下組成的群組中選擇：步進電機、線性電機、氣動電機和上述的任何組合。

圖3示出了根據本文所述的另外實施例的用於製造太陽能電池的設備300的示意圖。該設備是雙線系統。

根據可與本文該的其它實施例相結合的一些實施例，第一線性運輸裝置包括第一線性運輸通道322和鄰近第一線性運輸通道322的第二線性運輸通道324。第一線性運輸通道322和第二線性運輸通道324可以例如在第一方向1（第一方向1可以是水平方向）上基本上平行於彼此而延伸。第一線性運輸通道322和第二線性運輸通道324可以是運送機，諸如帶式運送機。

在一些實現方式中，第二線性運輸裝置包括第三線性運輸通道342和鄰近第三線性運輸通道342的第四線性運輸通道344。第三線性運輸通道342和第四線性運輸通道344可以例如在第一方向1（第一方向1可以是水平方向）上基本上平行於彼此而延伸。第三線性運輸通道342和第四線性運輸通道344可以是運送機，諸如帶式運送機。

運輸裝置可以經配置以從第一線性運輸通道322和第二線性運輸通道324接收基板以將基板傳送至處理站。運輸裝置可以經配置而將已處理的基板提供至第三線性運輸通道342和第四線性運輸通道344。一個或多個檢查裝置360可以提供在第三線性運輸通道342和第四線性運輸通道344中的每一個處。一個或多個檢查裝置360可以包括一個或多個相機（「 印刷後相機 」），一個或多個相機經配置以偵測基板的完整性。一個或多個檢查裝置360可以提供在任何合適位置（諸如轉台的基板接收位置）處。

根據一些實施例，沉積佈置包括用於在由第一線性運輸通道322提供的基板上沉積材料的第一沉積裝置352、和用於在由第二線性運輸通道324提供的基板上沉積材料的第二沉積裝置354。處理站可以包括具有第一沉積裝置352的第一處理子站、和具有第二沉積裝置354的第二處理子站。

在一些實現方式中，第一沉積裝置352和第二沉積裝置354佈置在第一線性運輸通道322與第二線性運輸通道324之間，和/或在第三線性運輸通道342與第四線性運輸通道344之間。第一沉積裝置352和第二沉積裝置354可以直接鄰近彼此佈置。換句話說，第一沉積裝置352和第二沉積裝置354可以面對彼此。在一些實施例中，第一沉積裝置352和第二沉積裝置354可以佈置在運輸裝置的第一轉台332與第二轉台334之間。第一沉積裝置352的至少一部分可在第一轉台332上方延伸。同樣，第二沉積裝置354的至少一部分可以在第二轉台334上方延伸。

在一些實現方式中，運輸裝置包括經配置以從第一線性運輸通道322接收基板的第一轉台332、和經配置以從第二線性運輸通道324接收基板的第二轉台334。第一轉台332可以經配置以將已處理的基板傳送至第三線性運輸通道342，並且第二轉台334可以經配置以將已處理的基板傳送至第四線性運輸通道344。

第一轉台332和第二轉台334可以直接鄰近彼此佈置。例如，第一轉台332的旋轉軸線和第二轉台334的旋轉軸線可以佈置在垂直於第一方向1的直線301上。第一轉台332和第二轉台334可關於第一方向1對稱地佈置。

該設備具有可提供對稱通道配置（例如，兩個通道具有相同數量臺階）和熱參數對稱性的優點。相較常規帶對帶式解決方案（例如，1900對3050 mm帶對帶）來說，設備具有更短模組長度（例如，-40%）。另外，沉積佈置可以具有單花崗岩基體。由於需要更少木工並且花崗岩的尺寸較小，因此可以節省成本。

根據可與本文所述的其它實施例相結合的一些實施例，設備300包括對準裝置，對準裝置經配置以使基板和沉積佈置相對於彼此而對準。例如，對準裝置可以經配置以使基板和絲網相對於彼此而對準，使得線圖案可以印刷在基板上的準確位置處。對準裝置可以包括在運輸裝置（諸如印刷套）和/或沉積佈置（諸如第一沉積裝置352和第二沉積裝置354）中。

根據一些實現方式，對準裝置經配置以在X方向和Y方向上定位或對準沉積佈置和/或基板10，和/或對準裝置經配置以調節沉積佈置和/或基板10的角度取向，例如，朝目標的取向。X方向和Y方向可以是笛卡爾(Cartesian)坐標系的X方向和Y方向，並且可能特別地限定水平面。角度取向可指基板10、基板支撐件（例如，支撐基板10的支撐表面）和/或沉積佈置（例如，絲網）的角度取向。例如，可以將角度取向限定為在基板10或基板支撐件處的第一輔助線與在目標（諸如沉積佈置）處的第二輔助線之間的角度（例如，θ）。

在一些實施例中，沉積佈置（諸如第一沉積裝置352和第二沉積裝置354中每一個）具有作為印刷單元370和主體372的主體。印刷單元370可以包括至少一個絲網印刷頭和絲網裝置。印刷單元370（特別是絲網裝置）可關於第一方向對稱地對準。特定地，如圖3所示，印刷單元370（特別是絲網裝置）可相對於第一方向成90°對準。在其它實施例中，絲網或絲網裝置可以基本上平行於第一方向。主體372可以例如在水平面中沿著相對於第一方向傾斜的主要方向延伸。例如，主要方向可相對於第一方向傾斜約30°。

主體372可以包括對準裝置。在一些實現方式中，對準裝置可以移動主體372和連接至主體的印刷單元370來進行對準。圖4示出了基板接收位置(X,Y,T)、處理位置(X’,Y’,T’)、和主體(X’’,Y’’,T’’)的座標。座標可以經由平面旋轉彼此轉換。

設備具有前部刮板材和後部刮板材可見的優點。另外，設備與標準刮板材和併發覆墨刮板材佈置相容。

圖5示出了根據有本文所述的又一些實施例的用於製造太陽能電池的設備400的示意圖。圖4的設備400與圖3的設備相似並且不再重複相似或相同的態樣的描述。

在圖5所示的示例性實施例中，第一線性運輸通道322和第二線性運輸通道324可以佈置在第一沉積裝置352與第二沉積裝置354之間。可選地，第三線性運輸通道342和第四線性運輸通道344可以佈置在第一沉積裝置352與第二沉積裝置354之間。第一沉積裝置352和第二沉積裝置354可以關於第一方向1對稱。操作者可容易地接取第一沉積裝置352和第二沉積裝置354。實際上，相較圖3來說，在操作者與絲網之間的距離可以更小。

第一轉台332和第二轉台334可以在第一方向1上相對於彼此而偏移。例如，第一轉台332的旋轉軸線和第二轉台334的旋轉軸線可以在第一方向上偏移。換句話說，旋轉軸線沒有佈置在垂直於第一方向1的直線上。可最小化設備400的佔地面積。

本揭露內容可以使用運輸裝置，諸如轉台，用於將電池從通道運輸至印刷位置。印刷方向平行於電池的通道。特定地，沉積佈置基本上平行於基板線性運輸方向移動，而並非垂直於線性運輸方向移動。沉積佈置易於監視並且容易接取，例如，用於進行維護或缺陷修理。另外，產量可以增加。

設備可以具有前部刮板材和後部刮板材可見的優點。另外，設備與標準刮板材和併發覆墨刮板材佈置相容。

雖然上述內容針對本揭露內容的實施例，但是在不脫離本揭露內容的基本範圍的情況下，可設計出本揭露內容的其它和進一步實施例，並且本揭露內容的範圍由隨附權利要求書確定。

1‧‧‧第一方向

2‧‧‧第二方向

3‧‧‧水平方向

4‧‧‧豎直方向

10‧‧‧基板

12‧‧‧表面

20‧‧‧基板支撐件

100‧‧‧設備

110‧‧‧處理站

112‧‧‧沉積佈置

120‧‧‧運輸佈置

122‧‧‧第一線性運輸裝置

124‧‧‧運輸裝置

125‧‧‧旋轉軸線

126‧‧‧第二線性運輸裝置

200‧‧‧沉積佈置

210‧‧‧至少一個絲網印刷頭

220‧‧‧沉積裝置

222‧‧‧沉積裝置

230‧‧‧材料處理裝置

232‧‧‧至少第一材料處理裝置

234‧‧‧第二材料處理裝置

250‧‧‧絲網裝置

252‧‧‧框架

254‧‧‧絲網

300‧‧‧設備

301‧‧‧直線

322‧‧‧第一線性運輸通道

324‧‧‧第二線性運輸通道

332‧‧‧第一轉台

334‧‧‧第二轉台

342‧‧‧第三線性運輸通道

344‧‧‧第四線性運輸通道

352‧‧‧第一沉積裝置

354‧‧‧第二沉積裝置

360‧‧‧檢查裝置

370‧‧‧印刷單元

372‧‧‧主體

400‧‧‧設備

d1‧‧‧第一距離

d2‧‧‧第二距離

因此，為了能夠詳細理解本揭露內容的上述特徵所用方式，上文所簡要概述的本揭露內容的更具體的描述可以參考各個實施例而獲得。隨附附圖涉及本揭露內容的實施例，並且如下描述： 圖1示出了根據本文所述的實施例的用於製造太陽能電池的設備的示意圖； 圖2A示出了根據本文所述的實施例的用於在製造太陽能電池中使用的基板上絲網印刷的沉積佈置的示意圖； 圖2B和圖2C示出了根據本文所述的實施例的分別在第一方向和第二方向上移動以進行印刷和材料處理的絲網印刷頭的示意圖； 圖3示出了根據本文所述的另外實施例的用於製造太陽能電池的設備的示意圖； 圖4示出了根據本文所述的實施例的在用於製造太陽能電池的設備中的不同位置處的座標；和 圖5示出了根據本文所述的實施例的用於製造太陽能電池的設備的示意圖。

Claims (20)

1. 一種用於製造一太陽能電池的設備，其特徵在於，該設備包括：一處理站；一運輸佈置，該運輸佈置包括：一第一線性運輸裝置，經配置以用於在一第一方向上運輸一基板；和一運輸裝置，鄰近該第一線性運輸裝置並且經配置以用於將該基板運輸至該處理站；和一沉積佈置，該沉積佈置位於該處理站處，並且經配置以在平行於該第一方向的一方向上移動，用於處理要沉積在該基板上的一材料。
2. 如請求項1所述的設備，其中該運輸裝置包括至少一個轉台。
3. 如請求項2所述的設備，其中該沉積佈置被提供在該至少一個轉台處。
4. 如請求項1所述的設備，其中該至少一個轉台的旋轉軸線佈置在垂直於該第一方向的一直線上。
5. 如請求項1所述的設備，其中該運輸佈置包括一第二線性運輸裝置，並且其中該運輸裝置佈置在該第一線性運輸裝置與該第二線性運輸裝置之間。
6. 如請求項1所述的設備，其中該第一線性運輸裝置包括一第一線性運輸通道和鄰近該第一線性運輸通道的一第二線性運輸通道，其中該沉積佈置包括一第一沉積裝置和一第二沉積裝置，該第一沉積裝置用於在由該第一線性運輸通道提供的基板上沉積材料，該第二沉積裝置用於在由該第二線性運輸通道提供的基板上沉積材料的，並且其中該第一沉積裝置和該第二沉積裝置佈置在該第一線性運輸通道和該第二線性運輸通道之間。
7. 如請求項6所述的設備，其中該運輸裝置包括一第一轉台和一第二轉台，該第一轉台經配置以從該第一線性運輸通道接收基板，該第二轉台經配置以從該第二線性運輸通道接收基板。
8. 如請求項7所述的設備，其中該第一轉台和該第二轉台直接鄰近彼此佈置。
9. 如請求項7所述的設備，其中該第一轉台的一旋轉軸線和該第二轉台的一旋轉軸線佈置在垂直於該第一方向的一直線上。
10. 如請求項1所述的設備，其中該第一線性運輸裝置包一括第一線性運輸通道和鄰近該第一線性運輸通道的一第二線性運輸通道，其中該沉積佈置包括一第一沉積裝置和一第二沉積裝置，該第一沉積裝置用於在由該第一線性運輸通道提供的基板上沉積材料，該第二沉積裝置用於在由該第二線性運輸通道提供的基板上沉積一材料，並且其中該第一線性運輸通道和該第二線性運輸佈置在該第一沉積裝置和該第二沉積裝置之間。
11. 如請求項10所述的設備，其中該運輸裝置包括一第一轉台和一第二轉台，該第一轉台經配置以從該第一線性運輸通道接收基板，該第二轉台經配置以從該第二線性運輸通道接收基板，並且其中該第一轉台和該第二轉台在該第一方向上相對於彼此而偏移。
12. 如請求項10所述的設備，其中該第一沉積裝置和該第二沉積裝置相對於該第一方向對稱。
13. 如請求項1所述的設備，其中該第一方向是一水平方向。
14. 如請求項1所述的設備，其中該沉積佈置包括至少一個絲網印刷頭。
15. 如請求項14所述的設備，其中該至少一個絲網印刷頭包括一個或多個材料處理裝置和一個或多個沉積裝置，該一個或多個材料處理裝置用於對一絲網上的一材料進行材料處理，該一個或多個沉積裝置用於將一材料從該絲網傳送至該基板。
16. 如請求項15所述的設備，其中：該一個或多個材料處理裝置經配置以在該第一方向上移動，用於對在該絲網上的該材料進行該材料處理，並且該一個或多個沉積裝置經配置以在與該第一方向相反的一第二方向上移動，用於將該材料從該絲網傳送至該基板。
17. 如請求項15所述的設備，其中：該一個或多個沉積裝置經配置以在該第一方向上移動，用於將該材料從該絲網傳送至該基板，並且該一個或多個材料處理裝置經配置以在與該第一方向相反的該第二方向上移動，用於對在該絲網上的該材料進行該材料處理。
18. 一種用於在製造一太陽能電池中使用的一基板上絲網印刷的沉積佈置，其特徵在於，該沉積佈置包括：至少一個絲網印刷頭，經配置以在平行於一基板一線性運輸方向的一處理方向上移動。
19. 如請求項18所述的沉積佈置，其中該沉積佈置根據請求項1至17中任一項進行配置。
20. 如請求項18所述的沉積佈置，其中該處理方向和該線性運輸方向是水平方向。