TWM551698U - 探針卡支撐裝置及探針卡總成 - Google Patents

Description

探針卡支撐裝置及探針卡總成

本創作是有關於一種探針裝置，且特別是有關於一種探針卡支撐裝置及探針卡總成。

請參照第1圖，習知探針卡總成100，係設置於一測試機台上，用以測試固定於一測試平台11上的一晶片10。習知探針卡總成100包括一探針卡支撐裝置110及一探針卡120。探針卡支撐裝置110，用以支撐探針卡120，包括一剛性承載座111、一電路板112、一夾具113、複數個剛性支撐柱114、複數個第一鎖固件115、複數個第二鎖固件116、一支撐件117及一第三鎖固件118以及一墊片M。該些剛性支撐柱114承靠於剛性承載座111上，電路板112設置於剛性支撐柱114上，電性接觸探針卡120，用以通過探針卡120傳送及接收訊號。夾具113承靠於電路板112上。該些第一鎖固件115穿過剛性承載座111及該些剛性支撐柱114。該些第二鎖固件116穿過夾具113、電路板112及該些剛性支撐柱114。第三鎖固件118穿過剛性承載座111及支撐件117。墊片M設置於該些剛性支撐柱114與電路板112之間。探針卡120包括一探針基板121及複數個探針122，探針基板121設置於電路板112上，該些探針122設置於探針基板121上，用以接觸晶片10之訊號饋入點及訊號饋出點。

為了確保測試良率與品質，探針卡120需與測試機台保持平行。然而，習知探針卡總成100具有以下缺點：探針122在測試過程中會因為測試受力產生變形彎曲，使探針122推擠探針基板121，進而出現側向應力。習知探針卡總成100是以夾具113與該些剛性支撐柱114夾持電路板112並以第二鎖固件116鎖附固定，由於電路板112的材質與這些機構件(夾具113、剛性支撐柱114及第二鎖固件116)的材質不同，鎖固與夾持力量有限，當測試過程中產生過大的側向應力，會使電路板112產生位移造成接觸不良。由於電路板112的製程關係會產生板厚不均勻的問題，以習知結構夾持電路板112方式及鎖固方式會因電路板112的厚度不均使機構件(夾具113、剛性支撐柱114及第二鎖固件116)鎖固後歪斜，為了使該些探針122的一端與測試機台保持平行，習知結構必須考量電路板112在製程上公差大的問題，需要利用塞墊片M方式調整水平。

故，有需要提供一種探針卡支撐裝置及探針卡總成，以解決習知技術存在的問題。

本創作之主要目的在於提供一種探針卡支撐裝置，其機構件可以保持平行，不會受到電路板的厚度不均的影響而產生歪斜，因此可藉由機構件來使探針卡與測試機台保持平行。

本創作之另一目的在於提供一種探針卡總成，其機構件可以保持平行，不會受到電路板的厚度不均的影響而產生歪斜，因此可藉由機構件來使探針卡與測試機台保持平行。

為達上述之目的，本創作提供一種探針卡支撐裝置，用以支 撐一探針卡，包括一剛性承載座、一電路板、一夾具以及複數個剛性支撐柱。電路板設置於剛性承載座上方，電性接觸探針卡，用以通過探針卡傳送及接收訊號。夾具設置於電路板上方。每一該剛性支撐柱具有相對之一第一表面及一第二表面，其中該些剛性支撐柱貫穿電路板，該些第一表面承靠在剛性承載座上，夾具承靠在該些第二表面上，且剛性承載座與夾具透過該些剛性支撐柱貫穿電路板而對鎖。

在本創作之一實施例中，探針卡支撐裝置更包括複數個第一鎖固件及複數個第二鎖固件，其中該些第一鎖固件穿過該剛性承載座及該些剛性支撐柱以鎖固該剛性承載座及該些剛性支撐柱，該些第二鎖固件穿過該夾具及該些剛性支撐柱以鎖固該夾具及該些剛性支撐柱。

在本創作之一實施例中，該電路板與該夾具之間具有一間距。

在本創作之一實施例中，該電路板具有複數個固定孔，該些剛性支撐柱穿過該電路板的該些固定孔。

在本創作之一實施例中，該些剛性支撐柱分別貫穿該電路板的二側邊。

在本創作之一實施例中，探針卡支撐裝置更包括複數個可調式支撐頂柱，可移動地設置於該些剛性支撐柱上且支撐該電路板。

在本創作之一實施例中，該些可調式支撐頂柱藉由往該電路板方向移動或遠離該電路板方向移動來調整該電路板的位置，而使該電路板維持在一預定平面。

在本創作之一實施例中，該些可調式支撐頂柱接近該電路板 的一端位於同一水平面，該些可調式支撐頂柱遠離該電路板的另一端位於不同水平面。

在本創作之一實施例中，一種探針卡總成，用以電連接一晶片之至少一訊號饋入點及至少一訊號饋出點，包括上述之探針卡支撐裝置及該探針卡。

在本創作之一實施例中，該探針卡包括一探針基板及複數個探針，該探針基板設置於該電路板上，該些探針設置於該探針基板上，用以接觸該晶片之該訊號饋入點及該訊號饋出點，該電路板電性連接該些探針，用以產生測試訊號通過該訊號饋入點至該晶片，及通過該訊號饋出點接收該晶片產生之回饋訊號。

在本創作之一實施例中，該探針卡的一側向應力小於該些剛性支撐柱鎖固該電路板之鎖固力。

在本創作之一實施例中，該電路板位於之平面、該探針基板位於之平面及該些探針的一端共同定義之平面均平行一預設平面。

在本創作之一實施例中，該探針卡承靠在該夾具上。

由於本創作實施例的剛性支撐柱貫穿電路板，該些第一表面承靠在剛性承載座上，夾具承靠在該些第二表面上，且剛性承載座與夾具透過該些剛性支撐柱貫穿電路板而對鎖，因此這些機構件(剛性承載座、夾具及剛性支撐柱)可以保持平行，不會受到電路板的厚度不均的影響而產生歪斜，因此可藉由這些機構件(剛性承載座、夾具及剛性支撐柱)來使探針卡與測試機台保持平行。

10、20‧‧‧晶片

11、21‧‧‧測試平台

100、200‧‧‧探針卡總成

110、210‧‧‧探針卡支撐裝置

111、211‧‧‧剛性承載座

112、212‧‧‧電路板

113、213‧‧‧夾具

114、214‧‧‧剛性支撐柱

115、215‧‧‧第一鎖固件

116、216‧‧‧第二鎖固件

117‧‧‧支撐件

118‧‧‧第三鎖固件

217‧‧‧可調式支撐頂柱

120、220‧‧‧探針卡

121、221‧‧‧探針基板

122、222‧‧‧探針

2121‧‧‧固定孔

2141‧‧‧第一表面

2142‧‧‧第二表面

G‧‧‧間距

M‧‧‧墊片

第1圖為習知探針卡總成之剖視圖。

第2圖為本創作實施例之探針卡總成之剖視圖。

為了讓本創作之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本創作較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。再者，本創作所提到的方向用語，例如上、下、頂、底、前、後、左、右、內、外、側面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本創作，而非用以限制本創作。

請參照第2圖，本創作實施例之一種探針卡總成200係設置於一測試設備上，用以測試固定於一測試平台21上的一晶片20。探針卡總成200用以電連接晶片20之至少一訊號饋入點及至少一訊號饋出點。探針卡總成200包括一探針卡支撐裝置210及一探針卡220。探針卡支撐裝置210，用以支撐探針卡220，包括一剛性承載座211、一電路板212、一夾具213以及複數個剛性支撐柱214。電路板212設置於剛性承載座211上方，電性接觸探針卡220，用以通過探針卡220傳送及接收訊號。夾具213設置於電路板212上方。每一該剛性支撐柱214具有相對之一第一表面2141及一第二表面2142，其中該些剛性支撐柱214貫穿電路板212，該些第一表面2141承靠在剛性承載座211上，夾具213承靠在該些第二表面2142上，且剛性承載座211與夾具213透過該些剛性支撐柱214貫穿電路板212而對鎖。

由於本實施例的剛性支撐柱214貫穿電路板212，該些第一表 面2141直接承靠在剛性承載座211上，夾具213直接承靠在該些第二表面2142上，且剛性承載座211與夾具213透過該些剛性支撐柱214貫穿電路板212而對鎖，因此這些機構件(剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214)可以保持平行，不會受到電路板212的厚度不均的影響而產生歪斜，因此可藉由這些機構件(剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214)來使探針卡220與測試機台保持平行。此外，這些機構件包括\剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214，可有效吸收探針卡220於測試過程中因測試受力而產生的側向應力，使得探針卡220可以得到良好的支撐並與測試機台保持平行。

在本創作之一實施例中，探針卡220承靠在夾具213上。探針卡220包括一探針基板221及複數個探針222，探針基板221設置於電路板212上，該些探針222設置於探針基板221上，用以接觸晶片10之訊號饋入點及訊號饋出點，電路板212電性連接該些探針222，用以產生測試訊號通過訊號饋入點至晶片10，及通過訊號饋出點接收晶片10產生之回饋訊號。

在本創作之一實施例中，探針卡220的一側向應力小於該些剛性支撐柱214鎖固電路板212之鎖固力。其中該些探針222於測試過程中受力而推擠探針基板221，進而產生側向應力。由於探針卡220的一側向應力小於該些剛性支撐柱214鎖固電路板212之鎖固力，這些機構件包括\(剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214，可有效吸收探針卡220的側向應力，使得探針卡220可以得到良好的支撐並使得該些探針222的一端與測試機台可以保持平行。

在本創作之一實施例中，探針卡支撐裝置210更包括複數個第一鎖固件215及複數個第二鎖固件216，其中該些第一鎖固件216穿過剛性 承載座211及該些剛性支撐柱214以鎖固剛性承載座211及該些剛性支撐柱214，該些第二鎖固件215穿過夾具213及該些剛性支撐柱214以鎖固夾具213及該些剛性支撐柱214。

在本創作之一實施例中，電路板212與夾具213之間具有一間距G。電路板212具有複數個固定孔2121，該些剛性支撐柱214穿過電路板212的該些固定孔2121。該些剛性支撐柱214分別貫穿電路板212的二側邊。由於電路板212與夾具213之間具有一間距G，因此夾具213不會受到電路板212的厚度不均的影響而產生歪斜，夾具213可以保持平行。

在本創作之一實施例中，探針卡支撐裝置210更包括複數個可調式支撐頂柱217，可移動地設置於該些剛性支撐柱214上且支撐電路板212。該些可調式支撐頂柱217藉由往電路板212方向移動(上升)或遠離電路板212方向移動(下降)來調整電路板212的位置，而使電路板212維持在一預定平面。該些可調式支撐頂柱217接近電路板212的一端2171位於同一水平面，該些可調式支撐頂柱217遠離電路板212的另一端2172位於不同水平面。在本創作之一實施例中，電路板212位於之平面、探針基板221位於之平面及該些探針222的一端共同定義之平面均平行一預設平面。

由於本創作實施例的剛性支撐柱214貫穿電路板212，該些第一表面2141承靠在剛性承載座211上，夾具213承靠在該些第二表面2142上，且剛性承載座211與夾具213透過該些剛性支撐柱214貫穿電路板212而對鎖，因此這些機構件(剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214)可以保持平行，不會受到電路板212的厚度不均的影響而產生歪斜，因此可藉由這些機構件包括剛性承載座211、夾具213及剛性支撐柱214使探針卡220與測 試機台保持平行。

雖然本創作已以較佳實施例揭露，然其並非用以限制本創作，任何熟習此項技藝之人士，在不脫離本創作之精神和範圍內，當可作各種更動與修飾，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

20‧‧‧晶片

21‧‧‧測試平台

200‧‧‧探針卡總成

210‧‧‧探針卡支撐裝置

211‧‧‧剛性承載座

212‧‧‧電路板

213‧‧‧夾具

214‧‧‧剛性支撐柱

215‧‧‧第一鎖固件

216‧‧‧第二鎖固件

217‧‧‧可調式支撐頂柱

220‧‧‧探針卡

221‧‧‧探針基板

222‧‧‧探針

2141‧‧‧第一表面

2142‧‧‧第二表面

G‧‧‧間距

Claims (13)

1. 一種探針卡支撐裝置，用以支撐一探針卡，包括：一剛性承載座；一電路板，設置於該剛性承載座上方，電性接觸該探針卡，用以通過該探針卡傳送及接收訊號；一夾具，設置於該電路板上方；以及複數個剛性支撐柱，每一該些剛性支撐柱具有相對之一第一表面及一第二表面，其中該些剛性支撐柱貫穿該電路板，該些第一表面承靠在該剛性承載座上，該夾具承靠在該些第二表面上，且該剛性承載座與該夾具透過該些剛性支撐柱貫穿該電路板而對鎖。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡支撐裝置，更包括複數個第一鎖固件及複數個第二鎖固件，其中該些第一鎖固件穿過該剛性承載座及該些剛性支撐柱以鎖固該剛性承載座及該些剛性支撐柱，該些第二鎖固件穿過該夾具及該些剛性支撐柱以鎖固該夾具及該些剛性支撐柱。
3. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡支撐裝置，其中該電路板與該夾具之間具有一間距。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡支撐裝置，其中該電路板具有複數個固定孔，該些剛性支撐柱穿過該電路板的該些固定孔。
5. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡支撐裝置，其中該些剛性支撐柱分別貫穿該電路板的二側邊。
6. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡支撐裝置，更包括複數個可調式支撐頂柱，可移動地設置於該些剛性支撐柱上且支撐該電路板。
7. 如申請專利範圍第6項所述之探針卡支撐裝置，其中該些可調式支撐頂柱藉由往該電路板方向移動或遠離該電路板方向移動來調整該電路板的位置，而使該電路板維持在一預定平面。
8. 如申請專利範圍第7項所述之探針卡支撐裝置，其中該些可調式支撐頂柱接近該電路板的一端位於同一水平面，該些可調式支撐頂柱遠離該電路板的另一端位於不同水平面。
9. 一種探針卡總成，用以電連接一晶片之至少一訊號饋入點及至少一訊號饋出點，包括如申請專利範圍第1至8項所述之探針卡支撐裝置及該探針卡。
10. 如申請專利範圍第9項所述之探針卡總成，其中該探針卡包括一探針基板及複數個探針，該探針基板設置於該電路板上，該些探針設置於該探針基板上，用以接觸該晶片之該訊號饋入點及該訊號饋出點，該電路板電性連接該些探針，用以產生測試訊號通過該訊號饋入點至該晶片，及通過該訊號饋出點接收該晶片產生之回饋訊號。
11. 如申請專利範圍第9項所述之探針卡總成，其中該探針卡的一側向應力小於該些剛性支撐柱鎖固該電路板之鎖固力。
12. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡總成，其中該電路板位於之平面、該探針基板位於之平面及該些探針的一端共同定義之平面均平行一預設平面。
13. 如申請專利範圍第9項所述之探針卡總成，其中該探針卡承靠在該夾具上。