TWM541007U - 探針卡檢測設備的保護裝置 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 45
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 42
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims description 22
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 4
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Description
本創作是關於一種保護裝置,特別是關於一種用於保護探針卡檢測設備之探針的保護裝置。
近年來,隨著電子產品朝向精密與多功能化發展,應用在電子產品內的積體電路之晶片結構也趨於複雜。在製造時為了確保晶片的電氣品質,在將晶片封裝前會採用探針卡(probe card)進行晶片級量測。在使用上,藉由將探針卡的探針直接與晶片的接觸墊(pad)或凸塊(bump)電性接觸,再經由探針卡的電路板將電氣訊號連接到測試機(Tester),使測試機傳送測試訊號到晶片或接收來自晶片的輸出訊號,進而達到量測晶片的電氣特性之功效,並且使用者可根據量測的結果將不良晶片剔除,以節省不必要的封裝成本。
再者,為了確保晶片量測的精準度,當探針卡出廠或使用前通常會經由探針卡檢測設備來檢測探針卡的品質。請參照第1圖,其顯示一種習知的探針卡檢測設備10之立體示意圖。該探針卡檢測設備10包含母板組件110、測試塔座(pogo tower)120和複數個彈簧針(pogo pin)130。該母板組件110包含一上母板112和一下母板114,且該上母板112和該下母板
114係以固定式氣壓棒系統連接,使得該上母板112可相對該下母板114樞轉。該測試塔座120設置在該上母板112上,用於組裝承載該複數個彈簧針130。在使用時,先在該下母板114對應於該上母板112上之該測試塔座120的位置係放置一待檢測的探針卡,接著將該上母板112樞轉至與該下母板114疊合,使得該測試塔座120上的該等彈簧針130電性接觸該探針卡上之相對應的接觸墊以形成電氣迴路,進而使該探針卡與該探針卡檢測設備10產生連結,從而能檢測該探針卡是否有異常。
然而,在習知的該探針卡檢測設備10中,由於該等彈簧針130之一部分是裸露在外。也就是說,該等彈簧針130的末端以及靠近末端之側邊皆未受到保護,因此當將該上母板112朝向該下母板114闔上或者是人員在置換探針卡時,容易因側向撞擊導致該等彈簧針130的末端彎曲,進而造成測試結果異常。
有鑑於此,有必要提供一種改良的探針卡檢測設備,以解決習知技術所存在的問題。
為解決上述技術問題,本創作之目的在於提供一種具有保護裝置的探針卡檢測設備,藉由保護裝置保護彈簧針的側邊,進而避免彈簧針因受到側向撞擊而彎曲變形。
為達成上述目的,本創作提供一種保護裝置,適用於一探針卡檢測設備。該探針卡檢測設備包含一母板組件、複數個彈簧針和一用於與該複數個彈簧針組裝且設置在該母板組件上之測試塔座。該保護裝置包含一保護框和至少一伸縮式連接件,其中該保護框藉由該至少一伸縮式連
接件連接在該探針卡檢測設備之該測試塔座上,且該保護框圍繞該複數個彈簧針。
於本創作其中之一較佳實施例中,該伸縮式連接件之一部分設置在該測試塔座之一對應的開孔內,包含一伸縮桿和一彈性件,其中該彈性件之一端固定連接在該測試塔座之該開孔內,且另一端與該伸縮桿固定連接。
於本創作其中之一較佳實施例中,該伸縮桿之外側壁與該測試塔座之該開孔之內側壁結構互補,且該伸縮桿之該外側壁和該開孔之該內側壁之間不具有間隙。
於本創作其中之一較佳實施例中,該保護框包含一開口、一第一面和相對該第一面之第二面,其中當該至少一伸縮式連接件於初始狀態時,該保護框之該第一面與該測試塔座之表面保持相距一距離,且該複數個彈簧針之針尖位在該保護框內,使得該複數個彈簧針組成之針尖面低於或等於該保護框之該第二面;以及其中當該至少一伸縮式連接件於壓縮狀態時,該保護框之該第一面與該測試塔座之該表面之間的該距離縮小,且該複數個彈簧針之該針尖面通過該保護框之該開口以高於該保護框之該第二面。
於本創作其中之一較佳實施例中,該保護裝置由絕緣材料製成。
本創作還提供一種具有保護裝置的測試塔座,適用於一探針卡檢測設備,包含:一本體,具有複數個插槽,用於與複數個彈簧針組裝;一保護裝置,包含一保護框和至少一伸縮式連接件,其中該保護框藉由該
至少一伸縮式連接件連接在該測試塔座之該本體上,且該保護框圍繞該複數個彈簧針。
相較於先前技術,本創作藉由在測試塔座上裝設一保護裝置,以保護彈簧針裸露於測試塔座之外的部分,故可藉由保護裝置保護彈簧針的側邊,進而避免彈簧針因受到側向撞擊而彎曲變形。
10、20‧‧‧探針卡檢測設備
110、210‧‧‧母板組件
112、212‧‧‧上母板
114、214‧‧‧下母板
120、220‧‧‧測試塔座
222‧‧‧本體
224‧‧‧表面
226‧‧‧開孔
130、230‧‧‧彈簧針
240‧‧‧保護裝置
241‧‧‧保護框
242‧‧‧伸縮式連接件
243‧‧‧伸縮桿
244‧‧‧彈性件
245‧‧‧開口
246‧‧‧第一面
247‧‧‧第二面
A-A、B-B‧‧‧截線
D1‧‧‧距離
第1圖顯示一種習知的探針卡檢測設備之立體示意圖;第2圖顯示根據本創作較佳實施例之用於探針卡檢測設備之立體示意圖;第3圖顯示第2圖之測試塔座和保護裝置之放大圖;第4圖顯示第3圖沿著A-A截線之剖面圖;第5圖顯示第3圖之保護裝置於壓縮狀態之示意圖;以及第6圖顯示第5圖沿著B-B截線之剖面圖。
為了讓本創作之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂,下文將特舉本創作較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下。
請參照第2圖至第4圖,第2圖顯示根據本創作較佳實施例之用於探針卡檢測設備20之立體示意圖,其具有一保護裝置240,第3圖顯示第2圖之測試塔座220和保護裝置240之放大圖,以及第4圖顯示第3圖沿著A-A截線之剖面圖。如第2圖所示,該探針卡檢測設備20包含母板組件210、測試塔座(pogo tower)220和複數個彈簧針(pogo pin)230。該母板組件
210包含一上母板212和一下母板214,且該上母板212和該下母板214係以固定式氣壓棒系統連接,使得該上母板212可相對該下母板214樞轉。該測試塔座220設置在該上母板212上,用於組裝承載該複數個彈簧針230。在使用時,先在該下母板214對應於該上母板212上之該測試塔座220的位置係放置一待檢測的探針卡,接著將該上母板212樞轉至與該下母板214疊合,使得該測試塔座220上的該等彈簧針230電性接觸該探針卡上之相對應的接觸墊以形成電氣迴路,進而使該探針卡與該探針卡檢測設備20產生連結,從而能檢測該探針卡是否有異常。
如第3圖和第4圖所示,該測試塔座220包含一本體222,其在中央處具有複數個插槽以及四個角落分別具有一開孔226。該本體222之該複數個插槽用於與該複數個彈簧針230組裝。當該複數個彈簧針230組裝在該本體222上時,該複數個彈簧針230之針尖超過該本體222之表面224,使得該複數個彈簧針230之一部分裸露在該本體222之外。該保護裝置240包含保護框241和伸縮式連接件242,其中該保護框241藉由該伸縮式連接件242連接在該測試塔座220之該本體222上,且該保護框241圍繞該複數個彈簧針230。該伸縮式連接件242之一部分設置在該本體222之對應的開孔226內,且該伸縮式連接件242包含一伸縮桿243和一彈性件244。該彈性件244之一端固定連接在該本體222之該開孔226內,且另一端與該伸縮桿243固定連接。因此,藉由使該彈性件244壓縮或釋放,使得固定連接在該伸縮桿243上的該保護框241可與該測試塔座220相對運動(將詳述於後)。
應當注意的是,該伸縮式連接件242之該伸縮桿243之外側壁與該本體222之該開孔226之內側壁結構互補,且該伸縮桿243之該外側壁和
該開孔226之該內側壁之間不具有間隙。因此,藉由上述結構可有效地限制該伸縮桿243只可在該開孔226內進行一直線運動,而不會產生左右的搖晃或歪斜,進而避免發生該保護框241側向撞擊該等彈簧針230之情況。
如第3圖和第4圖所示,該保護框241包含開口245、第一面246和相對該第一面246之第二面247。當該伸縮式連接件242於初始狀態時(即,該彈性件244未被壓縮),該保護框241之該第一面246與該本體222之表面224保持相距一距離D1,且該複數個彈簧針230之針尖位在該保護框241內。也就是說,該複數個彈簧針230組成之針尖面低於或等於該保護框241之該第二面247。因此,當該彈性件244未被壓縮時,該保護框241會環繞在該複數個彈簧針230之針尖的周圍,進而避免該複數個彈簧針230因受到側向撞擊而彎曲變形。
請參照第5圖和第6圖,第5圖顯示第3圖之保護裝置240於壓縮狀態之示意圖,以及第6圖顯示第5圖沿著B-B截線之剖面圖。當將該上母板212朝向該下母板214闔上時,該保護裝置240之該保護框241會與該下母板214之機框接觸,使得該彈性件244壓縮,進而使得該保護框241之該第一面246與該本體222之表面224之間的距離縮小,甚至縮小至零(即,該保護框241之該第一面246與該本體222之該表面224接觸)。並且,該複數個彈簧針230之該針尖面通過該保護框241之該開口245超過該保護框241之該第二面247(即,該針尖面高於該保護框241之該第二面247),進而可藉由該等彈簧針230電性接觸位在該下母板214之探針卡上之相對應的接觸墊以形成電氣迴路,進而使該探針卡與該探針卡檢測設備20產生連結,從而能檢測該探針卡是否有異常。應當注意的是,為了避免影響探針卡的量測品質,
該保護裝置240係選用絕緣材料製成。較佳地,該絕緣材料為工程塑膠。
綜上所述,本創作藉由在測試塔座之本體上裝設一保護裝置,以保護彈簧針裸露於測試塔座之外的部分,故可藉由保護裝置保護彈簧針的側邊,進而避免彈簧針因受到側向撞擊而彎曲變形。
雖然本創作已用較佳實施例揭露如上,然其並非用以限定本創作,本創作所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本創作之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
220‧‧‧測試塔座
222‧‧‧本體
230‧‧‧彈簧針
240‧‧‧保護裝置
241‧‧‧保護框
242‧‧‧伸縮式連接件
245‧‧‧開口
A-A‧‧‧截線
Claims (12)
- 一種保護裝置,適用於一探針卡檢測設備,該探針卡檢測設備包含一母板組件、複數個彈簧針和一用於與該複數個彈簧針組裝且設置在該母板組件上之測試塔座,該保護裝置包含一保護框和至少一伸縮式連接件,其中該保護框藉由該至少一伸縮式連接件連接在該探針卡檢測設備之該測試塔座上,且該保護框圍繞該複數個彈簧針。
- 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置,其中該伸縮式連接件之一部分設置在該測試塔座之一對應的開孔內,包含一伸縮桿和一彈性件,其中該彈性件之一端固定連接在該測試塔座之該開孔內,且另一端與該伸縮桿固定連接。
- 如申請專利範圍第2項所述之保護裝置,其中該伸縮桿之外側壁與該測試塔座之該開孔之內側壁結構互補,且該伸縮桿之該外側壁和該開孔之該內側壁之間不具有間隙。
- 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置,其中該保護框包含一開口、一第一面和相對該第一面之第二面,其中當該至少一伸縮式連接件於初始狀態時,該保護框之該第一面與該測試塔座之表面保持相距一距離,且該複數個彈簧針之針尖位在該保護框內,使得該複數個彈簧針組成之針尖面低於或等於該保護框之該第二面;以及其中當該至少一伸縮式連接件於壓縮狀態時,該保護框之該第一面與該測試塔座之該表面之間的該距離縮小,且該複數個彈簧針之該針尖面通過該保護框之該開口以高於該保護框之該第二面。
- 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置,其中該保護裝置由絕緣材料製 成。
- 如申請專利範圍第5項所述之保護裝置,其中該絕緣材料包含工程塑膠。
- 一種保護裝置,適用於一探針卡檢測設備,該探針卡檢測設備包含一測試塔座,該測試塔座包含:一本體,具有複數個插槽,用於與複數個彈簧針組裝,其中該保護裝置包含一保護框和至少一伸縮式連接件,其中該保護框藉由該至少一伸縮式連接件連接在該測試塔座之該本體上,且該保護框圍繞該複數個彈簧針。
- 如申請專利範圍第7項所述之保護裝置,其中該伸縮式連接件之一部分設置在該本體之一對應的開孔內,包含一伸縮桿和一彈性件,其中該彈性件之一端固定連接在該本體之該開孔內,且另一端與該伸縮桿固定連接。
- 如申請專利範圍第8項所述之保護裝置,其中該伸縮桿之外側壁與該本體之該開孔之內側壁結構互補,且該伸縮桿之該外側壁和該開孔之該內側壁之間不具有間隙。
- 如申請專利範圍第7項所述之保護裝置,其中該保護框包含一開口、一第一面和相對該第一面之第二面,其中當該至少一伸縮式連接件於初始狀態時,該保護框之該第一面與該本體之表面保持相距一距離,且該複數個彈簧針之針尖位在該保護框內,使得該複數個彈簧針組成之針尖面低於或等於該保護框之該第二面;以及其中當該至少一伸縮式連接件於壓縮狀態時,該保護框之該第一面與該測試塔座之該表面之間的該距離縮小,且該複數個彈簧針之該針尖面通過該保護框之該開口以高於該保護框之該第二面。
- 如申請專利範圍第7項所述之保護裝置,其中該保護裝置由絕緣材料製成。
- 如申請專利範圍第11項所述之保護裝置,其中該絕緣材料包含工程塑膠。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW105219194U TWM541007U (zh) | 2016-12-16 | 2016-12-16 | 探針卡檢測設備的保護裝置 |
| CN201720122703.0U CN206479628U (zh) | 2016-12-16 | 2017-02-10 | 探针卡检测设备的保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW105219194U TWM541007U (zh) | 2016-12-16 | 2016-12-16 | 探針卡檢測設備的保護裝置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM541007U true TWM541007U (zh) | 2017-05-01 |
Family
ID=59370294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW105219194U TWM541007U (zh) | 2016-12-16 | 2016-12-16 | 探針卡檢測設備的保護裝置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206479628U (zh) |
| TW (1) | TWM541007U (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN120446849B (zh) * | 2025-07-09 | 2025-12-26 | 上海道格特科技有限公司 | 探针性能测试方法 |
-
2016
- 2016-12-16 TW TW105219194U patent/TWM541007U/zh not_active IP Right Cessation
-
2017
- 2017-02-10 CN CN201720122703.0U patent/CN206479628U/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN206479628U (zh) | 2017-09-08 |
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