TWM530885U - 注氣式鼓風機 - Google Patents

Description

注氣式鼓風機

本新型涉及鼓風機的結構，特別是有關於一種注氣式鼓風機。

鼓風機是一種利用電機驅動泵室內之扇葉旋轉，進而產生抽吸氣流的機具。一般而言，鼓風機已被廣泛應用於有需求產生強制對流氣體的送風或抽氣設備中。

進一步的說，鼓風機的泵室是由一器殼形成，該器殼具有一入風口及一排風口，憑藉鼓風機所附掛的電機(或稱馬達)或外部的動力源，驅動扇葉於泵室內轉動，以便於自入風口強制擷取外界大氣中或抽氣設備內的氣體進入泵室，並且經由運轉中的扇葉將泵室內的氣體強壓推送至排風口而排出泵室，進而強制供應送風設備或外界所需氣體，以達強制產生對流氣體的配置目的。

由上述可知，鼓風機的扇葉於運轉時，會於入風口至排風口之間的泵室內形成一氣體增壓流道，用以運送增壓氣體至排風口；且知，泵室內介於扇葉的背後及其鄰近驅動軸軸接部位的較窄小空間(以下簡稱壓降縫隙)內，因其相對偏離了入風口至排風口之間的氣體增壓流道，因而容易形成壓降，乃至於該壓降縫隙中特別容易囤積該氣體中所挾帶的灰塵或污垢，而必須經常拆洗或保養鼓風機，以排除該壓降縫隙中的灰塵或污垢。

上述氣體，一般包含有大氣中的空氣，或工業設備中特殊的製程氣體，其全依鼓風機的裝配場所或鼓風機裝 配的設備用途而定。

由於一般鼓風機大多採用金屬材料製成，且基於鼓風機所運送氣體種類的不同，特別是當該氣體為具有酸、鹼侵蝕性的氣體時，上述壓降縫隙中所囤積的灰塵或污垢也具有侵蝕性或毒性而影響扇葉、傳動軸、泵室內壁等構件的使用壽命。

舉例而言，陳如半導體製程設備的後段水洗製程(scrubber)中，必須於該水洗製程設備的反應腔室內形成負壓，而讓製程廢氣順利通過水洗，並且抽離至該反應腔室外，因此該水洗製程設備上搭載有抽排氣體用的鼓風機，使該反應腔室內產生負壓，而讓所述製程廢氣能順利通過水洗並且抽離至該反應腔室外。然而，由於該製程廢氣在通過水洗過程中會產生酸性或鹼性的粉塵與水氣，這些酸性或鹼性的粉塵與水氣非常容易囤積於鼓風機的泵室內，特別是泵室的上述壓降縫隙內，因而造成扇葉、傳動軸、泵室內壁等構件的腐蝕，乃至於影響鼓風機的使用壽命。

有鑑於此，本新型之一目的，旨在改善傳統鼓風機之泵室的壓降縫隙內較容易囤積塵垢的問題。

為了解決上述問題，本新型提供一種注氣式鼓風機，包括：一器殼，框圍形成一泵室，該器殼的周邊還分別形成與泵室相連通的一入風口、一排風口及一軸孔；一扇葉，可轉動式的配置於該泵室內，該入風口、扇葉及排風口之間形成一位於泵室內的增壓流道而相互連通；其中，該扇葉與泵室的內壁之間至少框圍形成一連通該增壓流道的壓降縫隙，該器殼內並形成一連通該壓降縫隙的注氣通道，該注氣通道經由軸孔連通該壓降縫隙。

在進一步實施中，本新型還包括：該扇葉軸接一驅動軸，該驅動軸上固設一軸套， 該驅動軸經由軸套而樞接於該軸孔，該壓降縫隙包含形成於軸孔的孔壁、軸套的外壁、泵室的內壁以及扇葉的背面所框圍的空間。

所述泵室的內壁包含一盤狀內壁，該盤狀內壁與該扇葉的背面之間經由該壓降縫隙而相互間隔對應。

其中所述泵室的內壁還包含形成於盤狀內壁之周邊的一環狀內壁，該環狀內壁與扇葉之間保有一環狀間隙，該環狀間隙並連通於該壓降縫隙與排風口之間。

該注氣通道經由軸孔連通該壓降縫隙。

該盤狀內壁為固定於泵室內之一隔板的外壁，該注氣通道係由器殼的殼壁與隔板間隔形成。

該注氣通道內注入一除垢氣體，該除垢氣體並依序通過該壓降縫隙及增壓流道而自排風口排出。

該器殼的端側設有連通該注氣通道的一注氣接嘴，該注氣接嘴導引該氣體經由注氣通道進入該壓降縫隙。

其中該除垢氣體為空氣。

除上述以外，本新型之另一目的，在於進一步改善傳統鼓風機在運送半導體製程廢氣時易受酸、鹼侵蝕的問題。為了解決此問題，本新型提供之注氣式鼓風機，還包括：該除垢氣體為氮氣。再者，該器殼及扇葉皆由耐蝕性的塑材製成。

根據上述技術方案，本新型的技術效果在於：

1.可定時供應除垢氣體至壓降縫隙內吹除該縫隙所囤積的塵垢，減少鼓風機需拆洗或保養的次數，並且有助於延長鼓風機的耐久使用壽命。

2.當鼓風機所運送的氣體中含有酸、鹼水氣或雜垢時，能以氮氣作為除垢氣體，除了能噴吹壓降縫隙內所囤積的酸、鹼塵垢之外，還能憑藉氮氣不易與酸、鹼發生化學反應的特性，可有效的稀釋酸、鹼的濃度，改善壓降縫隙周 邊之泵室內壁、驅動軸、扇葉等機件易受酸、鹼侵蝕的問題，進而減少鼓風機需拆洗或保養的次數，並且有助於延長鼓風機的耐久使用壽命。

除此之外，有關本新型可供據以實施的相關技術細節，將在後續的實施方式及圖式中加以闡述。

10‧‧‧器殼

11‧‧‧外殼體

12‧‧‧內殼體

13‧‧‧入風口

14‧‧‧排風口

15‧‧‧軸孔

16‧‧‧隔板

20‧‧‧泵室

21‧‧‧盤狀內壁

22‧‧‧環狀內壁

23‧‧‧環狀間隙

30‧‧‧扇葉

31‧‧‧正面

32‧‧‧背面

33‧‧‧軸心通孔

40‧‧‧動力源

41‧‧‧驅動軸

42‧‧‧軸套

421‧‧‧導氣溝槽

43‧‧‧螺絲

44‧‧‧墊片

51‧‧‧增壓流道

52‧‧‧壓降縫隙

53‧‧‧注氣通道

531‧‧‧通道口

54‧‧‧注氣接嘴

圖1是本新型注氣式鼓風機的立體分解圖；圖2是圖1所示構件的配置剖示圖；圖3是圖2的局部放大剖示圖；圖4是圖3的局部放大剖示圖；圖5是驅動軸之另一實施例的構造示意圖；圖6是圖3中除垢氣體的流動路徑示意圖。。

首先，請合併參閱圖1至圖3，揭露本新型之一較佳實施例的態樣，說明本新型所提供注氣式鼓風機，包括一器殼10及一扇葉30；其中：該器殼10內形成有一圓柱狀的泵室20，該器殼10的周邊還分別形成與泵室20相連通的一入風口13、一排風口14及一軸孔15。進一步說，該器殼10包含一外殼體11及一內殼體12，該外殼體11為不銹鋼材質製成，該內殼體12為為耐酸、鹼侵蝕的塑膠材質製成，除了能提升器殼10的結構強度之外，還能改善器殼10易受酸、鹼侵蝕的問題。

該扇葉30是配置於該泵室20內，該扇葉30為為耐酸、鹼侵蝕的塑膠材質製成，該扇葉30包含由多片呈放射狀間隔排列的葉片構成。在本新型中，定義該扇葉30朝向入風口13方向的端面為扇葉30的正面31。

該扇葉30在實施上是經由軸孔15而軸接一驅動軸41，使該扇葉30呈可轉動式的配置於該泵室20內。進一 步的說，該驅動軸41經由軸孔15穿伸至泵室20外而軸接一動力源40，該動力源40在實施上可由電機(或稱馬達)構成，或由其他能提供旋轉力的裝置構成。更具體的說，該扇葉30的中心具有一軸心通孔33，該驅動軸41穿組於該軸心通孔33，該扇葉30經由驅動軸41一端之螺絲43及墊片44的鎖持，進而使扇葉30能被軸接於驅動軸41上而呈可轉動式的配置於該泵室20內。在本新型中，並定義該扇葉30朝向動力源40方向的端面為該扇葉30的背面32。

在具體實施上，該入風口13、扇葉30及排風口14之間形成有一位於泵室20內的增壓流道51，藉由該增壓流道51而使該入風口13、扇葉30及排風口14之間相互連通，藉由動力源40來驅動扇葉30於泵室20內轉動，以便於自入風口13強制擷取外界大氣中或抽氣設備內的氣體進入泵室20內的增壓流道51，並且經由運轉中的扇葉30將增壓流道51內的氣體強壓推送至排風口14而自泵室20排出，進而強制供應送風設備或外界所需氣體，以達強制產生對流氣體的配置目的。

由上述可知，泵室20內介於扇葉30的背面32及其鄰近驅動軸41軸接部位的較窄小空間內會形成壓降縫隙52，因壓降縫隙52已經相對偏離了入風口13至排風口14之間的增壓流道51，因而容易形成壓降的現象，也就是該壓降縫隙52內的氣體壓力小於增壓流道51內的氣體壓力，乃至於該壓降縫隙52中特別容易囤積該氣體中所挾帶的灰塵或污垢，而必須經常拆洗或保養鼓風機，以排除該壓降縫隙52中的灰塵或污垢。

請合併參閱圖2至圖4，說明該驅動軸41在實施上固設有一軸套42，該驅動軸41經由軸套42而樞接於該軸孔15。進一步的說，該壓降縫隙52包含形成於軸孔15的孔壁、軸套42的外壁、泵室20的內壁以及扇葉30的背面32 所框圍的空間。更進一步的說，該軸套42表面形成有一導氣溝槽421，該導氣溝槽421能導引除垢氣體順暢的通過壓降縫隙52。此外，藉由該軸套42使扇葉30的背面32與泵室20的內壁之間具有一固定的間隙，能避免扇葉30旋轉時與泵室20的內壁發生磨擦的現象。

請參閱圖5，說明該驅動軸41在實施上可設計為T字形，使扇葉30軸接於驅動軸41時，同樣能使扇葉30的背面32與泵室20的內壁之間具有固定的間隙，來避免扇葉30旋轉時與泵室20的內壁發生磨擦的現象。

請合併參閱圖3及圖4，說明該器殼10內形成有一連通該壓降縫隙52的注氣通道53，該注氣通道53在實施上是經由軸孔15連通該壓降縫隙52。進一步的說，該注氣通道53與壓降縫隙52連通處形成有一通道口531，該注氣通道53內的除垢氣體是通過該通道口531而進入壓降縫隙52中，該通道口531的截面積是小於該注氣通道53的截面積，藉此提升除垢氣體的流速，加強除垢氣體吹除塵垢時的效果。更具體的說，將高壓的除垢氣體注入該注氣通道53內，透過該除垢氣體依序通過該壓降縫隙52及增壓流道51而自排風口14排出，使壓降縫隙52內所囤積的酸、鹼塵垢被除垢氣體吹離壓降縫隙52，也就是說，該除垢氣體可將酸、鹼塵垢從壓降縫隙52內吹往增壓流道51內，而與增壓流道51內所運送的氣體一起至排氣口14排出。

在具體實施上，該除垢氣體除了能吹除該壓降縫隙52所囤積的塵垢之外，並藉由除垢氣體充滿壓降縫隙52內，使該壓降縫隙52內的氣體壓力大於增壓流道51內的氣體壓力，進而避免該氣體中所挾帶的灰塵或污垢因壓降現象而進入壓降縫隙52內，能減少鼓風機需拆洗或保養的次數，並且有助於延長鼓風機的耐久使用壽命。

該除垢氣體在實施上可為空氣或氮氣。其中當該 除垢氣體為氮氣時，由於氮氣不易與酸、鹼發生化學反應的特性，可有效的稀釋酸、鹼的濃度，改善壓降縫隙52周邊之泵室20內壁、驅動軸41、扇葉30等機件易受酸、鹼侵蝕的問題。

請參閱圖3，說明所述泵室20的內壁在實施上包含一盤狀內壁21，該軸孔15是形成於盤狀內壁21上，該盤狀內壁21與該扇葉30的背面32之間經由該壓降縫隙52而相互間隔對應。進一步的說，所述泵室20的內壁還包含形成於盤狀內壁21之周邊的一環狀內壁22，該環狀內壁22與扇葉30之間具有一環狀間隙23，該環狀間隙23並連通於該壓降縫隙52與排風口14之間。更具體的說，該環狀間隙23還與增壓流道51相連通，使該壓降縫隙52能經由環狀間隙23而與增壓流51道相連通，該環狀間隙23在實施上可視為增壓流道51的一部分。

請合併參閱圖2至圖4，說明該盤狀內壁21在實施上為固定於泵室20內之一隔板16的外壁，該注氣通道53係由器殼10的殼壁(也就是內殼體12)與隔板16間隔形成。進一步的說，該器殼10的端側設有連通該注氣通道53的一注氣接嘴54，該注氣接嘴54導引該除垢氣體經由注氣通道53進入該壓降縫隙52。此外，該除垢氣體可經由注氣接嘴54外接一閥控管路(未繪示)，藉由閥控管路控制除垢氣體的噴注時機，例如除垢氣體在鼓風機運作時是採取連續性噴注或間歇性噴注。

請參閱圖6，說明該除垢氣體經由注氣接嘴54的導引而通過注氣通道53進入該壓降縫隙52，藉由該除垢氣體吹除該壓降縫隙52所囤積的塵垢，使塵垢從壓降縫隙52內吹往增壓流道51內，而與增壓流道51內所運送的氣體一起至排氣口14排出。

以上實施例僅為表達了本新型的較佳實施方 式，但並不能因此而理解為對本新型專利範圍的限制。因此，本新型應以申請專利範圍中限定的請求項內容為準。

10‧‧‧器殼

11‧‧‧外殼體

12‧‧‧內殼體

13‧‧‧入風口

14‧‧‧排風口

15‧‧‧軸孔

16‧‧‧隔板

20‧‧‧泵室

30‧‧‧扇葉

31‧‧‧正面

32‧‧‧背面

33‧‧‧軸心通孔

40‧‧‧動力源

41‧‧‧驅動軸

42‧‧‧軸套

43‧‧‧螺絲

44‧‧‧墊片

51‧‧‧增壓流道

52‧‧‧壓降縫隙

53‧‧‧注氣通道

54‧‧‧注氣接嘴

Claims (10)

1. 一種注氣式鼓風機，包括：一器殼，框圍形成一泵室，該器殼的周邊還分別形成與泵室相連通的一入風口、一排風口及一軸孔；一扇葉，可轉動式的配置於該泵室內，該入風口、扇葉及排風口之間形成一位於泵室內的增壓流道而相互連通；其中，該扇葉與泵室的內壁之間至少框圍形成一連通該增壓流道的壓降縫隙，該器殼內並形成一連通該壓降縫隙的注氣通道，該注氣通道經由軸孔連通該壓降縫隙。
2. 如申請專利範圍第1項所述之注氣式鼓風機，其中該扇葉軸接一驅動軸，該驅動軸上固設一軸套，該驅動軸經由軸套而樞接於該軸孔，該壓降縫隙包含形成於軸孔的孔壁、軸套的外壁、泵室的內壁以及扇葉的背面所框圍的空間。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之注氣式鼓風機，其中所述泵室的內壁包含一盤狀內壁，該盤狀內壁與該扇葉的背面之間經由該壓降縫隙而相互間隔對應。
4. 如申請專利範圍第3項所述之注氣式鼓風機，其中所述泵室的內壁還包含形成於盤狀內壁之周邊的一環狀內壁，該環狀內壁與扇葉之間保有一環狀間隙，該環狀間隙並連通於該壓降縫隙與排風口之間。
5. 如申請專利範圍第1項所述之注氣式鼓風機，其中所述泵室的內壁包含一盤狀內壁，該盤狀內壁與該扇葉的背面之間經由該壓降縫隙而相互間隔對應，該盤狀內壁為固定於泵室內之一隔板的外壁，該注氣通道係由器殼的殼壁與隔板間隔形成。
6. 如申請專利範圍第1項所述之注氣式鼓風機，其中該注氣通道內注入一除垢氣體，該除垢氣體並依序通過該壓降縫 隙及增壓流道而自排風口排出。
7. 如申請專利範圍第6項所述之注氣式鼓風機，其中該該器殼的端側設有連通該注氣通道的一注氣接嘴，該注氣接嘴導引該除垢氣體經由注氣通道進入該壓降縫隙。
8. 如申請專利範圍第6項所述之注氣式鼓風機，其中該除垢氣體為空氣。
9. 如申請專利範圍第6項所述之注氣式鼓風機，其中該除垢氣體為氮氣，該注氣式鼓風機為半導體廢氣處理設備中的排氣用鼓風機。
10. 如申請專利範圍第9項所述之注氣式鼓風機，其中該器殼及扇葉皆由耐蝕性的塑材製成。