TWM519209U - 管路連接環結構 - Google Patents

Description

管路連接環結構

本創作係有關於密封環之技術領域，特別是一種管路連接環結構。

按，半導體製程中，於生產機具內必然會產生有害的工作氣體，而這些工作氣體必需透過管路，輸送到後端的氣體處理設備作妥善處理。而管路一般係由複數金屬管串接所構成。請參閱第7圖所示，該金屬管包含第一、二管體82、84配合夾具86夾持串接，為了避免第一、二管體82、84連接處存有間隙，都必需使用連接環9以填補第一、二管體82、84連接處之間隙。

傳統的連接環9之結構，大致具有一金屬環92以及圍繞於金屬環92外側面之O形環94。當第一、二管體82、84與連接環9被夾具86夾緊後，第一、二管體82、84未端之凸緣822、842(或稱法蘭)，會緊迫O形環94，透過O形環94以填補第一、二管體82、84連接處之間隙，進而防止管路內之工作氣體的洩漏。

然而，O形環94的材質通常為橡膠，但在現今的 半導體製程中，橡膠材質之O形環94具有極佳的止漏效果，但確容易受到工作氣體的腐蝕而受損，降低O形環的使用壽命。

為避免O形環94因腐蝕而受損，導致管路內的工作氣體外洩，所以O形環94必需定期進行更換。然而，短周期的更換；不但會造成相關成本的浪費，更替時尚必需配合生產機具的停機，導致產能損失、維修人員、物料成本等負擔。

另外，習知連接環9之金屬環92形態固定，無法提供適度的變形裕度，造成第一、二管體82、84末端之凸緣822、842(或稱法蘭)與金屬環9之間，形成較大的間隙A1、A2，而第一、二管體82、84內流通之工作氣體，則容易自該些間隙A1、A2滲透，並直接侵蝕O形環94。

有鑑於上述習知技藝之問題與缺失，本創作之一目的，即透過結構的設計，減低O形環與工作氣體的接觸量，延長O形環使用壽命與維修周期。

為達成上述目的，本創作提出一種管路連接環結構，包括同心且徑向疊套之一金屬環、一塑膠環及一O形環。該金屬環於徑向外側面具有一嵌槽，提供該塑膠環嵌設。該塑膠環具有一體形成之一環本體、一凸部、及一環槽。藉由上述構件之組成，實施於管路連接處，以填補管路連接處之間隙，避免管路內之工作氣體外洩。

100‧‧‧管路連接環

1‧‧‧金屬環

12‧‧‧嵌槽

122、124‧‧‧側壁

2‧‧‧塑膠環

22‧‧‧環本體

24‧‧‧凸部

26‧‧‧環槽

3‧‧‧O形環

82‧‧‧第一管體

822‧‧‧凸緣

84‧‧‧第二管體

842‧‧‧凸緣

86‧‧‧夾具

9‧‧‧連接環

92‧‧‧金屬環

94‧‧‧O形環

A1、A2‧‧‧間隙

第1圖 係本創作管路連接環立體示意圖。

第2圖 係本創作管路連接環實施例示意圖。

第3圖 係第2圖所示實施例局部剖面示意圖(一)。

第4圖 係第2圖所示實施例局部剖面示意圖(二)。

第5圖 係本創作管路連接環另一實施例示意圖。

第6圖 係本創作管路連接環另一實施例剖面示意圖。

第7圖 係習知連接環實施例剖面示意圖。

以下請參照相關圖式進一步說明本創作管路連接環結構實施例。為便於理解本創作實施方式，以下相同零件係採相同符號標示說明。

請參閱第1至4圖所示，該管路連接環100其包括同心且徑向疊套之一金屬環1、一塑膠環2及一O形環3。藉由上述構件組成之管路連接環100設置於管路連接處(例如第一、二管體82、84間)，以填補管路連接處之間隙，避免管路內之工作氣體外洩。

上述金屬環1，於徑向外側面具有一嵌槽12，提供塑膠環2嵌設，且嵌槽12兩側之側壁122、124，具有一適度之活動裕度，以改變該嵌槽12之大小。實施時，側壁122、124相對之端面，可為一斜面或一垂直面。

上述塑膠環2具有一體形成之一環本體22、一凸部24、一環槽26。所述環本體22係容置於金屬環1之嵌槽12中，環本體22軸向之兩端面，係配金屬環1側壁122、124之端面，可為一斜面或一垂直面。所述凸部24係形成於環本體22徑向外側面，並突出於金屬環1之嵌槽12外，其輪廓略小於塑膠環2。所述環槽26係沿該凸部24外環面形成，提供上述O形環3容置。

是以，上述即為本創作所提供一較佳實施例管路連接環各部構件及組裝方式之介紹，茲再將本創作之實施例作動特點介紹如下。

首先，管路中第一、二管體82、84之連接處，分別具有供夾具86夾銜之凸緣822、842(或稱法蘭)，該凸緣822、842對應之端面具有第一、二階級。其中，本創作之管路連接環100容置於第一、二管體82、84之凸緣822、842間，使塑膠環2之凸部24及O形環3容置於凸緣822、842端面之第一階級，而塑膠環2之環本體22與金屬環1則容置於該凸緣822、842端面之第二階級處。

上述實施方式中，塑膠環2的材料包含塑膠(如鐵氟龍，但本創作並不以此為限)，而第一、二管體82、84的材料包含(但不限)金屬鋁。由於塑膠和金屬的硬度不同，基於此硬度差異，於夾具86緊固第一、二管體82、84之凸緣822、842時，本創作之管路連接環100會分別在凸緣822、842端面 上形成複數道密封防護。

當金屬環1之兩側壁122、124受第一、二管體82、84之凸緣822、842推抵，分別朝塑膠環2之環本體22抵接，可使金屬環1兩側壁122、124外周緣與第一、二管體82、84其凸緣822、842端面(第二階級)形成第一道密封防護。

另外，第一、二管體82、84其凸緣822、842端面(第一階級)分別與塑膠環2之凸部24及O形環3兩側緊密抵接時，可分別形成第二、三道密封防護。

承上所述，藉由複數道密封防護之設計，於第一、二管體82、84連接處，妥適的形成密封效果。另外，藉由金屬環1、塑膠環2於第一、二管體82、84之凸緣822、842端面所形成之第一、二道密封防護，大幅降低工作氣體洩漏至O形環3的量，從而減緩O形環3的受工作氣體侵蝕的速度，以延長O形環3的壽命。

請參閱第5、6圖所示，係本創作管路連接環第二實施例；其中，金屬環1、一塑膠環2及一O形環3之結構與上述實施例相同，故不多作贅述。至於差異之處在於該O形環3之外徑面，進一步套銜一襯套4，透過襯套4保護並約束O形環3之變形量。

所述襯套4內徑面具有匹配O形環3輪廓之內環槽42，提供O形環3外周緣容置。

以上所述說明，僅為本創作的較佳實施方式而 已，意在明確本創作的特徵，並非用以限定本創作實施例的範圍，本技術領域內的一般技術人員根據本創作所作的均等變化，以及本領域內技術人員熟知的改變，仍應屬本創作涵蓋的範圍。

100‧‧‧管路連接環

1‧‧‧金屬環

2‧‧‧塑膠環

3‧‧‧O形環

Claims (4)

1. 一種管路連接環結構，包括同心且徑向疊套之一金屬環、一塑膠環及一O形環，其中：該金屬環，於徑向外側面具有一嵌槽，提供該塑膠環嵌設；該塑膠環，具有一體形成之一環本體、一凸部、及一環槽；該環本體，係容置於該嵌槽中；該凸部，係形成於該環本體徑向外側面，並突出於該嵌槽外，其輪廓略小於該環本體；以及該環槽，係形成於該凸部徑向外側面，提供該O形環容置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之管路連接環結構，其中該嵌槽兩側之側壁，具有一適度之活動裕度，以改變該嵌槽之大小。
3. 如申請專利範圍第2項所述之管路連接環結構，其中該環本體軸向之兩端面，依需求可為一斜面或一垂直面；而該嵌槽兩側之側壁，亦配匹形成一斜面或一垂直面。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項項所述之管路連接環結構，其中該O形環之外徑面，進一步套銜一襯套。