TWM507978U - 壓電泵 - Google Patents

Description

壓電泵

本新型創作是有關於一種壓電泵，且特別是有關於一種具有雙壓電模組的壓電泵。

壓電泵是一種新型的流體驅動器，其無需附加驅動電機，僅透過電陶瓷的逆壓電效應便能使壓電振子產生變形，再依據前述變形產生泵腔的容積變化以實現流體輸出，或者透過壓電振子產生波動來傳輸流體，因此壓電泵已逐漸取代傳統泵而廣泛地應用於電子、生醫、航太、汽車以及石化等產業。

一般來說，壓電泵是由壓電振子以及泵體所組成，其中當通電至壓電振子時，壓電振子會在電場作用下徑向壓縮，並於其內部產生拉應力而彎曲變形。當壓電振子正向彎曲時，泵體的腔室(以下稱泵腔)的容積便會增大，使得泵腔內的壓力減小，以令流體自入口流入泵腔。另一方面，當壓電振子向反向彎曲時，泵腔的容積減小，使得泵腔內的壓力增大，以令泵腔內的流體被擠壓而自出口排出。因此，如何在壓電振子的作動下使流體保持自入口流入泵腔，再從泵腔自出口排出的流動，而不會發生逆流， 甚至能夠提升流量，便成為當前亟待解決的問題之一。

本新型創作提供一種壓電泵，其可防止流體逆流以提高流體輸出的壓力。

本新型創作的一種壓電泵，包括一第一壓電模組、一第二壓電模組、一支撐體、一第一膜片及一第二膜片。第一壓電模組具有體積可變的一第一腔室。第二壓電模組與第一壓電模組相疊，且具有體積可變的一第二腔室。支撐體配置於第一壓電模組與第二壓電模組之間，且具有一第一流道、一第一貫孔及一第二流道。第一流道連通於一入氣口，且第二流道連通於一出氣口。第一膜片配置於第一壓電模組與支撐體之間，且具有一第一單向閥部及連通於第一腔室與第一貫孔的一通孔。第一流道透過第一單向閥部可選擇地密閉或連通於第一腔室。第二膜片配置於支撐體與第二壓電模組之間，且具有一第二單向閥部及一第三單向閥部。第一貫孔透過第二單向閥部可選擇地密閉或連通於第二腔室，且第二腔室透過第三單向閥部可選擇地密閉或連通於第二流道。當壓電泵啟動時，第一腔室與第二腔室的體積改變，而開啟或關閉第一單向閥部、第二單向閥部與第三單向閥部，以使一流體自入氣口流入，依序經過第一流道、第一腔室、第一貫孔、第二腔室、第二流道，並自出氣口離開。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一壓電模組包括 一第一隔板、一第一振動片、一第一密封板、一第一壓電元件、一蓋體及一第二密封板。第一隔板具有一第一凹槽。第一振動片設置於第一隔板上且覆蓋第一凹槽。第一凹槽凹陷於第一隔板的朝向第一振動片的一表面，且第一凹槽與第一振動片共同定義出第一腔室。第一密封板設置於第一振動片與第一隔板之間。第一壓電元件連接第一振動片。蓋體設置於第一振動片上且具有一第二凹槽，第二凹槽凹陷於蓋體的朝向第一壓電元件的一表面。第二密封板設置於第一振動片與蓋體之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的入氣口與出氣口分別穿過蓋體、第一密封板、第一振動片、第二密封板及第一隔板。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一隔板更包括連通於第一凹槽的一第一穿槽，支撐體更包括朝向第一隔板凸出的一第一凸出部，且第一凸出部伸入第一穿槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一隔板更包括連通於第一凹槽的一第二貫孔，第一貫孔、通孔與第二貫孔同軸，且第二單向閥部覆蓋第一貫孔。

在本新型創作的一實施例中，上述的第二壓電模組包括一座體、一第二振動片、一第二壓電元件、一第二隔板及一第三密封板。座體具有一第二穿槽。第二振動片設置於座體上且覆蓋第二穿槽。第二壓電元件連接第二振動片且位於第二穿槽內。第二隔板設置於第二振動片上且具有一第三凹槽，第三凹槽凹陷於第二隔板的朝向第二壓電元件的一表面，第三凹槽與第二振動片 共同定義出第二腔室。第三密封板設置於第二振動片與第二隔板之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的入氣口與該出氣口的其中之一穿過蓋體、第一密封板、第一振動片、第二密封板以及第一隔板，且入氣口與出氣口的另一個穿過座體、第二振動片、第三密封板以及第二隔板。

在本新型創作的一實施例中，上述的第二隔板更包括連通於第三凹槽的一第三穿槽，支撐體更包括朝向第二隔板凸出的一第二凸出部，且第二凸出部伸入第三穿槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的第二隔板更包括連通於第三凹槽的一第三貫孔，且第三單向閥部覆蓋於第三貫孔。

在本新型創作的一實施例中，上述的第二隔板更包括朝向支撐體凸出的一第三凸出部，第三凸出部伸入第二流道。

在本新型創作的一實施例中，上述的入氣口與出氣口配置於支撐體上。

在本新型創作的一實施例中，上述的支撐體包括連通於第一流道的一第四貫孔，且第一單向閥部覆蓋於第四貫孔。

基於上述，本新型創作的壓電泵透過相疊的第一壓電模組與第二壓電模組交替或是同時地作動而改變第一腔室與第二腔室的體積，連帶地開啟或關閉第一單向閥部、第二單向閥部與第三單向閥部，以引導流體自入氣口流入，依序經過第一流道、第一腔室、第一貫孔、第二腔室、第二流道，並自出氣口離開。上 述配置除了可達到防止逆流的效果之外，雙壓電模組的設計更可使壓電泵內的流體的流量與壓力增加。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

F‧‧‧流體

10、20、30‧‧‧壓電泵

12‧‧‧入氣口

14‧‧‧出氣口

100‧‧‧第一壓電模組

110‧‧‧第一腔室

120‧‧‧第一隔板

122‧‧‧第一凹槽

124‧‧‧第一穿槽

126‧‧‧第二貫孔

130‧‧‧第一振動片

140‧‧‧第一密封板

150‧‧‧第一壓電元件

160‧‧‧蓋體

162‧‧‧第二凹槽

170‧‧‧第二密封板

200‧‧‧第二壓電模組

210‧‧‧第二腔室

220‧‧‧座體

222‧‧‧第二穿槽

230‧‧‧第二振動片

240‧‧‧第二壓電元件

250‧‧‧第二隔板

252‧‧‧第三凹槽

254‧‧‧第三穿槽

256‧‧‧第三貫孔

258‧‧‧第三凸出部

260‧‧‧第三密封板

300‧‧‧支撐體

310‧‧‧第一流道

320‧‧‧第一貫孔

330‧‧‧第二流道

340‧‧‧第一凸出部

350‧‧‧第二凸出部

360‧‧‧第四貫孔

400‧‧‧第一膜片

410‧‧‧第一單向閥部

420‧‧‧通孔

500‧‧‧第二膜片

510‧‧‧第二單向閥部

520‧‧‧第三單向閥部

圖1是本新型創作一實施例的壓電泵的截面示意圖。

圖2是圖1的壓電泵的爆炸示意圖。

圖3是圖2的壓電泵於另一視角的爆炸示意圖。

圖4與圖5是圖1的壓電泵的作動時的截面示意圖。

圖6是本新型創作另一實施例的壓電泵的截面示意圖。

圖7是本新型創作另一實施例的壓電泵的截面示意圖。

圖1是本新型創作一實施例的壓電泵的截面示意圖。圖2是圖1的壓電泵的爆炸示意圖。圖3是圖2的壓電泵於另一視角的爆炸示意圖。請參閱圖1至圖3，本實施例的壓電泵10包括一第一壓電模組100、一第二壓電模組200、一支撐體300、一第一膜片400及一第二膜片500。

第一壓電模組100具有一第一隔板120、一第一振動片130、一第一密封板140、一第一壓電元件150、一蓋體160及一 第二密封板170。第一隔板120具有一第一凹槽122、連通於第一凹槽122的一第一穿槽124與連通於第一凹槽122的一第二貫孔126。第一振動片130設置於第一隔板120上，第一凹槽122凹陷於第一隔板120的朝向第一振動片130的一表面。第一凹槽122與第一振動片130共同定義出體積可變的一第一腔室110。在本實施例中，第一隔板120的材質可為塑膠或不鏽鋼，且第一振動片130的材質可為銅或不鏽鋼等金屬或合金，但第一隔板120與第一振動片130的材質並不以此為限制。

第一壓電元件150連接第一振動片130。蓋體160設置於第一振動片130上且具有一第二凹槽162，第二凹槽162凹陷於蓋體160的朝向第一壓電元件150的一表面。第一振動片130與第一壓電元件150適於在第一凹槽122與第二凹槽162之間振動。本實施例中，第一壓電元件150與第二穿槽162實質上呈圓形或橢圓形，第一壓電元件150與第二穿槽162共軸，且第一壓電元件150的周緣與第二穿槽162的內壁面會保有固定的間距，以使第一壓電元件150振動時不會與第二穿槽162的內壁面干涉。蓋體160的材質可為塑膠、不鏽鋼或其他適當的材質。

第一密封板140設置於第一振動片130與第一隔板120之間，且第二密封板170設置於第一振動片130與蓋體160之間。本實施例中，第一密封板140與第二密封板170的材質例如是橡膠，以使第一隔板120的第一凹槽122周圍與第一振動片130可透過第一密封板140而緊密地接合在一起，且第一振動片130與 蓋體160的第二凹槽162周圍可透過第二密封板170而緊密地接合在一起。

如圖1所示，第二壓電模組200與第一壓電模組100相疊。第二壓電模組200包括一座體220、一第二振動片230、一第二壓電元件240、一第二隔板250及一第二密封板260。座體220具有一第二穿槽222。第二振動片230設置於座體220上。在本實施例中，座體的220材質可為塑膠或不鏽鋼，且第二振動片230的材質可為銅或不鏽鋼等金屬或合金，但座體220與第二振動片230的材質並不以此為限制。

第二壓電元件240連接第二振動片230且位於第二穿槽222內。第二壓電元件240與第二穿槽222實質上呈圓形或橢圓形，第二壓電元件240與第二穿槽222共軸，且第二壓電元件240的周緣與第二穿槽222的內壁面會保有固定的間距，以使第二壓電元件240振動時不會與第二穿槽222的內壁面干涉。

第二隔板250設置於第二振動片230上，第二隔板250具有一第三凹槽252、一第三穿槽254、一第三貫孔256及一第三凸出部258。第三凹槽254凹陷於第二隔板250的朝向第二壓電元件240的一表面。在本實施例中，第三凹槽254與第二振動片230共同定義出體積可變的一第二腔室210。第三穿槽254與第三貫孔256連通於第三凹槽252，且第三凸出部258朝向支撐體300凸出。

第三密封板260設置於第二振動片230與第二隔板250之間。本實施例中，第三密封板260的材質例如是橡膠，以使第 二隔板250的第三凹槽252周圍與第二振動片230可透過第三密封板260而緊密地接合在一起。

如圖1所示，支撐體300配置於第一壓電模組100與第二壓電模組200之間。支撐體300包括一第一流道310、一第一貫孔320、一第二流道330、一第一凸出部340、一第二凸出部350及一第四貫孔360。在本實施例中，一入氣口12與一出氣口14分別穿過蓋體160、第一密封板140、第一振動片130、第二密封板170、第一隔板120及支撐體300。第一流道310連通於入氣口12，且第二流道3230連通於出氣口14。第一凸出部340朝向第一隔板120凸出，且伸入第一穿槽124。第二凸出部350朝向第二隔板250凸出，且伸入第三穿槽254。第四貫孔360連通於第一流道310。第二隔板250的第三凸出部258朝向支撐體300凸出，且伸入第二流道330。在本實施例中，支撐體300的材質可包括塑膠、不鏽鋼或其他適當的材質。

第一膜片400配置於第一壓電模組100與支撐體300之間，且具有一第一單向閥部410及連通於第一腔室110與第一貫孔320的一通孔420。第一單向閥部410可掀離地覆蓋於第四貫孔360，且第一流道310透過第一單向閥部410可選擇地密閉或連通於第一腔室110。

第二膜片500配置於支撐體300與第二壓電模組200之間，且具有一第二單向閥部510及一第三單向閥部520。支撐體300的第一貫孔320、第一膜片400的通孔420與第二隔板120的 第二貫孔126同軸。第二單向閥部510可掀離地覆蓋第一貫孔320，以使第一貫孔320透過第二單向閥部510可選擇地密閉或連通於第二腔室210。第三單向閥部520可掀離地覆蓋於第三貫孔256，以使第二腔室210透過第三單向閥部520可選擇地密閉或連通於第二流道330。在本實施例中，第一膜片400與第二膜片500的材質可包括橡膠，較佳地是，橡膠以乙烯-丙烯-二烯烴共聚物(EPDM)為主成分，具有可撓曲的特性，但本新型創作不限於此。

在本實施例中，第一壓電元件150與第二壓電元件240例如是壓電陶瓷所構成，其相對的兩表面上分別設置有電極(圖未示)。因此，當壓電泵10啟動時，前述電極(圖未示)會通電至第一壓電元件150與第二壓電元件240，而使得第一壓電元件150與第二壓電元件240上下往復振動。由於第一壓電元件150與第二壓電元件240分別連接第一振動片130與第二振動片230，因此第一振動片130與第二振動片230便會隨之彎曲變形，而改變第一腔室110與第二腔室210的體積，藉此引導流體F在壓電泵10中流動。下面將對此進行詳細地介紹。

圖4與圖5是圖1的壓電泵的作動時的截面示意圖。請先參閱圖4，第一振動片130與第二振動片230分別向上彎曲變形，此時，第一腔室110的體積增加，第一腔室110內的壓力會隨之減小。據此，在外界的壓力大於第一腔室110內的壓力的情況下，外界的流體F(如，空氣)便會自入氣口12流入第一流道310，並推開覆蓋於第四貫孔360上的第一單向閥部410，以流入第一穿 槽124、第一腔室110、第二貫孔126、通孔420以及第一貫孔320中。

並且，由於第二腔室210的體積減少，第二腔室210內的壓力隨之增加，在外界的壓力小於第二腔室210內的壓力的情況下，原本位於第三穿槽254、第二腔室210與第三貫孔256的流體F會推開覆蓋於第三貫孔256上的第三單向閥部520，而流至第二流道330並且自出氣口14排出。

需說明的是，在此狀況下，透過第一壓電模組100與第二壓電模組200同時作動的加乘效果，第二貫孔126與第三穿槽254之間會被第二單向閥部510更緊密地密閉，因此，第一腔體110的流體F並無法通過第二單向閥部510流入第二腔室210。

接著，請參考圖5，第一振動片130與第二振動片230分別向下彎曲變形，此時，第一腔室110的體積減少，第一腔室110內的壓力會隨之增加。並且，第二腔室210的體積增加，第二腔室210內的壓力隨之減少。透過第一壓電模組100與第二壓電模組200同時作動的加乘效果，位於第一穿槽124、第一腔室110、第二貫孔126、通孔410以及第一貫孔320的流體F會推開覆蓋於第一貫孔320上的第二單向閥部510，以流入第三穿槽254、第二腔室210與第三貫孔256。

此時，第四貫孔360與第一穿槽124之間被第一單向閥部410密閉，且第三貫孔256與第二流道330之間被第三單向閥部520密閉。因此，位在第一流道310的流體F並無法通過第一 單向閥部410流入第一腔室110，且位在第二腔室210的流體F也無法通過第三單向閥部520流入第二流道330。

在壓電泵10持續作動下，第一壓電元件150與第二壓電元件240會帶動第一振動片130與第二振動片230往復彎曲變形，使得第一腔室110與第二腔室210的體積在增加與縮減之間反覆循環。本實施例的壓電泵10在此反覆循環過程中，透過上述第一單向閥部410、第二單向閥部510與第三單向閥部520的作動原理，流體會依循「入氣口12→第一流道310→第一腔室110→第一貫孔320→第二腔室210→第二流道330→出氣口14」的流動方向流動，故不會因流體F逆流而在壓電泵10的內部空間發生流體F的流向混亂的狀況，藉此提高流體F自出氣口14輸出的壓力。

值得一提的是，圖4與圖5僅是舉出其中一種第一壓電模組100與第二壓電模組200的作動方式，在其他實施例中，第一振動片130與第二振動片230也可以以相反的方向作動，或者，第一振動片130與第二振動片230也可以不是同時作動，而是採輪流作動的方式。第一振動片130與第二振動片230的振動方向與時序並不以上述為限制。設計者可視需求調整第一振動片130與第二振動片230的振動方向與時序，而達到使壓電泵10內的單向閥部更緊密地貼附以維持氣密，或是使得壓電泵10內的流體壓力疊加等諸多目的。

圖6是本新型創作另一實施例的壓電泵的截面示意圖。圖7是本新型創作另一實施例的壓電泵的截面示意圖。在圖6與 圖7中，壓電泵20、30中的內部元件延續前一實施例的元件符號。請參閱圖6與圖7，圖6與圖7的壓電泵20、30與圖1的壓電泵10的主要差異在於入氣口12的位置。在圖1中，入氣口12與出氣口14是位在壓電泵10的同一側，在圖6與圖7中，入氣口12與出氣口14是位在壓電泵20的相對兩側。

詳細地說，入氣口12穿過座體220、第二振動片230、第三密封板260、第二隔板250及第二膜片500以連接到第一流道310，而出氣口14則是與前一實施例相同地穿過蓋體160、第一密封板140、第一振動片130、第二密封板170以及第一隔板120以連接到第二流道330。當然，在一未繪示的實施例中，也可以是，出氣口14穿過座體220、第二振動片230、第三密封板260、第二隔板250及第二膜片500以連接到第二流道330，而入氣口12是與前一實施例相同地穿過蓋體160、第一密封板140、第一振動片130、第二密封板170以及第一隔板120以連接到第一流道310。

另外，在圖7中，入氣口12與出氣口14則是分別配置於支撐體300的相對兩側上，以分別連接到第一流道310與第二流道330。當然，在其他實施例中，入氣口12與出氣口14也可以配置在壓電泵10、20、30的非相對的兩側，壓電泵10、20、30的入氣口12與出氣口14的位置並不受限制，設計者可視擺放的空間來設計入氣口12與出氣口14的位置。

綜上所述，本新型創作的壓電泵透過相疊的第一壓電模組與第二壓電模組交替或是同時地作動而改變第一腔室與第二腔 室的體積，連帶地開啟或關閉第一單向閥部、第二單向閥部與第三單向閥部，以引導流體自入氣口流入，依序經過第一流道、第一腔室、第一貫孔、第二腔室、第二流道，並自出氣口離開。上述配置除了可達到防止逆流的效果之外，雙壓電模組的設計更可使壓電泵內的流體的流量與壓力增加。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧壓電泵

12‧‧‧入氣口

14‧‧‧出氣口

100‧‧‧第一壓電模組

110‧‧‧第一腔室

120‧‧‧第一隔板

122‧‧‧第一凹槽

124‧‧‧第一穿槽

126‧‧‧第二貫孔

130‧‧‧第一振動片

140‧‧‧第一密封板

150‧‧‧第一壓電元件

160‧‧‧蓋體

162‧‧‧第二凹槽

170‧‧‧第二密封板

200‧‧‧第二壓電模組

210‧‧‧第二腔室

220‧‧‧座體

222‧‧‧第二穿槽

230‧‧‧第二振動片

240‧‧‧第二壓電元件

250‧‧‧第二隔板

252‧‧‧第三凹槽

254‧‧‧第三穿槽

256‧‧‧第三貫孔

258‧‧‧第三凸出部

260‧‧‧第三密封板

300‧‧‧支撐體

310‧‧‧第一流道

320‧‧‧第一貫孔

330‧‧‧第二流道

340‧‧‧第一凸出部

350‧‧‧第二凸出部

360‧‧‧第四貫孔

400‧‧‧第一膜片

410‧‧‧第一單向閥部

420‧‧‧通孔

500‧‧‧第二膜片

510‧‧‧第二單向閥部

520‧‧‧第三單向閥部

Claims (12)

1. 一種壓電泵，包括：一第一壓電模組，具有體積可變的一第一腔室；一第二壓電模組，與該第一壓電模組相疊，且具有體積可變的一第二腔室；一支撐體，配置於該第一壓電模組與該第二壓電模組之間，且具有一第一流道、一第一貫孔及一第二流道，其中該第一流道連通於一入氣口，且該第二流道連通於一出氣口；一第一膜片，配置於該第一壓電模組與該支撐體之間，且具有一第一單向閥部及連通於該第一腔室與該第一貫孔的一通孔，其中該第一流道透過該第一單向閥部可選擇地密閉或連通於該第一腔室；以及一第二膜片，配置於該支撐體與該第二壓電模組之間，且具有一第二單向閥部及一第三單向閥部，其中該第一貫孔透過該第二單向閥部可選擇地密閉或連通於該第二腔室，且該第二腔室透過該第三單向閥部可選擇地密閉或連通於該第二流道，其中：當該壓電泵啟動時，該第一腔室與該第二腔室的體積改變，而開啟或關閉該第一單向閥部、該第二單向閥部與該第三單向閥部，以使一流體自該入氣口流入，依序經過該第一流道、該第一腔室、該第一貫孔、該第二腔室、該第二流道，並自該出氣口離開。
2. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該第一壓電模 組包括：一第一隔板，具有一第一凹槽；一第一振動片，設置於該第一隔板上且覆蓋該第一凹槽，其中該第一凹槽凹陷於該第一隔板的朝向該第一振動片的一表面，且該第一凹槽與該第一振動片共同定義出該第一腔室；一第一密封板，設置於該第一振動片與該第一隔板之間；一第一壓電元件，連接該第一振動片；一蓋體，設置於該第一振動片上且具有一第二凹槽，該第二凹槽凹陷於該蓋體的朝向該第一壓電元件的一表面；以及一第二密封板，設置於該第一振動片與該蓋體之間。
3. 如申請專利範圍第2項所述的壓電泵，其中該入氣口與該出氣口分別穿過該蓋體、該第一密封板、該第一振動片、該第二密封板及該第一隔板。
4. 如申請專利範圍第2項所述的壓電泵，其中該第一隔板更包括連通於該第一凹槽的一第一穿槽，該支撐體更包括朝向該第一隔板凸出的一第一凸出部，且該第一凸出部伸入該第一穿槽。
5. 如申請專利範圍第2項所述的壓電泵，其中該第一隔板更包括連通於該第一凹槽的一第二貫孔，該第一貫孔、該通孔與該第二貫孔同軸，且該第二單向閥部覆蓋該第一貫孔。
6. 如申請專利範圍第2項所述的壓電泵，其中該第二壓電模組包括：一座體，具有一第二穿槽； 一第二振動片，設置於該座體上且覆蓋該第二穿槽；一第二壓電元件，連接該第二振動片且位於該第二穿槽內；一第二隔板，設置於該第二振動片上且具有一第三凹槽，該第三凹槽凹陷於該第二隔板的朝向該第二壓電元件的一表面，該第三凹槽與該第二振動片共同定義出該第二腔室；以及一第三密封板，設置於該第二振動片與該第二隔板之間。
7. 如申請專利範圍第6項所述的壓電泵，其中該入氣口與該出氣口的其中之一穿過該蓋體、該第一密封板、該第一振動片、該第二密封板以及該第一隔板，且該入氣口與該出氣口的另一個穿過該座體、該第二振動片、該第三密封板以及該第二隔板。
8. 如申請專利範圍第6項所述的壓電泵，其中該第二隔板更包括連通於該第三凹槽的一第三穿槽，該支撐體更包括朝向該第二隔板凸出的一第二凸出部，且該第二凸出部伸入該第三穿槽。
9. 如申請專利範圍第6項所述的壓電泵，其中該第二隔板更包括連通於該第三凹槽的一第三貫孔，且該第三單向閥部覆蓋於該第三貫孔。
10. 如申請專利範圍第6項所述的壓電泵，其中該第二隔板更包括朝向該支撐體凸出的一第三凸出部，該第三凸出部伸入該第二流道。
11. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該入氣口與該出氣口配置於該支撐體上。
12. 如申請專利範圍第1項所述的壓電泵，其中該支撐體包 括連通於該第一流道的一第四貫孔，且該第一單向閥部覆蓋於該第四貫孔。