TWM479579U - 基板吸附載台 - Google Patents

Description

基板吸附載台

本創作乃是關於一種基板吸附載台，特別是一種可以依據基板的長寬大小，而選擇性關閉X、Y方向的吸附孔的基板吸附載台。

在印刷電路板的製程中，必須將印刷電路板放置於吸附載台上，透過吸附載台上的各吸附孔，所產生的吸附力，使電路板固定於吸附載台上，藉以便於進行後續相關製程。然，在實務應用中，上述的電路板吸附載台，仍存在著諸多問題。其中又以吸附載台無法依據不同大小的電路板，而對應啟閉吸附孔為最大的問題；因為，如果印刷電路板未充分被吸附於吸附載台，會導致印刷電路板在製程中產生破裂、損壞或無法對準的問題，如此一來將造成印刷電路板的製程良率下降，並且影響產品的品質。因此，如何使電路板吸附載台可以依據電路板大小，而關閉非電路板對應的吸附孔為當前業界急需解決之問題。緣此，本創作人有感上述問題之可改善，乃潛心研究並配合學理之運用，而提出一種設計合理且有效改善上述問題之本創作。

本創作之主要目的在於提供一種基板吸附載台，其可以依據基板的長寬大小，而選擇性地關閉至少一列X方向的吸附孔及至少一排Y方向的吸附孔，藉以可解決習知電路板吸附載台，無法有效地依據電路板大小，而關閉其他非對應於電路板的吸附孔，進而造成吸附效果不佳的問題。

為了實現上述目的，本創作提供一種基板吸附載台，其包含：一載台本體、一第一阻氣模組及數個第二阻氣模組。載台本體具有數個吸附孔。第一阻氣模組設置於載台本體的一側，以可選擇地關閉至少一列X方向的該些吸附孔。數個第二阻氣模組設置於載台本體的另一側，各第二阻氣模組可選擇地關閉至少一排Y方向的該些吸附孔。

為實現上述目的，本創作再提供一種基板吸附載台，其包含：一載台本體、一第一阻氣模組及一第二阻氣模組。載台本體具有數個吸附孔。第一阻氣模組設置於載台本體的一側，以可選擇地關閉至少一列X方向的該些吸附孔。第二阻氣模組設置於載台本體的另一側，以可選擇地關閉至少一排Y方向的該些吸附孔。

本創作的有益效果為：藉由可選擇性移動以關閉至少一列X方向吸附孔的第一阻氣模組，及可選擇性移動以關閉至少一排Y方向吸附孔的第二阻氣模組，以達到可依據基板長寬大小，關閉未被基板遮蔽的吸附孔，而僅保留被基板遮蔽的吸附孔，進而可使有效提升吸附基板的能力。

為了能更進一步瞭解本創作為達成既定目的所採取之技術、方法及功效，請參閱以下有關本創作明之詳細說明、圖式，相信本創作之目的、特徵與特點，當可由此得以深入且具體之瞭解，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

1、1’‧‧‧基板吸附載台

10、10’‧‧‧載台本體

101、101’‧‧‧吸附孔

11、11’‧‧‧第一氣道

111‧‧‧第一氣孔

12、12’‧‧‧第二氣道

121‧‧‧第二氣孔

122‧‧‧連通孔

13‧‧‧擋板

20、20’‧‧‧第一阻氣模組

21、21’‧‧‧主氣道

211、211’‧‧‧主氣孔

212、212’‧‧‧抽氣孔

22、22’‧‧‧阻氣單元

23、23’‧‧‧操作單元

30‧‧‧第二阻氣模組

301‧‧‧操作部

31‧‧‧軸體

32‧‧‧阻隔單元

33‧‧‧連通空間

40、40’‧‧‧基板

50‧‧‧第二阻氣模組

51‧‧‧次氣道

511‧‧‧次氣孔

512‧‧‧抽氣孔

52‧‧‧阻氣單元

53‧‧‧操作單元

圖1為本創作的基板吸附載台的示意圖。

圖2為本創作的基板吸附載台的第一實施例的上視透視圖。

圖3為本創作的基板吸附載台的第一實施例的第一阻氣模組的剖面示意圖。

圖4為本創作的基板吸附載台的第一實施例的第二阻氣模組及載 台本體的剖面示意圖。

圖5為本創作的基板吸附載台的第一實施例的第二阻氣模組關閉一排Y方向吸附孔的剖視示意圖。

圖6為本創作的基板吸附載台的第一實施例的第二阻氣模組導通一排Y方向吸附孔的剖面示意圖。

圖7為本創作的基板吸附載台的第一實施例的第一阻氣模組及第二阻氣模組相互連通的剖面示意圖。

圖8為本創作的基板吸附載台的第二實施例的示意圖。

圖9為本創作的基板吸附載台的第二實施例的上視透視圖。

請參閱圖1，其為本創作的基板吸附載台的示意圖。如圖所示，基板吸附載台1包含：一載台本體10、一第一阻氣模組20及數個第二阻氣模組30。載台本體10包含數個規則排列的吸附孔101；載台本體10機械連接一抽氣裝置(圖未示，較佳地可以是抽真空機)，以使各吸附孔101具有一吸附力。第一阻氣模組20設置於載台本體10的其中一側，且具有一操作單元23，用以選擇性地關閉至少一列X方向的吸附孔101。各第二阻氣模組30分別對應於Y方向的各排吸附孔101設置，以選擇性地關閉相對應的該排吸附孔101。具體地說，使用者可以依據實際設置於載台本體10上的基板40的長寬大小，以將操作單元23移動至鄰近基板X方向側邊的吸附孔101，藉以關閉基板的該側邊以外的吸附孔101；相同地，可以透過按壓鄰近於基板40的Y方向側邊的第二阻氣模組30，以關閉該側邊以外不被基板40所遮蔽的吸附孔101；藉以可使載台本體10上該些被基板40所覆蓋的吸附孔101具有吸附力，而其餘未被覆蓋的吸附孔101則不具有吸附力，進而可使載台本體10的吸附力集中於基板40所覆蓋的範圍。其中，所述的基板40例如可以是電路基板或是面板等，於此不多加限制。

〔第一實施例〕

請一併參閱圖2至圖7，其為本創作的基板吸附載台的第一實施例的示意圖。如圖2所示，其顯示基板吸附載台1的上視透視圖。基板吸附載台1包含一載台本體10、一第一阻氣模組20及數個第二阻氣模組30。載台本體10包含數個規則排列的吸附孔101、數個分別平行於X方向設置第一氣道11及數個平行於Y方向設置的第二氣道12。第一氣道11包含數個第一氣孔111，第二氣道包含數個第二氣孔121，且各第二氣孔121分別對應與一個吸附孔101相連通，且各列第一氣道11的各第一氣孔111分別對應與一排第二氣道12相互連通，亦即各排第二氣道12的各第二氣孔121分別與其中一列的第一氣道11相連通。

如圖2及圖3所示，第一阻氣模組20包含一主氣道21、一阻氣單元22及一操作單元23，主氣道21包含數個主氣孔211及一抽氣孔212，各主氣孔211分別與各第一氣道11相連通，抽氣孔212與一抽氣裝置(圖未示)相連接。阻氣單元22可活動地設置於主氣道21中；操作單元23外露於第一阻氣模組20外，且與阻氣單元22機械連接，藉以控制調整阻氣單元22於主氣道21中的位置。其中，阻氣單元22可以是活塞等，可完全密封阻隔氣體的構件；第一阻氣模組20可以是與載台本體10一體形成，又或者可以是兩個可拆卸的獨立構件。

舉例來說，阻氣單元22可以是設置於與主氣道21設置有抽氣孔212的相反端，亦即阻氣單元22的原始位置可以是設置於主氣道21中，與抽氣孔212相反的一端。當阻氣單元22未遮蔽任何主氣孔211而設置於主氣道21的一端時，各主氣孔211與抽氣孔212相連通，而使各個與主氣孔211相連通的第一氣道11所對應連通的各列X方向的吸附孔101呈現具有吸附力的狀態；當阻氣單元22受操作單元23操作，向抽氣孔212移動，而遮蔽其中 一主氣孔211時，被遮蔽的主氣孔211及位於阻氣單元22後方而遠離抽氣孔212的主氣孔211，受阻氣單元22的阻隔，而無法與抽氣孔212相連通，進而使其所對應的該列X方向的吸附孔101不具有吸附力，而達到關閉X方向吸附孔101的作用。

換言之，阻氣單元22與抽氣孔212分別設置於主氣道21的兩端時，在操作單元23未移動(設置於原始位置，而未遮蔽任何一個主氣孔211)時，各列X方向的吸附孔101呈現具有吸附力的狀態，而隨著操作單元23逐漸向抽氣孔212靠近的同時，相對應於操作單元23的該列X方向的吸附孔101被阻氣單元22阻隔，而不具有吸附力，亦即操作單元23經過的各列X方向的吸附孔101皆被阻氣單元22阻隔而不具吸附力。

相反地，在另外的態樣中，阻氣單元22亦可以是與抽氣孔212設置於主氣道21的同一端，亦即阻氣單元22的原始位置位於抽氣孔212上方，而遮蔽抽氣孔212，而使得各吸附孔101呈現不具吸附力的狀態。當阻氣單元22受操作單元23操控，而遠離抽氣孔212時，操作單元23所經過的各列X方向的吸附孔101不再受阻氣單元22阻隔，可與抽氣孔212相連通而具有吸附力。簡單地說，依據實際使用所需，可以透過阻氣單元22與抽氣孔212的相對應位置的設計(阻氣單元22遮蔽抽氣孔212或不遮蔽而遠離抽氣孔212)，以決定在阻氣單元22未移動的原始位置上時，各吸附孔101的吸附狀態(具有或不具有吸附力)。

如圖4所示，各第二氣道12可以包含有數個第二氣孔121及數個連通孔122；各第二氣孔121分別對應與一個吸附孔101相連通，而各連通孔122分別對應與一個第一氣孔111相連通，且各第一氣孔111又與第一氣道11相連通，亦即各吸附孔101可與各第一氣道11相連通。其中，各第二氣孔121及各連通孔122可以是如圖中繪示的錯位地設置於第二氣道12中，亦可以是設置於相 對應的位置上，於此不加以限制。各第二阻氣模組30包含一軸體31及數個間隔設置的阻隔單元32，而各個阻隔單元32間形成有一連通空間33。在實際應用中，第二阻氣模組30的至少一端可以具有一操作部301；各阻隔單元32可以是與軸體31一體成形，或是另外套設於軸體31上的獨立構件，且各阻隔單元32更可以選擇性地配合設置有密封橡圈。

如圖5所示，其顯示第二阻氣模組30設置於第二氣道12中，且第二阻氣模組30的操作部301受壓時的剖視圖。如圖所示，當第二阻氣模組30的操作部301受壓時，各阻隔單元32對應阻隔各第二氣孔121與各連通孔122間的連通，而阻隔吸附孔101與第一氣道11的連通，藉以關閉第二阻氣模組30所對應的該排Y方向的吸附孔101，使其不具有吸附力。

如圖6及圖7所示，當第二阻氣模組30的操作部301受拉，而使軸體31及各阻隔單元32於第二氣道12中移動，且使各阻隔單元32間的連通空間33對應位於第二氣孔121與連通孔122間時，各第二氣孔121可透過該連通空間33與其相對應的連通孔122相連通，而使各吸附孔101可與第一氣道11及主氣道21相連通，進而使各吸附孔101具有吸附力。在實際應用中，第二阻氣模組30與第二氣道12間可以對應設置有定位元件(例如各式卡榫或是凸點與凹槽的設計)，藉以確使第二阻氣模組30移動至預設的導通或阻隔各第二氣孔121與各連通孔122的特定位置。

特別一提的是，於本實施例中，是以按壓第二阻氣模組30的操作部301為關閉對應的該排Y方向的吸附孔101，而以抽拉第二阻氣模組30的操作部301為開啟吸附孔101為例，但實際應用中，亦可以是配合第二阻氣模組30的各阻隔單元32、各第二氣孔121及各連通孔122的設計，改以按壓操作部301時為開啟吸附孔101，抽拉操作部301時為關閉吸附孔101。又，在另外的實施中 ，亦可以是使第二阻氣模組30的兩端皆外露於載台本體10外，亦即第二阻氣模組30具有兩個外露的操作部301，藉以使用者可以只透過按壓的方式進行吸附孔101的啟閉；例如，使用者可以先行按壓其中一側的操作部301以關閉該排Y方向的吸附孔101，而當使用者欲再次開啟該排Y方向的吸附孔101時，則可以是按壓第二阻氣模組30另一側的操作部301。

請復參圖1及圖2(圖中箭號表示氣體流向)，當基板40設置於載台本體10上時，使用者可以將第一阻氣模組20的操作單元23，移動至對應於與基板40側邊最近，而未被基板40遮蔽的吸附孔101的位置，藉以關閉該列X方向的鄰近於基板40而未被基板40所遮蔽的吸附孔101；同樣地，使用者可以透過按壓鄰近於基板40側邊的第二阻氣模組30，藉以關閉鄰近而未被基板40所遮蔽的Y方向的吸附孔101。簡單地說，如圖1所示，載台本體10上的吸附孔101，除了被基板40所覆蓋的8個吸附孔101具有吸附力外，其餘吸附孔101皆被第一阻氣模組20或是第二阻氣模組30所遮蔽，而不具有吸附力。

值得一提的是，本實施例圖式中所繪示的吸附孔101的排列方式及其數量，以及第二阻氣模組30的數量，可以是依據實際需求加以設計，並不侷限於圖式中的態樣。另外，於本實施例中，主氣道21為形成於第一阻氣模組20內的通道，而各第一氣道11及各第二氣道12為形成於載台本體10內的通道，但實際應用中，主氣道21、各第一氣道11及各第二氣道12亦可以是獨立的氣管，而非形成於載台本體10內部的通道。

特別說明的是，於上述本實施例中，是以第一阻氣模組20設置於載台本體10的Y方向的一側，而與各個平行於X方向的第一氣道11相連通；且第二阻氣模組30是對應設置於各個平行於Y方向的第二氣道12中為例，但實際應用中，並不侷限於此，第一 阻氣模組20及各第二阻氣模組30可以是相反設置。

〔第二實施例〕

請一併參閱圖8及圖9，其為本創作的基板吸附載台的第二實施例的示意圖。如圖8所示，基板吸附載台1’包含一載台本體10’、一第一阻氣模組20’及一第二阻氣模組50。第一阻氣模組10’及第二阻氣模組50分別設置於載台本體10’的兩側邊，以分別對應啟閉各列X方向的吸附孔101’，以及啟閉各排Y方向的吸附孔101’。

如圖9所示，載台本體10’包含數個平行於X方向設置的第一氣道11’及數個平行於Y方向設置的第二氣道12’，且各第一氣道11’分別對應連通於各列X方向的數個吸附孔101’，而各第二氣道12’分別對應連通於各排Y方向的數個吸附孔101’。其中，各第一氣道11’及各第二氣道12’可以是形成於載台本體10’內的通道，亦可以是設置於載台本體10’下方的獨立氣管。

第一阻氣模組20’包含一主氣道21’、一阻氣單元22’及一操作單元23’。該主氣道21’包含數個主氣孔211’及一抽氣孔212’，且各主氣孔211’分別連通於各列X方向的第一氣道11’。阻氣單元22’設置於主氣道21’中，且阻氣單元22’與操作單元23’機械性連接。阻氣單元22’受操作單元23’控制而可於主氣道21’中移動，以選擇性地阻隔其中一個主氣孔211’。

第二阻氣模組50包含一次氣道51、一阻氣單元52及一操作單元53。該次氣道51包含數個次氣孔511及一抽氣孔512，且各次氣孔511分別連通於各排Y方向的第二氣道12’。阻氣單元52與操作單元53機械性連接，而受操作單元53控制，以選擇性地阻隔其中一個次氣孔511。

值得一題的是，第一阻氣模組20’的阻氣單元22’的原始位置 可以是設置於抽氣孔212’上方，而遮蔽抽氣孔212’，以使得各第一氣道11’的各列X方向的吸附孔101在初始未移動操作單元23’下呈現不具吸附力的狀態；或者可以是如本實施例圖中所示，阻氣單元22’的原始位置是設置於主氣道21’中與抽氣孔212’相反的一端，而當操作單元23’在原始未被移動的情況下，各列X方向的吸附孔101皆呈現具有吸附力的狀態。相同地，第二阻氣模組50的阻氣單元52及抽氣孔512亦可以依據所需設計，於此不多贅述。

請閱圖9中所繪示之箭頭標示，其顯示了第一氣道11’及第二氣道12’中的氣體流向；當基板40’設置於載台本體10’上時，使用者可以依據基板40’的長寬，對應將第一阻氣模組20’的阻氣單元22’及第二阻氣模組50的阻氣單元52，移動至鄰近於基板40’側邊，而不被基板40’所遮蔽的吸附孔101附近，藉以關閉該些不被基板40’所遮蔽的吸附孔101，藉以使載台本體10’的吸附力集中於該些被基板40’所遮蔽的吸附孔101，而可有效地將基板40’吸附於載台本體10’上。

在實際應用中，載台本體10’更可以配合連接一傾斜裝置(圖未示)，且載台本體10’的其中一側邊更可以包含一擋板13。當基板40設置於載台本體10’時，其可以是先透過傾斜裝置使載台本體10’向具有擋板13的方向傾斜，以使基板40’的一側抵靠於擋板13上，再配合操作調整第一阻氣模組20’及第二阻氣模組50，以關閉該些未被基板40’所遮蔽的吸附孔101。當然，上述調整方式僅為其中一種實施態樣，實際操作的流程及其先後順序可以依據需求加以設計調整。

特別說明的是，請復參本創作的第一實施例，於該實施例中所載的由一軸體31及數個間隔設置的阻隔單元32所組成的第二阻氣模組30，亦可以應用於本實施例所載的第一氣道11’及第二氣 道12’中，亦即本實施例所述的第一阻氣模組20’及第二阻氣模組50可以置換為上述第一實施例中的第二阻氣模組30。

惟以上所述僅為本創作的較佳實施例，非意欲侷限本創作的專利保護範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所為的等效變化，均同理皆包含於本創作的權利保護範圍內，合予陳明。

1‧‧‧基板吸附載台

10‧‧‧載台本體

101‧‧‧吸附孔

20‧‧‧第一阻氣模組

23‧‧‧操作單元

30‧‧‧第二阻氣模組

301‧‧‧操作部

40‧‧‧基板

Claims (10)

1. 一種基板吸附載台，其包含：一載台本體，其具有數個吸附孔；一第一阻氣模組，其設置於該載台本體的一側，以可選擇地關閉至少一列X方向的該些吸附孔；以及數個第二阻氣模組，其設置於該載台本體的另一側，各該第二阻氣模組可選擇地關閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
2. 如請求項1所述的基板吸附載台，進一步更包含：一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數個主氣孔；數個第一氣道，各該第一氣道分別與該主氣道的各該主氣孔相連通，且各該第一氣道包含數個第一氣孔；以及數個第二氣道，各該第二氣道包含數個第二氣孔，各該第二氣孔分別對應與一排的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道的各該第一氣孔分別對應與該第二氣道相連通；其中，該第一阻氣模組可活動地設置於該主氣道中，以可選擇地關閉至少一主氣孔，各該第二阻氣模組分別設置於各該第二氣道中，以可選擇地關閉至少一該第二氣孔。
3. 如請求項2所述的基板吸附載台，其中各該第一氣道平行於X方向設置，各該第二氣道平行於Y方向設置。
4. 如請求項2所述的基板吸附載台，其中各該第一氣道平行於X方向設置，各該第二氣道平行於Y方向設置。
5. 如請求項2至4其中任一項所述的基板吸附載台，其中各該第二阻氣模組包含一軸體及數個對應於該排的該些吸附孔數量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設置於該軸體上，而每兩個該阻隔單元間形成一連通空間。
6. 如請求項5所述的基板吸附載台，其中各該第二氣道包含數個 與各該第二氣孔錯位設置的連通孔，各該連通孔分別與各該第一氣孔相連通，且各該第二阻氣模組的兩兩該阻隔單元的間距，大於或等於相鄰的該連通孔與該第二氣孔的間距。
7. 一種基板吸附載台，其包含：一載台本體，其具有數個吸附孔；一第一阻氣模組，其設置於該載台本體的一側，以可選擇地關閉至少一列X方向的該些吸附孔；以及一第二阻氣模組，其設置於該載台本體的另一側，以可選擇地關閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
8. 如請求項7所述的基板吸附載台，進一步更包含：一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數個主氣孔；數個第一氣道，各該第一氣道分別與X方向各列的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道分別與各該主氣孔相連通；一次氣道，其與該抽氣裝置相連接，且該次氣道包含數個次氣孔；以及數個第二氣道，各該第二氣道分別與Y方向各排的該些吸附孔相連通，且各該第二氣道分別與各該次氣孔相連通；其中，該第一阻氣模組可活動地設置於該主氣道中，以可選擇地關閉至少一該主氣孔，該第二阻氣模組設置於該次氣道中，以可選擇地關閉至少一該次氣孔。
9. 如請求項8所述的基板吸附載台，其中該第一阻氣模組或是該第二阻氣模組包含一軸體及數個對應於X方向各排的該些吸附孔或是Y方向各列的該些次氣孔數量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設置於該軸體上，而每兩個該阻隔單元間形成一連通空間。
10. 如請求項7或8所述的基板吸附載台，其中該第一阻氣模組或 是該第二阻氣模組包含一阻氣單元及一操作單元，該阻氣單元可活動地設置於該主氣道或是該次氣道中，且遠離該主氣道或該次氣道與該抽氣裝置相連接的位置；該操作單元與該阻氣單元機械連接，以控制該阻氣單元於該主氣道或該次氣道中的位置，以選擇性地關閉其中一該主氣孔或是其中一該次氣孔。