JP5076667B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
板13の縁部13cには、テープ状基板13を長さ方向に順送りするための複数の送り孔13aが等間隔で設けられている。図1において、テープ状基板13は、電子部品構成部5が形成された表面を下向きにし、サブチャンバ6の両側方に配されたテープ送りローラ14に送り孔13aを係合させた状態で懸架されている。テープ送りローラ14はテープ状基板13を長さ方向に搬送する搬送手段であり、テープ状基板13はサブチャンバ6に密閉される箇所を変更しながら長さ方向に搬送される。
態において所定の個数の電子部品構成部5に対して一括して表面処理を施すことができる。この表面処理工程が終了すると蓋部21を開き、テープ状基板13を蓋部21と基部20によって挟まれた状態から一旦開放し、テープ送りローラ14の駆動により所定距離だけ搬送することで、新たな電子部品構成部5を蓋部21と基部20の間に移動させ、再び蓋部21を閉じてプラズマ処理空間4に所定の個数の電子部品構成部5を密閉し、表面処理を施す。プラズマ処理装置1は、このような表面処理工程と搬送工程を交互に繰り返し行うことで、テープ状基板13に形成された複数の電子部品構成部5を所定の個数ずつ分割して順次表面処理を施すように構成されている。
らに向上させている。また、第2の辺30dと第3の辺30eの間でテープ状基板13の長さ方向に延伸された第4の辺30gをテープ状基板13の幅方向で隣り合う電子部品構成部5の行間においてテープ状基板13の表面に密着させることで、テープ状基板13の幅方向における気密性を重層的に確保している。
2 プラズマ発生空間
3 メインチャンバ
3a、20 基部
3b 外壁
3c、20a 開口部
4 プラズマ処理空間
5 電子部品構成部
13 テープ状基板
14 テープ送りローラ
21 蓋部
30 第1のシール部材
30c 第1の辺
30d 第2の辺
30e 第3の辺
30g 第4の辺
31 第2のシール部材
Claims (1)
- テープ状基板の表面に格子状に形成された複数の電子部品構成部に表面処理を施すプラズマ処理装置であって、
プラズマ発生空間を形成する外壁を備えたメインチャンバと、
厚さ方向へ貫通する開口部を有する基部とこの基部に対して開閉自在な蓋部とを有し、前記蓋部で前記基部の開口部を閉じて密閉されたプラズマ処理空間を形成するサブチャンバと、
前記蓋部を基部に対して開閉させる開閉機構と、
前記基部と前記蓋部の間にテープ状基板を位置させ、テープ状基板を長さ方向に搬送して前記サブチャンバに密閉される箇所を変更する搬送手段と、
前記プラズマ発生空間を減圧する減圧手段と、
前記プラズマ発生空間にプラズマ発生用のガスを供給するガス供給手段と、
前記プラズマ発生空間に高周波電圧を作用させてプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記メインチャンバの外壁に前記サブチャンバの基部を着脱自在に装着する装着部を備え、この装着部に装着された前記基部の開口部と前記プラズマ発生空間とを連通させる連通路を有し、
テープ状基板の表面の電子部品構成部の非形成箇所に密着して所定の個数の電子部品構成部を囲繞する第1のシール部材を前記サブチャンバの基部に備え、前記第1のシール部材と相対してテープ状基板の裏面に密着する第2のシール部材を前記サブチャンバの蓋部に備え、前記第1のシール部材が、テープ状基板の長さ方向に延伸された第1の辺と幅方向に延伸された第2の辺によって矩形枠状に形成され、電子部品構成部の非形成箇所となるテープ状基板の幅方向における両縁部に前記第1の辺をそれぞれ密着させるものであり、
また前記第1のシール部材が、前記第2の辺に平行する第3の辺と前記第2の辺と前記第1の辺とで形成される矩形枠を、前記第1の辺と前記第2の辺によって形成される矩形枠の外側に隣接して備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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