TWM479515U - 密封條結構 - Google Patents
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Description
本新型係涉及一種止漏元件,尤其是一種密封條結構。
一般的密封條通常應用於防止流體溢流的場所,如一般的水路、輸油管線或瓦斯管線等,現有一種密封條專門應用於部分半導體製程的機台,此類的密封條通常體積與現有機台之溝槽相同,且是以膠黏的方式結合在機台之溝構內,由於密封條周圍的黏膠容易受到電漿粒子的腐蝕失效而導致脫落,造成氣體外洩的情況,實有改善之必要。
為了解決現有密封條之黏膠容易受到電漿粒子腐蝕而脫落,導致氣體外洩的問題,本新型的主要目的在於提供一種密封條結構,其係透過自身的變形量嵌合安裝至機台上,無需另外使用黏膠,可避免黏膠腐蝕而脫落的情形。
本新型所運用的技術手段係在於提供一種密封條結構,其係具有彈性的環體,該密封條之剖面略呈矩形且包括有一內側面及一位於相反側的外側面,該內側面係於中央形成一呈圓弧狀凹陷的凹部,並於該內側面的頂端及底端分別隆起形成一呈圓弧狀凸出的凸部,於該外側面係形成隆起的一圓弧曲面。
前述之密封條結構,其中該密封條為圓形環體。
本新型利用所提供的密封條結構,可以獲得的功效增進在於密封條的剖面略呈矩形,並分別於內側面的兩端形成凸起而中央凹陷的形式,透過此種結構,使密封條能夠透過按壓產生縱向的壓縮變形,並透過凹部來吸收整體的縱向變形量,以方便安裝於機台之溝槽上,並可於解除壓力後回復成原狀,並使密封條的縱向兩端緊密地抵靠在機台之溝槽中,令本新型能夠利用自身的變形來達到固定效果,如此一來,無需在密封條的周邊另行塗膠黏合。
為了能夠詳細瞭解本新型的技術特徵及實用功效,並可依照說明書的內容來實施,更進一步以如圖式所示的較佳實施例,詳細說明如后:
本新型係一種密封條結構,請參閱圖1及圖2的較佳實施例,該密封條10係具有彈性的環體,該密封條10係可為圓形、方形、多邊形等不同輪廓的環體,該密封條10之形狀於本案中不予限制,於本實施例中,該密封條10係為圓形環體,該密封條10之剖面略呈矩形且包括有一內側面11及一位於相反側的外側面12,該內側面11係於中央形成一呈圓弧狀凹陷的凹部110,並於該內側面11的頂端及底端分別隆起形成一呈圓弧狀凸出的凸部111,於該外側面12係形成隆起的一圓弧曲面。
本新型較佳實施例的使用方式如圖3至圖5所示,該密封條10係可安裝於一機台20之一溝槽21內,其中,該密封條10之縱向高度H1係大於該溝槽21之縱向高度H2,當該密封條10要安裝在該溝槽21之前,必須先於該密封條10的頂、底分別施壓,由於該密封條10之凹部110能夠吸收整體的縱向變形量,而使該密封條10之縱向高度H1小於該溝槽21之縱向高度H2後,再將該密封條10塞入該溝槽21內,當該密封條10塞入並解除施壓後,該密封條10因自身彈性將會回復至原狀,並以該密封條10之頂、底兩面分別緊密地抵靠在該溝槽21的內部。
本新型係利用該密封條10的特殊結構來產生較易壓縮變形的效果,並透過該密封條10自身的彈性來緊密地固定在該機台20之溝槽21內,而無需另外塗膠,也不會有因腐蝕而脫落的情況。
以上所述,僅是本新型的較佳實施例,並非對本新型作任何形式上的限制,任何所屬技術領域中具有通常知識者,若在不脫離本新型所提技術特徵的範圍內,利用本新型所揭示技術內容所作出局部更動或修飾的等效實施例,均仍屬於本新型技術特徵的範圍內。
10‧‧‧密封條
11‧‧‧內側面
110‧‧‧凹部
111‧‧‧凸部
12‧‧‧外側面
20‧‧‧機台
21‧‧‧溝槽
H1‧‧‧縱向高度
H2‧‧‧縱向高度
11‧‧‧內側面
110‧‧‧凹部
111‧‧‧凸部
12‧‧‧外側面
20‧‧‧機台
21‧‧‧溝槽
H1‧‧‧縱向高度
H2‧‧‧縱向高度
圖1係本新型的較佳實施例的外觀圖。 圖2係本新型的較佳實施例的局部外觀放大圖。 圖3係本新型的較佳實施例的使用狀態圖。 圖4係本新型的較佳實施例使用狀態的動作示意圖。 圖5係本新型的較佳實施例的使用狀態剖面圖。
10‧‧‧密封條
11‧‧‧內側面
110‧‧‧凹部
111‧‧‧凸部
12‧‧‧外側面
Claims (2)
- 一種密封條結構,其係具有彈性的環體,該密封條之剖面略呈矩形且包括有一內側面及一位於相反側的外側面,該內側面係於中央形成一呈圓弧狀凹陷的凹部,並於該內側面的頂端及底端分別隆起形成一呈圓弧狀凸出的凸部,於該外側面係形成隆起的一圓弧曲面。
- 如請求項1所述之密封條結構,其中該密封條為圓形環體。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW103203389U TWM479515U (zh) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | 密封條結構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW103203389U TWM479515U (zh) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | 密封條結構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWM479515U true TWM479515U (zh) | 2014-06-01 |
Family
ID=51394834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW103203389U TWM479515U (zh) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | 密封條結構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWM479515U (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD871561S1 (en) | 2017-11-17 | 2019-12-31 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
TWD206218S (zh) | 2017-11-17 | 2020-08-01 | 日商華爾卡股份有限公司 | 半導體製造裝置用密封材 |
USD897504S1 (en) | 2017-11-17 | 2020-09-29 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
TWD208041S (zh) | 2018-09-11 | 2020-11-01 | 日商華爾卡股份有限公司 | 半導體製造裝置用密封材 |
-
2014
- 2014-02-27 TW TW103203389U patent/TWM479515U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD871561S1 (en) | 2017-11-17 | 2019-12-31 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
TWD206218S (zh) | 2017-11-17 | 2020-08-01 | 日商華爾卡股份有限公司 | 半導體製造裝置用密封材 |
USD897504S1 (en) | 2017-11-17 | 2020-09-29 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
USD922545S1 (en) | 2017-11-17 | 2021-06-15 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
USD923158S1 (en) | 2017-11-17 | 2021-06-22 | Valqua, Ltd. | Seal members for use in semiconductor production apparatus |
USD923159S1 (en) | 2017-11-17 | 2021-06-22 | Valqua, Ltd. | Seal member for use in semiconductor production apparatus |
TWD208041S (zh) | 2018-09-11 | 2020-11-01 | 日商華爾卡股份有限公司 | 半導體製造裝置用密封材 |
USD927656S1 (en) | 2018-09-11 | 2021-08-10 | Valqua, Ltd. | Seal for vacuum gate valve |
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