TWM464270U - 異質複合硏磨定位環 - Google Patents
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Description
本新型係關於一種研磨定位環，尤指一種用於晶圓定位研磨作業的異質複合研磨定位環。
按，一般晶圓研磨作業使用之研磨定位環之結構，以往係以一體成形之材質所製成，後有考慮基部環體與研磨環體各有其功能，因此有發展出異質(相異材質)作為複合層之構造，如台灣新型專利第M347978號『研磨定位環之改良結構』所呈現之構造，一基部，其採由不銹鋼或是金屬合金所製成，並呈一環形態樣，該基部之第一側面係為一鎖固面，鎖固面上設置有定位孔；基部之第二側面係為一結合面，結合面上設置有接合孔，該接合孔可用以接設鎖固接合元件。一研磨部，其採由高分子塑性材料所製成，並呈一環形態樣，該研磨部之第一側面為一結合面，結合面上設置有導入孔；研磨部的第二側面則係為一研磨面。
藉由金屬之基部環體與一高分子材質之研磨環體相互結合所構成，分別呈現出不同之效果。然而該先前技術所呈現出之「異質」係以基材為通常硬度較高之不銹鋼或是金屬合金，然而研磨部，則採用相對硬度較低之高分子塑性材料。
該案重點雖表現於因應研磨定位環於研磨加工過程中，會與晶圓及加工機件之間產生持續性劇烈之摩擦作用，其所產生之反向應力，則會對研磨定位環的基部環體與研磨環體的結合結構，產生破壞性作用，
一旦基部環體與研磨環體之間產生鬆動或脫開剝離之現象時，亦即等同該研磨定位環報廢，而需另作更換。因此重點強調在二者之結合結構的牢固性，但是該案所呈現出之層級構造，是以硬度較低者作為研磨材料，從而材料之損耗較為嚴重，且該案係以硬度較高者作為基材，因此其韌性與應變性亦相對低，因此仍有改進之空間。
雖然，亦有業者採用塑膠(例如PPS)為一基部與一研磨部為一體成型，雖可以不使用金屬而降低生產成本，但由於是一體，因此當研磨部被磨損而消耗時，基部縱使沒有磨損消耗，但也必須隨同該研磨部一體更換，但由於該塑膠(PPS)費用不貲，亦屬浪費與不經濟。
有鑑於先前技術之問題，本新型創作者認為應有一種改善之構造產生，為此設計一種異質複合研磨定位環，包括一上環與一下環，兩者依序疊合並為結合，該上環與下環均以塑化材質所製，二者兼具之複合層效果。
由於本新型創作採用塑化材料，均以塑化材質所製以節省成本較高之金屬或塑化材料；且本新型創作分為一上環(基部)與一下環(研磨部)，因此當下環(研磨部)被磨損而消耗時，上環(基部)無須隨同該下環(研磨部)一體更換，因此可以節省該塑化材料之費用，而達到經濟效果。且必須說明的是，本案並非單純以材質之改變所達成之預期功效，而係以相較於先前技術之反向佈列之空間型態，配合材質所達成之效果。
(1)‧‧‧異質複合研磨定位環
(11)‧‧‧上環
(12)‧‧‧下環
(13)‧‧‧墊環
(1A)‧‧‧有設置溝槽之異質複合研磨定位環
第一圖係本新型第一實施例之立體組合圖
第二圖係本新型第一實施例之立體分解圖
第三A圖係本新型第一實施例之分解狀態之剖視圖
第三B圖係本新型第一實施例之組合狀態之剖視圖
第四圖係本新型第二實施例之立體分解圖
第五圖係本新型第二實施例組合狀態之剖視圖
第六圖係本新型第二實施例之立體圖
以下藉由圖式之配合，說明本新型之構造、特點以及實施例，俾使 貴審查委員對本新型有更進一步之理解。
請參閱第一圖，本新型係關於一種異質複合研磨定位環(1)，請參閱第二圖所示，包括一上環(11)與一下環(12)，兩者依序疊合並為結合，該結合可以以結合元件、或融合等普通習知之結合構造為之，該上環(11)與下環(12)均以塑化材質所製，由於本新型創作採用塑化材料，均以塑化材質所製以節省成本較高之金屬或塑化材料；且本新型創作分為一上環(基部)與一下環(研磨部)，因此當下環(研磨部)被磨損而消耗時，上環(基部)無須隨同該下環(研磨部)一體更換，因此可以節省該塑化材料之費用，而達到經濟效果。且必須說明的是，本案並非單純以材質之改變所達成之預期功效，而係以相較於先前技術之反向佈列之空間型態，配合材質所達成之效果。
且本新型創作之較佳實施例，該下環(12)之硬度高於該上環(11)，配合第三A圖與三B圖所示，本新型由剖面觀之，可以顯示藉由異質(相異材質)作為複合層之構造。而本新型該上環(11)與下環(12)均以塑化材質所製以節省成本較高之金屬或塑化材料，且該下環(12)之硬度高於該上環(11)，降低材料之損耗，而上環(11)之硬度相對較低而具有較佳之韌性與
應變性，二者兼具之複合層效果。
請參閱第四圖，配合第五圖與第六圖所示，第六圖為有設置溝槽之異質複合研磨定位環(1A)之第二實施例立體圖，為本新型之較佳實施例，其中該上環(11)與該下環(12)之間，更襯設一墊環(13)。其中該墊環(13)之硬度可以介於該上環(11)與該下環(12)之間。
本新型之該下環(12)基於材質之多樣化選擇，可以為聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚丁烯對苯二甲酸酯(polybutylene terephthalate，PBT)、碳充聚醚醚酮(carbin-filled PEEK)、聚醚醯亞胺(polyetherimide，PEI)、聚醚醚酮(polyether ether ketone，PEEK)、聚乙烯對苯二甲酸酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)、聚苯並咪唑(polybenzimidazole，PBI)、聚胺-醯亞胺(polyamide-imide，PAI)、聚乙烯對酞酸脂(PETP)、聚氯乙烯(PVC)、尼龍(NYLON)、聚縮醛(POM)、ABS、鐵弗龍(PTFE)、聚氟化亞乙烯PVDF之一或任何二種以上複合。
綜上所述，本新型確實符合產業利用性，且未於申請前見於刊物或公開使用，亦未為公眾所知悉，且具有非顯而易知性，符合可專利之要件，爰依法提出專利申請。惟上述所陳，為本新型產業上一較佳實施例，舉凡依本新型申請專利範圍所作之均等變化，皆屬本案訴求標的之範疇。
(1)‧‧‧異質複合研磨定位環
Claims (5)
- 一種異質複合研磨定位環，包括一上環與一下環，兩者依序疊合並為結合，該上環與下環均以塑化材質所製。
- 如申請專利範圍第1項所述之異質複合研磨定位環，其中該下環之硬度高於該上環。
- 如申請專利範圍第1項所述之異質複合研磨定位環，其中該上環與該下環之間，更襯設一墊環，以令形成多層式。
- 如申請專利範圍第3項所述之異質複合研磨定位環，其中墊環之硬度介於該上環與該下環之間。
- 如申請專利範圍第1項所述之異質複合研磨定位環，其中該下環選自於聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚丁烯對苯二甲酸酯(polybutylene terephthalate，PBT)、碳充聚醚醚酮(carbin-filled PEEK)、聚醚醯亞胺(polyetherimide，PEI)、聚醚醚酮(polyether ether ketone，PEEK)、聚乙烯對苯二甲酸酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)、聚苯並咪唑(polybenzimidazole，PBI)、聚胺-醯亞胺(polyamide-imide，PAI)、聚乙烯對酞酸脂(PETP)、聚氯乙烯(PVC)、尼龍(NYLON)、聚縮醛(POM)、ABS、鐵弗龍(PTFE)、聚氟化亞乙烯PVDF之一或任何二種以上複合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW102206063U TWM464270U (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 異質複合硏磨定位環 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| TW102206063U TWM464270U (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 異質複合硏磨定位環 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM464270U true TWM464270U (zh) | 2013-11-01 |
Family
ID=49991216
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| TW102206063U TWM464270U (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 異質複合硏磨定位環 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWM464270U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI705872B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-10-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 耐腐蝕保持環 |
-
2013
- 2013-04-02 TW TW102206063U patent/TWM464270U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
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| TWI705872B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-10-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 耐腐蝕保持環 |
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