TWM461881U - 圖案化發光元件基板 - Google Patents

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TWM461881U
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TW
Taiwan
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light
patterned
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patterned light
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TW102206774U
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Inventor
Yong-Fa Huang
Original Assignee
Phecda Technology Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/22Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0062Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
    • H01L33/0066Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
    • H01L33/007Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound comprising nitride compounds
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Description

圖案化發光元件基板
本創作之實施例係關於圖案化發光元件基板,特別是,有關於有粗糙表面之圖案化發光元件基板以及使用此基板的發光元件。
業界大多會使用圖案化藍寶石基板(patterned sapphire substrate,PSS)做為發光元件的基板,其有提升亮度、減少差排密度並能有良好的光取出效率等等的優點。
然而,習知技術的圖案化發光元件基板上之圖案係為圓滑表面,由於其表面角度範圍限制,對於發光元件所發出的光常有特定範圍角度的反射。
因此,需要能減小表面角度範圍限制以增加光線漫射之方法以更增加亮度。
本創作之實施例提出了能減小表面角度範圍限制以增加光線漫射之方法以更增加亮度之圖案化發光元件基板,以及使用此基板的發光元件。
依據本創作之一觀點,提出了一種圖案化發光元件基板,其包括由複數個錐體所構成之一表面,其中各該錐體表面係使用一濕式 蝕刻程序進行一粗糙化處理而產生粗糙表面。
其中,圖案化發光元件基板為一藍寶石基材或是一矽質基材。
其中,濕式蝕刻程序為化學蝕刻(chemical etching)法。
其中,複數個錐體係均勻分布。
其中,複數個錐體係彼此不接觸。
依據本創作之另一觀點,提出了一種發光元件,包含一圖案化基板,其包括由複數個錐體所構成之一表面,各錐體表面係使用一濕式蝕刻程序進行一粗糙化處理而產生粗糙表面。一第一半導體層,係配置在圖案化基板上;一發光層,係配置在第一半導體層上;一第二半導體層,係配置在發光層上;一第一歐姆電極,係接觸第一半導體層;以及一第二歐姆電極,係接觸第二半導體層。
其中,圖案化基板為一藍寶石基材或是一矽質基材。
其中,濕式蝕刻程序為化學蝕刻(chemical etching)法。
其中,複數個錐體係均勻分布。
其中,複數個錐體係彼此不接觸。
10‧‧‧圖案化發光元件基板
11‧‧‧基板本體
12、220‧‧‧錐體
15‧‧‧濕式蝕刻程序
200‧‧‧圖案化基板
300‧‧‧第一半導體層
310‧‧‧發光層
320‧‧‧第二半導體層
330‧‧‧第一歐姆電極
340‧‧‧第二歐姆電極
第1圖係為本創作之圖案化發光元件基板進行濕式蝕刻程序之示意圖;第2圖係為本創作之圖案化發光元件基板所包含的錐體之粗糙表 面之示意圖;以及第3圖係為本創作之發光元件之示意圖。
接下來,本創作之實施例會參照本創化之示範性實施例之圖示更完整地說明。在此所使用的,詞彙「以及/或是」包含一或多個相關所列項目之任一或全部組合。像是在處理一列元素之「至少一」的表達,會修正該整列元素而不會修正該列中的個別元素。
將會說明依據本創作之實施例之圖案化發光元件基板。第1圖係為本創作之圖案化發光元件基板進行濕式蝕刻程序之示意圖。第2圖係為本創作之圖案化發光元件基板所包含的錐體之粗糙表面之示意圖。
如第1圖所示,本實施例之圖案化發光元件基板10包括一基板本體11以及一由複數個錐體12所構成之表面。其中,圖案化發光元件基板10可為一藍寶石基材或是一矽質基材所製成。複數個錐體12在基板本體11上可均勻分布,或是視需要而以特定方式分布。其中,複數個錐體12係彼此不接觸。
接著,對複數個錐體12使用濕式蝕刻程序15進行一粗糙化處理,以在錐體12上產生粗糙表面,如第2圖所示。錐體12之粗糙表面可提供較佳的漫射效果,進而增加本創作之發光元件的發光亮度。
本創作之實施例中使用之溼式蝕刻方法為常見的化學蝕刻(chemical etching)法。
請參照第3圖,圖中係以一使用本創作之圖案化基板200的發光二極體作為發光元件之一實施例說明。發光二極體包括一圖案化基板200、配置在圖案化基板200上的一第一半導體層300、配置在第一半導體層300上的一發光層310、配置在發光層310上的一第二半導體層320、接觸第一半導體層300的一第一歐姆電極330、以及接觸第二半導體層320的一第二歐姆電極340。圖案化基板200包括由複數個錐體220所構成之一表面,且此些錐體220之表面係經過溼式蝕刻程序進行一粗糙化處理而產生粗糙表面。
錐體220之粗糙表面對於發光層310朝向圖案化基板200發射的光可提供較佳的漫射效果,進而增加本創作之發光二極體的發光亮度。
其中,圖案化基板200可為一藍寶石基材或是一矽質基材。複數個錐體220在圖案化基板200上可均勻分布,或是視需要而以特定方式分布。複數個錐體12可彼此不接觸。
其中,第一半導體層300、發光層310與第二半導體層320可為III-V族系半導體,如氮化鎵系半導體。至於第一與第二歐姆電極330和340可各自選自包含鎳、鉛、鈷、鐵、鈦、銅、銠、金、釕、鎢、鋯、鉬、鉭、銀及此等之氧化物、氮化物所構成之群中所選出的至少一種合金或多層膜。另外,第一與第二歐姆電極330和340也可以各自選自包含銠、銥、銀、鋁所構成之群中所選出的一種合金或多層膜。
以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離本創作之精 神與範疇,而對其進行之等效修改或變更,均應包含於後附之申請專利範圍中。
10‧‧‧圖案化發光元件基板
11‧‧‧基板本體
12‧‧‧錐體
15‧‧‧濕式蝕刻程序

Claims (10)

  1. 一種圖案化發光元件基板,該圖案化發光元件基板包括由複數個錐體所構成之一表面,其中各該錐體表面係使用一濕式蝕刻程序進行一粗糙化處理而產生粗糙表面。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之圖案化發光元件基板,其中該圖案化發光元件基板為一藍寶石基材或是一矽質基材。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之圖案化發光元件基板,其中該濕式蝕刻程序為化學蝕刻(chemical etching)法。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之圖案化發光元件基板,其中該複數個錐體係均勻分布。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之圖案化發光元件基板,其中該複數個錐體係彼此不接觸。
  6. 一種圖案化發光元件,包含:一圖案化基板,該圖案化基板包括由複數個錐體所構成之一表面,其中各該錐體表面係使用一濕式蝕刻程序進行一粗糙化處理,以產生粗糙表面;一第一半導體層,係配置在該圖案化基板上;一發光層,係配置在該第一半導體層上;一第二半導體層,係配置在該發光層上;一第一歐姆電極,係接觸該第一半導體層;以及一第二歐姆電極,係接觸該第二半導體層。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之圖案化發光元件,其中該圖案化基板為一藍寶石基材或是一矽質基材。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之圖案化發光元件,其中該濕式蝕刻 程序為化學蝕刻(chemical etching)法。
  9. 如申請專利範圍第6項所述之圖案化發光元件,其中該複數個錐體係均勻分布。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之圖案化發光元件,其中該複數個錐體係彼此不接觸。
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