TWM439262U - Snatch blue mechanism - Google Patents

Description

M439262 101年6月]q α片 月15日修正替換頁 之機械手臂技術，具體而 ’進一步能提升抓取物品 » 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作隸屬一種抓取物品 言係一種動作平穩的抓藍機構 的安全性。 【先前技術】 按’在半導體製程中’不同的加工

，不同的製輯備間運送及貯存，以確保晶圓運送及^ 質與穩定性，同時為了減少晶圓轉換容 2保比晶圓置於同-晶舟中，因此即便在晶圓； 洗過程中，也會採取將晶圓連同晶舟—併置人清洗槽内 進行沖洗； 以往在搬動該晶舟時，機械手臂主要係以折取晶舟 頂面之提把為主，但傳統晶舟僅具有—個設於頂面中心 的提把，因此其在抓取時係屬單―切點，如此在抓取 及移動時不易取得平衡’再加上需要抓取晶舟的頂面， 無形間使晶舟的開口位於側面，而可能造成晶舟内晶圓 的滑落’降低使用的效率與安全性； 再者，現有抓取晶舟的機械手臂在移動零件上，主 要係以滾珠螺桿、氣油壓缸、齒條等，然這類的結構設 計係屬硬性組件所組成，其在抓取與釋放的兩個端點上 ，會因停頓產生衝擊力，這樣的衝擊力不僅可能造成晶 圓破裂，更會使機械手臂的零組件發生鬆脫現象，甚至 造成組件的損壞，而縮短了機械手臂的使用壽命，而無 法滿足實際使用的需求，故有進一步改良之必要。 3 101年6月15日修正替換頁 有鑑於此，本創作人乃針對前述現有- ，抓取時所面臨的問題深入探討，並藉由本創作人多年 從事相關產業的開發經驗，積極尋求解決之道，經不斷 ，力，研究與發展，終於成功的創作出-種抓藍機構， 藉以能克服現有者因停頓衝擊力所造成的不便與困擾。 【新型内容】 因此本創作之主要目的係在提供一種可降低衝擊 力的抓藍機構’藉以能提升抓藍動作的平穩度，以避免 造成不當的損傷，且能延長其使用壽命。 本創作之另一主要目的係在提供一種可兩侧同 步作動的抓藍機構，其能增進抓藍的平衡度，從而提升 移動的效率與安全性。 為此，本創作主要係透過下列的技術手段，來具體 實現上述的各項目的與效能：其至少包含有： 一基座，該基座具有一立管及一罩體，該立管中央 形成有一管路間，且立管頂端固設有一固定板，而罩體 係軍設於立管頂端之固定板上； 一驅動模組，該驅動模組係設於前述基座立管内， 驅動模組於立管固定板底面鎖設有一向下延伸之膨脹伸 縮ΐ，其中膨脹伸縮管下端利用一連結板鎖設有一與膨 脹伸縮管平行之滑軌件，且前述立管内壁面鎖設有一供 滑軌件滑移之導軌座，又滑軌件頂端具有一穿出前述固 定板之連接片，其中連接片一侧表面具有兩樞軸 ，且兩 樞轴分设於膨脹伸縮管軸線的兩側相對位置； 一傳動模組，該傳動模組係設於基座罩體上，傳動 模組係於罩體之固定板上方固設有兩平行相對的軸筒， 該等轴筒内部分別樞設有一平行伸出罩體之傳動桿，且 兩軸筒於對應前述驅動模組之樞轴處分別具有一長剖槽 ’又兩傳動桿外緣與對應之枢轴間分設有一連動件，且 該等連動件具有一樞設於樞軸上的軸部； 一抓取模組，該抓取模組係設於傳動模組之兩連動 件對應位置，抓取模組係於兩傳動桿的相對位置上分設 有至一框座，又該等框座具供一道供傳動桿嵌置之夾 槽而該等框座上分別利用一具相對夾槽之框蓋夹擎於 傳動杯上，又該等框座上設有至少一相對之夾框。 本創作透過前述技術手段的具體實現，使本創作可 模之膨脹伸縮管的膨脹與否，而改變膨服伸縮 e的長度，進而同步作動抓取模組之相對夾框的靠合抓 ，或遠離釋放，以降低動作端關停簡擊力，而避免 目件因長期震動而鬆脫或損壞，以延長其使用壽命 蔣其可同步抓取或釋放的作用，而能保持物品 的㈣^以增進抓取物品的安全性，進而提高產品 的附加饧值，且增進其經濟效益。 徵及=目^審查委員能進—步了解本創作的構成、特 阶人，的，以下乃舉本創作之若干較佳實施例，並 ==細說明如后，同時讓熟悉該項技術領域者能 【實施方式】 本創作係一種抓藍機構，隨附圖例示本創作之具體 101年6月15日修正替換頁 ^例及其構件巾，所有騎前與後、 底。P、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用於方 fft描述’並非限制本創作，亦非將其構件限制於任 可位置或空間方向。圖式與說明書中所指定的尺寸，當 離開本創作之巾請專利範圍内，根據本創作之具 體實轭例的設計與需求而進行變化。 本創作之抓藍機構可應用於—般晶圓清洗機上以 供搬運谷納晶圓之晶舟，而關於該抓藍機構之構成，則 請=所附之圖式，如第一及二圖所示，該抓藍機構至 〉、包含有一基座⑴）、一驅動模組（20)、-傳動模 組（30)及一抓取模組（4〇)所組構而成； 、 而關於本創作抓藍機構各模組之詳細構成，則請進 -步參閱第二、三及四圖所示，其中基座（1())具有一 立管（11)及-罩體（15)，該立管（11)中央形成有 一供容置線路與組件的管路間（12)，且立管（丨丨）頂 端固設有-固^板（16)，該固妹（16)中央形成有 -對應管路間（12)之穿孔（17)，又固定板（16)於 穿孔（17)對應傳動模組（3〇)的内緣形成有一連結凸 片（18),而罩體（Μ)係罩設於立管（11)頂端之固 定板（16)外，且固定板適鎖設於罩體内部中段； 而所述之驅動模組（20)係設於前述基座（10)立 管（π)内’該驅動模組（20)於立管（11)固定板（ 16)之連、纟σ凸片（18)底面鎖設有一向下延伸之膨脹伸 縮管（21)，其中膨脹伸縮管（21)下端另鎖設有一連 ，板（22)，該連結板（22) 一端鎖設有一與膨脹伸縮 管（21)平行之滑軌件（23) ’且前述基座（1〇)立管 101年6月15日修正替換頁 (11)内壁面鎖設有-供滑軌件（23)滑^ 24)，又滑執件（23)頂端具有一穿出前述固定 )穿孔（17)之連接片（25)，其中連接片（25)對應 傳動模組（30) -侧表面具有兩框轴（26)，且兩枢: (26)分設於前述膨脹伸縮管（21)軸線的兩側相 置，供同步作動傳動模組（3〇); 又所述之傳純組（3Q)係設於基座（1())罩 15)上，該傳動模組（30)係於罩體（15)内部之固 板（16)上方固設有兩平行相對的軸筒（31)，註 筒（31)内部分別利用至少—軸承（32)極設有:= 伸出罩體（15)之傳動桿（34)，且兩轴筒（31)於 應前述驅動模組（21)之連接片（25)樞軸（處八 別具有-長剖槽⑽，又兩傳動桿（34)外緣與對: 之樞轴（26)間分設有—連動件（35) ’且該等連動 (35)係於傳動桿（34)上設有—導桿（36)，該等 桿（36)上套設有-滑筒（37)，而該等滑筒（37)自 由端分別具有-樞設於樞轴（26)上的軸部（ 驅動模組⑶）之連接片（25)上下位移時，可透過連 動件（35)的旋擺同步轉動傳動桿（34)， 35)旋擺範圍通過傳動桿（34)軸線，以避免i在未^ 力狀況下任意旋擺，防止抓取模組（4G)在 任意鬆脫； 且進-步搭配參看第五圖所示，所述之抓取模組（ 40)係設於傳動模組（3Q)之兩連動件（35)對應位置 ，供同步抓取物品之兩側，該抓取模组（4G)係於 動桿（34)的相對位置上分設有至少一框座（4丨），本 7 101年6月15日修正替換頁 創作以一個框座（41)為主要實施例，又該等框座（41 )具供一道供傳動桿（34)嵌置之夾槽（410)，而該 等框座（41)上分別利用一具相對夾槽（42〇)之框蓋 (42)夾掣於傳動桿（34)上，又該等框座（41)上設 有至；一「U」形夾框（45),本創作以兩組同一夹角 之夾C (45)為主要實施例，使其一個可抓取兩個物品 又該等;1C座（41)上於對應每一夾框（45)兩侧桿處 分別形成有一上下貫穿之插擎孔（41卜412)，供夾框 (45)選擇性鎖設於框座（41)上，以配合不同之物品 形狀更換失框（45)，再者該等框座（41)於對應各夹 框（45)的中央形成有—階級槽（48)，供分別鎖設一 可選f性碰觸物品之檢知單元（50)，以供檢知框座（ 41)是否準確抓取物品； __而=述之檢知單元（50)係於階級槽（48)内鎖設 ^一固定片（51)’該固定片（51)兩側中段分別鎖設 有一樞片（52)，兩柩片（52)相對樞設有一向下延伸 ,擺’（53), ’且擺臂（犯）於枢接點上方對應固定片 (51)表面形成有1陷之階級面（54)，使擺臂⑸ 可相對S]定片（51)產生極擺動作，再者固定片（51 )上設有-對應擺臂（53)上段之感應件（55)，供擺 臂（53)被選擇性外推時，感應件（55)可立即檢知， 以確f爪取模組（4Q)之失框（⑸確實有夾持到物品 ’避免不必要的意外； 者 藉此’組構成—安全性高、且抓藍平穩之抓藍機構 際操 透過前述本創作抓•構之設計，本創作於實 101年6月15日修正替換頁 作上，係如第一、六及七圖所示，其中第六、七圖為驅 動模組（20)、傳動模組（30)、抓取模組（40)與檢 知單元（50)之動作前、後態樣； 當其有抓取物品需求時，係將高壓氣源或液壓源注 入驅動模組（20)的膨脹伸縮管（21)内，該膨脹伸縮 管（21)會因膨脹而變短，而由於膨脹伸縮管（21)頂 端係固設於基座（10)立管（11)的固定板（16)連結 凸片（18)上，如此膨脹伸縮管（21)即會帶動底端的 連結板（22)上移，並使滑執件（23)相對導執座（24 )向上位移，進而作動連接片（25)移動，如此可透過 樞設在連接片（25)枢轴（26)上的連動件（35)向上 轉動傳動模組（30)兩侧的傳動桿（34)【如第七圖所 示】，如此可使設於兩傳動桿（34)之抓取模組（40) 的框座（41)相對靠合【如第七圖所示】，達到同步抓 取物品兩側之目的，且進一步利用檢知單元（50)的擺 臂（53)因碰觸物品而被外推，使檢知單元（50)上可 感應件（55)可檢知該物品的存在；反之，如擺臂（53 )未被推開，則可判斷其未準確抓取物品，而產生錯誤 訊息或重新作業； 而當其有釋放抓取之物品需求時，係將高壓氣源或 液壓源導出驅動模組（20)的膨脹伸縮管（21)，該膨 脹伸縮管（21)會因復原縮收而變長，而由於膨脹伸縮 管（21),頂端係固設於固定板（16)的連結凸片（18) 上，因此膨脹伸縮管（21)會帶動底端的連結板（22) 下移，並使滑軌件（23)相對導執座（24)向下位移， 進而帶動連接片（25)下移，如此可透過樞設在連接片 101年6月15日修正替換頁 樞袖（26)上的連動件（35)向下轉動傳動模組 兩u)兩側的傳動桿（34)【如第六圖所示】，使設於 離動桿（34)之抓取模組（40)的框座（41)相對遠 如第六圖所示】，達到同步釋放物品之目的。 之透過前述的設計，使本創作可利用驅動模組（2〇) 21/服伸縮管（21)的膨脹與否，而改變膨脹伸縮管（ 同牛！!長度，進而透過傳動模組（3〇)的傳動桿（34) ，動^取模組（40)之框座（41)相對夾框（45) 的赀同v罪合抓取或遠離釋放該物品，以降低動作端點 壞擊力，而避免相關組件因長期震動而鬆脫或損 的作x延長其使用壽命，同時利用其可同步抓取或釋放 全性用，而能保持物品移動的平衡，增進抓取物品的安 ㈣ϋ動模組（3g)之連動件（35)連動件（35) .兄下Λ*過傳動桿（Μ)抽線’使其不致在未施力狀 =意進，取r4°)在夾_ 計，：且(40)中檢知單元(5〇)的設 办疋否有準確夾持物品，以避免發生 大幅提升其抓取物品的安= ，除3效=以本創作為-創意極佳之新型創作 ，且在相η沾考所面臨的問題，更大幅增進功效 公開使用，同時未見相同或近似的i品創作或 八功欵的增進，故本創作已符合新型

101年Μ 15日修正替換頁 二有:專:賴性」與「進步性」的要件’ 【圖式簡單說明】 =:係本創作抓藍機構之外觀示意圖。 一：係本創作抓藍機構之分解示意圖，1 要7C件之態樣及其相對關係。 第二圖：本創作歸機射_触之簡要 ®，其顯示該模組之要件 解不忍 第四圖中驅動模組另成一視 第五圖· ΙΪ 顯示該馳之要件及其構成。 圖· ^本創作抓藍機構中抓取模組之簡要分解示意 .圖，其顯不該模組之要件及其構成。 /、圖.係本創作抓藍機構於實際抓藍動作前的簡要示 意圖。 第七圖.係本創作抓藍機構於實際抓藍動作後的 意圖。 乃依法提出 簡要示 【主要元件符號說明】 (10) 基座 (12) 管路間 (16) 固定板 (18) 連結凸片 (21) 膨脹伸縮管 (23) 滑執件 (25) 連接片 (30) 傳動模組 (32) 軸承 (11) 立管 (15) 罩體 (17) 穿孔 (20) 驅動模組 (22) 連結板 (24) 導執座 (26) 拖轴 (31) 軸筒 (33) 長剖槽 M43Q262 (34) 傳動桿 (36) 導桿 (38) 軸部 (41) 框座 (411) 插掣孔 (42) 框蓋 (45) 夾框 (50) 檢知單元 (52) 極片 (54) 階級面 101年6月15日修正替換頁 (35) 連動件 (37) 滑筒 (40) 抓取模組 (410) 夾槽 (412) 插掣孔 ( 420) 夾槽 (48) 階級槽 (51) 固定片 (53) 擺臂 (55) 感應件

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Claims (1)

101年6月15日修正替換頁 六、申請專利範圍： 1、一種抓藍機構，其至少包含有： 一基座’該基座具有一立管及一罩體’該立管中央 形成有一管路間，且立管頂端固設有一固定板，而 罩體係罩設於立管頂端之固定板上； 一驅動模組，該驅動模組係設於前述基座立管内， 驅動模組於立管固定板底面鎖設有一向下延伸之膨 脹伸縮管’其中膨脹伸縮管下端利用一連結板鎖設 有一與膨脹伸縮管平行之滑軌件，且前述立管内壁 面鎖設有一供滑執件滑移之導轨座’又滑執件頂端 具有一穿出前述固定板之連接片，其中連接片一侧 表面具有兩樞軸，且兩樞軸分設於膨脹伸縮管軸線 的兩側相對位置； 一傳動模組’該傳動模組係設於基座罩體上，傳動 ,組係於罩體之固定板上方固設有兩平行相對的軸 筒，該等軸筒内部分別樞設有一平行伸出罩體之傳 動桿’且兩轴筒於對應前述驅動模組之樞軸處分別 2有—長剖槽，又兩傳動桿外緣與對應之樞軸間分 °又有連動件’且該等連動件具有一樞設於樞軸上 的軸部； 抓取模組’該抓取模組係設於傳動模組之兩連動 ===位置’抓取模組係於兩傳動桿的相對位置上 ，少—框座，又該等框座具供一道供傳動桿 2#^ +槽，而該等框座上分別利用一具相對夾槽 h夹掣於傳動桿上，又該等框座J^有至少一 13 101年6月15日修正替換頁 相對之炎框； 藉此，組構成一安全性高、且抓藍平穩之抓藍機構 者。 依據申請專利範圍第1項所述之抓藍機構，其中該 基座之固定板中央形成有一對應管路間之穿孔，而 固疋板於穿孔内緣形成有一連結凸片，供膨服伸縮 管頂端鎖設。 ^ 依據申請專利範圍第1項所述之抓藍機構，其中該 該傳動模組之該等軸筒内部分別利用至少一軸承= 設平行伸出罩體之傳動桿。 依據申請專利範圍第1或3項所述之抓藍機構，其 中該傳動模組之連動件係於傳動桿上設有一導桿， ^等導桿上套設有一滑筒，而軸部係形成於該等滑 筒異於導桿的一端，使連動件旋擺範圍通過傳動桿 軸線，以避免其在未施力狀況下任意旋擺，防止= 取模組在夾持物品時任意鬆脫。 依據申請專利範圍第1項所述之抓藍機構，其中該 抓取模組係於傳動模組之兩傳動桿上分設有—個框 座。 依據申印專利範圍第1或5項所述之抓藍機構，其 中該抓取模組之該等框座上分設有兩組夾框。/、 依據申請專利範圍第6項所述之抓藍機構，其中該 抓，模組之夾框係呈ru」形，又該等框座上於對 應每一夹框兩侧桿處分別形成有一上下貫穿之插掣 101年6月15曰修正替換頁 孔’供夾框選擇性鎖設於框座上，以配合不同之 品形狀更換夾框。 依據申請專利範圍第1項所述之抓藍機構，其中該 抓取模組之該等框座於對應各夹框的中央分別鎖設 可選擇性碰觸物品之檢知單元，以供檢知框座是 否準確抓取物品。 機構，其中該 ，而檢知單元 兩側中段分別 向下延伸之擺 表面形成有一 對應擺臂上段 依據申請專利範圍第8項所述之抓藍 抓取模組係於框座上形成有一階級槽 於階級槽内鎖設有一固定片，固定片 鎖設有一樞片’兩樞片相對樞設有一 臂，且擺臂於樞接點上方對應固定片 凹陷之階級面，再者固定片上設有一 之感應件，供檢知是否有失持到物品 34 ^439262

M439262 101年6月15日修正替換頁 四、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：第（二）圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： (10) 基座 (11) 立管 (15) 罩體 (20) 驅動模組 (30) 傳動模組 (34) 傳動桿 (40) 抓取模組 (41) 框座 (410) 夾槽 (42) 框蓋 ( 420 ) 夾槽 (45) 夾框 (51) 固定片 (53) 擺臂