TWM434304U - Structure of universal slideway for burn in apparatus - Google Patents

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TWM434304U
TWM434304U TW101203247U TW101203247U TWM434304U TW M434304 U TWM434304 U TW M434304U TW 101203247 U TW101203247 U TW 101203247U TW 101203247 U TW101203247 U TW 101203247U TW M434304 U TWM434304 U TW M434304U
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Taiwan
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aging test
fixing portion
general
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TW101203247U
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Ta-Kang Liu
Yen-Chang Liu
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King Yuan Electronics Co Ltd
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M434304 五、新型說明: [新型所屬之技術領域】 _] 柄作提供-種用於老化測試裝置之泛用型導執結構 ,特別是有關一種用於老化測試裝置中可以有效減少粉 塵產生與老化測試板磨損的泛用型導軌結構。 【先前技術】 [_ 纟㈣電路製L巾,當完成_、職與封裝後 ,往往因應積體電路元件(或電子元件)的種類、作業環 境或是銷售的區域,而需要進行一老化測試,以獲知該 電子元件是在尚溫的環境下仍然可以正常的運作。 [0003] 參照第一A圖,其為-用以進行老化測試的習知老化 測試裝置10的示意圖。老化測試裝置1〇中有一或數個老 化測試爐12,而在老化測試爐12中則設置有數個兩兩成 對的導軌14,由於圖示角度的關係,第一a圖中僅展示出 一邊的導軌14。參照第一B圖,其為一老化測試爐12内部 之電子元件的放置狀況的正面示意圖。在老化測試爐12 中,待測電子元件18被放置於老化測試板16上進行老化 測試,老化測試板16則放置於一支撐板2〇(例如鋁板)上 ,用以支撐老化測試板16,避免老化測試板16因老化測 試所產生的高溫而軟化導致變形與破壞。在老化測試爐 12中的左右兩側裝置有成對的導轨14,老化測試板“的 兩側邊緣被置入導轨14,而可以在導軌14中自由前後移 動,以方便放入老化測試爐12以及由老化測試爐12取出 ,即插入老化測試爐12與由老化測試爐12拔出,並且在 進行老化測試時,依靠導軌14支撐於老化測試爐丨2中, 10120324产卓編號A0101 第3頁/共23頁 1012010281-0 [0004]M434304 而將老化測試板12以及其上的待測電子元件18與其下的 支撐板20固持於老化測試爐12中。 然而,由於重複地進行老化測試,往往需要不斷地取 放老化測試板16,而更換新的待測電子元件18進行老化 測試。由於不斷地取放老化測試板16,往往導致老化測 試板16與導轨14不斷地摩擦而產生磨損,而會產生一些 粉塵。這些粉塵會隨著老化測試爐12内循環送風的氣流 散佈於整個老化測試爐12内,而造成其内進行老化測試 的(待測)電子元件的表面髒污,甚至造成測試失敗。 [0005] 另外,此一形式的導軌14,由於在拔插老化測試板16 的時候,需要將老化測試板16的兩側邊緣對準導軌14, 而導致老化測試板16不易拔插。其次,更因為老化測試 板16與支撐板20的重量過重,而導致老化測試板16不易 搬運與拔插,甚至在拔插老化測試板16時候,容易因人 員的力氣不夠或疏忽,造成老化測試板16或支撐板20撞 擊導轨14,導致老化測試板16,甚至老化測試板16上的 電子元件或導軌14損壞,進而影響測試的效率或造成產 品(電子元件)的破壞。老化測試板16(包含其上的待測電 子元件)與支撐板20僅藉由老化測試板16的兩側邊緣與導 轨14接觸,而固持於老化測試爐12中,但是往往可能因 為老化測試板16與支稽板2 0的重量過重且受力的面積小 ,導致老化測試板16的邊緣因受力過大而破壞,甚至破 裂,導致老化測試板16與支撐板20落下,而造成老化測 試板16與其上的電子元件18損壞。 [0006] 10120324^^^^ 另外,由於電子元件的日新月異,其種類也愈來愈繁 A0101 第4頁/共23頁 1012010281-0 M434304 複,各種不同種類的電子元件之間的尺寸差異也愈來愈 大,而需要使用不同尺寸的老化測試板進行老化測試。 然而,這些老化測試爐内的導軌往往只能使用於某種或 是某一些尺寸的老化測試板,一旦進行老化測試的電子 元件種類不同或是尺寸差異過大,往往需要使用不同尺 寸的老化測試板。此時原本在老化測試爐中的導軌,由 於尺寸過大或過小而不適用,使得老化測試板無法插入 或固持於老化測試爐中,而需要更換另一種尺寸的導轉 。因此,不但因為需要對不同尺寸的導軌進行備料,而 • 導致測試成本的增加,更因為需要停機更換導軌,導致 測試效率的降低。 [0007] 有鑑於上述問題,因此亟需要一種適用的各種不同種 類或尺寸的電子元件或老化測試板的導執,並且可以有 效減少因摩擦粉塵產生、減少老化測試板與導軌的磨損 、以及避免對電子元件、老化測試板、以及導軌造成破 壞與損傷,進而降低測試成本與增加測試效率。 • 【新型内容】 [0008] 本創作之一目的為提供一種用於老化測試裝置之泛用 型導執結構,其具有低摩擦係數、耐磨性佳、絕緣性佳 、以及易拔插等優點,並且可以適用於各種不同種類與 尺寸的電子元件與老化測試板,進而降低測試成本與增 加測試效率。 [0009] 根據本創作之一目的,本創作提供一種用於老化測試 裝置之泛用型導轨結構,特別是有關一種用於老化測試 裝置中可以有效減少粉塵產生與老化測試板磨損的泛用 10120324#單編號 A〇101 第5頁/共23頁 1012010281-0 M434304 型導軌結構。此導轨包含一主體;一上固定部’由主題上 端延伸而出,用以防止老化測試板與支樓板向上%動. 一下固定部,由主體下端延仲而出’用以支撑老化滴丨气 板與支撐板;以及一缺口,設置於上固定部最前蠕,用以 取放老化測試板與支撐板。主體、上固定部、以及下固 定部連結形成一c字形之凹槽’用以在老化測試裝置中 支撐與取放老化測試板與支撐板。 [0010] [0011]
因此,本創作對比先前技術之功效在於提供一種用_ 老化測試裝置之泛用型導軌結構’特別是有關一種用於 老化測試裝置中可以有效減少粉塵產生與老化測贫板磨 損的泛用型導轨結構。藉此,可以有效減少因摩擦於塵 產生、減少老化測試板與導執的磨損、以及避免對電子 元件、老化測試板、以及導軌造成破壞與損傷,進而 低測試成本與增加測試效率。 【實施方式】 本創作的一些實施例詳細描述如下。然而,^ …、 承了該詳 細描述外,本創作還可以廣泛地在其他的實施例施行 亦即,本創作的範圍不受已提出之實施例的限制而 本創作提出之申請專利範圍為準。其次,當本創作 u 施例圖示中的各元件或步驟以單一元件或步驟描述g實 時,不應以此作為有限定的認知,即如下之說明未s月 強調數目上的限制時本創作之精神與應用範圍可推及j 數個元件或結構並存的結構與方法上。再者,在本說2 書中,各元件之不同部分並沒有完全依照尺寸繪圖:= 些尺度與其他相關尺度相比或有被誇張或是簡化,以提 第6頁/共23頁 10120324#單编號 A〇101 1012010281-0 M434304 供更清楚的描述以增進對本創作的理解。而本創作所沿 用的現有技藝,在此僅做重點式的引用,以助本創作的 闡述。 [0012] 參照第二A圖、第二B圖以及第二C圖,第二A圖為本創 作一實施例之用於老化測裝置之泛用型導轨結構100的立 體示意圖,而第二B圖與第二C圖分別為不同尺寸的電子 元件使用泛用型導執結構100於老化測試裝置中進行老化 測試的正面示意圖。泛用型導執結構100包含一主體102 '一由主體102上端延伸而出上固定部104、一主體102 下端延伸而出的下固定部106、以及一設置於上固定部 104最前端的缺口 108。主體1Q2、上固定部104'以及下 固定部106連結形成一匚字形之凹槽119,而使得老化測 試板16與支撐板20可以在泛用型導轨結構100中前後自由 移動與滑動,而用以拔插老化測試板16,並且在進行老 化測試時,支撐與固持老化測試板16(包含其上的電子元 件18)與支撐板20進行老化測試。 • [0013] 下固定部106的寬度比上固定部104的寬度大,用以從 支撐板20底部而有效地支撐與固持支撐板20與其上的老 化測試板16,而非如同習知的導軌僅藉由支撐老化測試 板而支撐與固持老化測試板與支撐板進行老化測試,所 以不會因重量過重造成老化測試板破壞與破裂。上固定 部104位於主體100的上端用以防止在進行老化測試時, 因老化測試裝置運轉所造成老化測試板與支撐板向上跳 動,而將其固持於泛用型導軌結構100上,並免誕動造成 老化測試板的破壞或是老化測試板16由泛用型導軌結構 10120324^^^^* A〇101 S 7 I / ^· 23 I 1012010281-0 M434304 100上脫落,並且進一步防止因老化測試板16與支撐板2〇 因與導轨碰撞而產生粉塵。再者,由於上固定部丨〇4的寬 度不大,而不會與老化測試板16上的電路(圖中未示)與 電子元件18接觸,所以不會對其造成破壞或毀損。 [0014] 藉由泛用型導轨結構100的上固定部1〇4與下固定部 106可以提供任何種類的與尺寸的電子元件18或老化測試 板16—有效的固定與支撐,而將其穩定地固持於老化測 試爐中進行老化測試《藉此,使得泛用型導執結構1〇〇為 一種可以適用於不同種類與尺寸的電子元件18或老化測 試板16的泛用型導轨結構。舉例來說,如第二β圖所示, 當老化測試板16或電子元样18的尺寸較小時,支樓板2〇 的邊緣部份完全與泛用型導軌結構1〇〇(或下固定部1〇6) 接觸,而由泛用型導轨結構1〇〇(或下固定部1〇6)所支撐 並提供給老化測試板16(包含其上的電子元件18)與支撐 板20—有效的支撐,所以不會如習知導執僅支撐老化測 試板而造成老化測試板破損,而上固定部104則藉由與老 化測試板16邊緣接觸而將老化測試板16(包含其上的電子 彳 元件18)與支撐板20固定於泛用型導軌結構1〇〇(或下固 定部106)上,使其不會在進行老化測試時,因老化測試 裝置運轉所造成老化測試板與支撐板向上跳動。如第二c 圖所示,當老化測試板16或電子元件18的尺寸較大小時 ,支撐板20的邊緣部份僅有一部份與泛用型導執結構 100(或下固疋部106)接觸,但是藉由此一部份的接觸’ 泛用型導執結構1〇〇(或下固定部106)仍然足以提供給老 化測試板16(包含其上的電子元件18)與支撐板2〇一有效 的支撐,所以同樣不會如習知導轨僅支撐老化測試板而 10120324^單編號A01〇l 第8頁/共23頁 1012010281-0 M434304 [0015]
[0016] 造成老化測試板破損,而上固定部104同樣藉由與老化測 試板16邊緣接觸而將老化測試板16(包含其上的電子元件 18)與支撐板20固定於泛用型導轨結構100(或下固定部 106)上,使其不會因老化測試裝置運轉造成老化測試板 與支撐板向上跳動。 上固定部104最前端的缺口 108,使得線上人員在插拔 老化測試板16與支撐板20時,無需仔細對準泛用型導轨 結構100之凹槽119,可先導入泛用型導軌結構100前端 的上方之缺口 108,插入與拔出老化測試板16與支撐板20 ,以利老化測試板16與支撐板20的取放與插拔,並且避 免老化測試板16與支撐板20在插拔時與泛用型導執結構 100碰撞,而避免因為碰撞導致電子元件18、老化測試板 16、支撐板20、以及泛用型導執結構100損傷,以及減少 與避免因碰撞所產生的粉塵。再者,缺口 108的邊緣皆為 一斜面,可以有效的導引老化測試板16與支撐板20插入 泛用型導轨結構100中,避免其相互碰撞導致損傷,以及 減少與避免因碰撞所產生的粉塵。 參照第二D圖,其為第二A圖所示之泛用型導軌結構 100沿AA切線切割的剖面結構圖。泛用型導轨結構100通 常為一可以耐高溫且在高溫下不會變形的金屬材質,例 如鋁或其他在高溫下不會變形的金屬,所以其具有較高 的硬度,但是在長期且頻繁地插拔老化測試板16與支撐 板20的狀況下,仍然會造成泛用型導軌結構100的磨損, 進而產生粉塵污染老化測試爐内部與電子元件18。因此 ,本創作可以在泛用型導軌結構100的表面101(包含整個 10120324^^^^ A0101 第9頁/共23頁 1012010281-0 M434304 主體102的表面、整個上固定部ι〇4的表面、以及整個下 固定部106的表面)包覆一層硬質氧化層11〇。硬質氧化層 110可以利用硬陽極處理在表面1〇1上形成一氧化膜層, 例如氧化鋁膜層,由於硬質氧化層n〇具有高硬度、耐磨 性佳、向電阻(絕緣性佳)、以及时腐餘等特性,使得泛 用型導轨結構100不但不易因與老化測試板16及支撐板20 碰撞而產生粉塵,更可以提供泛用型導執結構100一良好 的保護,並確保泛用型導軌結構100不會因本身為導電性 材質而影響測試。 [0017] 再者,在硬質氧化層110的表面上可以包覆一軟質耐 磨層112,例如鐵氟龍或其他低摩擦係數且耐高溫的材質 ,藉由軟質耐磨層112的低摩擦係數此一特性,而減少泛 用型導轨結構100與老化測試板16及支撐板20之間的摩擦 ’進而減少泛用型導軌結構100與老化測試板16以及支撐 板20之間摩擦產生粉塵的機率。 [0018] 參照第二A圖與第三B圖,兩者分別為本創作之另一實 施例之用於老化測裝置之泛用型導軌結構的剖面圖,其 同時顯示該泛用型導軌結構用於不同尺寸的老化測試板 的狀況,但是其僅顯示老化測試板與一邊的導執接觸的 狀況。參照第三Λ圖與第三B圖,在本創作另一實施例的 泛用型導轨結構100中’可以將上固定部104的内側表面 104a製作成一斜面,使得其與任何尺寸的老化測試板16 皆僅以老化測試板16的邊線接觸,而將泛用型導軌結構 100(或上固定部1〇4)與老化測試板16由原先的以面接觸 改變為以線接觸,進而減少泛用型導轨結構1〇〇(或上固 10120324#單编號 A〇101 第10頁/共23頁 1012010281-0 M434304 定部1 04 )與老化測試板1 6的接觸面積以及減少兩者之間 的接觸與摩擦,因此,將有效的減少因摩擦所產生的粉 塵。其次,下固定部106的内側表面106a也可以製作成一 斜面,使得在使用任何尺寸的老化測試板16進行測試時 ,皆僅以支撐板20的邊線與下固定部106接觸,老化測試 板16下方的支撐板20與將泛用型導軌結構1〇〇(或下固定 部106)由原先的以面接觸改變為以線接觸,進而減少泛 用型導轨結構100(或下固定部106)與支撐板20的接觸面 積以及減少兩者之間的接觸與摩擦,因此.,將有效的減 少因摩擦所產生的粉塵。 [0019] 另外,為了能更進一步減少泛用型導執結構1〇〇與老 化測試板16及支樓板20之間的摩擦,特別是泛用型導執 結構1 〇 〇的主體的内側表面與老化測試板丨_ 6及支標板2 〇之 間的摩擦’除了將上固定部1 〇4的内.側表面1 〇4a與下固定 部106的内側表面106a製作成斜面之外,可以在主體的内 側表面設置或貼附一軟質耐磨層114a(如第四A圖與第四β 圖所示),例如鐵氟龍或其他低摩擦係數且耐高溫的材質 ,減少主體的内側表面與老化測試板16及支撐板2〇之間 的摩擦,進而有效的減少因摩擦所產生的粉塵。 [0020] 甚至,為了更進一步減少泛用型導軌結構1〇〇與老化 測試板1 6及支撐板2 0之間的摩擦,特別是上固定部1 〇 4的 内側表面104a與老化測試板16及支撐板20之間的摩擦, 以及下固定部1 06的内側表面1 〇6a與老化測試板16及支 樓板20之間的摩擦,在本創作的另一實施例中(如第五a 圖所示)’除了將上固定部104的内側表面i〇4a與下固定 1012010281-0 10120324^單編號A〇1〇l 第11頁/共23頁 M434304 部106的内側表面i〇6a製作成斜面,以及在主體的内側表 面設置或貼附一軟質财磨層114a之外,也在上固定部1〇4 的内侧表面1 04a與下固定部1 06的内側表面1 〇6a上分別 設置或貼附一軟質耐磨層114b與114c,以減少上固定部 104的内側表面i〇4a與老化測試板16及支撐板20之間的 摩擦’以及減少下固定部1 〇 6的内侧表面1 〇 6 a與老化測試 板16及支撐板20之間的摩擦,進而有效的減少因摩擦所 產生的粉塵。 [0021] 參照第五B圖與第五C圖,兩者分別為本創作之另一實 施例之用於老化測裝置之泛用型導軌結構的剖面圖,其 同時顯示該泛用型導轨結構用於不同尺寸的老化測試板 的狀況。在第五B圖與第五C圖所示的實施例中,泛用型 導軌結構1 0 0為了能進一步減少其與老化測試板丨6及支撐 板20之間的接觸面積和摩擦,除了將上固定部1〇4的内側 表面104a與下固定部1〇6的内側表面i〇6a製作成斜面, 以及在主體的内侧表面、上固定部1 〇4的内側表面1 〇、 以及下固定部1 〇 6的内側表面1 〇6a上分別設置或貼附一軟 質耐磨層114d、114b與114c之外,更將主體的内側上表 面的軟質耐磨層114d的内側表面,即與老化測試板16及 支#板20接觸的表面,製作成一斜面。因此,使得軟質 耐磨層114d使得在使用任何尺寸的老化測試板1 6進行測 試時’皆僅以老化測試板16的邊線與主體的内側表面(或 軟質耐磨層114d)接觸,而不再與老化測試板16的其他部 份接觸,並將老化測試板16與將泛用型導軌結構1〇〇(或 主體内側的軟質耐磨層114 d )由原先的以面接觸改變為以 線接觸,進而減少泛用型導軌結構1〇〇(或主體内側的軟 10120324*^單编號A0101 第12頁/共23頁 1012010281-0 M434304 質耐磨層114d)與支撐板20及老化測試板16的接觸面積 以及減少彼此之間的接觸與摩擦,因此,將有效的減少 因摩擦所產生的粉塵。 [0022] 有鑑於此,本創作提供一種用於老化測試裝置之泛用 型導執結構,其具有低摩擦係數、耐磨性佳、絕緣性佳 、以及易拔插等優點,並且可以適用於各種不同種類與 尺寸的電子元件與老化測試板,進而降低測試成本與增 加測試效率。 【圖式簡單說明】 [0023] 第一A圖為一習知的老化測試裝置的示意圖。 第一 B圖為老化測試裝置内進行老化測試的電子元件的放 置狀況的正面示意圖。 第二A圖為一本創作之一實施例之用於老化測裝置之泛用 型導軌結構的立體示意圖。 第二B圖與第二C圖為不同尺寸的電子元件使用本創作之 泛用型導軌結構於老化測試裝置的進行老化測試的正面 示意圖。 第二D圖為一本創作之一實施例之用於老化測裝置之泛用 型導軌結構沿AA切線的剖面圖。 第三A圖與第三B圖為本創作之另一實施例之用於老化測 裝置之泛用型導轨結構的剖面圖。 第四A圖與第四B圖為本創作之又一實施例之甩於老化測 裝置之泛用型導轨結構的剖面圖。 第五A圖至第五C圖為本創作之又一實施例之用於老化測 裝置之泛用型導軌結構的剖面圖。 1012032#單编號 A0101 第13頁/共23頁 1012010281-0 M434304 【主要元件符號說明】 [0024] 10老化測試裝置 12老化測試爐 14導執 16老化測試板 18電子元件 20支撐板 100泛用型導轨結構 101導轨表面 102主體 104上固定部 104a上固定部的内側表面 106下固定部 106a下固定部的内側表面 108 缺口 119凹槽 110硬質氧化層 112軟質耐磨層 114a、114b、114c、114d 軟質耐磨層 AA剖面切線 10120324^^^^ A〇101 第14頁/共23頁 1012010281-0

Claims (1)

  1. 六、申請專利範圍: 1 . -種用於老化測試裝置之泛用型導聽構包含: 一主體; 上口疋。卩,由6亥主體上端延伸而出,用以防止老化 測試板與支撐·板向上跳動;以及 一下固^部,由該主體下端延伸而出,用以支撐老化 測武板與支擇板; 其中,該上固定部最前端形成一缺口,用以取放老化 測試板與支撐板,且該主體、該上固定部、以及該下固定 部連結形成-c字形之凹槽,用以在老化測試裝置中支標 與取放老化測試板與支撐板。 •如申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導執結構,其中該上固定部内側表面為一斜面用以減少 該上固定部與老化測試板之間的接觸與摩擦。 .如申请專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌結構,其中該上固定部内側表面上有一軟質耐磨層, 用以減少該上固定部與老化測試板之間摩擦產生粉塵的機 率。 .如申凊專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導執、纟D構,其中該下固定部内側表面為一斜面,用以減少 β 亥下固定部與支撐板之間的接觸與摩擦。 .如申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌結構,其中該下固定部内側表面上有一軟質耐磨層, 用以減少該下固定部與支撐板之間摩擦產生粉塵的機率。 .如申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 1012010281-0 導軌結構,其中該主體的内側表面設置有一軟質耐磨層 1_324^單編號_丨 第15頁/共23頁 用以減少該主體與老化測試板以及支撐板之間摩擦產生粉 塵的機率® 如申請專利範圍第e項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌結構’其中該軟質对磨層内側表面為一斜面,用以減 J該主體與支撐板以及老化測試板之間的接觸與摩擦。 .如申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌結構,其中更包含一硬質氧化層包覆於該主體的表面 、該上固定部的表面、以及該下固定部的表自上,用以增 加該泛用型導軌結構的耐磨性。 •如申請專職@第8項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌、’Ό構’其中更包含一軟質耐磨層,包覆於該硬質氧化 層的表面上,用以減少該泛用型導軌結構與老化測試板以 及支撐板之間摩擦產生粉塵的機率。 .如申請專職圍第9項所述之祕老化測試裝置之泛用型 導軌結構,其中該軟質耐磨層為-鐵氟龍層。 •如申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之泛用型 導軌結構’其中該缺口的邊緣為一斜面以利老化測試板的 取放。 第16頁/共23頁 10120324户·單編號 A0101 1012010281-0
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI807610B (zh) * 2020-12-30 2023-07-01 新加坡商Msv系統&服務私人有限公司 用於半導體老化製程之老化板對準及腔室與框架之間密封之裝置以及方法

Cited By (1)

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TWI807610B (zh) * 2020-12-30 2023-07-01 新加坡商Msv系統&服務私人有限公司 用於半導體老化製程之老化板對準及腔室與框架之間密封之裝置以及方法

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