TWM405441U - Device for temperature detection - Google Patents
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Description
M405441 - 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係有關一種測溫裝置’特別是指一種藍寶石長晶爐之測溫裝置 【先前技術】 藍寶石長晶爐之爐壁上設置有一觀察孔。觀察孔内設置有一用以觀察 爐體内情形之石英或是藍寶石材質的玻璃’以供操作人員由爐外觀察爐内 狀況。舉例來说，因為藍寶石長晶爐在長晶的過程中需要良好的溫产龄押 因此使用紅外線溫度偵測器自爐體外產生紅外線經由觀察孔之玻璃入射至 爐體内，以獲得爐内的溫度值。 但藍寶石長晶過程需在高真空及高溫中操作，舉例來說高達細〜 220(TC的高溫。然而在此相當高溫的情況下，爐體内利用金屬材質所製成 的酬鋼會產生金屬蒸汽（鶴蒸汽）或是其他氧化物雜質。此些雜質將附 著在爐體内各t在長時間生產的週射，大約二個星期，安裝在爐體觀 •察孔上的石英或是藍寶石材質的玻璃將遭受到金屬蒸汽或者氧化物的神 #及附著，嚴重干擾紅外線反射波長，造成無法透過此玻璃量測爐體内溫心 有鑑於此’本創作遂針對上述習知技術之缺失，提出-種適用於藍寶 石長晶爐之測溫裝置，以有效克服上述之該等問題。 【新型内容】 本創作之主要目的在提供一種適用於藍寶石長晶爐之測溫裝置，其氧 化處於加熱器旁，以使紅外線溫度侧器所發射的 照射於氧傾管一，顿辦雜健的溫度。 本創作之另-目的在提供—種_藍寶石長晶爐之測溫裝置，其能 3 M405441 有有效保護石英錄寶石材質之麵免於金賴汽或者氧化物的污染及附 著’並進而確保紅外線反射波長經石英或藍寶石材質之玻璃仍與實際相同。 為達上述之目的，本創作提出-種裝設於—藍寶石長晶爐上的測溫裝 置。此藍寶石長晶爐包含有-觀察孔上與—設置於藍寶石長晶爐爐内之加 熱器，觀察孔上設置有-玻璃。本創作之測溫裝置主要包含有—氧化錯管 與-紅外線溫度侧n。上述之氧化料是設置於藍寶石長祕内。氧化 錯管前端鄰近玻璃’末端延伸至加熱器。上述之紅外線溫度侧器是設置 方;k寶石長晶爐外。紅外線溫度偵之檢測端對應觀察孔，以發出紅外 光直接穿透過玻璃量測氣化結管末端的溫度。 兹為使貴審查委員對本創作之結構特徵及所達成之功效更有進一步 之瞭解與認識，謹佐續奴魏_及配合詳細之綱，說明如後： 【實施方式】 々叫併參閱第1圖與第2圖，其係本創作之測溫裝置的實施例示意層 ”第圖之局掀大不思圖。如圖所示，本創作之測溫裝置是裝設於一 藍寶石長晶爐12上。此藍寶石長晶爐12包含有一觀察孔Μ與一設_ 寶石長晶爐12爐内之加熱器16。此觀察孔m上設置有—石英或是藍寶石 材質的玻璃18，以供觀察爐體内情形。本創作之測溫裝置10主要包含有- 氧化錯管2〇與-紅树溫度_ 22。上述之氧化是設置於藍寶 石長晶㈣内。氧化錯管20前端鄰近玻璃18，末端延伸至加熱器Μ。上 奴紅外線溫度_器22是設置於藍f石長晶爐η外。紅外線溫麵測 器22之檢測端對應觀察孔M，以發㈣光直接穿透過玻璃Μ，來量測 軋化結管20末端的溫度。 M405441 ， 再者，上述之氧化鍅管2〇之前端係利用真空密封技術使用一密封件24 裝設於觀察孔Μ内，並藉此保護觀察孔14内之石英或藍f石玻璃18免於 文到金屬蒸A或者氧化物的污染及附著。再者，觀察孔14外周壁上設置 有冷卻裝置26 ’以消除藍寶石長晶爐内高溫熱傳對本創作之測溫裝置的 :影響，舉例來說對密封件、氧化鍅等的影響。 ‘ 此外，本創作之測溫裝置1〇之紅外線溫度偵測器22是藉由一固定件 -28來將紅外線溫度偵測器22之檢測端固定於觀察孔14上。當然，此固定 鲁件28的施行實施例可以有各種鶴變化，而於圖示中係舉一可套接於觀察 孔内周壁之固定件作為實施例，但並不以此侷限此固定件只能以此型態施 行。 在本創作之測溫裝置下，紅外線溫度彳貞·所發㈣紅外光將直接照 射在氧化鮮末端，此咖縫化齡末端是處於加熱时邊，所以可獲 得準確性較佳的量測溫度，此測溫的準確性高達約±〇.〇03%。 . 此外，因為本創作安裝氧化锆管的同時一併保護石英或藍寶石材質之 春破璃免於金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著，因此紅外線溫度谓測器所發 射出之紅外線自氧化錯管末端反射回來穿過此玻璃時，將不會遭受到金屬 蒸汽或者氧化物的污染，進而確保紅外線反射波長與實際相同。 —唯以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，並麵來限定本創作 貫施之範I故即凡依本創作申請範_述之特徵簡神所為之均等變化 或修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 第1圖係本創作之測溫裝置的實施例示意圖。 5 1405441 第2圖係第1圖之局部放大示意圖。 【主要元件符號說明】 10 測溫裝置 12 藍寶石長晶爐 14 觀察孔 16 加熱器 18 玻璃 20 氧化锆管 22 紅外線溫度偵測器 24 密封件 26 冷卻裝置
Claims (1)
- M405441 六、申請專利範圍： 1，-種測溫裝置，其健設於—„石長晶爐上，雜寶石長晶爐包含有 -觀察孔上與-設置於該藍寶石長晶爐爐内之加熱器該觀察孔上設置 有一玻璃，該測溫裝置包含有： —氧化辭’其係設置於缝寶石長晶爐咖，魏化鮮前端鄰近該 玻場’末端延伸至該加熱器；以及 —紅外線溫度·m ’其係設置於該藍寶石長晶爐外，該紅外線溫度偵 測器之檢_賴該觀魏，赠恤外光直接穿_财璃量測該 氧化錯管末端的溫度。 2·如申請細刪1 ，㈣編取前端係利用 一密封件裝設於該觀察孔内。 3. 如申請專利範圍第i項所述之測 直其中硪觀察孔外周壁上設置有 —冷卻裝置。 4. 如申請專利細第丨項所述之測溫裝置， ，、更匕3有一固疋件，其係將 雜外線溫度偵測器之檢測端固定於該觀察孔上。 7
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2011
- 2011-02-11 TW TW100202667U patent/TWM405441U/zh not_active IP Right Cessation
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