CN202177454U - 测温装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种装设于一蓝宝石长晶炉上的测温装置。此蓝宝石长晶炉包含有一观察孔上与一设置于蓝宝石长晶炉炉内的加热器，观察孔上设置有一玻璃。本实用新型的测温装置主要包含有一氧化锆管与一红外线温度侦测器。上述的氧化锆管是设置于蓝宝石长晶炉内，且前端邻近玻璃，末端延伸至加热器。上述的红外线温度侦测器是设置于蓝宝石长晶炉外且检测端对应观察孔，红外线温度侦测器发出红外光直接穿透过玻璃量测氧化锆管末端的温度，以获得准确性高的温度量测值。

Description

测温装置

技术领域

本实用新型是有关一种测温装置，特别是指一种蓝宝石长晶炉的测温装置。 

背景技术

蓝宝石长晶炉的炉壁上设置有一观察孔。观察孔内设置有一用以观察炉体内情形的石英或是蓝宝石材质的玻璃，以供操作人员由炉外观察炉内状况。举例来说，因为蓝宝石长晶炉在长晶的过程中需要良好的温度监控，因此使用红外线温度侦测器自炉体外产生红外线经由观察孔的玻璃入射至炉体内，以获得炉内的温度值。 

但蓝宝石长晶过程需在高真空及高温中操作，举例来说高达2100～2200℃的高温。然而在此相当高温的情况下，炉体内利用金属材质所制成的钨坩锅会产生金属蒸汽(钨蒸汽)或是其他氧化物杂质。此些杂质将附着在炉体内各处。在长时间生产的周期中，大约二个星期，安装在炉体观察孔上的石英或是蓝宝石材质的玻璃将遭受到金属蒸汽或者氧化物的污染及附着，严重干扰红外线反射波长，造成无法透过此玻璃量测炉体内温度。 

有鉴于此，本实用新型遂针对上述现有技术的缺失，提出一种适用于蓝宝石长晶炉的测温装置，以有效克服上述的所述等问题。 

发明内容

本实用新型的主要目的在提供一种适用于蓝宝石长晶炉的测温装置，其氧化锆管末端是处于加热器旁，以使红外线温度侦测器所发射的红外线直接照射于氧化锆管末端，而获得准确性较佳的温度。 

本实用新型的另一目的在提供一种适用于蓝宝石长晶炉的测温装置，其能有效保护石英或蓝宝石材质的玻璃免于金属蒸汽或者氧化物的污染及附着，并进而确保红外线反射波长经石英或蓝宝石材质的玻璃仍与实际相同。 

为达上述的目的，本实用新型提出一种装设于一蓝宝石长晶炉上的测温装 置。此蓝宝石长晶炉包含有一观察孔上与一设置于蓝宝石长晶炉炉内的加热器，观察孔上设置有一玻璃。本实用新型的测温装置主要包含有一氧化锆管与一红外线温度侦测器。上述的氧化锆管是设置于蓝宝石长晶炉内。氧化锆管前端邻近玻璃，末端延伸至加热器。上述的红外线温度侦测器是设置于蓝宝石长晶炉外。红外线温度侦测器的检测端对应观察孔，以发出红外光直接穿透过玻璃量测氧化锆管末端的温度。 

较佳的，所述氧化锆管的前端是利用一密封件装设于所述观察孔内。 

较佳的，所述观察孔外周壁上设置有一冷却装置。 

较佳的，其更包含有一固定件，其是将所述红外线温度侦测器的检测端固定于所述观察孔上。 

在本实用新型的测温装置下，红外线温度侦测器所发出的红外光将直接照射在氧化锆管末端，此时因为氧化锆管末端是处于加热器旁边，所以可获得准确性较佳的量测温度，此测温的准确性高达约±0.003％。 

此外，因为本实用新型安装氧化锆管的同时一并保护石英或蓝宝石材质的玻璃免于金属蒸汽或者氧化物的污染及附着，因此红外线温度侦测器所发射出的红外线自氧化锆管末端反射回来穿过此玻璃时，将不会遭受到金属蒸汽或者氧化物的污染，进而确保红外线反射波长与实际相同。 

附图说明

图1是本实用新型的测温装置的实施例示意图； 

图2是图1的局部放大示意图。 

附图标记说明：10-测温装置；12-蓝宝石长晶炉；14-观察孔；16-加热器；18-玻璃；20-氧化锆管；22-红外线温度侦测器；24-密封件；26-冷却装置。 

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。 

请一并参阅图1与图2，其是本实用新型的测温装置的实施例示意图与图1的局部放大示意图。如图所示，本实用新型的测温装置10是装设于一蓝宝石长晶炉12上。此蓝宝石长晶炉12包含有一观察孔14与一设置于蓝宝石长晶炉12炉内的加热器16。此观察孔14上设置有一石英或是蓝宝石材质的玻璃18，以 供观察炉体内情形。本实用新型的测温装置10主要包含有一氧化锆管20与一红外线温度侦测器22。上述的氧化锆管20是设置于蓝宝石长晶炉12内。氧化锆管20前端邻近玻璃18，末端延伸至加热器16。上述的红外线温度侦测器22是设置于蓝宝石长晶炉12外。红外线温度侦测器22的检测端对应观察孔14，以发出红外光直接穿透过玻璃18，来量测氧化锆管20末端的温度。 

再者，上述的氧化锆管20的前端是利用真空密封技术使用一密封件24装设于观察孔14内，并由此保护观察孔14内的石英或蓝宝石玻璃18免于遭受到金属蒸汽或者氧化物的污染及附着。再者，观察孔14外周壁上设置有一冷却装置26，以消除蓝宝石长晶炉内高温热传对本实用新型的测温装置的影响，举例来说对密封件、氧化锆等的影响。 

此外，本实用新型的测温装置10的红外线温度侦测器22是通过一固定件28来将红外线温度侦测器22的检测端固定于观察孔14上。当然，此固定件28的施行实施例可以有各种型态变化，而在图示中是举一可套接于观察孔内周壁的固定件作为实施例，但并不以此局限此固定件只能以此型态施行。 

在本实用新型的测温装置下，红外线温度侦测器所发出的红外光将直接照射在氧化锆管末端，此时因为氧化锆管末端是处于加热器旁边，所以可获得准确性较佳的量测温度，此测温的准确性高达约±0.003％。 

此外，因为本实用新型安装氧化锆管的同时一并保护石英或蓝宝石材质的玻璃免于金属蒸汽或者氧化物的污染及附着，因此红外线温度侦测器所发射出的红外线自氧化锆管末端反射回来穿过此玻璃时，将不会遭受到金属蒸汽或者氧化物的污染，进而确保红外线反射波长与实际相同。 

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化，或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。 

Claims (4)

1.一种测温装置，其特征在于，其是装设于一蓝宝石长晶炉上，所述蓝宝石长晶炉包含有一观察孔上与一设置于所述蓝宝石长晶炉炉内的加热器，所述观察孔上设置有一玻璃，所述测温装置包含有：

一氧化锆管，其是设置于所述蓝宝石长晶炉炉内，所述氧化锆管前端邻近所述玻璃，末端延伸至所述加热器；以及

一红外线温度侦测器，其是设置于所述蓝宝石长晶炉外，所述红外线温度侦测器的检测端对应所述观察孔，以发出红外光直接穿透过所述玻璃量测所述氧化锆管末端的温度。

2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述氧化锆管的前端是利用一密封件装设于所述观察孔内。

3.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述观察孔外周壁上设置有一冷却装置。

4.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，其更包含有一固定件，其是将所述红外线温度侦测器的检测端固定于所述观察孔上。 

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