M403506 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 置 本新型是有關於-種_設備，特別是指—餘材裝 【先前技術】 一般誠裝置包含-腔體、-安裝在腔體内的背板、 -與該背板結合的把材’以及，鑛表面。在施行㈣ 時，疋利用南電壓在該把材與該待錢鑛表面間產生電衆， 而該㈣在經過電焚揸擊後會產生游離而㈣的原子，並 沉積在該待濺鍍表面上，進而形成薄膜，達到在該議 表面鍍上預定材料層的e lie 一 扪目的。靶材受到電漿撞擊後，會產 生…皿®此為了降低靶材的溫度該背板會包括數個流 道，並在流道内灌注冷卻液以達到降低乾材溫度的功能。 而在待滅鑛面積較大而需要較大纪材的情況下，流道 的長度亦隨之變長’並且增加了每一單位冷卻液在流道内 的時間二使得鄰近流道末端的冷卻液的溫度過高，而無法 發揮冷部效果。因Λ 般減錄裝置運S在㈣大面積時 ，的確具有冷料平均，及冷卻效率低的情形。 【新型内容】 ―因此’本新型之目的’即在提供一種可均勻地冷卻而 提门冷卻政率，並具有良好適應性的乾材裝置。 於疋，本新型把材裝置，包含：一個第-背板機構、 -個可與該第—背板機構拼接的第二背板機構，及一個第 -接合機構。該第一背板機構包括一個第一板單元，及一 3 -： = :°玄第—板單元上的第一靶材。該第-板單元具有 —上板面、-個與該第-靶材貼靠的第一下板面、 數個自該第一 ， ^ 上板面凹陷且彼此連通地並排的第一主流道 、及數個貝f該第—上板面地連通該等第-主流道的第一 主水口。該第二背板機構包括—個第二板單S，及—個安 袭在該第二板單元上的第二乾材，該第二板單元具有—個 板®…個與該第二乾材貼靠的第二下板面、數個 自該第二上板面四陷且彼此連通地並排的第二主流道，及 數個貫穿該第二上板面地連通該等第二主流道的第二注水 口。所述第一接合機構可卡合地拼接該第一板單元盘第二 板單元。 Μ — 本新型之有益功效在於：由於該第一背板機構與該第 二背板機構利用該第—接合機構而拼接成—體，並具有可 獨立冷卻的第一及第二主流道，因此可均勻地冷卻該第一 與第二靶材，而提高冷卻效率，並具有良好適應性。 【實施方式】 有關本新型之前述及其他技術内容、特點與功效，在 以下配合參考圖式之一個較佳實施例的詳細說明中，將可 清楚的呈現。 參閱圖1、2、3，本新型靶材裝置的一較佳實施例，可 在濺鍍時與一濺鍍腔體（圖未示）組裝，並可與一冷卻液（圖 未示）配合達到冷卻功能，所述靶材裝置包含：一個呈矩形 的第一背板機構1、一個位在該第一背板機構丨一側的第二 背板機構2、一個位在該第一背板機構丨另一側的第三背板 l構3、-個可卡合地位在該第—背板機構i 構2間的第一桩人地姓< 月板機 機構i 。機構4 ’及-個可卡合地位在該第-背板 冓/、第三背板機構3間的第二接合機構5。 該第-背板機構i包括一個第一板單元u，及
裝在該第-板單元U上的第_轉12。該第—板單元U 呈矩形’並且具有兩個分別對應於長邊的第-橫邊U1、兩 個分別對應於短邊的第—縱邊112、_個朝上的第_ 113、1朝下並與該第-_12貼靠的板面Μ、 數條自该第一上板面113凹陷的第-主流道115、數條分別 呈弧形彎曲地連通兩相鄰的第-主流it 115的第-彎流道 116、兩個貫穿該第-上板面"3的第一注水口 117、一個 :::該第-上板面113上的第一流道蓋118，及數個沿該 寻弟一4頁邊111間隔排列的第一組裝孔119。 該等第-注水口 117是間隔地位在其中一個第一縱邊 ⑴上’並鄰近該第-上板面113的轉角處，且分別盘鄰近 t等第一縱邊112的第一主流道115相連通。該等第一主 流道U5皆沿所述第一縱邊112方向延伸，並且彼此間隔 所述第一橫邊111方向並列。該等第- f流道U6是 :該橫丨⑴設置，錢此交錯地分別位在該等第 一主流道115 0兩端，並將該等第一主流道115連通成一 條婉挺且固定轉的流道。所述第-流道i m是用以密 封所述第一主流道115與第—f流道116，並使該第一板單 —1的表面平整。該等第—組裝孔Π9是貫穿該第一上板 u3與第一下板面114，並可與數個螺絲（圖未示）配合將 機構1安裝在該繼體(圖未示)上。在使用時 —板'個第一注水口 117將冷卻液（圓未示）灌入該第 ρ 11内’此時冷卻液會沿著料第—主 ^弯流道叫流動，再由另-個第-注水0117排出: ·’、、、々p液疋/σ —流道蜿蜒地流動，因此可平均地冷 弟一靶材12。 夕閱圖1、3、4,所述第二背板機構2 1的結構與外型與該第-背板機構丨相同，並酬= 機構2對應於該第—背板機们而包括-個第二板單一元21 二個安裳在該第二板單元21上的第二乾材22。該第二 n 亦對應於4第"'板單兀11，而同樣地具有兩個第 =邊如'兩個第二縱邊212、—個第二上板面213'一 八第-下板面214、數條第二主流道215、數條呈彎曲狀且 刀別乂錯地連通相鄰的第二主流道215 兩個第二注水口 217、一個第二流道蓋218，及數個第二組 Γ 3方面’ Θ第二背板機構3則包括-個第三板 』31—及-個安裝在該第三板單元31上的第三靶材Μ 。=三板單元31對應於該第一板單元u，亦具有兩個第 頁邊川、兩個第三縱邊阳、-個第三上板面313、一 個第—下板面314、數條第三主流道阳、數條第三弯流道 二兩個第二注水口 317、一個第三流道蓋川，及數個 裝孔319。因此该第二與第三背板機構2、3同樣可 利用該等第二與第三注水口 217、317，及該等第二與第三 主流道215、315’並與該等第二、第三弯流道216、316相 M403506 配合，使冷卻液(圖未示)可婉蜒地自其中一個 217向另一個第二注水流動，且自其中-個第三=水 口 317向另—個第三注水口 317流動’以達到平均冷卻的 目的。 本實施例的第-接合機構4包括一個位在其中 二縱邊212上的第一接合溝41，及一個位在其 =邊夕上的第-接合條42。該第一接合條42是呈二 ’並且與该第一上表面113齊平地突出其 2=而該第—接合溝41是呈長形，並自該第二面 向下凹陷’且可容置該第—接合條42而彼此卡合。♦ 要說明的是，所述第一接合溝41與第一接合條a的位= =於本貫施例’也可以將該第—接合溝Μ形成在其卜
-縱邊212上，而將該第一接合條42形成在其中 第一縱邊112上。 U =述第二接合機構5的結構與該第_接合機構4相同 为別與該第一接合機構4位在該第一板單 反=亦包括一個第二接合溝51，及一個第二接合：二 〜二接合條52是位在該第—板單元U的另-個第 3 上’而該第二接合溝51則是位在該第三板單元 的其中一個第三縱邊312上。 溝=裝時4先將該第-接合條42卡設在該第一接合 第使該第二板單元21與第—板單元11以其中—個 縱邊U2與第二縱邊212並㈣方式拼接成一體， 、’该等第-橫邊m與第二橫邊211平整地銜接。再 7 M403506 以同樣的方式，將該第二接合條52卡設在該第二接合溝51 内’而將該第一板單元U與第三板單元31拼接成一體， 此時該等第—注水口 117、第二注水口 217及第三注水口 3Π是里一直線地排列。本新型是利用該第一接合機構*與 第二接合機構5將所述第二背板機構2及第三背板機構3 疋位在該第一背板機構1的兩相反側，藉此擴大濺鍍面積 。由於該第一及第二接合機構4、5主要是用以定位，因此 可為任意可互相卡設的裝置，並不以本實施例的長形為限 〇 而需要說明的是，在該第一接合條42與第二接合溝51 疋形成在該第一板單元u上，或該第一接合溝41與第二 接0條52是形成在該第一板單元11上的情況下，也就是 。玄第板單元11的兩側是呈現互補的形式，此時，該第一 背板機構1的數目不需以所述實施例為限，可多個第一背 板機構1彼此拼接，再與所述的第二與第三背板機構2、3 組裝，還可配合濺鍍面積來調整拼接的數目，使本發明具 有適應性高的優點。 此外，所述第一背板機構1、第二背板機構2及第三背 機構3都具有獨立的用以冷卻的裝置，即所述的第一、 第二及第三主流道115、215、315，與該第一、第二及第三 脊，道116、216、316,❿可克服職鑛面積過大時冷卻液在 末端因溫度過高而無法有效發揮冷卻效果的缺點，因此本 新型還可達到提高冷卻均勾度以及冷卻效率的目的。 值得一提的是，本新型的該等主流道U5、2i5、3i5 8 M403506 分別相連通地平均分布在該等板單元u、2〗、％内並且 述Ή/7液可沿该等弯流道U6、2i6、3i6而婉诞地流動 ’進而有助於更均勻地冷卻所縣材12、22、32。 ^淮X上所述者，僅為本新型之較佳實施例而已，當不 :以此限疋本新型實施之範圍，即大凡依本新型申請專利 範圍及新型說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本新型專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1是一俯視圖，顯示本新型靶材裝置的一較佳實施 例’及其未裝設數個流道蓋的情形； 圖2是一部分剖視側視圖，顯示本較佳實施例的一第 一背板機構的其中一個第一注水口與其中一個第一主流道 連通的情形； 圖3是-部分立體分解圖，顯示本較佳實施例的該第 一背板機構；及 圖4是-部分剖視分解圖，主要顯示本較佳實施例的 一第一接合機構與一第二接合機構。 M403506 【主要元件符號說明】 1 ....... …第一背板機構 218 ··· •…第二流道蓋 11…… …第一板單元 219… …·第二組裝孔 111 ··· …第一橫邊 22…… •…第二靶材 112 ... …第一縱邊 3 ....... .···第三背板機構 113 .··· …第一上板面 31…… .…第三板單元 114 ···· …第一下板面 311 ··· •…第三橫邊 115 …· …第一主流道 312… .···第三縱邊 116… …·第一彎流道 313… .·.·第三上板面 117 ..· …第一注水口 314 ... ....第三下板面 118… …·第一流道蓋 315… •…第三主流道 119 ·.·. ..··第一組裝孔 316… .…第三彎流道 12…… •…第一靶材 317… ….第三注水口 2 ....... •…第二背板機構 318… .…第三流道蓋 21…… .…第二板單元 319… ··..第三組裝孔 211 ··· …·第二橫邊 32••… •…第三靶材 212… •…第二縱邊 4…… •…第一接合機構 213… …·第一上板面 41…… …·第一接合溝 214 ... •…第二下板面 42·..·· •…第一接合條 215… •…第二主流道 5 ....... •…第二接合機構 216… •…第二彎流道 51 ··..· •…第二接合溝 217… …·第二注水口 52…… •…第二接合條 10