CN201809435U

CN201809435U - 靶材装置

Info

Publication number: CN201809435U
Application number: CN2010205660630U
Authority: CN
Inventors: 黄泳钊; 郑博仁
Original assignee: BEIRU PRECISION Co Ltd
Current assignee: BEIRU PRECISION Co Ltd; Bay Zu Precision Co Ltd
Priority date: 2010-10-19
Filing date: 2010-10-19
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2020-10-19

Abstract

一种靶材装置包含：一个第一背板机构、一个可与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个第一接合机构。该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材。该第一板单元具有一个第一上板面、一个第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面而连通所述第一主流道的第一注水口。该第二背板机构的结构与外型与该第一背板机构相同。所述第一接合机构可卡合地拼接第一背板机构的第一板单元与第二背板机构的第二板单元，而提高适应性，并达到均匀地冷却的效果。

Description

靶材装置

技术领域

本实用新型涉及一种溅镀设备，特别是涉及一种溅镀设备的靶材装置。

背景技术

一般溅镀装置包含一个腔体、一个安装在腔体内的背板、一个与该背板结合的靶材，及一个待溅镀表面。在施行溅镀时，是利用高电压在该靶材与该待溅镀表面间产生电浆，而该靶材在经过电浆撞击后会产生游离而飞溅的原子，并沉积在该待溅镀表面上，进而产生薄膜，达到在该待溅镀表面镀上预定材料层的目的。靶材受到电浆撞击后，会产生高温，因此为了降低靶材的温度，该背板会包括数个流道，并在流道内灌注冷却液以达到降低靶材温度的功能。而在待溅镀面积较大而需要较大靶材的情况下，流道的长度也随之变长，并且增加了每一单位冷却液在流道内的时间，使得邻近流道末端的冷却液的温度过高，而无法发挥冷却效果。因此，一般溅镀装置运用在溅镀大面积时，的确具有冷却不平均，及冷却效率低的情形。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可均匀地冷却而提高冷却效率，并且具有良好适应性的靶材装置。

本实用新型的靶材装置包含：一个第一背板机构，该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材，该第一板单元具有一个第一上板面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面而与所述第一主流道连通的第一注水口；其特征在于：该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个可卡合地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构，该第二背板机构包括一个可利用该第一接合机构地与该第一板单元拼接的第二板单元，及一个安装在该第二板单元上的第二靶材，该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道，及两个贯穿该第二上板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。

本实用新型靶材装置还包含一个第三背板机构，及一个可卡合地拼接该第一背板机构与第三背板机构的第二接合机构，该第三背板机构包括一个第三板单元，及一个安装在该第三板单元上的第三靶材，该第三板单元具有一个第三上板面、一个第三下板面、数个自该第三上板面凹陷且彼此连通地并排的第三主流道，及两个贯穿该第三上板面地连通所述第三主流道的第三注水口。

本实用新型靶材装置的第一板单元还具有两条平行的第一横边，及两条平行的第一纵边，所述第一纵边与所述第一主流道平行，该第二板单元还具有两条平行的第二横边，及两条平行的第二纵边，所述第二纵边与所述第二主流道平行，该第一接合机构包括一个位在其中一个第一纵边与其中一个第二纵边中之一者的第一接合沟，及一个设置在该第一纵边与该第二纵边其中之另一者上的第一接合条，且该第一接合条可与该第一接合沟卡合。

本实用新型靶材装置的第三板单元还具有两条平行的第三横边，及两条平行的第三纵边，所述第三纵边与所述第三主流道平行，该第二接合机构包括一个设置在另一个第一纵边与其中一个第三纵边中之一者的第二接合沟，及一个设置在该另一个第一纵边与该第三纵边其中之另一者上的第二接合条，且该第二接合条可与该第二接合沟卡合。

本实用新型靶材装置的第一板单元还具有数个分别邻近所述第一横边且连通两相邻的第一主流道的第一弯流道，该第二板单元还具有数个分别邻近所述第二横边且连通两相邻的第二主流道的第二弯流道，所述第一注水口分别位在其中一个第一横边的两相反端，所述第二注水口分别位在其中一个第二横边的两相反端。

本实用新型靶材装置的第三板单元还具有数个分别邻近所述第三横边且连通两相邻的第三主流道的第三弯流道，所述第三注水口分别位在其中一个第三横边的两相反端。

本实用新型的有益效果在于：因为该第一背板机构与该第二背板机构利用该第一接合机构而拼接成一体，并具有可独立冷却的第一主流道及第二主流道，因此可均匀地冷却该第一靶材与第二靶材，而提高冷却效率，并具有良好适应性。

附图说明

图1是一个俯视图，显示本实用新型靶材装置的一个较佳实施例，及其未装设数个流道盖的情形；

图2是一个部分剖视侧视图，显示该靶材装置的一个第一背板机构的其中一个第一注水口与其中一个第一主流道连通的情形；

图3是一个部分立体分解图，显示该第一背板机构；

图4是一个部分剖视分解图，主要显示该靶材装置的一个第一接合机构与一个第二接合机构。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1、2、3，本实用新型靶材装置，可在溅镀时与一个溅镀腔体(图未示)组装，并可与冷却液(图未示)配合达到冷却功能，该靶材装置包含：一个矩形的第一背板机构1、一个位在该第一背板机构1一侧且与该第一背板机构1拼接的第二背板机构2、一个位在该第一背板机构1另一侧的第三背板机构3、一个可卡合地位在该第一背板机构1与第二背板机构2间的第一接合机构4，及一个可卡合地位在该第一背板机构1与第三背板机构3间的第二接合机构5。

该第一背板机构1包括一个第一板单元11，及一个安装在该第一板单元11上的第一靶材12。该第一板单元11是矩形，并且具有两条平行的分别对应长边的第一横边111、两条平行的分别对应短边的第一纵边112、一个朝上的第一上板面113、一个朝下并与该第一靶材12贴靠的第一下板面114、数条自该第一上板面113凹陷且彼此连通地并排的第一主流道115、数条弧形弯曲地连通两相邻的第一主流道115的第一弯流道116、两个贯穿该第一上板面113的第一注水口117、一个装设在该第一上板面113上的第一流道盖118，及数个沿所述第一横边111间隔排列的第一组装孔119。

所述第一注水口117是间隔地位在其中一个第一横边111的两相反端，并邻近该第一上板面113的转角处，且分别与邻近所述第一纵边112的第一主流道115相连通。所述第一主流道115都沿所述第一纵边112方向延伸，并且彼此间隔地沿所述第一横边111方向并列。所述第一弯流道116是沿所述第一横边111设置，且彼此交错地分别位在所述第一主流道115的两端，并将所述第一主流道115连通成一条蜿蜒且固定路径的流道。所述第一流道盖118是用以密封所述第一主流道115与第一弯流道116，并使该第一板单元11的表面平整。所述第一组装孔119是贯穿该第一上板面113与第一下板面114，并可与数个螺丝(图未示)配合，而将该第一背板机构1安装在该溅镀腔体(图未示)上。在使用时，可从其中一个第一注水117将冷却液(图未示)灌入该第一板单元11内，此时冷却液会沿着所述第一主流道115与第一弯流道116流动，再由另一个第一注水117排出。因为冷却液是沿着一条流道蜿蜒地流动，因此可平均地冷却该第一靶材12。

参阅图1、3、4，该第二背板机构2及第三背板机构3的结构与外型与该第一背板机构1相同，并且该第二背板机构2对应该第一背板机构1而包括一个第二板单元21，及一个安装在该第二板单元21上的第二靶材22。该第二板单元21是对应该第一板单元11，而同样地具有两条平行的第二横边211、两条平行的第二纵边212、一个第二上板面213、一个与该第二靶材22贴靠的第二下板面214、数条自该第二上板面213凹陷且彼此连通地并排的第二主流道215、数条弯曲且分别交错地连通相邻的第二主流道215的第二弯流道216、两个贯穿该第二上板面213且与所述第二主流道215连通的第二注水口217、一个第二流道盖218，及数个第二组装孔219。另一方面，该第三背板机构3包括一个第三板单元31，及一个安装在该第三板单元31上的第三靶材32。该第三板单元31对应该第一板单元11，也具有两条平行的第三横边311、两条平行的第三纵边312、一个第三上板面313、一个第三下板面314、数条自该第三上板面313凹陷且彼此连通地并排的第三主流道315、数条分别邻近所述第三横边311且连通两相邻的第三主流道315的第三弯流道316、两个分别位在其中一个第三横边311的两相反端的第三注水口317、一个第三流道盖318，及数个第三组装孔319。因此该第二背板机构2与第三背板机构3同样可利用所述第二注水口217与第三注水口317，及所述第二主流道215与第三主流道315，并与所述第二弯流道216、第三弯流道316相配合，使冷却液(图未示)可蜿蜒地自其中一个第二注水口217向另一个第二注水口217流动，且自其中一个第三注水口317向另一个第三注水口317流动，达到平均冷却的目的。

本实施例的第一接合机构4包括一个位在其中一个第二纵边212上的第一接合沟41，及一个位在其中一个第一纵边112上的第一接合条42。该第一接合条42是长条形延伸，并且与该第一上板面113齐平地突出其中一个第一纵边112。而该第一接合沟41是长条形，并自该第二上板面213向下凹陷，且可容置该第一接合条42而彼此卡合。需要说明的是，所述第一接合沟41与第一接合条42的位置不以本实施例为限，也可以将该第一接合沟41设置在其中一个第一纵边112上，而将该第一接合条42设置在其中一个第二纵边212上。

该第二接合机构5的结构与该第一接合机构4相同，且分别与该第一接合机构4位在该第一板单元11的两相反侧，并也包括一个第二接合沟51，及一个第二接合条52。所述第二接合条52是位在该第一板单元11的另一个第一纵边112上，而该第二接合沟51是位在该第三板单元31的其中一个第三纵边312上。

在组装时，是先将该第一接合条42卡设在该第一接合沟41内，使该第二板单元21与第一板单元11以其中一个第一纵边112与第二纵边212并靠的方式，拼接成一体，此时，所述第一横边111与第二横边211平整地衔接。再以同样的方式，将该第二接合条52卡设在该第二接合沟51内，而将该第一板单元11与第三板单元31拼接成一体，此时所述第一注水口117、第二注水口217及第三注水口317是呈一直线地排列。本实用新型是利用该第一接合机构4与第二接合机构5将所述第二背板机构2及第三背板机构3定位在该第一背板机构1的两相反侧，借此扩大溅镀面积。因为该第一接合机构4及第二接合机构5主要是用来定位，因此可以是任意可互相卡设的装置，并不以本实施例的长条形为限。

需要说明的是，在该第一接合条42与第二接合沟51是设置在该第一板单元11上，或该第一接合沟41与第二接合条52是设置在该第一板单元11上的情况下，也就是该第一板单元11的两侧是互补的形式，此时，该第一背板机构1的数目不需以所述实施例为限，也可以多个第一背板机构1彼此拼接，再与所述的第二与第三背板机构2、3组装，并配合溅镀面积来调整拼接的数目，使本实用新型具有适应性高的优点。

此外，所述第一背板机构1、第二背板机构2及第三背板机构3都具有独立的用以冷却的装置，也就是所述的第一主流道115、第二主流道215及第三主流道315，与该第一弯流道116、第二弯流道216及第三弯流道316，而可克服溅镀面积过大时冷却液在末端因温度过高而无法有效发挥冷却效果的缺点，因此本实用新型还可达到提高冷却均匀度及冷却效率的目的。

值得一提的是，本实用新型的所述第一主流道115、第二主流道215、第三主流道315分别相连通地平均分布在所述第一板单元11、第二板单元21、第三板单元31内，并且所述冷却液可沿所述第一弯流道116、第二弯流道216、第三弯流道316而蜿蜒地流动，进而可更均匀地冷却所述第一靶材12、第二靶材22、第三靶材32。

Claims

1.一种靶材装置，包含：一个第一背板机构，该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材，该第一板单元具有一个第一上板面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面地与所述第一主流道连通的第一注水口；其特征在于：该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个可卡合地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构，该第二背板机构包括一个可利用该第一接合机构而与该第一板单元拼接的第二板单元，及一个安装在该第二板单元上的第二靶材，该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道，及两个贯穿该第二上板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。

2.根据权利要求1所述的靶材装置，其特征在于：该第一板单元还具有两条平行的第一横边，及两条平行的第一纵边，所述第一纵边与所述第一主流道平行，该第二板单元还具有两条平行的第二横边，及两条平行的第二纵边，所述第二纵边与所述第二主流道平行，该第一接合机构包括一个位在其中一个第一纵边与其中一个第二纵边中之一者的第一接合沟，及一个设置在该第一纵边与该第二纵边其中之另一者上的第一接合条，且该第一接合条可与该第一接合沟卡合。

3.根据权利要求2所述的靶材装置，其特征在于：该第一板单元还具有数个分别邻近所述第一横边且连通两相邻的第一主流道的第一弯流道，该第二板单元还具有数个分别邻近所述第二横边且连通两相邻的第二主流道的第二弯流道，所述第一注水口分别位在其中一个第一横边的两相反端，所述第二注水口分别位在其中一个第二横边的两相反端。

4.根据权利要求1所述的靶材装置，其特征在于：该靶材装置还包含一个第三背板机构，及一个可卡合地拼接该第一背板机构与第三背板机构的第二接合机构，该第三背板机构包括一个第三板单元，及一个安装在该第三板单元上的第三靶材，该第三板单元具有一个第三上板面、一个第三下板面、数个自该第三上板面凹陷且彼此连通地并排的第三主流道，及两个贯穿该第三上板面地连通所述第三主流道的第三注水口。

5.根据权利要求4所述的靶材装置，其特征在于：该第一板单元还具有两条平行的第一横边，及两条平行的第一纵边，所述第一纵边与所述第一主流道平行，该第二板单元还具有两条平行的第二横边，及两条平行的第二纵边，所述第二纵边与所述第二主流道平行，该第一接合机构包括一个设置在其中一个第一纵边与其中一个第二纵边中之一者的第一接合沟，及一个设置在该第一纵边与该第二纵边其中之另一者上的第一接合条，且该第一接合条可与该第一接合沟卡合，该第三板单元还具有两条平行的第三横边，及两条平行的第三纵边，所述第三纵边与所述第三主流道平行，该第二接合机构包括一个设置在另一个第一纵边与其中一个第三纵边中之一者的第二接合沟，及一个设置在该另一个第一纵边与该第三纵边其中之另一者上的第二接合条，且该第二接合条可与该第二接合沟卡合

6.根据权利要求5所述的靶材装置，其特征在于：该第一板单元还具有数个分别邻近所述第一横边且连通两相邻的第一主流道的第一弯流道，该第二板单元还具有数个分别邻近所述第二横边且连通两相邻的第二主流道的第二弯流道，该第三板单元还具有数个分别邻近所述第三横边且连通两相邻的第三主流道的第三弯流道，所述第一注水口分别位在其中一个第一横边的两相反端，所述第二注水口分别位在其中一个第二横边的两相反端，所述第三注水口分别位在其中一个第三横边的两相反端。