TWM397387U - An auxiliary air-pumping apparatus by evaporation for ultra high vacuum system - Google Patents
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Description
五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係關於一種能藉電子束轟擊使釔金屬棒加熱至其 熔點’特別是指於釔元素蒸鍍過程將大量吸附除鈍氣以外之氣 體使環境被抽成超高真空狀態之裝置。 【先前技術】 先前相關於本創作的專利公報公告第428031號「非蒸發 性吸氣劑合金」係在揭示Zr —C〇_A非蒸發性吸氣劑合金，其 中之A係由下列元素中選出：釔、鑭、稀土元素或以上之混合 物，此類合金可吸附多種氣體；但是就操作方便性來考量，此 發明使用前需經過數小時以攝氏四百度以上活化過程並極昜 受·腔壁的釋氣污染令其表面將快速飽和而喪失抽氣能力。 【新型内容】 本創作所欲解決之問題為先前該專利為非揮發合金材料 吸附氣體能力受限於其繁複的操作程序，其吸氣效果尤其是針 對超高真空中主要殘餘氣體成份氫氣明顯不如本創作之金屬 材料有效，也因該前案不具有如同本案之可隨時連續蒸鑛，在 此過程中均可吸氣等功能。 本創作之超高真空用之蒸鍍式辅助抽氣設備所解決問赘 之·技術手段係含七大步驟： . (一） 將本設備安裝於真空系統設備； (二） 先由真空系統之主要抽氣設備（如機吞幫浦、渦輪幫浦、 離子幫浦等）將真空抽至1〇-5托爾（torr)以下之氣壓； (三） 將釔元素棒推入； (四） 分別外加電流及電壓至電極棒及釔金屬棒將其加熱至其 熔點； (五） 紀元素達熔融狀態時，將蒸链出纪原子氣體； (.六）蒸鍍過程中，會大量吸附真空腔中剩餘氣體； · (七） 關閉電源之後，在薄膜氣體吸附率未達飽和狀態前仍能 持續抽氣，達維持真空之效果。 (八） 配合真空系統烘烤過程中操作效果更好。 本創)乍對照先前技術之功效為本設備於使用時，具有操作 裎序簡便、低耗能、不需經長更換、抽氣效率良好之功能，並 L用於所有真空系統，配合主抽氣系統烘烤後，可將真空系統 维持在1 (T"torr之超高真空環境。 【實施方式】 . 如圖一所示，因本創作需安裝於主要抽氣設備（1)，本創 作中之用以紐之⑯（y論元素之不細義⑵經過 通孔（3)連至主要抽氣設備（1)内。而釔金屬棒（4)經由 圓桶（2)之另一邊經真空線性傳輸器（7)以陶瓷接頭（9)連 接推近鶴絲⑻，此鎢絲⑻《藉電極棒的正貞端子⑻ 外加電流進入加熱產生熱電子，及外加電壓經SHV接頭（5)至 紀金屬棒’·電壓差電子束將轟軸金屬棒將其加熱，達熔 融狀態時，崎子氣體不受背景氣壓影響被級至圓桶⑵ M397387 腔·壁，且於此過程中，將大量吸收圓桶（2) 備（1)内之氣體；而關閉電源之後，仍可持 持真空之效果。 本設備於使用後，釔元素棒（4)之長度因損耗而縮短， 所以此時需藉真空線性傳輸器（7)將釔元素棒（4)再次推進， 以使維持正常運作。
於本實施方式所述僅為本創作之實施例，然本創作可隨 時因應需要而作多方面之更改、擴充、應用，使更擴大其贫 能仍屬本創作的申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 圖一：超高真空用之蒸鍍式辅助抽氣設備。-【主要元件符號說明】
内及主要抽氣設 續吸氣，使達維 1 :主要抽氣設備 2:不銹鋼圓桶 3 :通孔 4:釔元素棒 SHV接頭 6:電極棒的正負端子 7.真空線性傳輸器 8 :鎢絲 9 :陶究接頭
Claims (1)
- 六、申請專利範圍·· 種超同真工用之錢式伽減設備含主要抽氣設備 .()#元素棒⑷、於紀元素棒⑷近處兩旁之電擊 棒紀兀素棒（4)及電擊棒被推入至的不錄鋼圓桶⑵、 於不錄侧桶（2)内連接電擊棒正貞端的鎢絲⑻、連 接主要抽氣設備⑴與不錄鋼圓桶⑵之間的通孔（3)， /、特4:在於纪元素棒⑷及電擊棒被推人的不銹鋼圓桶 ⑵區域係指獨鋼_⑵中心區，可外加電流至電 極棒的正負端鶴絲⑻，及外加電壓至紀元素棒，利用電 壓差’電子束轟敎元素棒⑷產生加熱效果 ，使釔元 .素棒（4)加熱達熔融狀態時，釔原子將由釔元素棒（4·) 之該區經不錄鋼圓桶⑵空間蒸鑛至不銹鋼圓桶⑵腔 壁，且於吸附腔壁過程中，將大量吸收不銹鋼圓桶（2) 内及主要抽氣設備（1)經通孔（3)來之氣體。 2. 如申請專利範圍第丨項所述之超高真空用之蒸鍍式輔助抽 氣没備，含於釔元素棒（4)兩旁並漏在不銹鋼圓桶（2) 外的接至電擊棒的正負端子、亦漏於不銹鋼圓桶（2)外 的接至釔元素棒（4)的SHV接頭（5)，此二者即分別為 外加電流及電壓之處。 . 3, 如申請專利範圍第丨或2項所述之超高真空用之蒸鍵式辅 助抽氣設備’其也可使釔元素不受背景氣壓影響持續蒸鑛 至腔壁並在過程中吸附氣體，關閉電源後在薄獏未達飽和 6 4 M397387 前，仍能持續吸收不銹鋼圓桶（2)内及主要抽氣設備（1) % 經通孔（3)來之氣體。 4.如申請專利範圍第1或2項所述之超高真空用之蒸鍍式輔 助抽氣設備，含於釔元素棒（4)最外側端的真空線性傳 輸器（7)，此傳輸器可將釔元素棒（4)更推入不銹鋼圓
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| TW99216455U TWM397387U (en) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | An auxiliary air-pumping apparatus by evaporation for ultra high vacuum system |
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| TW99216455U TWM397387U (en) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | An auxiliary air-pumping apparatus by evaporation for ultra high vacuum system |
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Country Status (1)
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| TW (1) | TWM397387U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105468026A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-04-06 | 冠研（上海）企业管理咨询有限公司 | 具有三个自由度的样品调整控制器 |
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2010
- 2010-08-25 TW TW99216455U patent/TWM397387U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105468026A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-04-06 | 冠研（上海）企业管理咨询有限公司 | 具有三个自由度的样品调整控制器 |
| CN105468026B (zh) * | 2014-09-10 | 2018-04-03 | 冠研（上海）专利技术有限公司 | 具有三个自由度的样品调整控制器 |
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