M396267 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本案為一種用於晶圓貨架之減震裝置，尤指能減緩懸吊式搬 運車放置晶圓載具時所產生之震動搖晃情形，藉此提高晶圓良率 之用於晶圓貨架之減震裝置。 【先前技術】 第一圖為習用的晶圓載具示意圖，其中包含了晶圓載具U。 在晶圓廠中，晶圓主要是採用批量搬運方式，並以自動化之方式 進订搬運作業。在搬運晶圓的過程中，晶圓是放置在晶圓載具U 中’再透過搬運裝置，例如：懸吊式搬運車等裝置進行搬運，藉 此將晶圓載具11内部所裝載之晶圓運送至需求之位置。 第一圖A為駕用自動化晶圓搬運系統示意圖，其中包含了執 _道4卜搬運車42、暫存貨架43、晶圓載具私、凸柱21及緩衝塾 _ 20在暫存貨架43的上方設有軌道41，懸吊式搬運車犯的一端 ^卩連接至轨道41，並可在執道41中移動，另一端向下延伸，於末 '、有搬運手’。在暫存貨架43的底板上，触複數個凸柱Μ 用於暫存擺放晶圓載具44。在搬運作業進行時，懸吊式搬運車42 、、運手’抓起裝載晶圓的晶圓載具44,並經由軌道“移動至 凸㈣上方，再將晶圓載具44放置至凸孝主21上，完成存放作業。 第二圖A圖左為早期暫存貨架43底部所設置的凸柱21結構’ ivijyozo/ 其並未具備減震功能，因此，當懸吊式搬運車&將晶圓載且私 放置至凸柱2丨上時，晶_具44碰觸至凸柱2i頂部之瞬間會產 生震動現象，震動將可能導致晶圓載具44内部之晶圓受損，亦可 能產生微粒，影響晶圓之良率。 第二圖A圖右為習用改良之結構，其係於凸柱21上設一緩衝 .墊2〇。在未設緩衝塾20前（如圖左），搬運車犯與晶圓載具私 之間距W為35刪，但在設緩衝塾2〇後，被緩衝塾塾高 # 24mm(D3)，搬運車42與晶圓載具44之間距D2僅剩llmm。 、第二圖B為習用搬運車移動與晶圓載具碰撞示意圖。由於搬 運車42與s曰圓載具44之間距D2僅剩llmm，如果晶圓載具44未 放置於凸柱21之正確位置’將塾高D4為38咖，造成當搬運車犯 移動時’造成搬運車42與晶圓載具44之碰撞(如碰撞點E1)，損 毀晶圓。 第二圖G為制搬運車移動與晶賴具改善示意圖 ，其係於 現場安裝時將凸柱(KC Pin)支架拆卸後安裝於暫存独43下方。 其衍生的問題為：1.現場施工作業項目增加，施工成本增加；2. kc Pm固定支架鎖付方式變更後增加墜落風險固定 支架部分為燒焊（共約6〇〇ea)，需暫存貨架43全拆卸後移開 (Move-Out)進行場外加卫後錄安裝並再試轉(Teaching)。 因此，如何改進上述習用的缺點，有效降低放置晶圓载具時 所產生之震動情形，係為本案所關注者。 M396267 【新型内容】 本案的目的在於提出—新穎且進步的用於_ 置，在上板與底板間設置了複數個緩衝元件，因此，當搬運車= 晶0载具放置至上板上之凸柱時，緩衝元件可提供緩衝減震效 果，猎此避免晶關震動耐狀情況發生，有效提升晶圓 率。 氏 為達上述目的’本案提出一種用於晶圓貨架之減震裝置 含： -底板，具-第-曲折部及—第二曲折部，該二曲折部係藉 以使該底板區分成-左支撐絲，—右支撐紐及—上連接板^ 該左支撑絲及社支撐底板餘於同—平面，並與該上連接板 平行； 複數個緩航件’係餅社支觀板及該料撐底板上， • 且略高於該上連接板； 一上板，具複數個凸柱，該複數個凸柱係用以支撐一晶圓載 具； 其中，該上板係設於該複數個緩衝元件上且與該底板之上連 接板之間具一間隙，當該晶圓載具放置至該上板之該複數個凸柱 上時，係能透過該複數個缓衝元件獲得減震效果，藉此避免該晶 圓载具内之晶圓受損，有效提升晶圓良率。 如所述之用於晶圓貨架之減震裝置，其中該每一缓衝元件係 5 M396267 由一頂部、一矽膠緩衝墊及一底部構成。 如所述之祕晶圓貨架之減震1置，其巾該底板之該左支樓 底板及該右支撐底板係具複數崎位孔，而該複數個緩衝元件之 底部亦具相職之雜孔，藉錢該複數倾衝元件固跋該左 支撐底板及該右支撐底板之正轉位置。 . 如所述之驗貨紅減震裝置，射該上板更具複數個 對位孔’而該複數個緩衝元件之頂部亦具相對應之對位孔，藉以 • 使該複數個緩衝元件固定於該上板之正確位置。 【實施方式】 第三圖為本案較佳實施例之用於晶圓貨架之減震裳置應用 圖’其包含晶圓貨架之減震裝置40 (詳如第五圖）、執㈣、搬 運車42、暫存貨架43、晶圓载具44。
與習用技術比較下，本案之晶圓貨架之減震裝置4〇更容易夺 裝於暫存貨架43 ’且晶圓載具44與觀車42鱗—安全間距 D7(24mm)，不易被碰撞到。另一方面，當晶圓載具放 架之減震灯50，可齡防舞刚⑴_之緩衝效果，；；止蓋 圓載具44内之晶圓受損。 第四圖為本案較佳實施例之用於晶圓貨架之減震裂置分解 圖，第五_為本錄佳實施例之職晶_架之減震裝置組合 圖，其主要由底板、上板及四個緩衝元件構成。 M396267 ，一工右各具一曲折部，二曲折部將底板區分成一左支樓底 右去州右支撐底板则及—上連接板31 ;左支撐底板311與 右描底板310係位於同一平面，並與該上連接板&平行。 ___ 32分設於該左支標底板3ιι及該右支撐底板 310的四個角落上，且略高於該上連接板31。 上板33係具複數個凸柱331 (即晶圓專業用語KC Pin)，該 稷數個凸柱331可以用來支撐第一圖之晶圓載具。 其中，該上板33係設於該複數個緩衝元件32上且與該底板 之上連接板31之間具一間隙52 ’當晶圓載具放置至該上板犯之 該數數個凸柱331上時，係能透過該複數個緩衝元件犯獲得減震 效果，，藉此避免該晶圓載具内之晶圓受損，有效提升晶圓良率。 當然，其中該每一緩衝元件係由一頂部％卜一石夕膠緩衝墊 322及-底部323 _。該底板之該左支撐底板311及該右支撐底 板310的四個角落係具四個對位孔312，而該四個緩衝元件之底部 323亦具相對應之對位孔(位於底部下方，未綠出），藉以使四個緩 衝元件32固定於該左支撐底板311及該右支撐底板3ι〇之正確位 置。該上板33更具四個對位孔332，而四緩衝元件犯之頂部 亦具相對應之對位孔324，藉以使該四個緩衝元件32固定於該上 板之正確位置。當然，緩衝元件32侧平·絲51鎖合在上板 與底板之間。 第六圖A及第六圖B為本案較佳實施例之減震裳置安裳前與 安裝後之示意圖，其中包含了搬運車42、晶圓載具44。安裝前， 凸柱(KC Pin)的高度D60為26mm，晶圓載具44與底座之間距D62 為26mm ’搬運車42與晶圓載具44之間距D61為35刪。安裝本案 之減震裝置後，凸柱(KC Pin)的高度D65為15mm，晶圓載具44 與底座之間距D64為30mm，搬運車42與晶圓載具44之間距D63 為 31mm。 本案具有下列優點： 1.本案所提出的用於晶圓貨架之減震裝置，可透過緩衝材料 提供減震效果； 2. 本案所提出的驗晶圓f架之減震裝置，有效解決搬運車 移動及放置晶圓載具時因震動而致使晶圓受損之問題； 3. 本案所提出的用於晶圓貨架之減震裝置，可達到提升晶圓 生產良率之效果。 . 料敌出的用於晶圓貨架之減震裝置，安裝容易，_ 效間距可防止搬運車42與晶圓載具44之碰撞。 τ上所述本案所提之用於晶圓貨架之減震裳置，於上4 底板之間增錢衝元件，藉此提供減震功能，並翻提升晶 產良率之效果’進步新穎且實用，如其變技計，例如採用^ 不同材質之鱗元件、以各 a ' 緩衝元件等，只^ 板额或是增設) 要疋在上板與底板之間設置了緩衝元件者，^ 本案所欲揭露及保護者。 ^案所揭露之技術，得由熟習本技術人士據以實施，而盆前 所未有之作法亦具備專 /、 因此，提出申請 實施例尚不足《涵蓋本荦所二=出專利之申請。惟上述之 專利範圍㈣。轉欢贿之專利範圍， M396267 【圖式簡單說明】 第一圖為習用的晶圓載具示意圖； 第二圖A為習用自動化晶圓搬運系統示意圖； 第二圖B為習用搬運車移動與晶圓載具碰撞示意圖； 第二圖C為習用搬運車移動與晶圓載具改善示意圖； 第三圖為本案較佳實施例之用於晶圓貨架之減震裝置應用 圖； 泰第四圖為本案較佳實施例之用於晶圓貨架之減震裝置分解 圖， 第五圖則為本案較佳實施例之用於晶圓貨架之減震裝置組合 圖， 第六圖A及第六圖B為本案較佳實施例之減震裝置安裝前與 安裝後之示意圖。 【主要元件符號說明】 • η·...晶圓載具 20 · · · ·緩衝塾 21 · · · ·凸柱 41 · · * ·執道 42 ....搬運車 43 · · · ·暫存貨架 M396267 44 · · ••晶圓載具 31 · · ••上連接板 32 · · ••緩衝元件 33 · · .·上板 310 · •••右支樓底板 311 · •••左支樓底板 312 · •··對位孔 321 · • · ·頂部 322 · •··矽膠緩衝墊 323 · • · ·底部 324 · ...對位孔 331 · • ••凸柱 332 · •··對位孔
50 · · · ·減震裝置 51 . · · ·平頂螺絲 52 · · · ·間隙