TWM346007U - Probe card for solar energy detection machine - Google Patents

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TWM346007U
TWM346007U TW97213967U TW97213967U TWM346007U TW M346007 U TWM346007 U TW M346007U TW 97213967 U TW97213967 U TW 97213967U TW 97213967 U TW97213967 U TW 97213967U TW M346007 U TWM346007 U TW M346007U
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TW
Taiwan
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probe
probes
probe card
substrate
solar cell
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TW97213967U
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English (en)
Inventor
Chi-Chan Chen
Jeff Lee
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Chroma Ate Inc
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M346007 八、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 本創作是關於一種探針卡,尤其是一種應用於太陽能 電池檢測機台用探針卡。 【先前技術】 隨石油價格不斷上漲,可將太陽能轉換為電能作為替 代旎源之太腸能電池日益受到重視,而太陽能電池的價袼 , 需視其光-電轉換效率而定。目前常見之太陽能電池1〇主 要以多晶矽製造而成,並且具有一個如圖1所示之受光面 14,以及相反於受光面的背面(圖未示),受光面上更形成 有例如在矽材料中摻入銀粉的匯流電極12以導出光電 流,此種不進行光-電轉換之匯流電極12區域寬度約2公 釐(mm) 〇 為能正確度量太陽能電池10的光_電轉換效率,目前 常用高強度的平行光垂直照射受測太陽能電池1〇的受光 | 面14,並同時以探針卡(pr〇be Card)上的探針導電接觸匯 流電極12,以導出並感測光照時太陽能電池1〇之電壓及 光電流。然而’目前習見的探針卡如圖2所示,是將多根 - 探針202固定在一片基板20上,並以焊接於探針202頂 部的導線9將探針信號導接回機台。當探針202恰正對匯 流電極12時,基板20的投影將恰位於匯流電極12旁, 遮蔽部分可收光並進行光電轉換之作用區域,而導線9則 更不時不規則地逸出基板20與探針202的投影之外。 雖然探針卡基板20的厚度不過2公釐,但對於例如 5 M346007 * 5吋見方的太陽能電池而言,兩片探針卡的基板20,一共 將遮蔽受光面14總寬度152公釐(156公釐減兩道匯流電 極4公釐)中的4公釐作用區域,亦即,即使忽略導線, 基板20仍將使量測結果產生2·6%的誤差。而且,由於太 陽能電池是以多晶矽製造而成,每片太陽能電池受基板遮 蔽區域的光-電轉換效率均不一致,全無重複性,使得基 板遮蔽受光面之作用區域所造成的量測誤差,無法藉由任 φ 何方式正確估計或進行補償。 可以預期,當太陽能電池產量及需求量逐漸平衡、市 場更成熟時,此種量測誤差將逐漸不可被接受,尤其當某 批產品的品質恰位於兩種不同價位的光-電轉換效率區域 分界附近時,對於量測準確度的要求將更趨強烈。 此外考里6忖見方之太陽能電池受測時,其光電流 可達8安培大小,因此限制探針卡上導線之線徑不能太 細,以免大量電流通過小面積而產生高溫;不幸地,導線 鲁 加粗又使得導線遮蔽太陽能電池受光面作用區域的問題 更嚴重;但線徑過細,將因大電流所生高溫,使探針卡壽 - 命加速減損,平添耗材成本。因此,如何設計出可避免增 -添量測誤差並經久耐用的探針卡,將成為檢測設備廠商不 可忽視的課題。 【新型内容】 因此,本創作之一目的在提供一種有效降低探針卡遮 蔽太陽能電池受光面作用區域而導致測試誤差之太陽能 電池檢測機台用探針卡。 6 M346007 —〜丨-!另欢分_ 性良好之太陽能電池檢測機台用探針卡 本創作之再一目的在提供一 針卡使用哥命之太陽能電池檢測 種擴大散熱面積 機台用探針卡。 、延長探 因此,本創作揭露一種太陽能電池檢測機台用探針 2其中該檢測機台係供檢測複數分別具有—個佈設有預 定寬度匯流電極並供光照的受光面、及—個相反於該受光 面之背面的太陽能電池,該探針卡包含:分別具有複數探 針之-組第-探針組、及—組第二探針組;及—片厚度對 應於該等匯流電極預定寬度,其中形成有一組固定該第— 探針組之該等探針的第一管道組、 一組固定該第二探針組 之該等探針的第二管道組、一個導接該第一探針組該等探 針的第一導電部、及一個導接該第二探針組該等探針的第 二導電部,並具有沿該厚度方向彼此相反之第一側面與第 一側面的基板。 由於所有探針均設置於基板中,基板所遮蔽太陽能電 池的位置恰對應於匯流電極,絲毫沒有額外遮蔽受光面作 用區域的問題,提升量測結果之準確度。更利用多根探針 分散電流,並由設置於基板之兩導電金屬層導接各探針, 不僅分散來自太陽能電池之光電流,也同時具備散熱效 果,使得探針卡使用壽命更長。 【實施方式】' 有關本創作之前述及其他技術内容、特點與功效,在 以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中,將可清楚 M346007 的呈現。 本案第一實施例之探針卡3如圖3所示,主要包含一 片基板30,其厚度與前述太陽能電池1〇之匯流電極12 寬度對應,基板30内則形成複數作為管道之穿孔31、32, 為同牯度篁測試光束照射時,太陽能電池1〇感應出之光 電流及電壓,本例中分別以四根探針33例釋為第一探針 _ 組,供度量太陽能電池受光照時之電壓,並以四根探針 • 34例釋為第二探針組’供度量太陽能電池10受光照測試 時之光電流。兩探針組之所有探針33、34分別組設於上 述穿孔31、32中,為說明起見,將容納第一探針組探針 33的穿孔31稱為第一管道組,而容納第二探針組探針μ 的穿孔32分為第二管道組。 為確保暴露於穿孔下方的長度相對應,每一根探針 33、34能同步接觸受測之匯流電極12,各探針%及Β 如圖4所示,分別例釋為具有一個套筒部35及一個穿置 • 於套筒部35内之測試端部36,且彼此以設置於套筒部35 内的彈性件居間緩衝,彈性件則以一根彈簧37為例,探 -針33及34再分別透過導線連接到測試機台,以檢測太陽 能電池的輸出,使得測試端部36受彈性件37之抵推而部 分凸出於套筒部35前方;套筒部35更形成有一個擋止部 350,以限制該等探針33及34設置於穿孔3丨及中的 深度。 本例中如圖5所示,基板3〇沿其厚度方向的兩側面 上分別形成有銅箔導電層31〇與32〇,第一探針組之探針 8 M346007 33在凸出穿孔31上方部分,藉由焊接部312導接至作為 第V電部的導電層310;第二探針組的探針則在凸 出穿孔32上方部分,同樣藉由例如焊接部奶導接至作 為第二導電部的銅箱導電層32〇。由此,兩組探針分別藉 由例如四根探針33、34分別將受測太陽能電池之電壓^ 電流傳導至整片的銅落導電層31〇與32〇,一方面分散光 電流的分佈密度,另方面增大散熱面積,使得大電流傳導 的阻抗與發熱問題獲得良好抒解,增長使用壽命。 並且,此種結構方式完全沒有凸出於基板3〇侧面的 遮光結構,而基板30的投影恰對應於原本不感光的匯流 電極部分,使測試的平行光可以完全照射至受測太陽能電 池受光面,正確測得太陽能電池的光-電轉換效率。 本案第二實施例之探針卡3,如圖6所示,本例中的第 一管道組是由不導電基板3〇,的第一側面向内形成的例如 四道平行凹陷槽道31,,相反的,第二侧面亦向内形成另 一組四道凹陷槽道32,,以分別供第一探針組的探針 及第二探針組的探針34,嵌置其中。 如圖7所示,當各探針33,與34,分別嵌置於凹陷槽道 31’與32’後,在基板30,外表面處以例如濺鍍方式,逐漸 在第一與第二表面上分別形成一表面銅鍍層31〇,與 320,一方面提供各探針33’與34,導接訊號及散熱之途 徑,另方面提供機械支撐,使得原本被挖入形成槽道31, 與32’的基板30,在厚度方向獲得兩側的機械支撐補強,彌 補、t構上的脆弱點,從而提升製造良率與使用壽命。 9 M346007 圖8所示為本㈣三實施例,探針卡3”之第—探針组 的探針33”及第二探針組的料34”,分別以前後交許之 平行排列方式設置於基板3G,,内,並以埋設於基板%,,内 的第一導電部3H),,導接至第—探針組,第二導電部32〇” 則導接至第二探針組,達成上述減少遮蔽之功效。 當然,如熟悉本技術領域者所能輕易理解,基板内供 設置探針之管道組並非侷限於穿孔,亦可如圖9本案第四
較佳實施例所示,在基板30”,内形成盲孔31,,,及32^作為 第一管道組與第二管道組,分別供第一探針組之探針Μ”, 及第二探針組之探# 34”,設置其中,仍可達成相同之效 果0 惟以上所述者,僅為本創作之較佳實施例而已,當不 能以此限定本創作實施之範圍,即大凡依本創作申請專利 範圍及創作說明書内容所作之簡單的等效變化與修飾,皆 應仍屬本創作專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1是習知太陽能電池之立體示意圖; 圖2是習知太陽能電池之俯視示意圖,說明基板及導 線遮蔽受光面的情形; 圖3是本案第一實施例之立體示意圖; 圖4是本案第一實施例之局部放大爆炸示意圖; 圖5是本案第一實施例說明焊錫部與導電部之關係 立體示意圖; 圖6是本案第二實施例之立體示意圖; M346007 圖7疋本案第二貫施例說明以濺鑛方式,在基板兩侧 的表面形成鋼鍍層以提供導接訊號途徑 之立體示意圖; 圖8是本案第三實施例之俯視示意圖;及 圖9是本案第四實施例說明以盲孔方式作為管^ 組’供探針組設置之立體示意圖。 【主要元件符號說明】 3、3’、3”···探針卡 9…導線 12…匯流電極 10…太陽能電池 14…受光面 、30、30,、30”、30”,…基板 31、 31’”···第一管道組 32、 32’”···第二管道組 33、 33’、33”、33,,,…第一探針組 34、 34’、34”、34”,…第二探針組 35…套筒部 36…測試端部 37···彈性件 202…探針 310、310”···第一導電部 320、320”···第二導電部 312、322…焊接部 350···擔止部 31’、32’···凹陷槽道 310’…第一表面銅鍍層 320’…第二表面銅鍍層 11

Claims (1)

  1. M346007 九、申請專利範圍: 1.一種太陽能電池檢測機台用探針卡,其中該檢測機台係 供檢測至少一個分別具有一個佈設有預定寬度匯流電 極並供光照的受光面、及一個相反於該受光面之背面的 太陽能電池,該探針卡包含: 分別具有複數探針之一組第一探針組、及一組第二探針 組;及 • 片尽度對應於該太陽能電池匯流電極預定寬产,其中 形成有一組固定該第一探針組之該等探針的第一管 道組、一組固定該第二探針組之該等探針的第二管道 組、一個導接該第一探針組該等探針的第一導電部、 及一個導接該第二探針組該等探針的第二導電部,並 具有沿該厚度方向彼此相反之第一側面與第二侧面 的基板。 2.如申請專利範圍第丨項所述之探針卡,其中該第一導電 > 部與該第二導電部係分別形成於該基板該等第一及第 二侧面的兩導電金屬層。 如申π專利範圍弟1項所述之探針卡,其中該第一導電 - 部與該第二導電部係分別埋設於該基板内的兩層導電 金屬層。 4·如申請專利範圍第i、2《3項所述之探針卡,其中該 第一及第二管道組係複數彼此成對平行排列、並垂直該 厚度方向貫穿該基板之貫穿孔。 如申明專利範圍第1、2或3項所述之探針卡,其中該 12 M346007 第一及第二管道組係複數彼此成對平行排列、並分別由 該等第一及第二側面凹陷之槽道。 ⑼申請專利範圍第卜3項所述之探針卡,其中該 f探針分別具有-個供定位於該等第—管道組或第二 管道組之擋止部。 7.如申^專利範圍第卜2或3項所述之探針卡,其中該
    2 ,有—個料位於該等第—管道組或第二 且之套筒部、一個設置於該套筒部内之彈性件、及 固穿設於該套筒部並受該彈 該套筒部之測· ⑴生件抵推而部分凸出於
    13
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI425204B (zh) * 2010-07-16 2014-02-01 Chroma Ate Inc Solar wafer inspection machine with the spacing adjustment system and the system with the machine

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