M332823 八、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 風對基板進行熱處理的熱處理裝 本新型是有關於一種熱處理裝置,特別是指一種以熱 置。 【先前技術】 一般熱處理裝置通常應用於液晶顯示器(LCD)或電漿顯 示為(PDP)等平面顯示器之玻璃基板的製作,預先塗佈有特 定溶液的玻璃基板通常設置於熱處理裝置的熱處理室内, 藉由被導入熱處理室内之預定溫度的熱風以進行玻璃基板 的熱處理作業,如中華民國專利第1275739號專利案所揭露 的一種水平式單侧迴風設計的熱處理裝置,以及中華民國 專利第1275762冑專利案所揭露的一種水平式雙侧迴風設計 的熱處理裝置。 【新型内容】 裝置 本新型之目的,在於提供—種溫度均勾性佳的熱處理 本新型的其他目的和優點 不1炎”、占了以從本新型所揭露的技術 特徵中件到進一步的了解。 為達上述之-或部份或全部目的或是其他 型之實施例所揭露之熱處 , Λ Λ UU 0 3 歷體、一 ^ Μ 供 給機構,及一抽風機。 …、風仏 爐體包括一爐壁、 , —由爐壁所界定的容室、一將容室 成一上容室部及_ 〜 肘今至 .r A v 下谷至部的隔板,且容宮士日 側邊分別設有使上容 且4至的兩相反 錢下容室部相連通的-第-開口 M332823 及一第二開口。熱風供給機構設置於爐體並用以供給熱風 谷至°卩。抽風機用以將下容室部内的熱風經由第一開 口傳送至上容室部,並使上容室部内的熱風經由第二開口 回流至下容室部。 於本新型之實施例中,隔板具有一第一端及一相反於 第:端的第二^,隔板的第一端與爐壁一㈣的内表面共同 界定出第一開口,隔板的第二端與爐壁另一侧的内表面共 同界定出第二開口。
於本新型之實施例中,熱風供給機構包括一使下容室 部與爐壁外部相連通的第—導管、—用以抽風至第一導管 内的第-風扇,及一設置於下容室部内用以對第一導管所 傳送至下容室部的風進行加熱的加熱器。 於本新型之實施例中,爐體還包括由隔板朝上延伸且 相間隔地設置於上容室部内的—進風板與—出風板,進風 板鄰近於第一開口,而出風板鄰近於第二開口。 於本新型之實施例中,爐體還包括一由隔板朝上延伸 且位於進風板與第一開口之間呈板狀的過濾器。 於本新型之實施例中,熱處理裝置還包含一設置於爐 體内且位於熱風供給機構相反側的排風機構,排風機構包 括一使下容室部與爐壁外部相連通的第二導管,及一、 :下容室部内的熱風透過第二導管排出爐壁外部的第^ 於本新型之實施例中 且間隔排列的第一調整片 進風板具有多數片I縱向延伸 多數片呈橫向延伸且間隔排列 M332823 的第—調整片,及多數個由第一調整片與第二調整片所共 同界疋出的進風孔。 —於本新型之實施例中,出風板具有多數個鄰近隔板的 第一出風孔,及多數個位於所述第一出風孔上方的第二出 風孔,各第二出風孔大於各第一出風孔。 、於本新型之實施例中,爐體還包括一設置於隔板底端 用以將隔板固定於爐壁内的支撐框架。
…本新型之實施例中的熱處理裝置,_由隔板將容室區 1¾成上令至部及下容室部,以及抽風機的配置,使得熱風 供給機構所提供的熱風能透過第一、第二開口在上容室部 及下二室部之間循環,藉此能提高容室内溫度的均勻性, 以提昇玻璃基板熱處理的品質。 【實施方式】 有關本新型之前述及其他技術内容、特點與功效,在 以下配合參考圖式之—個較佳實施例的詳細說明中,將可 清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語,例如:上 、下、左、右、前或後等’僅是參考附加圖式的方向。因 此,使用的方向用語是用來說明並非用來限制本新型。 如圖1、圖2及圖3所示,是本新型熱處理裝置之一較 =施例抽該熱處理裝置1〇〇包含一爐體!、—熱風供給機 構2、-抽風機3及—排風機構4,熱處理裝置1 液晶顯示H(LCD)或電漿顯示器(pDp)等平面顯示器之玻璃 基板5進行熱處理作業。 w 爐體1包括一爐壁u,及一由爐壁u所界定的容室Η M332823 ,爐壁11具有一底壁部111、一間隔位於底壁部111上方 的頂壁部112,及一位於底壁部111與頂壁部112之間的圍 壁部113,底壁部111、頂壁部112及圍壁部113共同界定 出容室12。爐體1還包括一間隔設置於底壁部上方的 隔板13、一設置於隔板13底端的支撐框架14、一第一開 口 15及一第二開口 16,支撐框架14用以將隔板13固定於 爐壁11的底壁部111上,使得隔板13將容室12區隔成一 上容室部121及一下容室部122。隔板13具有一位於右側 的第一端131,及一相反於第一端131的第二端132,隔板 13的第一端131與爐壁11的圍壁部ι13右侧内表面相間隔 ’使得隔板13的第一端131與圍壁部113右側内表面共同 界定出第一開口 15,而隔板13的第二端132則與爐壁11 的圍壁部113左側内表面相間隔,使得隔板13的第二端 132與圍壁部Π3左側内表面共同界定出第二開口 16,藉此 ,下容室部122可透過第一開口 15及第二開口 16與上容 室部121相連通。 爐體1還包括由隔板13頂面朝上延伸且彼此相間隔地 设置於上容室部121内的一過濾器17、一進風板18及一出 風板19,其中呈板狀的過滤器17鄰近於第一開口 15,出 風板19鄰近於第二開口 16,而進風板18則緊鄰於過濾器 17左側。進風板18具有多數片呈縱向延伸且間隔排列的第 一凋整片181 (圖4)、多數片呈橫向延伸且間隔排列的第二 調整片182(圖4),及多數個由第一、第二調整片181、182 所共同界定出的進風孔183(圖4),各第一調整片181與各 M332823 第二調整片182呈垂直交錯狀’且各第一調整片ι81與各 第二調整片182可轉動地調整角度。出風板19具有多數個 鄰近隔板13的第一出風孔191,及多數個位於所述第一出 風孔191上方的第二出風孔192,各第二出風孔192大於各 第一出風孔191。此外,爐體1的進風板18與出風板19之 間可供一承載架20放置,承載架20上設置有多數對沿縱 向間隔排列且呈水平狀的支撐片201,各玻璃基板5可呈水 平地放置於各對支撐片201上。 熱風供給機構2設置於爐體1並用以供給熱風至下容 至部122,熱風供給機構2包括一第一導管21、一第一風 扇22及一加熱器23,第一導管21設置於下容室部122與 爐壁11的底壁部111之間並鄰近於第二開口 16下方,第一 導笞21可使下容室部122與底壁部111外部相連通,第一 風扇22設置於第一導管21上用以將底壁部ιη外部的風抽 达至第一導管21内,加熱器23則設置於隔板13與底壁部 111之間,用以對第一導管21所傳送至下容室部122内的 風進行加熱。 抽風機3設置於隔板13與底壁部U1之間且位於加熱 裔23右側,抽風機3用以將下容室部122内被加熱器23 斤力"’、後的熱風經由第一開口 ^ 5傳送至上容室部1以,且 二風依序通過過濾器17、進風板18及出風板19後,可透 過第-開々口 16再回流至下容室部122 Θ,藉此,熱風能以 回 中箭頭所標示的方向持續在下容室部122與上容室部 121之間循%,以進行承載架2〇上之玻璃基板$的熱處理 M332823 作業。 排風機構4③置於爐體丨内並位於熱風供給機構2相 反側:排風機構4包括一第二導管41及—第二風扇U,第 導s 41 „又置於下容室部122與爐壁^的底壁部⑴之間 並鄰近於第-開口15下方,第二導管Μ可使下容室部122 與底壁部⑴外部相連通,第二風扇42設置於第二導管41 上用以將下容室部122内的部分熱風透過第二導管Μ排出 爐壁11外部。
如圖2、圖3及圖4所示,熱處理裝置100在操作過程 中、’ f風供給機構2的第-風扇22會先將爐壁U外部的風 I °第 > 導目21傳送至下容室部122内,加熱器23會將 第-導管21所傳人的風進行加熱,並借由抽風機3將加熱 後的熱風經由第一開口 15往上傳送至上容室部i2i。之後 ,熱風會依序通過過㈣17、進風板18及出風板Η,過 慮器17會過濾、熱風中的異物或雜質,以確保熱風流入進風 板内時能保持純淨。當熱風通過出風板19後會往下經 口 16回流至下容室部122 ’此時熱風會與由第一 導B 21進入的風混合而達到熱交換的效果,使剛進入的風 :熱風加熱,接著抽風機3即可將混合後的氣體持續在下 容室部122與上容室部121之間循環。 值得提的疋,將加熱器23配置於下容室部122的設 。十方式,是利用熱空氣會上升的物理特性,使得被加熱後 的熱風能流至容室12内的各角落處,藉此以提高容室12 内溫度的均勻性。 10 M332823 當進風板18與出風板19之間沾pa <間的%境溫度達到預定的
熱處理溫度時,即可將爐體1的活動Η丨〇開啟,使得移載 機構(圖未示)可將玻璃基板5安裝於承載架如的支撐片2〇1 上。待玻璃基板5安裝於承載架2G後,玻璃基板5會被進 風板18 Μ風板19之_熱Μ熱而進行減理的作章 ,此時㈣塗佈於玻璃基板5表面的溶液因高溫而氧化並 產生有機性的氣體,因此藉由排風機構4的配置,可將部 分氣體經由第二導管41排放至爐壁U外,藉此以增加容室 12内的氣體置換率,降低容室12内氣體的有機濃度。 熱風在上容室部121的流動過程中,藉由進風板18的 第一調整片181及第二調整片182可轉動地調整角度設計 ,能控制熱風通過進風孔183後的出風方向,使得熱風能 以水平的方式對玻璃基板5進行加熱,同時能避免氣流死 角的產生。而在出風板19方面,藉由第二出風孔192大於 第一出風孔191的設計,能均勻出風板19的出風量,以避 免熱風匯流在出風板19較低位置處排出。另外,將熱風供 給機構2的第一導管21及排風機構4的第二導管41均設 汁在底壁部111的方式’能避免熱氣在上容室部121的流動 過私中產生奮流的現象’使得熱風能以水平式的風向對玻 璃基板5加熱。 歸納上述,本實施例的熱處理裝置1〇〇,藉由隔板13 將容室12區隔成上容室部121及下容室部122,以及抽風 機3的配置,使得熱風供給機構2所提供的熱風能透過第 一、第二開口 15、16在上容室部121及下容室部122之間 11 M332823 : 循環’藉此能提高容室12内溫度的均勾性,以提昇玻璃基 • 板5減理的品f,故確實能達到搞型所訴求之目的。土 淮以上所述者,僅為本新型之較佳實施例而已,當不 , ,以此限定本新型實施之範圍,即大凡依本新型申請^利 . 冑圍及新型說明内容所作之簡單的等效變化與修飾:皆仍 屬本新型專利涵蓋之範圍内。另外本新型的任一實施例或 申請專利範圍不須達成本新型所揭露之全部目的或優點或 • 特點。此外,摘要部分和標題僅是用來輔助專利文件搜尋 之用,並非用來限制本新型之權利範圍。 【圖式簡單說明】 圖1疋本新型熱處理裝置之較佳實施例的一立體圖; 圖2疋本新型之較佳實施例的一立體分解圖; 圖3是本新型之較佳實施例的一側視圖;及 圖4疋本新型之較佳實施例的進風板的一局部放大圖 12 M332823
【主要元件符號說明】 100… •…熱處理裝置 181… •…第一調整片 1 ....... •…爐體 182… …·第二調整片 10…… •…活動門 183… •…進風孔 11 ••… •…爐壁 19"… •…出風板 111… •…底壁部 191 ··· …·第一出風孔 112… •…頂壁部 192… …·第二出風孔 113… •…圍壁部 20••… •…承載架 12••… •…容室 201… •…支撐片 121… …·上容室部 2…… •…熱風供給機構 122… •…下容室部 21 ••… •…第一導管 13••… 隔板 22••… —弟 風扇 131 ··· •…第一端 23••… …·加熱器 132… •…第二端 3…… …·抽風機 14…… •…支撐框架 4…… …·排風機構 15…… •…第一開口 41 ••… …·第二導管 16…… •…第二開口 42"… —弟一風扇 17…… •…過濾器 5…… •…玻璃基板 18…… •…進風板 13