M326697 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 . 本創作係隸屬一種加工機操作箱之創作，具體而言係指 ，一種具有可湘旋擺樞動，調整使用及收藏二種狀態之操作 箱定位結構改良。 1 【先前技術】 籲按’在晶圓未蝴前，對單鮮元之晶粒制試稱為『晶圓 私測』’即利用探針模組對晶圓施以電路測試，由於晶片的設計愈 趨於複雜，故晶圓檢測關係到晶圓生產良率高低，已經成為整個 製造過程中最關鍵的部份。而—般未切割之關，其外表面覆設 有一『薄塾層（pad)』，該薄塾層並上並形成一保護之『氧化膜』 ’同時並利用若干縱、橫分佈之切割道區隔出複數晶粒單元，當 • 晶圓置於測試平台上時，透過測試用之『探針卡』其『探針』刺 牙其外層之氧化膜’觸及該薄塾層而達到導制試之目的。 請參閱第-圖所示，一種『垂直探針卡』係申請案號9咖彻 號專利案所揭露之結構（以下簡稱習用案），該習用案之構成包括 主基貝（3 〇 〇)形成有導電模型，數探針（^ Q 〇)自該主 基質（3 0 〇)垂直地下垂，及一探針持體(2 〇 〇)設置於該 主基貝（3 〇 〇)之背侧上用以支撐該等探針（工〇⑹，其中該 探針持體（2 0 〇 )係設置平行於該主基質（3 〇 〇 )，且具有一 5 M326697 上導板（21〇)及—下導柘f 9 下沾（2 2 Q )’肋藉由通過個別貫通 1、2 21)以支撐該等探針（i 〇 〇)，且下 (2 2 〇 )係由數個可分離地層積在起的基質（2 2 〇A、 2 2 OB、2 2 OC)所構成。 曾上述習用案該等探針（1_僅利用上導板（21〇)及 (2 2 Q)支持’當與晶圓接觸時，其_碰觸之 道係藉由該等探針（1 〇〇)之彈性變形減緩，而該等探針 ϋ ◦,)受壓吸㈣擊外力時，其最域形部位在其中段處之 ’咖（1 3 0 )’惟包括習用案在内的一般探針卡，其探針 ^1〇 0 )主要受壓變形之部位皆無適當構件輔助限制其變形幅 :’進而影_輪麵之雜。勸㈣案所揭露之 ^針（1 G G )轉，嶋折部（1 3 0 )版圓弧面積較 ，因此裝設於探針卡上時，飾有探針（1 0 0 )其彎折部 3 0 )触之纽、方向無法統—限定，不健響組裝之效 率’更無法贿物麵编帅，蝴用層面受 到限制，而有加以改良之必要。 “有鑑於此’本創作人乃針對前述習用創作問題深入探討，並 猎由多年從事_產業之研發聽造經驗，積極尋麵決之道， ㈣長期努力之研究與發展，終於柄_«本創作『探針模 組之結構改良』，以改善制創作之問題。 M326697 【新型内容】 /本創作之主要目的，係提供—種『探針模組之結構改良』，其 係d木針她上裝設之彈力針，其受壓而彈性變形時，並變形部 位能受到伽關，钱變形之偏料太以影響晶圓測試之精 確度與穩定性。 ，/本創作之另—目的’係、令裝設於探針模組上之所有探針，其 #受壓變形之部位能統一限定相同方向，使探針呈整齊排序，避免 產生空間上的衝突，而能增加設置之數量。 緣於達成上述之創作目的，本創作『探針额之結構改良』 •係由-模組本體、間隔板及若干彈力針組成。該模組本體係由一 上板、巾板及下板組成，主要係於财射心適處形成—貫穿之 容置部，用以供該間隔板容置，同時該上板及下板相對之内面中 心適處亦分咖設有—定位槽，並於各該定位槽内貫設有若干針 孔。該間隔板組設於該模組本體内時，其二端外板面係置於該上 板及下板之讀_，其外周面依設計需求成财若干間隔孔， 該等間隔孔恰可供該等彈力針穿設，進而令該等彈力針驗辨 模組本體内時，各該彈力針之彎折部係置於各該間隔孔内，同時 各該彈力針其二端之針_軸虹板及下板之觀向外穿出。 觀不僅缺昇該轉力較壓猶彡之穩紐，亦魏—限 有彈力針排序之方向，避免該等彈力針組裝固定時，因彎折部的 M326697 不定向偏擺而造成裝設作業的不便與空間上的佔用，藉此增加彈 力針設置之數量。 有關本創作所採用之技術、手段及其功效，茲舉一較佳實施 /例並配合_詳細於后，相信梢作上述之目的、構造及特 徵，當可由之得一深入而具體的瞭解。 【實施方式j 請參m二〜賴所示’本創作『探針模組之結構改良』，係 心模組讀⑴、若干彈力針（4〇)、一間隔板（5〇)，以 下遵片（6 0、7 〇)等構件組成’1中. (2=1)係由—上板（1〇)、中板⑽及下板 置，其内面中心適訂板（3〇)係呈上下相對設 該定位槽（11^ 設有—定位槽（11、川，並於各 板（2〇)係於其中心適=二:孔（12、32)。而該中 該間隔板（5〇)成貝穿之容置部（2 1)，用以供 、J 0)及上、下罐g彳 言亥耸〜力 片（6〇、70)容置。 力針U 〇) :、(2 ^設於該模組本體（1)内，各該彈 中未顯示)接觸之針有與？Β板(8 0)及晶圓(圖 變形之彎折部（42)。 而中&處卿成-受力時呈、彎曲 I板(5〇)係為對應該中板(20)其容置部(21) M326697 形狀之板塊，料周面成财可供該轉力針（4 Q )容置之若 干間&孔（51 )’各該間隔孔（5 1 )係呈長槽狀之開放構態， 可供各該彈力針（4 1 )#_( 4 2 )組設。又該等間隔孔 5 1 )成型於該間隔板（5 ◦)上時，其型之位置排列、數量 係視晶圓峨之需求*作對應之變化。 ^下。蒦片（6 0、7 0 )係設於該間隔板（5 0 )相對 之上下緣面處’用以護持該等容置於間隔孔（$玉）内之彈力 針（4 0 )。 該上、下護板（6〇、7〇)對應該上板（10)及下板 (3 0 )之外板面恰可·組設於相對之定倾（上〗、3玉）户， 且其板面上並分別貫設有與該等間隔孔（5 m目對接之通2 (6 1、71)，用以供各該彈力針（4〇)之針腳⑷）穿設。 =此’藉上述之構件組成，令各該彈力針（4⑸組裝於該 心針換組内時，其f折部（4 2 )係容置於各該間隔孔⑴） 内，而二端之針聊（41)則分別經由該通孔（6 i、7 i)及 ^孔（1 2、3 2 )向外穿出。獨能避免轉彈力針（4 〇 ) 文壓變形幅度過大，而提昇复稃 (4n)i^ 限定所有彈力針 〇)排序之方向，避靖彈力針（4〇)組裝固定時，因 H( 4 2 )的不定向偏細造録設倾的不便处間上的 佔用’翁觀增加彈力針（42)設置之數量。 M326697 另外’請再參閱第五圖所示，本創作探針模級在址成結構的 設計變化上，亦可於該上板（i Q )及下板（3 Q )相對之内面 中心適處分贴触—定位部（1 3、3 3 )，並於各該定位部 (13、3 3)内貫設有若干供該等彈力針（4 〇)其針腳 (4 1)穿設之針孔（12、32)，而省略該上、下護片（㈤、 '7 0)之構件，組裝時，利用該定位部（丄3、3 3)與該間隔 板（5 0)接抵，達到穩固之組裝結構。 綜上所述，本創作在同類產品中實有其極佳之進步實用性， 同時遍查國内外關於此類結構之技術資料、文獻中亦未發現有相 同的構造存在在先，是以’本創作實已具倾型專利要件，妥依 法提出申請。 、j述實施例，僅用以舉例說明本創作，據以在不離本創作精 神之耗圍’熟f此項技藝者憑之而作之各觀形、修飾與應用， 均應包括於本創作之範疇者。 【圖式簡單說明】 第一圖··係習用創作之組合剖面圖。 第二圖··係本創作之立體分解圖。 第二圖··係本創作之組合剖面圖。 弟四圖：縣創伽频_合於pcB板之平面示意圖。 第五圖·係本創作另—實施麟構之組合剖面圖。 M326697 【主要元件符號說明】 模組本體：（1) 定位槽：（1 1) 定位部：（1 3 ) 容置部：（2 1 ) 定位槽：（3 1 ) 定位部：（3 3 ) 針腳：（4 1 ) 間隔板：（5 0 ) 上護片：（6 0 ) 下護板：（7 0 ) PCB 板：（8 0 ) 上板·（ 1 0 ) 針孔：（1 2 ) 中板：（2 0) 下板：（3 0 ) 針孔：（3 2 ) 彈力針：（4 0) 彎折部：（4 2 ) 間隔孔：（5 1 ) 通孔：（6 1 ) 通孔：（7 1 ) 11