TWM303893U - Improved lid structure of material feeding bottle - Google Patents

Description

M303893 五、中文新型摘要： 出接頭及原_流接軸幫浦聯結，糊幫 推送至生產加工設贼铜料供餘關齡化學原料 態時，可_原_触製鱗補㈣到轉瓶:使化學原料得 .本創作之瓶蓋係設有—個氣難頭、-個原料輪出接頭，以及一 個原料回流接頭’俾可崎顧猶躲氣體供麵聯結，由原料輪 原料之設定狀 以即時回收到原料瓶使用

六、英文新型摘要： 七、指定代表圖： (一）本案指定代表圖為：第（三）圖

(二)本代表圖之元件符號簡單說明: 1〜一瓶蓋 11—氣壓接頭 1 1 2 —原料輸出接頭 1 1 3〜原料回流接頭 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 旨在提供一種 本創作係有關-種料供應瓶m結 可供原料即時回流使用之瓶蓋結構 良 M303893 f先前技術】 、，在半導體積體電路或TFT_LCD製程當中，一般多會透過暖 光顯影及鞋刻之流程進行相關電路之建構，其中光阻劑^ 光顯影之主要原料，其原理主要係在晶圓或玻璃基板上之= 、^層或¥電金屬層上均勾覆蓋或塗敷—種包括聚合物樹 脂，感光化合物與溶劑所組成之光阻劑（光阻組合物）。 、完成光阻劑覆蓋或塗敷的晶圓或玻璃基板經過加溫供培 使溶劑蒸發之後，選擇性曝露於某些型式之輕射如紫外線，: 子或X -射線，曝露過的晶圓或玻璃基板再經熱烤，隨後: 烤晶圓或玻璃基板經顯影產生所預期圖案，顯影之晶圓或玻璃 基板再以㈣脫除絕緣體層或導電金屬層，並移去餘留的光阻 劑層以完成微小圖案移轉於晶m或玻璃基板表面上。 /為能滿足生產加工設備塗佈光阻劑之自動化作業需求，必 須透過相_輸送迴路將光阻劑輸送至生產加4備處，如第 圖所不$用的光阻劑輸送迴路主要係在用以盛裝光阻劑 或其他化學原料，赠去光_之氣泡）的瓶工〇處設 有一個第—管路61以及-個第二管路62，利用第一管路6 1與情性乳體（例如氮氣）供應源聯結，利用第二管路62與 儲存器20、幫浦3〇以及生產加工設備4〇聯結。 叫，f化學原料開始供應的前置作業時，係利用惰性氣體將原 料瓶1 0當中的化學原料推详 器20及排放管21=Γ； ^弟 ，並且在儲存 <作用下，使弟二管路6 2内部的空氣排 M3 03 893 内S路6 2完全充滿光㈣（化學㈣，以除去光阻 .^乳泡）時，即可在幫浦30或惰性氣體之作用、 推达至生產加工設備4 〇處， 、且劑 ΛΛ ^ ψ ，有J 0則依照貫際加工作章 量=阻破设定在既定的時間或某一個加工步驟自動排放一定 .再者Λ(输化學称谢光_之氣幻。 化學5推料瓶10呈封閉狀，以利情性氣體得以將 料：Γ::::61當中’如第，示，之原 $接頭11處設有―個供第-管路“接續之氣 112之夕/，以及—個供第二管路62接續之原料輸出接頭 j 無任何可供化學原料輸入之構造，因此所排放 經由幫浦3〇前端的排放口直接鴻 =㈣處理，不但造成光阻劑（化學原料，以除去光阻内 之乳泡）之浪費，而且徒增廢液之處理費用。 鲁【新型内容】 彻、，—於此，本創作即針對原料瓶之瓶蓋構造加以改良，整 瓶盍原則上係設有—個氣壓接頭、—個原料輸出接頭，以及 、，固原料回流接頭，並且在原料輸出管接頭處設有延伸至原料 2内的吸管’透過氣壓接頭與惰性氣體供應源聯結，透過原料 輸出接頭連接至儲存器、幫浦以及生產加工設備處。 。其中，原料瓶的瓶蓋上另外設有一個原料回流接頭，可透 過原料回流接頭聯結至幫浦之排放口；於常態運作時，即透過 M3 03 893 幫肩或U性乳體將化學原料推送至生產加工設備處，待原料供 應系、、先到達停止供應化學原料之設定狀態時，則可透過幫 時將化學原料回送到原料瓶，即時將化學原料回收使用，夢以 •達到降低化學眉料点士 ^ 错以 原枓成本、廢料回收費用以及環境危害之目的。 【實施方式】 丘/本創作「原料供應瓶之瓶蓋結構改良」，旨針對化學原参 供應系統當中原料瓶之瓶蓋構造加以改良，有利於整個原神 應糸統如㈣將縣要直接減成秘㈣化學原料回收 =用^以相降低化學原料成本、廢料回收費用以及環境肩 告之目的。 如弟二圖及$四_示，整個化學原料供應系統基本上儀 用以盛裝化學原料的原料瓶工〇處設有一個 以及一個第二瞢玖β 〇 &吩Ό丄 e H 6 ’利用第一管路6 1與惰性氣體（例如 虱虱）供應源聯結，利用笛—总 -官路62與儲存器2〇、幫浦3 生產加工設備4 〇聯結。 ::，原枓瓿1。的瓶蓋11處除了設有—個供第一管路 61接續之氣壓接頭]u，以及—個 原料輸出接頭1 1 之 ^ 、 〜外，另外設有一個原料回流接頭1 1 3 三管路63㈣，可透過第三管路63聯結至幫浦3 於叫氣*接頭!11、原料輸出接頭11 錢射4高辭細，使得《承受祕供應系 2 M3 03 893 統施予原料瓶1 0之工作屙 、， 處設有延伸至原料瓶底部的吸管亚且在原科輸出管接頭1 據以，在化學原料開始供應的前 料瓶1 〇當中的化學原料推送進入第二，用惰性她字原 及排放管21之作用下，使第一 —62，亚且在儲存器20 化學原料推送至生產加工設備4 〇處 或惰性氣體之作用下將 尤其，當f浦3◦在既定的時間或某—個加工步驟，並 放化學原料以排除化學 驗的乳泡呀，即可透過幫浦3 0即時將化 〇^管路6 3以及原料回流接頭1 1 3回送到原料瓶！ ^即鳴物彻刪，物咖㊅職本、廢料回收 賈用以及環境危害之目的。 回I土具體實施時，可選進一步在原料回流接頭113上設置閥門 0、圖:）’其’係可以手動閥門，以讓使用者操控化學原料回送之時 、/’馬然，其閥門亦可以為電動閥門，由相關的控制電路操控化學原 二σ迟之日守機，甚至於，矸以完全不設置閥門，而係經由設定幫浦與 體啟動之時間差，達綱控化學顧回送之目的。 如上所述，本創作提供化學原料供應瓶另一較佳可行之瓶蓋結 ^轰依法提呈新型專利之申請；惟，以上之實施說明及圖式所示， 系本創作較佳實施例者，並#以此侷限本創作，是以，舉凡與本創作 之構造、举罢 } 上 衣罝、4寸徵等近似、雷同者，均應屬本創作之創設目的及申 請專利範圍之内。 M303893 【圖式簡單說明】 第一圖係為習用化學原料供應迴路圖。 第二圖係為習用原料供應瓶之瓶蓋外觀立體圖。 第三圖係為本創作之瓶蓋外觀立體圖。 第四圖係為本創作所應用之化學原料供應迴路圖。 【主要元件代表符號說明】 10 —原料瓶 11 —瓶蓋 111一氣壓接頭 11 2 —原料輸出接頭 1 1 3 —原料回流接頭 2 0--儲存器 2 1——排放管 3 0-—幫浦 4 0 生產加工設備 5 0 廢液筒 61— —第一管路 62— —第二管路 63— —第三管路

Claims (1)

1. M303893 A l:... •九、申請專利範圍： 考/ L.—.…. \ 1、 一種原料供應瓶之瓶蓋，係係用以裝設在原料瓶之瓶口 處，使原料瓶呈封閉狀；其中，瓶蓋上係設有一個氣壓接頭、 一個原料輸出接頭，以及一個原料回流接頭。 2、 如請求項1所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該原料輸出管接 頭處係設有延伸至原料瓶内的吸管。 3、 如請求項1所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該氣壓接頭係為 高壓管接頭。 * 4、如請求項1所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該原料輸出接頭 係為高壓管接頭。 5、 如請求項1所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該原料回流接頭 係為高壓管接頭。 6、 如請求項1所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該原料回流接頭 處設有閥門。 #7、如請求項6所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該閥門為手動閥 門。 8、如請求項6所述原料供應瓶之瓶蓋，其中該閥門為電動閥 門。 十、圖式： 9