TWI838857B - 玻璃組合物 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：SiO 2：50～70%；B 2O 3：3～20%；Al 2O 3：11～25%；CaO：1～15%；MgO：0～10%。通過合理的組分設計，本發明獲得的玻璃組合物具有優異的化學穩定性，較高的紫外光透過率和轉變溫度，滿足半導體製程中載具和封裝需求，適用於半導體製造領域。

Description

玻璃組合物
本發明涉及一種玻璃組合物，尤其是涉及一種適用於半導體製造領域的玻璃組合物。
玻璃在光透過性能、化學性能、機械性能、電氣特性、製造加工成本方面和其他材料（如金屬、晶體、陶瓷等）相比有明顯的優勢，因此近年開始逐漸應用於半導體封裝和半導體製程等應用中。隨著半導體晶片器件的集成度越來越高，在晶片封裝流程中，需要使用載具材料來防止封裝晶圓的變形，提升晶片封裝的良品率。玻璃由於具備良好的機械穩定性、優異的光透過率特性以及可以以較低成本獲得超大規格等特性，對於半導體晶片封裝載具來講，是一種極具發展潛力的材料。
用於封裝載具的玻璃的轉變溫度（T g）越高，玻璃在高溫製程的耐受度越高，越不容易在高溫製程中變形，尤其是需要在500℃～600℃以上的半導體製程中，需要玻璃的轉變溫度高於600℃。紫外雷射剝離技術對於傳統剝離技術來講，具有良品率高，成本低的優勢，但紫外雷射剝離技術要求載具玻璃組合物在365nm附近具備高透特性。半導體封裝所使用的載具玻璃價值較高，需循環使用數十次甚至數百次，在每次使用後都要進行清洗，若玻璃組合物的耐水、耐酸性能不好，在清洗過程中會破壞其光潔表面，從而縮短其使用壽命。更為嚴重的是，載具玻璃在半導體製程中會接觸酸鹼化學試劑，若化學穩定性不佳，玻璃中的物質會被腐蝕到工藝製程中所用的酸鹼溶液中，導致製程液過早報廢，引起巨大的損失。因此，作為載具用玻璃，需要具備優異的化學穩定性。
基於以上原因，本發明所要解決的技術問題是提供一種具有優異化學穩定性，較高轉變溫度和紫外光透過率的玻璃組合物。
本發明解決技術問題採用的技術方案是：
（1）一種玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：SiO 2：50～70%；B 2O 3：3～20%；Al 2O 3：11～25%；CaO：1～15%；MgO：0～10%。
（2）根據（1）所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，還含有：SrO：0～10%；和/或BaO：0～10%；和/或ZnO：0～8%；和/或Rn 2O：0～8%；和/或Ln 2O 3：0～8%；和/或WO 3：0～5%；和/或ZrO 2：0～5%；和/或TiO 2：0～5%；和/或P 2O 5：0～5%；和/或澄清劑：0～1%，所述Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種，Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種，澄清劑為Sb 2O 3、CeO 2、SnO 2、SnO中的一種或多種。
（3）一種玻璃組合物，其組分中含有SiO 2、B 2O 3、Al 2O 3和鹼土金屬氧化物，所述玻璃組合物的轉變溫度T g為620℃以上，365nm處外透過率τ 365nm為70%以上，所述鹼土金屬氧化物為MgO、CaO、SrO、BaO中的一種或多種。
（4）根據（3）所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：SiO 2：50～70%；和/或B 2O 3：3～20%；和/或Al 2O 3：11～25%；和/或CaO：1～15%；和/或MgO：0～10%；和/或SrO：0～10%；和/或BaO：0～10%；和/或ZnO：0～8%；和/或Rn 2O：0～8%；和/或Ln 2O 3：0～8%；和/或WO 3：0～5%；和/或ZrO 2：0～5%；和/或TiO 2：0～5%；和/或P 2O 5：0～5%；和/或澄清劑：0～1%，所述Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種，Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種，澄清劑為Sb 2O 3、CeO 2、SnO 2、SnO中的一種或多種。
（5）根據（1）～（4）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：Al 2O 3/B 2O 3為0.6～4.0，優選Al 2O 3/B 2O 3為0.8～3.5，更優選Al 2O 3/B 2O 3為1.0～3.0，進一步優選Al 2O 3/B 2O 3為1.2～2.5。
（6）根據（1）～（5）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：CaO/SiO 2為0.02～0.25，優選CaO/SiO 2為0.04～0.22，更優選CaO/SiO 2為0.08～0.2，進一步優選CaO/SiO 2為0.1～0.18。
（7）根據（1）～（6）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：（MgO+CaO）/B 2O 3為0.1～4.0，優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.2～3.5，更優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.3～2.0，進一步優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.5～1.5。
（8）根據（1）～（7）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：CaO/（BaO+SrO+MgO）為0.5～10.0，優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為2.0～8.0，更優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為3.0～7.0，進一步優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為3.5～6.0。
（9）根據（1）～（8）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.02～0.7，優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.04～0.6，更優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.05～0.5，進一步優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.08～0.3。
（10）根據（1）～（9）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：Rn 2O/（MgO+CaO）為1.0以下，優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.8以下，更優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.5以下，進一步優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.2以下，所述Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種。
（11）根據（1）～（10）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：Ln 2O 3/B 2O 3為1.0以下，優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.8以下，更優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.5以下，進一步優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.2以下，所述Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種。
（12）根據（1）～（11）任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，其中：SiO 2：54～68%，優選SiO 2：55～64%；和/或B 2O 3：4～17%，優選B 2O 3：6～15%；和/或Al 2O 3：12～24%，優選Al 2O 3：14～20%；和/或CaO：2～13%，優選CaO：4～9.5%；和/或MgO：0.1～8%，優選MgO：0.5～5%；和/或SrO：0～5%，優選SrO：0～2%；和/或BaO：0～5%，優選BaO：0～2%；和/或ZnO：0～5%，優選ZnO：0～3%；和/或Rn 2O：0～5%，優選Rn 2O：0～2%；和/或Ln 2O 3：0～5%，優選Ln 2O 3：0～2%；和/或WO 3：0～3%，優選WO 3：0～1%；和/或ZrO 2：0～3%，優選ZrO 2：0～1%；和/或TiO 2：0～2%，優選TiO 2：0～1%；和/或P 2O 5：0～2%，優選P 2O 5：0～1%；和/或澄清劑：0～0.8%，優選澄清劑：0～0.5%，所述Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種，Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種，澄清劑為Sb 2O 3、CeO 2、SnO 2、SnO中的一種或多種。
（13）根據（1）～（12）任一所述的玻璃組合物，所述玻璃組合物不含有Ln 2O 3；和/或不含有Rn 2O；和/或不含有ZnO；和/或不含有ZrO 2；和/或不含有TiO 2，所述Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種，Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種。
（14）根據（1）～（13）任一所述的玻璃組合物，所述玻璃組合物的熱膨脹係數α 20/300 ℃為22×10 -7/K～45×10 -7/K，優選為23×10 -7/K～40×10 -7/K，更優選為25×10 -7/K～38×10 -7/K，進一步優選為28×10 -7/K～37×10 -7/K；和/或轉變溫度T g為620℃以上，優選為640℃以上，更優選為650℃以上，進一步優選為660～800℃；和/或365nm處外透過率τ 365nm為70%以上，優選為75%以上，更優選為80%以上，進一步優選為85%以上；和/或耐酸作用穩定性D A為3類以上，優選2類以上，更優選為1類；和/或耐水作用穩定性D W為3類以上，優選為2類以上，更優選為1類；和/或楊氏模量E為60～90GPa，優選為65～85GPa，更優選為68～80GPa，進一步優選為70～78GPa；和/或密度ρ為3.0g/cm 3以下，優選為2.8g/cm 3以下，更優選為2.6g/cm 3以下。
（15）一種封裝材料，由（1）～（14）任一所述的玻璃組合物製成。
（16）一種封裝載具，由（1）～（14）任一所述的玻璃組合物製成。
本發明的有益效果是：通過合理的組分設計，本發明獲得的玻璃組合物具有優異的化學穩定性，較高的紫外光透過率和轉變溫度，滿足半導體製程中載具和封裝需求，適用於半導體製造領域。
以下，對本發明的玻璃組合物的實施方式進行詳細說明，但本發明不限於下述的實施方式，在本發明目的的範圍內可進行適當的變更來加以實施。此外，關於重複說明部分，雖然有適當的省略說明的情況，但不會因此而限制發明的主旨，在以下內容中，本發明玻璃組合物有時候簡稱為玻璃。
[玻璃組合物]
以下對本發明玻璃組合物的各組分範圍進行說明。在本說明書中，如果沒有特殊說明，各組分的含量、合計含量全部採用相對於換算成氧化物的組成的玻璃物質總量的重量百分比（wt%）表示。在這裡，所述“換算成氧化物的組成”是指，作為本發明的玻璃組合物組成成分（組分）的原料而使用的氧化物、複合鹽及氫氧化物等熔融時分解並轉變為氧化物的情況下，將該氧化物的物質總重量作為100%。
除非在具體情況下另外指出，本文所列出的數值範圍包括上限和下限值，“以上”和“以下”包括端點值，以及在該範圍內的所有整數和分數，而不限於所限定範圍時所列的具體值。本文所使用的術語“約”指配方、參數和其他數量以及特徵不是、且無需是精確的，如有需要，可以近似和/或更大或更低，這反應公差、換算因子和測量誤差等。本文所稱“和/或”是包含性的，例如“A和/或B”，是指只有A，或者只有B，或者同時有A和B。
＜必要組分和任選組分＞
SiO 2是本發明玻璃的主要組分之一，在本發明玻璃中，合適量的SiO 2能夠保證玻璃具備較高的耐水和耐酸性能，同時能夠實現高的紫外光透過率。若SiO 2的含量低於50%，玻璃的耐水性能、耐酸性能以及玻璃的紫外光透過率低於設計要求。若SiO 2的含量高於70%，玻璃的熔制溫度急劇升高，不易獲得高品質玻璃，同時玻璃的熱膨脹係數低於設計預期。因此，本發明中SiO 2的含量限定為50～70%，優選為54～68%，更優選為55～64%。在一些實施方式中，可包含約50%、50.5%、51%、51.5%、52%、52.5%、53%、53.5%、54%、54.5%、55%、55.5%、56%、56.5%、57%、57.5%、58%、58.5%、59%、59.5%、60%、60.5%、61%、61.5%、62%、62.5%、63%、63.5%、64%、64.5%、65%、65.5%、66%、66.5%、67%、67.5%、68%、68.5%、69%、69.5%、70%的SiO 2。
B 2O 3在玻璃中可以使玻璃的結構向緻密方向轉化，實現較高耐水與耐酸性能，促進玻璃高溫黏度的降低，更容易在低溫條件下獲得高品質的玻璃，若其含量低於3%，上述效果不明顯。若B 2O 3的含量高於20%，玻璃耐水和耐酸性能反而下降。因此，B 2O 3的含量限定為3～20%，優選為4～17%，更優選為6～15%。在一些實施方式中，可包含約3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%、8.5%、9%、9.5%、10%、10.5%、11%、11.5%、12%、12.5%、13%、13.5%、14%、14.5%、15%、15.5%、16%、16.5%、17%、17.5%、18%、18.5%、19%、19.5%、20%的B 2O 3。
合適量的Al 2O 3可以調節玻璃的楊氏模量，增加玻璃的導熱性，在本發明中通過含有11%以上的Al 2O 3以獲得上述效果；若其含量高於25%，玻璃的熱膨脹係數快速降低，熔化性能變差，同時特別容易析晶。因此，Al 2O 3的含量為11～25%，優選為12～24%，更優選為14～20%。在一些實施方式中，可包含約11%、11.5%、12%、12.5%、13%、13.5%、14%、14.5%、15%、15.5%、16%、16.5%、17%、17.5%、18%、18.5%、19%、19.5%、20%、20.5%、21%、21.5%、22%、22.5%、23%、23.5%、24%、24.5%、25%的Al 2O 3。
在一些實施方式中，通過控制Al 2O 3的含量與B 2O 3的含量之間的比值Al 2O 3/B 2O 3在0.6～4.0範圍內，可以在獲得期望的熱膨脹係數的同時，提高玻璃的光透過率和內在品質。因此，優選Al 2O 3/B 2O 3為0.6～4.0，更優選Al 2O 3/B 2O 3為0.8～3.5，進一步優選Al 2O 3/B 2O 3為1.0～3.0，更進一步優選Al 2O 3/B 2O 3為1.2～2.5。在一些實施方式中，Al 2O 3/B 2O 3的值約為0.6、0.65、0.7、0.75、0.8、0.85、0.9、0.95、1.0、1.05、1.1、1.15、1.2、1.25、1.3、1.35、1.4、1.45、1.5、1.55、1.6、1.65、1.7、1.75、1.8、1.85、1.9、1.95、2.0、2.05、2.1、2.15、2.2、2.25、2.3、2.35、2.4、2.45、2.5、2.55、2.6、2.65、2.7、2.75、2.8、2.85、2.9、2.95、3.0、3.05、3.1、3.15、3.2、3.25、3.3、3.35、3.4、3.45、3.5、3.55、3.6、3.65、3.7、3.75、3.8、3.85、3.9、3.95、4.0。
MgO可以提高玻璃的化學穩定性，調整玻璃的光學常數，若其含量超過10%，玻璃的熱膨脹係數降低，難以滿足設計要求。因此，MgO的含量為0～10%，優選為0.1～8%，更優選為0.5～5%。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%、8.5%、9%、9.5%、10%的MgO。
CaO可以提高玻璃的熱穩定性和折射率，調節熱膨脹係數，本發明中通過含有1%以上的CaO以獲得上述效果。另一方面，若CaO的含量高於15%，玻璃的抗析晶性能變差，楊氏模量超出設計要求。因此，CaO的含量為1～15%，優選為2～13%，更優選為4～9.5%。在一些實施方式中，可包含約1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%、8.5%、9%、9.5%、10%、10.5%、11%、11.5%、12%、12.5%、13%、13.5%、14%、14.5%、15%的CaO。
在本發明的一些實施方式中，通過控制CaO的含量與SiO 2的含量之間的比值CaO/SiO 2在0.02～0.25範圍內，可使玻璃在獲得期望的轉變溫度的同時，優化玻璃的抗析晶性能。因此，優選CaO/SiO 2為0.02～0.25，更優選CaO/SiO 2為0.04～0.22，進一步優選CaO/SiO 2為0.08～0.2，更進一步優選CaO/SiO 2為0.1～0.18。在一些實施方式中，CaO/SiO 2的值約為0.02、0.03、0.04、0.05、0.06、0.07、0.08、0.09、0.1、0.11、0.12、0.13、0.14、0.15、0.16、0.17、0.18、0.19、0.2、0.21、0.22、0.23、0.24、0.25。
在一些實施方式中，通過將MgO和CaO的合計含量MgO+CaO與B 2O 3的含量之間的比值（MgO+CaO）/B 2O 3控制在0.1～4.0範圍內，可以在較易獲得期望的楊氏模量的同時，提高玻璃的化學穩定性和光透過率。因此，優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.1～4.0，更優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.2～3.5，進一步優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.3～2.0，更進一步優選（MgO+CaO）/B 2O 3為0.5～1.5。在一些實施方式中，（MgO+CaO）/B 2O 3的值約為0.1、0.2、0.3、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0、1.1、1.2、1.3、1.4、1.5、1.6、1.7、1.8、1.9、2.0、2.1、2.2、2.3、2.4、2.5、2.6、2.7、2.8、2.9、3.0、3.1、3.2、3.3、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、4.0。
BaO可以提高玻璃的折射率和轉變溫度，優化玻璃的穩定性和機械性能，若其含量超過10%，玻璃的密度上升，化學穩定性變差。因此，BaO的含量為0～10%，優選為0～5%，更優選為0～2%。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%、8.5%、9%、9.5%、10%的BaO。
SrO的作用與BaO類似，若其含量超過10%，玻璃的熱膨脹係數達不到設計要求，同時玻璃的化學穩定性急劇下降。因此，SrO的含量為10%以下，優選為5%以下，更優選為2%以下。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%、8.5%、9%、9.5%、10%的SrO。
在一些實施方式中，通過控制CaO的含量與BaO、SrO、MgO的合計含量BaO+SrO+MgO之間的比值CaO/（BaO+SrO+MgO）在0.5～10.0範圍內，可以使玻璃的熱膨脹係數較易達到設計要求，同時可以優化玻璃的熔制溫度，提高光透過率，提高化學穩定性。因此，優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為0.5～10.0，更優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為2.0～8.0，進一步優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為3.0～7.0，更進一步優選CaO/（BaO+SrO+MgO）為3.5～6.0。在一些實施方式中，CaO/（BaO+SrO+MgO）的值約為0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0、1.3、1.5、1.7、2.0、2.3、2.5、2.7、3.0、3.3、3.5、3.7、4.0、4.3、4.5、4.7、5.0、5.3、5.5、5.7、6.0、6.3、6.5、6.7、7.0、7.3、7.5、7.7、8.0、8.3、8.5、8.7、9.0、9.3、9.5、9.7、10.0。
在一些實施方式中，通過將鹼土金屬氧化物MgO、CaO、SrO、BaO的合計含量MgO+CaO+SrO+BaO與SiO 2和B 2O 3的合計含量SiO 2+B 2O 3之間的比值（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）控制在0.02～0.7範圍內，可以在較易獲得期望的楊氏模量的同時，提高玻璃的化學穩定性和轉變溫度。因此，優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.02～0.7，更優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.04～0.6，進一步優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.05～0.5，更進一步優選（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）為0.08～0.3。在一些實施方式中，（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3）的值約為0.02、0.03、0.04、0.05、0.06、0.07、0.08、0.09、0.1、0.13、0.15、0.17、0.2、0.23、0.25、0.27、0.3、0.33、0.35、0.37、0.4、0.43、0.45、0.47、0.5、0.53、0.55、0.57、0.6、0.63、0.65、0.67、0.7。
ZnO在玻璃中可提高化學穩定性，降低熱膨脹係數。若ZnO的含量過多，玻璃的轉變溫度快速降低，使得玻璃在高溫工作環境中容易軟化變形，對需要工作在高溫狀態下的玻璃器件產生致命的影響。因此，ZnO的含量為8%以下，優選為5%以下，更優選為3%以下。在一些實施方式中，進一步優選不含有ZnO。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%的ZnO。
Rn 2O（Rn 2O為Li 2O、Na 2O、K 2O中的一種或多種）可以降低玻璃熔制溫度和密度，但其含量高時，玻璃的轉變溫度降低。另一方面，含有Rn 2O的玻璃在作為載具時，鹼金屬離子Li +、Na +、K +會進入單晶矽基板，污染晶片電路。因此，Rn 2O限定為8%以下，優選為5%以下，更優選為2%以下，進一步優選不含有Rn 2O。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%的Rn 2O。
在一些實施方式中，通過將Rn 2O的含量與MgO和CaO的合計含量MgO+CaO之間的比值Rn 2O/（MgO+CaO）控制在1.0以下，有利於提高玻璃的化學穩定性，獲得期望的熱膨脹係數。因此，優選Rn 2O/（MgO+CaO）為1.0以下，更優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.8以下，進一步優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.5以下，更進一步優選Rn 2O/（MgO+CaO）為0.2以下。在一些實施方式中，Rn 2O/（MgO+CaO）的值約為0、大於0、0.01、0.05、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.45、0.5、0.55、0.6、0.65、0.7、0.75、0.8、0.85、0.9、0.95、1.0。
Ln 2O 3（Ln 2O 3為La 2O 3、Gd 2O 3、Y 2O 3、Yb 2O 3中的一種或多種）可以提高玻璃的熱膨脹係數和折射率，當其含量過多時，玻璃的抗析晶性能降低，楊氏模量和轉變溫度難以達到設計要求。因此，Ln 2O 3為8%以下，優選為5%以下，更優選為2%以下，進一步優選不含有Ln 2O 3。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%、5.5%、6%、6.5%、7%、7.5%、8%的Ln 2O 3。
在一些實施方式中，通過將Ln 2O 3的含量與B 2O 3的含量之間的比值Ln 2O 3/B 2O 3控制在1.0以下，可以在較易獲得期望的熱膨脹係數的同時，提高玻璃的化學穩定性。因此，優選Ln 2O 3/B 2O 3為1.0以下，更優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.8以下，進一步優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.5以下，更進一步優選Ln 2O 3/B 2O 3為0.2以下。在一些實施方式中，Ln 2O 3/B 2O 3的值約為0、大於0、0.01、0.05、0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.45、0.5、0.55、0.6、0.65、0.7、0.75、0.8、0.85、0.9、0.95、1.0。
WO 3可以提高玻璃的折射率和機械強度，但其含量高時會降低玻璃的光透過率和轉變溫度。因此，WO 3的含量限定為5%以下，優選為3%以下，更優選為1%以下。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%的WO 3。
ZrO 2在玻璃中可以改善抗析晶能力，同時增強玻璃的化學穩定性，但若其含量超過5%，玻璃的熱膨脹係數顯著下降，難以達到設計要求，同時玻璃的熔解性能下降，高溫黏度顯著上升，玻璃中易出現不熔物。因此，ZrO 2含量限定為5%以下，優選為3%以下，更優選為1%以下，進一步優選不含有ZrO 2。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%的ZrO 2。
TiO 2能夠提升玻璃的抗析晶性能和機械強度。若TiO 2的含量超過5%，玻璃的紫外透過率快速下降，使得後續的雷射剝離變得困難，同時玻璃的熱膨脹係數降低。因此，TiO 2的含量為5%以下，優選為2%以下，更優選為1%以下，進一步優選不含有TiO 2。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%的TiO 2。
P 2O 5是可以提高玻璃的耐失透性的任選組分，特別是通過使P 2O 5的含量為5%以下，可抑制玻璃的化學穩定性的降低。因此，P 2O 5的含量限定為5%以下，優選為2%以下，更優選1%以下。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.5%、1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%、5%的P 2O 5。
本發明玻璃中含有0～1%的澄清劑以提高玻璃的澄清能力，提高玻璃的氣泡度，優選澄清劑的含量為0～0.8%，更優選為0～0.5%。所述澄清劑可包含Sb 2O 3、CeO 2、SnO 2和SnO中的一種或多種。由於CeO 2、SnO 2、SnO與Sb 2O 3相比，會嚴重損害玻璃的紫外透過率，因此在本發明中優選使用Sb 2O 3作為澄清劑。在一些實施方式中，可包含約0%、大於0%、0.01%、0.05%、0.1%、0.15%、0.2%、0.25%、0.3%、0.35%、0.4%、0.45%、0.5%、0.55%、0.6%、0.65%、0.7%、0.75%、0.8%、0.85%、0.9%、0.95%、1%的澄清劑。
＜不應含有的組分＞
Th、Cd、Tl、Os、Be以及Se的氧化物，近年來作為有害的化學物質而有控制使用的傾向，不僅在玻璃的製造工序，直至加工工序以及產品化後的處置上對環境保護的措施是必需的。因此，在重視對環境的影響的情況下，除了不可避免地混入以外，優選實際上不含有它們。由此，玻璃變得實際上不包含污染環境的物質。因此，即使不採取特殊的環境對策上的措施，本發明的玻璃也能夠進行製造、加工以及廢棄。
為了實現環境友好，本發明的玻璃不含有As 2O 3和PbO。雖然As 2O 3具有消除氣泡和較好的防止玻璃著色的效果，但As 2O 3的加入會加大玻璃對熔爐特別是對鉑金熔爐的鉑金侵蝕，導致更多的鉑金離子進入玻璃，對鉑金熔爐的使用壽命造成不利影響。PbO可顯著提高玻璃的高折射率和高色散性能，但PbO和As 2O 3都造成環境污染的物質。
本文所記載的“不含有”、“0%”是指沒有故意將該化合物、分子或元素等作為原料添加到本發明玻璃中；但作為生產玻璃的原材料和/或設備，會存在某些不是故意添加的雜質或組分，會在最終的玻璃中少量或痕量含有，此種情形也在本發明專利的保護範圍內。
以下，對本發明的玻璃組合物的性能進行說明。
＜耐酸作用穩定性＞
玻璃組合物的耐酸作用穩定性（D A）(粉末法)按照《GB/T 17129》規定的方法測試。
本發明玻璃組合物的耐酸作用穩定性（D A）為3類以上，優選為2類以上，更優選為1類。
＜耐水作用穩定性＞
玻璃組合物的耐水作用穩定性（D W）(粉末法)按照《GB/T 17129》規定的方法測試。
本發明玻璃組合物的耐水作用穩定性（D W）為3類以上，優選為2類以上，更優選為1類。
＜熱膨脹係數＞
玻璃組合物的熱膨脹係數（α 20/300 ℃）按照《GB/T7962.16-2010》規定的方法進行測試20～300℃的數據。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的熱膨脹係數（α 20/300 ℃）的下限為22×10 -7/K，優選下限為23×10 -7/K，更優選下限為25×10 -7/K，進一步優選下限為28×10 -7/K。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的熱膨脹係數（α 20/300 ℃）的上限為45×10 -7/K，優選上限為40×10 -7/K，更優上限為38×10 -7/K，進一步優選上限為37×10 -7/K。
＜光透過率＞
本發明所述的光透過率是指10mm厚度玻璃樣品在365nm處的外透過率，以τ 365nm表示，按《GB/T7962.12-2010》規定方法測試。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的365nm處外透過率（τ 365nm）為70%以上，優選為75%以上，更優選為80%以上，進一步優選為85%以上。
＜轉變溫度＞
玻璃組合物的轉變溫度（T g）按《GB/T7962.16-2010》規定方法測試。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的轉變溫度（T g）為620℃以上，優選為640℃以上，更優選為650℃以上，進一步優選為660～800℃。
＜楊氏模量＞
玻璃組合物的楊氏模量（E）採用以下公式計算得出：
其中，
式中：
E為楊氏模量，Pa；
G為剪切模量，Pa；
V T為縱波速度，m/s；
V S為橫波速度，m/s；
ρ為玻璃密度，g/cm 3。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的楊氏模量（E）的上限為90 GPa，優選上限為85 GPa，更優選上限為80 GPa，進一步優選上限為78GPa。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的楊氏模量（E）的下限為60 GPa，優選下限為65 GPa，更優選下限為68 GPa，進一步優選下限為70GPa。
＜密度＞
玻璃組合物的密度（ρ）按《GB/T7962.20-2010》規定方法測試。
在一些實施方式中，本發明玻璃組合物的密度（ρ）為3.0g/cm 3以下，優選為2.8g/cm 3以下，更優選為2.6g/cm 3以下。
本發明玻璃組合物具有上述優異性能，可廣泛應用於電子器件、感光器件的封裝領域，也可應用於製造玻璃元件，製造各種設備或儀器，例如成像設備、感測器、顯微鏡、醫藥技術、數位投影、通信、光學通信技術/資訊傳輸、汽車領域中的光學/照明、光刻技術、準分子雷射器、晶片、電腦晶片以及包括這樣的電路及晶片的積體電路和電子器件，或用於車載領域、監控安防領域的攝像設備和裝置。可應用於半導體封裝和半導體製程，用於製作封裝材料和/或封裝載具等。
[製造方法]
本發明玻璃組合物的製造方法如下：本發明的玻璃採用常規原料和常規工藝生產，使用碳酸鹽、硝酸鹽、硫酸鹽、氫氧化物、氧化物、氟化物、磷酸鹽、偏磷酸鹽等為原料，按常規方法配料後，將配好的爐料投入到1400～1600℃的熔煉爐中熔制，並且經澄清、攪拌和均化後，得到沒有氣泡及不含未溶解物質的均質熔融玻璃，將此熔融玻璃在模具內鑄型並退火而成。所屬技術領域中具有通常知識者能夠根據實際需要，適當地選擇原料、工藝方法和工藝參數。
實施例
為了進一步清楚地闡釋和說明本發明的技術方案，提供以下的非限制性實施例。本實施例採用上述玻璃組合物的製造方法得到具有表1～表3所示的組成的玻璃組合物。另外，通過本發明所述的測試方法測定各玻璃的特性，並將測定結果表示在表1～表3中。 [表1]
實施例（ wt%) 1# 2# 3# 4# 5# 6# 7#
SiO 2 53.6 55.2 60.7 62.3 64.2 57.5 56.6
B 2O 3 8.2 11.45 8.7 11.7 10.48 14.3 13.1
Al 2O 3 22.5 20.6 18.4 15.4 11.5 21.5 15.6
MgO 3.6 2.5 2.1 0.4 1.7 0.8 1.2
CaO 11.5 9.6 10.0 8.5 8.0 5.8 10.4
SrO 0 0 0 0 0 0 2.0
BaO 0 0 0 1.5 0 0 0
ZnO 0 0 0 0 0 0 1.0
Li 2O 0 0 0 0 0 0 0
Na 2O 0 0 0 0 0 0 0
K 2O 0 0 0 0 0 0 0
La 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Gd 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Y 2O 3 0 0 0 0 1.0 0 0
Yb 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
WO 3 0 0 0 0 1.0 0 0
ZrO 2 0.5 0 0 0 0 0 0
TiO 2 0 0 0 0 2.0 0 0
P 2O 5 0 0.5 0 0 0 0 0
Sb 2O 3 0.1 0.15 0.1 0.2 0.12 0.1 0.1
CeO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 0 0 0 0 0 0 0
合計 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0
Al 2O 3/B 2O 3 2.744 1.799 2.115 1.316 1.097 1.503 1.191
CaO/（BaO+SrO+MgO） 3.194 3.84 4.762 4.474 4.706 7.25 3.25
CaO/SiO 2 0.215 0.174 0.165 0.136 0.125 0.101 0.184
（MgO+CaO）/B 2O 3 1.841 1.057 1.391 0.761 0.926 0.462 0.885
（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3） 0.244 0.182 0.174 0.141 0.13 0.092 0.195
Ln 2O 3/B 2O 3 0 0 0 0 0.095 0 0
Rn 2O/（MgO+CaO） 0 0 0 0 0 0 0
α 20/300 ℃（×10 -7/K） 38 28 32 31 35 29 26
T g（℃） 675 668 682 675 670 674 665
τ 365nm（%） 87.4 86.5 88.0 86.6 87.1 87.2 86.8
D A 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
D W 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
E（GPa） 70.5 72.4 70.7 72.6 73.2 75.5 70.6
ρ（g/cm 3） 2.37 2.41 2.45 2.38 2.40 2.46 2.38
[表2]
實施例（ wt%) 8# 9# 10# 11# 12# 13# 14#
SiO 2 61.7 62.2 57.3 65.25 60.3 62.5 60.0
B 2O 3 8.7 8.4 16.5 5.9 9.7 10.5 14.1
Al 2O 3 18.2 17.2 16.87 12.2 18.0 17.2 15.7
MgO 2.5 0.6 1.4 4.0 2.2 1.3 1.4
CaO 8.8 9.3 7.8 12.5 8.6 8.4 7.2
SrO 0 0 0 0 0 0 0
BaO 0 2.2 0 0 0 0 0
ZnO 0 0 0 0 0 0 0
Li 2O 0 0 0 0 0 0 0
Na 2O 0 0 0 0 0 0 0
K 2O 0 0 0 0 0 0 0
La 2O 3 0 0 0 0 0 0 1.5
Gd 2O 3 0 0 0 0 1.0 0 0
Y 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Yb 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
WO 3 0 0 0 0 0 0 0
ZrO 2 0 0 0 0 0 0 0
TiO 2 0 0 0 0 0 0 0
P 2O 5 0 0 0 0 0 0 0
Sb 2O 3 0.1 0.1 0.13 0.15 0.2 0.1 0.1
CeO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 0 0 0 0 0 0 0
合計 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0
Al 2O 3/B 2O 3 2.092 2.048 1.022 2.068 1.856 1.638 1.113
CaO/（BaO+SrO+MgO） 3.52 3.321 5.571 3.125 3.909 6.462 5.143
CaO/SiO 2 0.143 0.15 0.136 0.192 0.143 0.134 0.12
（MgO+CaO）/B 2O 3 1.299 1.179 0.558 2.797 1.113 0.924 0.61
（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3） 0.161 0.171 0.125 0.232 0.154 0.133 0.116
Ln 2O 3/B 2O 3 0 0 0 0 0.103 0 0.106
Rn 2O/（MgO+CaO） 0 0 0 0 0 0 0
α 20/300 ℃（×10 -7/K） 35 36 26 30 28 27 36
T g（℃） 672 671 680 673 674 670 672
τ 365nm（%） 85.7 88.1 87.4 87.2 87.5 86.5 87.4
D A 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
D W 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
E（GPa） 74.5 72.8 73.0 75.1 78.2 72.4 72.1
ρ（g/cm 3） 2.42 2.46 2.32 2.35 2.42 2.41 2.47
[表3]
實施例（ wt%) 15# 16# 17# 18# 19# 20# 21#
SiO 2 61.5 56.4 53.8 62.0 63.4 65.0 60.5
B 2O 3 11.8 17.3 15.28 9.8 7.7 10.3 10.2
Al 2O 3 14.6 18.8 23.4 12.5 14.2 13.7 18.4
MgO 2.4 1.0 1.2 0.8 0.2 2.2 1.0
CaO 9.6 6.4 6.2 12.0 11.4 8.7 7.4
SrO 0 0 0 1.0 0 0 0.25
BaO 0 0 0 1.8 3.0 0 0.25
ZnO 0 0 0 0 0 0 0
Li 2O 0 0 0 0 0 0 0
Na 2O 0 0 0 0 0 0 2.0
K 2O 0 0 0 0 0 0 0
La 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Gd 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Y 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Yb 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
WO 3 0 0 0 0 0 0 0
ZrO 2 0 0 0 0 0 0 0
TiO 2 0 0 0 0 0 0 0
P 2O 5 0 0 0 0 0 0 0
Sb 2O 3 0.1 0.1 0.12 0.1 0.1 0.1 0
CeO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 2 0 0 0 0 0 0 0
SnO 0 0 0 0 0 0 0
合計 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0
Al 2O 3/B 2O 3 1.237 1.087 1.531 1.276 1.844 1.33 1.804
CaO/（BaO+SrO+MgO） 4 6.4 5.167 3.333 3.563 3.955 4.933
CaO/SiO 2 0.156 0.113 0.115 0.194 0.18 0.134 0.122
（MgO+CaO）/B 2O 3 1.017 0.428 0.484 1.306 1.506 1.058 0.824
（MgO+CaO+SrO+BaO）/（SiO 2+B 2O 3） 0.164 0.1 0.107 0.217 0.205 0.145 0.126
Ln 2O 3/B 2O 3 0 0 0 0 0 0 0
Rn 2O/（MgO+CaO） 0 0 0 0 0 0 0.238
α 20/300 ℃（×10 -7/K） 27 27 31 37 35 30 30
T g（℃） 669 674 672 675 678 674 675
τ 365nm（%） 87.2 88.5 87.4 87.3 87.5 87.5 87.5
D A 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
D W 1類 1類 1類 1類 1類 1類 1類
E（GPa） 78.5 76.5 74.1 73.5 73.3 72.4 74.1
ρ（g/cm 3） 2.44 2.43 2.38 2.37 2.40 2.45 2.40

Claims (21)

  1. 一種玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：SiO2：50~70%；B2O3：5~20%；Al2O3：11~25%；CaO：1~15%；MgO：0~10%；SrO：0~10%；BaO：0~10%，Al2O3/B2O3為0.6~2.85，CaO/(BaO+SrO+MgO)為1.3~10.0，不含有Rn2O，所述Rn2O為Li2O、Na2O、K2O中的一種或多種。
  2. 如請求項1所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，還含有：ZnO：0~8%；和/或Ln2O3：0~8%；和/或WO3：0~5%；和/或ZrO2：0~5%；和/或TiO2：0~5%；和/或P2O5：0~5%；和/或澄清劑：0~1%，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種，所述澄清劑為Sb2O3、CeO2、SnO2、SnO中的一種或多種。
  3. 一種玻璃組合物，其組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3和鹼土金屬氧化物，其中，SiO2：50~70%；B2O3：5~20%；Al2O3：11~25%；CaO：1~15%；MgO：大於0~10%；SrO：0~10%；BaO：0~10%，Al2O3/B2O3為0.6~2.85，CaO/(BaO+SrO+MgO)為1.3~10.0，不含有Rn2O，所述Rn2O為Li2O、Na2O、K2O中的一種或多種，所述玻璃組合物的轉變溫度Tg為620℃以上，365nm處外透過率τ365nm為70%以上。
  4. 如請求項3所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，含有：ZnO：0~8%；和/或Rn2O：0~8%；和/或Ln2O3：0~8%；和/或WO3：0~5%；和/或ZrO2：0~5%；和/或TiO2：0~5%；和/或P2O5：0~5%；和/或澄清劑：0~1%，所述Rn2O為Li2O、Na2O、K2O中的一種或多種，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種，所述澄清劑為Sb2O3、CeO2、SnO2、SnO中的一種或多種。
  5. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，滿足以下3種情形中的一種或多種：1)CaO/SiO2為0.02~0.25；2)(MgO+CaO)/B2O3為0.1~4.0；3)(MgO+CaO+SrO+BaO)/(SiO2+B2O3)為0.02~0.7。
  6. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，滿足以下5種情形中的一種或多種：1)Al2O3/B2O3為0.8~2.85；2)CaO/SiO2為0.04~0.22；3)(MgO+CaO)/B2O3為0.2~3.5；4)CaO/(BaO+SrO+MgO)為2.0~8.0；5)(MgO+CaO+SrO+BaO)/(SiO2+B2O3)為0.04~0.6。
  7. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，滿足以下5種情形中的一種或多種：1)Al2O3/B2O3為1.0~2.85；2)CaO/SiO2為0.08~0.2；3)(MgO+CaO)/B2O3為0.3~2.0；4)CaO/(BaO+SrO+MgO)為3.0~7.0；5)(MgO+CaO+SrO+BaO)/(SiO2+B2O3)為0.05~0.5。
  8. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，滿足以下5種情形中的一種或多種：1)Al2O3/B2O3為1.2~2.5； 2)CaO/SiO2為0.1~0.18；3)(MgO+CaO)/B2O3為0.5~1.5；4)CaO/(BaO+SrO+MgO)為3.5~6.0；5)(MgO+CaO+SrO+BaO)/(SiO2+B2O3)為0.08~0.3。
  9. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，其中：SiO2：54~68%；和/或B2O3：5~17%；和/或Al2O3：12~24%；和/或CaO：2~13%；和/或MgO：0.1~8%；和/或SrO：0~5%；和/或BaO：0~5%；和/或ZnO：0~5%；和/或WO3：0~3%；和/或ZrO2：0~3%；和/或TiO2：0~2%；和/或P2O5：0~2%；和/或澄清劑：0~0.8%，所述澄清劑為Sb2O3、CeO2、SnO2、SnO中的一種或多種。
  10. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，其中：SiO2：55~64%；和/或B2O3：6~15%；和/或Al2O3：14~20%；和/或CaO：4~9.5%；和/或MgO：0.5~5%；和/或SrO：0~2%；和/或BaO：0~2%；和/或ZnO：0~3%；和/或WO3：0~1%；和/或ZrO2：0~1%；和/或TiO2：0~1%；和/或P2O5：0~1%；和/或澄清劑：0~0.5%，所述澄清劑為Sb2O3、CeO2、SnO2、SnO中的一種或多種。
  11. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，所述玻璃組合物不含有Ln2O3；和/或不含有ZnO；和/或不含有ZrO2；和/或不含有TiO2，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  12. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3/B2O3為1.0以下，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  13. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3/B2O3為0.8以下，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  14. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3/B2O3為0.5以下，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  15. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3/B2O3為0.2以下，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  16. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3：0~5%；所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  17. 如請求項2或4所述的玻璃組合物，其中，其組分以重量百分比表示，Ln2O3：0~2%，所述Ln2O3為La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一種或多種。
  18. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，所述玻璃組合物的熱膨脹係數α20/300℃為22×10-7/K~45×10-7/K；和/或轉變溫度Tg為620℃以上；和/或365nm處外透過率τ365nm為70%以上；和/或耐酸作用穩定性DA為3類以上；和/或耐水作用穩定性DW為3類以上；和/或楊氏模量E為60~90GPa；和/或密度ρ為3.0g/cm3以下，所述耐酸作用穩定性DA和耐水作用穩定性DW按照《GB/T 17129》規定的方法測試。
  19. 如請求項1至4中任一項所述的玻璃組合物，其中，所述玻璃組合物的熱膨脹係數α20/300℃為28×10-7/K~37×10-7/K；和/或轉變溫度Tg為660~800℃；和/或365nm處外透過率τ365nm為85%以上；和/或耐酸作用穩定性DA為1類；和/或耐水作用穩定性DW為1類；和/或楊氏模量E為70~78GPa；和/或密度ρ為2.6g/cm3以下，所述耐酸作用穩定性DA和耐水作用穩定性DW按照《GB/T 17129》規定的方法測試。
  20. 一種封裝材料，其由如請求項1至19中任一項所述的玻璃組合物製成。
  21. 一種封裝載具，其由如請求項1至19中任一項所述的玻璃組合物製成。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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