TWI837852B - 合模裝置 - Google Patents

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TWI837852B
TWI837852B TW111137086A TW111137086A TWI837852B TW I837852 B TWI837852 B TW I837852B TW 111137086 A TW111137086 A TW 111137086A TW 111137086 A TW111137086 A TW 111137086A TW I837852 B TWI837852 B TW I837852B
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Inventor
藤沢雅彦
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日商山田尖端科技股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種可將可動壓盤損傷連桿的情況防患於未然的合模裝置。合模裝置(1)包括:可動壓盤(3),沿著連桿(4)移動;以及多個升降機構(10A、10B、10C、10D、…),包括第一升降機構(10A)及第二升降機構(10B),且所述合模裝置(1)包括:驅動機構(10),構成為能夠賦予差分(β),以使與第一升降機構(10A)對應的可動壓盤(3)的第一部位(3A)處於較與第二升降機構(10B)對應的可動壓盤(3)的第二部位(3B)高的位置或較與第二升降機構(10B)對應的可動壓盤(3)的第二部位(3B)低的位置,從而使可動壓盤(3)移動;以及連結結構(20),將驅動機構(10)連結於可動壓盤(3)。連結結構(20)構成為止擋件,所述止擋件限制可動壓盤(3)的移動,以使差分(β)不會大於規定值(α)。

Description

合模裝置
本發明是有關於一種包括多個升降機構的合模裝置。
期望盡可能減小作為樹脂密封品的厚度的最大值與最小值之差的總厚度變化(total thickness variation,TTV)。為了減小TTV,於合模時必須高精度地調整固定壓盤與可動壓盤的間隔並配置成上模與下模平行。例如,於專利文獻1及專利文獻2中提出了一種合模裝置,其包括多個升降機構,且可針對與各個升降機構對應的每個部位任意地調整可動壓盤的高度。 [現有技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1:日本專利特開2007-324377號公報 專利文獻2:日本專利特開2008-087408號公報
[發明所欲解決之課題]
但是,由於可動壓盤與引導其升降的連桿的間隙微小,因此若升降機構間的高度差變得過大,則可動壓盤有過度地傾斜而損傷連桿之虞。因此,本發明的目的在於提供一種可將可動壓盤損傷連桿的情況防患於未然的合模裝置。 [解決課題之手段]
本發明的一形態的合模裝置包括:可動壓盤,沿著連桿移動;以及多個升降機結構,包括第一升降機構及第二升降機構,且所述合模裝置包括:驅動機構,構成為能夠賦予差分,以使與第一升降機構對應的可動壓盤的第一部位處於較與第二升降機構對應的可動壓盤的第二部位高的位置或較與第二升降機構對應的可動壓盤的第二部位低的位置,從而使可動壓盤移動;以及連結結構,將驅動機構連結於可動壓盤。連結結構構成為止擋件,所述止擋件限制可動壓盤的移動,以使差分不會大於規定值。
根據所述形態,即便超過規定值而增大差分,連結結構亦限制可動壓盤的移動。因此,可將可動壓盤過度地傾斜而損傷連桿的情況防患於未然。
於所述形態中,連結結構可包括安裝於第一升降機構的多個連結件。
根據所述形態,可於各個升降機構中使應力分散至多個連結結構。例如,於軸周圍產生大的旋轉負荷的滾珠螺桿等為升降機構的情況下較佳。
於所述形態中,多個連結件各者可構成具有規定值的可動區域的自由桿結構。
根據所述形態,可藉由容易獲得的簡單的結構限制可動壓盤的移動,以使差分不會大於規定值。
於所述形態中,亦可構成為於差分與規定值相等的狀態下,可動壓盤能夠於連桿表面平滑地滑動。
根據所述形態,只要差分為規定值以下,則可於加上所述差分的修正值並使可動壓盤傾斜的狀態下等速地驅動所有升降機構來進行合模或開模等操作。
於所述形態中,驅動機構亦可包括四個升降機構。
根據所述形態,能夠以自包括四個升降機構的四個部位的連桿各者至最近的升降機構成為等距離的方式配置升降機構。可將力均衡地傳遞至各部分而使可動壓盤移動。 [發明的效果]
根據本發明,可提供一種可將可動壓盤損傷連桿的情況防患於未然的合模裝置。
參照附圖對本發明的較佳的實施方式進行說明。再者,於各圖中,標註了相同的參照符號的元件具有相同或同樣的結構。本發明的一實施方式為於壓縮成形或轉移成形中將上下的模具合模的合模裝置1。若於固定壓盤2與可動壓盤3之間安裝上模及下模,則可構成對半導體晶片等進行樹脂密封的樹脂密封裝置。以下,將參照圖式對本發明進行詳細說明。
圖1是表示本發明的一實施方式的合模裝置1的剖面圖,且是以穿過後述的第一升降機構10A及第二升降機構10B的軸部11的中心的平面切斷的剖面圖。如圖1所示,合模裝置1包括:上下延伸的圓柱狀的連桿4、固定於連桿4的端部的固定壓盤(亦稱為「固定盤」)2、沿著連桿4上下移動的可動壓盤(亦稱為「可動盤」)3、使可動壓盤3上下移動的驅動機構10、將驅動機構10連結於可動壓盤3的連結結構20等。
驅動機構10包含包括第一升降機構10A及第二升降機構10B的多個升降機構(10A、10B、…)。於圖示的例子中,固定壓盤2配置於上側,可動壓盤3配置於下側,但亦可將固定壓盤2配置於下側,將可動壓盤3配置於上側。各個升降機構10A、10B、…例如包括滾珠螺桿(11、12、13、14)、馬達15、未圖示的傳遞機構等。
雖未圖示,但傳遞機構例如包括減速機、帶、滑輪等。滾珠螺桿包括軸部11、螺母12、環13、緊固螺釘14等。軸部11與連桿4的延伸方向平行地延伸,經由傳遞機構被伺服控制的馬達15旋轉驅動。當軸部11旋轉時,螺母12沿上下方向直線運動。環13藉由多個緊固螺釘14固定於螺母12。
合模裝置1可賦予差分β以使與第一升降機構10A對應的第一部位3A(圖2所示)處於較與第二升降機構10B對應的第二部位3B(圖2所示)高的位置或較與第二升降機構10B對應的第二部位3B低的位置,從而使可動壓盤3移動。將為了使可動壓盤3上下移動而協作的該些多個升降機構(10A、10B、…)總稱為驅動機構10。
圖2是概略地表示圖1所示的可動壓盤3的平面圖。於圖示的例子中,合模裝置1的驅動機構10包括四個升降機構10A、10B、10C、10D。可由三個以下的升降機構構成驅動機構10,亦可由五個以上的升降機構構成驅動機構10。各個升降機構10A、10B、10C、10D按壓位於該升降機構正上方的對應的部位3A、部位3B、部位3C、部位3D。
再者,於圖示的例子中,第一升降機構至第四升降機構10A、10B、10C、10D中的第一升降機構10A及第二升降機構10B自正面觀察時左右排列,但第一升降機構10A及第二升降機構10B亦可前後排列,第一升降機構10A及第二升降機構10B亦可傾斜(大致矩形的可動壓盤3的對角線上)排列。即,可動壓盤3的第一部位3A與第二部位3B的高低差即差分β並不限定於可動壓盤3內的左右的高低差,可為前後的高低差,亦可為對角的高低差。
圖3是將圖1所示的連結結構20放大地表示的剖面圖。於第一升降機構10A安裝有多個(例如,八個)連結件(20A、20B、…)。同樣地,於其他升降機構10B、10C、10D亦安裝有多個(例如,八個)連結件(20A、20B、…)。將該些多個連結件(20A、20B、…)統稱為連結結構20。
如圖3所示,於第一升降機構10A的環13上設置有圓筒狀的主體131、自主體131的上端呈放射狀突出的法蘭部132、沿連桿4的延伸方向(上下方向)貫通法蘭部132的貫通孔133等。各個連結件20A、20B、…例如是緊固螺釘,具有形成有與可動壓盤3螺合的外螺紋的螺紋部23、形成為與環13的貫通孔133為大致相同直徑的圓柱狀的圓筒部22、形成為直徑較貫通孔133大的頭部21。
圓筒部22的表面是無凹凸的平滑的圓柱狀,且與大致相同直徑的貫通孔133的內周面滑動接觸。於連結件20A、連結件20B的頭部21的承面與環13的法蘭部132的下表面之間存在長度為α的間隙。換言之,連結件20A、連結件20B、…與法蘭部132構成具有規定值α的可動區域的自由桿結構。
藉此,即便於規定值α的範圍內第一升降機構10A提高或降低可動壓盤3的位置,法蘭部132與連結件20A的頭部21亦不會抵接。另一方面,即便超過規定值α而欲使第一升降機構10A移動,連結件20A的頭部21亦與法蘭部132抵接而限制可動壓盤3的進一步的移動。
根據如上所述構成的本實施方式的合模裝置1,即便差分β欲超過規定值α,連結結構20亦限制可動壓盤3的移動。因此,可將可動壓盤3過度地傾斜而損傷連桿4的情況防患於未然。即便於規定值α的範圍內差分β最大,由於可動壓盤3能夠於連桿4的表面平滑地滑動,因此亦可不損傷連桿4地利用合模裝置1。
滾珠螺桿的螺母12不僅於軸部11的延伸方向上直線運動,而且由於與軸部11的摩擦而施加欲繞軸部11旋轉的旋轉負荷。於本實施方式中,於第一升降機構10A的軸周圍設置有多個連結件20A、20B、…,因此可使此種旋轉負荷分散。
以上說明的實施方式是為了便於理解本發明,並不用於限定解釋本發明。實施方式所包括的各元件及其配置、材料、條件、形狀及尺寸等並不限定於例示的內容,可適當變更。另外,能夠對不同實施方式所示的結構之間進行區域置換或組合。
例如,限制可動壓盤3的移動的止擋件並不限定於圖3所示的例子。亦可為當可動壓盤3的第一部位3A與第二部位3B的高低差β成為規定值α時卡合的鉤等。
1:合模裝置 2:固定壓盤 3:可動壓盤 3A、3B、3C、3D:第一部位至第四部位 4:連桿 10:驅動機構 10A、10B、10C、10D:第一升降機構至第四升降機構 11:軸部(滾珠螺桿) 12:螺母 13:環 14:緊固螺釘 15:馬達 20:連結結構 20A、20B:連結件 21:頭部 22:圓筒部 23:螺紋部 131:主體 132:法蘭部 133:貫通孔 α:規定值 β:差分
圖1是表示本發明的一實施方式的合模裝置的剖面圖。 圖2是概略地表示圖1所示的可動壓盤的平面圖。 圖3是將圖1所示的連結結構放大地表示的剖面圖。
1:合模裝置
2:固定壓盤
3:可動壓盤
4:連桿
10:驅動機構
10A:第一升降機構
10B:第二升降機構
11:軸部
12:螺母
13:環
14:緊固螺釘
15:馬達
20:連結結構
α:規定值
β:差分

Claims (3)

  1. 一種合模裝置,包括:連桿;固定壓盤,固定於所述連桿的端部;可動壓盤,沿著所述連桿移動;多個升降機構,包括第一升降機構及第二升降機構,其中,於所述第一升降機構的環上,設置有:圓筒狀的主體、自所述主體的上端呈放射狀突出的法蘭部、以及沿所述連桿的延伸方向貫通所述法蘭部的貫通孔;驅動機構,構成為能夠賦予差分,以使與所述第一升降機構對應的所述可動壓盤的第一部位處於較與所述第二升降機構對應的所述可動壓盤的第二部位高的位置或較與所述第二升降機構對應的所述可動壓盤的第二部位低的位置,從而使所述可動壓盤移動,所述差分為所述第一部位與所述第二部位的高低差;以及連結結構,將所述驅動機構連結於所述可動壓盤,其中,在所述固定壓盤與所述可動壓盤之間安裝上模及下模,並且,以所述上模與所述下模平行的方式,來調整所述固定壓盤與所述可動壓盤之間的間隔,所述連結結構構成為止擋件,所述止擋件限制所述可動壓盤的移動,以使所述差分不會大於規定值,所述連結結構包括安裝於所述第一升降機構的多個連結件,所述多個連結件各者構成具有所述規定值的可動區域的自由 桿結構,所述連結件的頭部的承面與所述環的所述法蘭部的下表面之間,存在長度為所述規定值的間隙。
  2. 如請求項1所述的合模裝置,構成為於所述差分與所述規定值相等的狀態下,所述可動壓盤能夠於所述連桿表面平滑地滑動。
  3. 如請求項1或請求項2所述的合模裝置,其中所述驅動機構包括四個升降機構。
TW111137086A 2021-11-26 2022-09-29 合模裝置 TWI837852B (zh)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10960583B2 (en) 2016-07-19 2021-03-30 Asm Technology Singapore Pte Ltd Molding system for applying a uniform clamping pressure onto a substrate

Patent Citations (1)

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