TWI831490B - 提供斷線警示的方法及裝置 - Google Patents

Abstract

本發明實施例提供一種提供斷線警示的方法及裝置。所述方法包括：取得晶柱切割機台在使用切割線切割晶柱時的多個製程數值；將製程數值區分為N個群組，並決定各群組的統計性質；基於各群組的統計性質在製程數值中找出離群數值，或基於各群組的統計性質決定對應於各群組的統計性質變化；以及反應於判定製程數值中的離群數值滿足第一預警條件，或是對應於各群組的統計性質變化滿足第二預警條件，提供關聯於切割線的斷線警示。

Description

提供斷線警示的方法及裝置

本發明是有關於一種晶柱製程監控技術，且特別是有關於一種提供斷線警示的方法及裝置。

在現有技術中，在完成晶柱的製造之後，可透過晶柱切割機台將晶柱進一步切割為晶片。一般而言，晶柱切割機台可透過切割線(例如切割線網)對晶柱進行切割。

然而，在切割線被用於切割晶柱的過程中，切割線可能會因故而出現斷線的情形，進而相應地影響晶柱的切割成果。

因此，對於本領域技術人員而言，若能預測切割線是否即將出現斷線的情形，應可有效地避免因切割線意外斷開而影響晶柱的切割過程。

有鑑於此，本發明提供一種提供斷線警示的方法及裝置，其可用於解決上述技術問題。

本發明實施例提供一種提供斷線警示的方法，包括：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值；將所述多個製程數值區分為N個群組，並決定各群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各群組的統計性質在所述多個製程數值中找出至少一離群數值，或基於各群組的統計性質決定對應於各群組的一統計性質變化；以及反應於判定所述多個製程數值中的至少一離群數值滿足一第一預警條件，或是對應於各群組的統計性質變化滿足一第二預警條件，提供關聯於切割線的一斷線警示。

本發明實施例提供一種提供斷線警示的裝置，包括儲存電路及處理器。儲存電路儲存一程式碼。處理器耦接儲存電路並存取程式碼以執行：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值；將所述多個製程數值區分為N個群組，並決定各群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各群組的統計性質在所述多個製程數值中找出至少一離群數值，或基於各群組的統計性質決定對應於各群組的一統計性質變化；以及反應於判定所述多個製程數值中的至少一離群數值滿足一第一預警條件，或是對應於各群組的統計性質變化滿足一第二預警條件，提供關聯於切割線的一斷線警示。

100:晶柱切割機台

10:切割線

11,12:張力感測器

13:新線端

14:舊線端

200:提供斷線警示的裝置

202:儲存電路

204:處理器

50,51:盒鬚圖

511:第三四分位數

512:第一四分位數

521~523:離群數值

61,61a:盒鬚圖表

601,602,…,620,601a,602a,…,620a:盒鬚圖

S310~S340,S410~S440:步驟

圖1是依據本發明之一實施例繪示的晶柱切割機台的示意圖。

圖2是依據本發明之一實施例繪示的提供斷線警示的裝置示意圖。

圖3是依據本發明之一實施例繪示的提供斷線警示的方法流程圖。

圖4是依據本發明第一實施例繪示的決定第i個群組中的離群數值的流程圖。

圖5A是依據本發明之一實施例繪示的對應於一個群組的盒鬚圖示意圖。

圖5B是依據本發明之一實施例繪示的判定極度離群數值及適度離群數值的示意圖。

圖6A是依據本發明之一實施例繪示的對應於各群組的盒鬚圖示意圖。

圖6B是依據本發明另一實施例繪示的對應於各群組的盒鬚圖示意圖。

請參照圖1，其是依據本發明之一實施例繪示的晶柱切割機台的示意圖。在圖1中，晶柱切割機台100例如可包括所示的各個元件。在本實施例中，切割線10可依序經由導輪1、張力臂 1、主輪1、主輪2、張力臂2、導輪2而自新線端13經導引至舊線端14。此外，晶柱切割機台100可具有張力感測器11、12，其可分別設置於張力臂1、張力臂2附近，用以偵測切割線10的張力。

在以切割線10切割某晶柱(下稱晶柱A)的過程中，晶柱切割機台100一般會經設定而以一定的張力對晶柱A進行切割。若張力感測器11、12所測得的張力數值與所需的張力不符，則晶柱切割機台100可據以調整張力臂1及/或張力臂2的位置/角度以繃緊或放鬆切割線10，從而達到調整切割線10張力的目的。

然而，如先前所言，在切割線10用於切割晶柱A的過程中，若切割線10出現斷線的情形，將導致晶柱A無法被適當地切割，從而影響切割的效果。

基此，本發明提出一種提供斷線警示的方法及裝置，其可用於提供關聯於切割線10的斷線警示，從而令晶柱切割機台100的操作人員能夠據以調整晶柱切割機台100的運作情形，避免因切割線10因無預期地斷開而影響晶柱A的切割效果。以下將作進一步說明。

請參照圖2，其是依據本發明之一實施例繪示的提供斷線警示的裝置示意圖。在圖2中，提供斷線警示的裝置200可實現為各式智慧型裝置及/或電腦裝置。在一些實施例中，提供斷線警示的裝置200亦可以模組的形式整合至晶柱切割機台100中，但可不限於此。

在本實施例中，提供斷線警示的裝置200包括儲存電路202及處理器204。儲存電路202例如是任意型式的固定式或可移動式隨機存取記憶體(Random Access Memory，RAM)、唯讀記憶體(Read-Only Memory，ROM)、快閃記憶體(Flash memory)、硬碟或其他類似裝置或這些裝置的組合，而可用以記錄多個程式碼或模組。

處理器204耦接於儲存電路202，並可為一般用途處理器、特殊用途處理器、傳統的處理器、數位訊號處理器、多個微處理器(microprocessor)、一個或多個結合數位訊號處理器核心的微處理器、控制器、微控制器、特殊應用積體電路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、現場可程式閘陣列電路(Field Programmable Gate Array，FPGA)、任何其他種類的積體電路、狀態機、基於進階精簡指令集機器(Advanced RISC Machine，ARM)的處理器以及類似品。

在本發明的實施例中，處理器204可存取儲存電路202中記錄的模組、程式碼來實現本發明提出的提供斷線警示的方法，其細節詳述如下。

請參照圖3，其是依據本發明之一實施例繪示的提供斷線警示的方法流程圖。本實施例的方法可由圖2的提供斷線警示的裝置200執行，以下即搭配圖1、圖2所示的元件說明圖3各步驟的細節。

首先，在步驟S310中，處理器204取得晶柱切割機台100 在使用切割線10切割晶柱A時的多個製程數值。

為便於說明，以下實施例中將假設所考慮的製程數值為量測自切割線10的多個張力數值，而其可由張力感測器11及/或張力感測器12所測得，但可不限於此。在其他實施例中，本發明所考慮的製程數值亦可以是其他類型的製程數值，並不限於量測自切割線10的張力數值。

在步驟S320中，處理器204將所述多個製程數值區分為N個群組(N為正整數)，並決定各群組的統計性質。

之後，在步驟S330中，處理器204基於各群組的統計性質在所述多個製程數值中找出至少一離群數值，或基於各群組的統計性質決定對應於各群組的統計性質變化。

為便於理解，以下將以第一實施例及第二實施例分別說明步驟S330中找出離群數值的細節及決定各群組的統計性質變化的細節。

在第一實施例中，各群組的統計性質例如是各群組的製程數值(例如，張力數值)的第一四分位數及第三四分位數。基此，對於上述N個群組中的第i個群組(1

i

N)而言，處理器204可執行圖4機制以決定第i個群組中的離群數值。

請參照圖4，其是依據本發明第一實施例繪示的決定第i個群組中的離群數值的流程圖。首先，在步驟S410中，處理器204可基於第i個群組對應的第一四分位數及第三四分位數決定對應於第i個群組的第一離群閾值。

在執行步驟S410的過程中，處理器204例如可執行：取得第i個群組對應的第一四分位數及第三四分位數之間的差值，並判定第一因子；取得此差值與第一因子的第一乘積，並將第一乘積與第i個群組對應的第三四分位數加總為第一離群閾值。

舉例而言，假設第i個群組的第三四分位數為1.9，第一四分位數為1.7，則處理器204可取得此二者之間的差值為0.2。

在第一實施例中，所決定的離群數值可大致分為適度離群數值及極度離群數值等兩個類型，而處理器204可依據欲判定的離群數值的類型而判定第一因子。

在一實施例中，假設處理器204欲決定的離群數值為適度離群數值，則處理器204例如可判定第一因子為介於0.1及2之間的數值(例如1.5)。

在此情況下，處理器204可取得上述差值(例如0.2)與第一因子(例如1.5)的第一乘積(例如0.2*1.5)，再將此第一乘積與第i個群組的第三四分位數(例如1.9)加總為第一離群閾值(例如2.2)。在此情況下，所取得的第一離群閾值可稱為對應於第i個群組的適度離群閾值，但可不限於此。

在另一實施例中，假設處理器204欲決定的離群數值為極度離群數值，則處理器204例如可判定第一因子為介於2及5之間的數值(例如3)。

在此情況下，處理器204可取得上述差值(例如0.2)與第一因子(例如3)的第一乘積(例如0.2*3)，再將此第一乘積與 第i個群組的第三四分位數(例如1.9)加總為第一離群閾值(例如2.5)。在此情況下，所取得的第一離群閾值可稱為對應於第i個群組的極度離群閾值，但可不限於此。

在第一實施例中，處理器204可依設計者的需求而判定對應於第i個群組的適度離群閾值及/或極度離群閾值。此外，若某一離群數值不小於極度離群數值(即，亦超過適度離群數值)，則此離群數值將會被判定為極度離群數值，而不會被判定為適度離群數值。

在判定對應於第i個群組的第一離群閾值(例如適度離群閾值及/或極度離群閾值)後，在步驟S420中，處理器204可判斷第i個群組的製程數值中是否存在超過第一離群閾值的至少一者。

若是，則處理器204可執行步驟S430以將所述至少一者判定為對應第i個群組的離群數值。若否，則處理器204可在步驟S440以判定第i個群組不具有對應的離群數值。

在一實施例中，若所考慮的第一離群閾值為適度離群閾值，則處理器204在步驟S430中判定的對應第i個群組的離群數值可理解為第i個群組中的適度離群數值。在另一實施例中，若所考慮的第一離群閾值為極度離群閾值，則處理器204在步驟S430中判定的對應第i個群組的離群數值可理解為第i個群組中的極度離群數值。

在第一實施例中，處理器204可依設計者的需求而判定對應於第i個群組的適度離群數值及/或極度離群數值，以作為步 驟S320中所找出的離群數值，但可不限於此。

在第二實施例中，在判定上述N個群組中第j+1個群組對應的統計性質變化時，處理器204例如可取得第j+1個群組的統計性質及上述N個群組中的第j個群組的統計性質之間的差異作為對應於第j+1個群組的統計性質變化。

在第二實施例中，各群組的統計性質例如包括各群組的製程數值的第三四分位數，但可不限於此。

為便於理解，以下假設處理器204在步驟S310中共取得20000筆連續的張力數值，而處理器204可在步驟S320中將其區分為20個群組(即，N為20)。在此情況下，每個群組將包括1000筆連續的張力數值，但其僅用於舉例，並非用以限定本發明可能的實施方式。

在一實施例中，各群組的製程數值(例如張力數值)的各種統計性質可繪製為對應的盒鬚圖以利於觀察。

請參照圖5A，其是依據本發明之一實施例繪示的對應於一個群組的盒鬚圖示意圖。在一實施例中，在取得某群組的張力數值之後，處理器204例如可據以取得此群組中張力數值的離群數值(包括適度離群數值及/或極度離群數值)、最大值、第三四分位數、中位數、第一四分位數及最小值等統計性質，並據以繪製為對應的盒鬚圖，例如圖5A中的盒鬚圖50，但可不限於此。

請參照圖5B，其是依據本發明之一實施例繪示的判定極度離群數值及適度離群數值的示意圖。在圖5B中，假設所示的盒 鬚圖51對應於上述實施例中所提及的第i個群組。依先前所言，第i個群組的第三四分位數511為1.9，第一四分位數512為1.7，而處理器204可取得此二者之間的差值為0.2。

之後，若處理器204欲判定適度離群閾值，則處理器204例如可判定第一因子為1.5。在此情況下，處理器204可計算適度離群閾值為2.2(即，1.9+0.2*1.5)，但可不限於此。

另外，若處理器204欲判定極度離群閾值，則處理器204例如可判定第一因子為3。在此情況下，處理器204可計算極度離群閾值為2.5(即，1.9+0.2*3)，但可不限於此。

基此，由圖5B可看出，離群數值521、522例如屬於適度離群數值，而離群數值523例如屬於極度離群數值，但可不限於此。

請參照圖6A，其是依據本發明之一實施例繪示的對應於各群組的盒鬚圖示意圖。在圖6A情境中，所考慮的20000筆張力數值例如可由圖1的張力感測器11所測得。

在本實施例中，盒鬚圖表61包括盒鬚圖601、602、...、620，其分別對應於上述20個群組中的第1個群組(其包括第1個張力數值至第1000個張力數值)、第2個群組(其包括第1001個張力數值至第2000個張力數值)、...、第20個群組(其包括第19001個張力數值至第20000個張力數值)。

請參照圖6B，其是依據本發明另一實施例繪示的對應於各群組的盒鬚圖示意圖。在圖6B情境中，所考慮的20000筆張力 數值例如可由圖1的張力感測器12所測得。

在本實施例中，盒鬚圖表61a包括盒鬚圖601a、602a、...、620a，其分別對應於上述20個群組中的第1個群組(其包括第1個張力數值至第1000個張力數值)、第2個群組(其包括第1001個張力數值至第2000個張力數值)、...、第20個群組(其包括第19001個張力數值至第20000個張力數值)。

為便於說明，以下將假設所取得的製程數值(例如張力數值)的總數為20000，但可不限於此。

在找出各群組的離群數值及/或決定各群組的統計性質變化之後，在步驟S340中，反應於判定所述多個製程數值中的離群數值滿足第一預警條件，或是對應於各群組的統計性質變化滿足第二預警條件，處理器204提供關聯於切割線10的斷線警示。

在第一實施例中，處理器204可在上述群組中決定多個第一群組集合，其中各該第一群組集合包括該些群組中的連續k個群組，其中k為整數且1

k

N。

之後，反應於判定上述第一群組集合任一中的群組對應的離群數值的數量總和不少於第一數量，處理器204可判定上述製程數值中的離群數值滿足第一預警條件。另一方面，反應於判定上述第一群組集合任一中的群組對應的離群數值的數量總和少於第一數量，處理器204可判定上述製程數值中的離群數值未滿足第一預警條件。

在第一實施例的不同實施方式中，上述k值可依設計者 的需求而選用不同的數值，進而衍生不同的判斷過程。以下將作進一步說明。

在第一實施例的第一實施方式中，各群組中的離群數值例如是適度離群數值。假設設計者所設定的原則為在全部的製程數值(即，張力數值)中，若其中連續的16%以上的資料中出現不少於1個適度離群數值(即，第一數量假設為1)即判定滿足第一預警條件。在此情況下，處理器204例如可取得製程數值的總數的16%(即，3200)，再基於各群組內製程數值的數量(即，1000)而將3200進位為4000。基此，處理器204可基於4000(其對應4個群組內製程數值的總和)而判定k為4，但可不限於此。

在決定k之後，處理器204例如可據以決定上述多個第一群組集合。在一實施例中，所述多個第一群組集合中的第m個第一群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+k-1個群組，1

m

(N-k+1)，但可不限於此。即，每個第一群組集合包括上述N個群組的其中k個群組，且每個第一群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

舉例而言，在k為4且N為20的情況下，所述多個第一群組集合中的第m個第一群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+k-1個群組，1

m

17，但可不限於此。即，每個第一群組集合包括上述N個群組的其中4個群組，且每個第一群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

基此，處理器204可判斷上述第一群組集合任一的群組 中是否出現不少於1個適度離群數值(即，第一數量假設為1)。若任一第一群組集合中的群組中的適度離群數值的數量總和不少於第一數量(例如1)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值已滿足第一預警條件，並相應提供斷線警示。另一方面，若各第一群組集合中群組的適度離群數值的數量總和皆少於第一數量(例如1)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值未滿足第一預警條件。

簡言之，在k為4且第一數量為1的情況下，若對應連續4個盒鬚圖的4000筆製程數值中出現不少於1個適度離群數值，則處理器204可判定已滿足第一預警條件，並提供對應的斷線警示，但可不限於此。

在第一實施例的第二實施方式中，各群組中的離群數值例如是極度離群數值。假設設計者所設定的原則為在單個群組的製程數值(即，張力數值)中，若出現不少於0.5%的極度離群數值即判定滿足第一預警條件。在此情況下，處理器204例如可取得單個群組的製程數值的總數的0.5%(即，5)作為第一數量。並且，鑑於設計者所設計的判斷原則係以單個群組為判斷的對象，故處理器204可判定k為1。

在決定k之後，處理器204例如可據以決定上述多個第一群組集合。在k為1的情況下，上述多個第一群組集合可分別為所述N個群組。即，每個第一群組集合包括上述N個群組之一，但可不限於此。

基此，處理器204可判斷上述第一群組集合任一的群組中是否出現不少於5個極度離群數值(即，第一數量假設為5)。若任一第一群組集合中的群組中的極度離群數值的數量總和不少於第一數量(例如5)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值已滿足第一預警條件，並相應提供斷線警示。另一方面，若各第一群組集合中群組的極度離群數值的數量總和皆少於第一數量(例如5)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值未滿足第一預警條件。

簡言之，在k為1且第一數量為5的情況下，若任一個盒鬚圖的1000筆製程數值中出現不少於5個極度離群數值，則處理器204可判定已滿足第一預警條件，並提供對應的斷線警示，但可不限於此。

在第一實施例的第三實施方式中，各群組中的離群數值例如是極度離群數值。假設設計者所設定的原則為在全部的製程數值(即，張力數值)中，若其中連續的10%以上的資料中的極度離群數值的比例不少於0.06%(即，第一數量假設為20000*10%*0.06%)即判定滿足第一預警條件。

在此情況下，處理器204例如可取得製程數值的總數的10%(即，2000)，並據以判定k為2，但可不限於此。另外，由於2000的0.06%為1.2，故處理器204可將1.2進位為2，以作為第三實施方式中所考慮的第一數量，但可不限於此。

在決定k之後，處理器204例如可據以決定上述多個第 一群組集合。在一實施例中，所述多個第一群組集合中的第m個第一群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+k-1個群組，1

m

(N-k+1)，但可不限於此。即，每個第一群組集合包括上述N個群組的其中k個群組，且每個第一群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

舉例而言，在k為2且N為20的情況下，所述多個第一群組集合中的第m個第一群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+1個群組，1

m

19，但可不限於此。即，每個第一群組集合包括上述20個群組的其中2個群組，且每個第一群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

基此，處理器204可判斷上述第一群組集合任一的群組中是否出現不少於2個極度離群數值(即，第一數量假設為2)。若任一第一群組集合中的群組中的極度離群數值的數量總和不少於第一數量(例如2)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值已滿足第一預警條件，並相應提供斷線警示。另一方面，若各第一群組集合中群組的極度離群數值的數量總和皆少於第一數量(例如2)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值未滿足第一預警條件。

簡言之，在k為2且第一數量為2的情況下，若對應連續2個盒鬚圖的2000筆製程數值中出現不少於2個極度離群數值，則處理器204可判定已滿足第一預警條件，並提供對應的斷線警示，但可不限於此。

在本發明的實施例中，處理器204可同時執行第一實施方式至第三實施方式中一或多者的判斷操作。若處理器204判定製程數值在第一實施方式至第三實施方式中的任一中經判定為滿足第一預警條件，則處理器204即可提供對應的斷線警示，但可不限於此。

在一實施例中，圖6B中各盒鬚圖的適度離群數值的數量及極度離群數值的數量例如可整理為下表1的內容。

由表1可看出，處理器204可經由執行第一實施方式中的機制而判定第4個群組至第20個群組中出現滿足第一預警條件的製程數值。

另外，處理器204還可經由執行第二實施方式及/或第三實施方式的機制而判定第5個群組、第6個群組、第8個群組至第11個群組、第13個群組、第14個群組、第16個群組至第18個群組及第20個群組中出現滿足第一預警條件的製程數值，但可不限於此。

在第二實施例中，處理器204可在所述N個群組中決定多個第二群組集合，其中各第二群組集合包括所述N個群組中的連續p個群組，其中p為整數且1<p

N。之後，反應於判定第二群組集合任一中的各群組的統計性質變化皆在預設範圍內，處理器204可判定對應於各群組的統計性質變化滿足第二預警條件。另一方面，反應於判定各第二群組集合中的各群組的統計性質變化皆未在預設範圍內，處理器204可判定對應於各群組的統計性 質變化不滿足第二預警條件。

在第二實施例的不同實施方式中，上述p值可依設計者的需求而選用不同的數值，進而衍生不同的判斷過程。以下將作進一步說明。

在第二實施例中，假設設計者所設定的原則為在全部的群組中，若其中連續的20%以上的群組的統計性質變化皆在預設範圍內即判定滿足第二預警條件。在此情況下，處理器204例如可取得製程數值的總數的20%(即，4000)，並據以判定p為4，但可不限於此。

在決定p之後，處理器204例如可據以決定上述多個第二群組集合。在一實施例中，所述多個第二群組集合中的第m個第二群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+p-1個群組，1

m

(N-p+1)，但可不限於此。即，每個第二群組集合包括上述N個群組的其中p個群組，且每個第二群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

舉例而言，在p為4且N為20的情況下，所述多個第二群組集合中的第m個第二群組集合可包括上述N個群組中的第m個群組至第m+p-1個群組，1

m

17，但可不限於此。即，每個第二群組集合包括上述N個群組的其中4個群組，且每個第二群組集合具有相異的群組成員，但可不限於此。

基此，處理器204可判斷上述第二群組集合任一中各群組的統計性質變化是否皆在預設範圍(例如0.1~3之間)內。若任 一第二群組集合中各群組的統計性質變化皆在預設範圍內，則處理器204可判定製程數值中的離群數值已滿足第二預警條件，並相應提供斷線警示。另一方面，若各第二群組集合中各群組的統計性質變化皆不在預設範圍內(例如皆小於所述預設範圍的下限值)，則處理器204可判定製程數值中的離群數值未滿足第二預警條件。

簡言之，在p為4且第一數量為1的情況下，若對應連續4個群組的統計性質變化皆在預設範圍內，則處理器204可判定已滿足第二預警條件，並提供對應的斷線警示，但可不限於此。

如先前所言，第二實施例中所考慮的各群組的統計性質例如是各群組對應的第三四分位數。在此情況下，在判定上述N個群組中第j+1個群組對應的統計性質變化時，處理器204例如可取得第j+1個群組的第三四分位數及上述N個群組中的第j個群組的第三四分位數之間的差異作為對應於第j+1個群組的統計性質變化。

在一實施例中，第j+1個群組的第三四分位數及第j個群組的第三四分位數之間的差異例如可表徵為第j+1個群組的第三四分位數及第j個群組的第三四分位數之間的斜率絕對值。

在一實施例中，對應於第j+1個群組的斜率例如可表徵為「|(Q_(j+1)-Q_j)|」，其中Q_(j+1)為第j+1個群組的第三四分位數，Q_j為第j個群組的第三四分位數，但可不限於此。

在一實施例中，圖6A中各群組的斜率及其絕對值例如可整理為下表2的內容。

由表2可看出，處理器204可經由執行第二實施例中的 機制而判定第2個群組至第6個群組中出現滿足第二預警條件的製程數值。

在本發明的實施例中，處理器204可同時執行第一實施例中多種實施方式及/或第二實施例中一或多者的判斷操作。若處理器204判定製程數值在第一實施例中多種實施方式及第二實施例的任一中經判定為滿足第一預警條件及/或第二預警條件，則處理器204即可提供對應的斷線警示，但可不限於此。

此外，在一實施例中，反應於判定上述製程數值中的離群數值未滿足第一預警條件，且對應於各群組的統計性質變化未滿足第二預警條件，處理器204可不提供關聯於切割線10的斷線警示。

綜上所述，本發明實施例可在取得晶柱切割機台以切割線切割晶柱時的多個製程數值(例如切割線的張力數值)之後，對這些製程數值進行分析以判定相關的離群數值及/或統計性質變化。並且，在判定離群數值滿足第一預警條件及/或統計性質變化滿足第二預警條件時，本發明實施例可提供相應的斷線警示。

基此，可讓晶柱切割機台的相關操作人員依據斷線警示而採取相應的措施(例如調整晶柱切割機台的運作參數、更換切割線等)，從而避免因切割線意外斷裂而影響晶柱的切割效果。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視 後附的申請專利範圍所界定者為準。

S310~S340:步驟

Claims (12)

1. 一種提供斷線警示的方法，包括：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值，其中該些製程數值包括量測自該切割線的多個張力數值；將該些製程數值區分為N個群組，並決定各該群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出至少一離群數值，或基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的一統計性質變化；以及反應於判定該些製程數值中的該至少一離群數值滿足一第一預警條件，或是對應於各該群組的該統計性質變化滿足一第二預警條件，提供關聯於該切割線的一斷線警示。
2. 如請求項1所述的方法，其中該些群組包括第i個群組，i為索引值且1

   

   i

   

   N，各該群組的該統計性質包括各該群組的該些製程數值的一第一四分位數及一第三四分位數，且基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出該至少一離群數值的步驟包括：基於所述第i個群組對應的該第一四分位數及該第三四分位數決定對應於所述第i個群組的一第一離群閾值；反應於判定所述第i個群組的該些製程數值中存在超過該第一離群閾值的至少一者，將該至少一者判定為對應所述第i個群組的該至少一離群數值； 反應於判定所述第i個群組的該些製程數值皆未超過該第一離群閾值，判定所述第i個群組不具有對應的該至少一離群數值。
3. 如請求項2所述的方法，其中基於所述第i個群組對應的該第一四分位數及該第三四分位數決定對應於所述第i個群組的該第一離群閾值的步驟包括：取得所述第i個群組對應的該第一四分位數及該第三四分位數之間的差值，並判定一第一因子；取得該差值與該第一因子的一第一乘積，並將該第一乘積與所述第i個群組對應的該第三四分位數加總為該第一離群閾值。
4. 如請求項3所述的方法，其中該第一因子介於0.1及2之間，或是介於2及5之間。
5. 如請求項2所述的方法，更包括：在該些群組中決定多個第一群組集合，其中各該第一群組集合包括該些群組中的連續k個群組，其中k為整數且1

   

   k

   

   N；反應於判定任一該些第一群組集合中的該些群組對應的該至少一離群數值的數量總和不少於一第一數量，判定該些製程數值中的該至少一離群數值滿足該第一預警條件；反應於判定任一該些第一群組集合中的該些群組對應的該至少一離群數值的該數量總和少於該第一數量，判定該些製程數值中的該至少一離群數值未滿足該第一預警條件。
6. 如請求項1所述的方法，其中該些群組包括第j個群組及第j+1個群組，j為索引值且1

   

   j<N，且基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的該統計性質變化的步驟包括：取得所述第j+1個群組的該統計性質及所述第j個群組的該統計性質之間的差異作為對應於所述第j+1個群組的該統計性質變化。
7. 如請求項6所述的方法，更包括：在該些群組中決定多個第二群組集合，其中各該第二群組集合包括該些群組中的連續p個群組，其中p為整數且1<p

   

   N；反應於判定任一該些第二群組集合中的各該群組的該統計性質變化皆在一預設範圍內，判定對應於各該群組的該統計性質變化滿足該第二預警條件；反應於判定各該第二群組集合中的各該群組的該統計性質變化皆未在該預設範圍內，判定對應於各該群組的該統計性質變化不滿足該第二預警條件。
8. 如請求項6所述的方法，其中各該群組的該統計性質包括各該群組的該些製程數值的一第三四分位數。
9. 如請求項1所述的方法，更包括：反應於判定該些製程數值中的該至少一離群數值未滿足該第一預警條件，且對應於各該群組的該統計性質變化未滿足該第二預警條件，不提供關聯於該切割線的該斷線警示。
10. 一種提供斷線警示的裝置，包括：一儲存電路，其儲存一程式碼；以及 一處理器，其耦接該儲存電路並存取該程式碼以執行：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值，其中該些製程數值包括量測自該切割線的多個張力數值；將該些製程數值區分為N個群組，並決定各該群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出至少一離群數值，或基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的一統計性質變化；以及反應於判定該些製程數值中的該至少一離群數值滿足一第一預警條件，或是對應於各該群組的該統計性質變化滿足一第二預警條件，提供關聯於該切割線的一斷線警示。
11. 一種提供斷線警示的方法，包括：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值；將該些製程數值區分為N個群組，並決定各該群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出至少一離群數值，或基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的一統計性質變化；以及反應於判定該些製程數值中的該至少一離群數值滿足一第一預警條件，或是對應於各該群組的該統計性質變化滿足一第二預 警條件，提供關聯於該切割線的一斷線警示；其中該些群組包括第i個群組，i為索引值且1

    

    i

    

    N，各該群組的該統計性質包括各該群組的該些製程數值的一第一四分位數及一第三四分位數，且基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出該至少一離群數值的步驟包括：基於所述第i個群組對應的該第一四分位數及該第三四分位數決定對應於所述第i個群組的一第一離群閾值；反應於判定所述第i個群組的該些製程數值中存在超過該第一離群閾值的至少一者，將該至少一者判定為對應所述第i個群組的該至少一離群數值；反應於判定所述第i個群組的該些製程數值皆未超過該第一離群閾值，判定所述第i個群組不具有對應的該至少一離群數值。
12. 一種提供斷線警示的方法，包括：取得一晶柱切割機台在使用一切割線切割一晶柱時的多個製程數值，其中該些製程數值包括量測自該切割線的多個張力數值；將該些製程數值區分為N個群組，並決定各該群組的一統計性質，其中N為正整數；基於各該群組的該統計性質在該些製程數值中找出至少一離群數值，或基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的一統計性質變化；以及反應於判定該些製程數值中的該至少一離群數值滿足一第一 預警條件，或是對應於各該群組的該統計性質變化滿足一第二預警條件，提供關聯於該切割線的一斷線警示，其中該些群組包括第j個群組及第j+1個群組，j為索引值且1

    

    j<N，且基於各該群組的該統計性質決定對應於各該群組的該統計性質變化的步驟包括：取得所述第j+1個群組的該統計性質及所述第j個群組的該統計性質之間的差異作為對應於所述第j+1個群組的該統計性質變化。

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