TWI826153B - 液材施作設備 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種液材施作設備，包括：一承載台，設於一機台台面上供設置一工件，該承載台可受驅動連動該工件旋轉；一液材施作裝置，設有相對該承載台另一外側的一移動機構，該移動機構上設有一第一液材擠出閥，該第一液材擠出閥設有一第一噴嘴可以水平的方向以液材施作至該承載台上該工件一液材施作部位；該移動機構上設有受一旋轉驅動件驅動而可作以一旋轉中心軸作旋轉的一座架，該座架上設有呈上下立設的該第一液材擠出閥，該座架可被驅動作旋轉連動其上的該第一液材擠出閥由垂直設置旋轉為水平設置，使採以水平進行液材施作的加工更具有效益。
Description
本發明係有關於一種液材施作設備，尤指一種可適用於將液材施作在待加工物上的液材施作設備。
公告第I500456號「水平點膠的方法」專利案提出一種以具有黏性的膠材以水平方式在加工件上進行點膠的方法，其包括下列步驟：載入一加工件；擷取加工件的待膠合處之位置資訊；提供一噴射點膠頭，沿水平方向朝向加工件的該些待膠合處噴射多個膠滴；依據該些待膠合處的位置資訊，移動並升降該噴射點膠頭，將該些膠滴噴射至加工件的該些待膠合處；其中針對相距於該噴射點膠頭相同的第一距離的該些待膠合處，保持上述噴射點膠頭與該些待膠合處於上述第一距離並等速噴射該些膠滴；其中針對相距於該噴射點膠頭大於上述第一距離的該些待膠合處，升高該噴射點膠頭以使該些膠滴藉由拋物線原理落於較遠的位置；以及載出上述加工件。
該第I500456號「水平點膠的方法」專利案的先前技術採用噴射點膠頭沿水平方向朝向加工件的該些待膠合處噴射多個膠滴，其並採用拋物線施作液材方式對加工件的標記缺口處的液材進行特別施作，但在實際上，如果噴射點膠頭的噴射能力夠好，其實微小尺寸的該標記缺口是可以不用特別考慮的，反倒是該先前技術噴射點膠頭本身設為水平方向，故重量校驗模組及清潔模組亦都設於噴射點膠頭水平方向位移可及的一側前端；由於膠滴本身的重力是往下方向，將重量校驗模組設於噴射點膠頭水平方向位移可及的一側前端，將造成噴射點膠頭噴膠測重時膠液垂落累
積在噴嘴下緣，且重量校驗模組必須增加額外的承接構造以容收水平噴入的膠液轉換為垂直方向的重量量測，其效果並非理想！另，該先前技術對於噴射點膠頭噴膠僅藉由包括俯視鏡頭及側視鏡頭的攝像模組進行檢視，對於實際的噴射點膠頭與待膠合處的間距難以掌握，加工件旋轉時的偏離旋轉中心亦無法有效偵測及補償；且該先前技術將清潔模組的一側邊作為試噴板，會使該清潔模組側邊沾附黏膠而不易清除，在多次試噴後，該試噴板上沾滿黏膠將造成校正上的誤差！噴射點膠頭在對該待膠合處噴膠時亦可能噴濺到加工件周緣上表面，使加工件周緣上表面存在殘膠的瑕疵。
爰是，本發明的目的，在於提供一種解決先前技術至少一缺點的液材施作設備。
依據本發明目的之液材施作設備，包括：一承載台，設於一機台台面上，供設置一工件，該承載台可受驅動連動該工件旋轉；一液材施作裝置，設有位於該機台台面上相對該承載台另一外側的一移動機構，該移動機構上設有一第一液材擠出閥，該第一液材擠出閥設有一第一噴嘴可以水平的方向以液材施作至該承載台上該工件一液材施作部位；該移動機構上設有受一旋轉驅動件驅動而可作以一旋轉中心軸作旋轉的一座架，該座架上設有呈上下立設的該第一液材擠出閥，該座架可被驅動作旋轉連動其上的該第一液材擠出閥由垂直設置旋轉為水平設置。
本發明實施例之液材施作設備，藉該移動機構上的該座架可受該旋轉驅動件驅動而可作以一旋轉中心軸作旋轉，使該座架可被驅動作旋轉連動其上的該第一液材擠出閥由垂直設置旋轉為水平設置，使該第一液材擠出閥在執行例如液滴秤重、排膠、清潔時，可以利用機械手更換該工件時旋轉至垂直設置設置狀態以符合液滴重力朝下的條件下執行，
在欲進行液材施作時才旋轉成水平設置狀態，使以水平進行液材施作的加工更具有效益。
A:工件
A1:液材施作部位
B:機台台面
C:承載台
C1:偵測器
D:液材施作裝置
D1:移動機構
D11:滑軌
D12:滑軌
D13:滑軌
D14:滑座
D2:座架
D21:旋轉驅動件
D3:第一液材擠出閥
D31:第一噴嘴
D4:測距器
D41:氣缸式感測頭
D42:接觸件
D5:第二液材擠出閥
D51:第二噴嘴
D6:影像檢視器
E:液材輔助裝置
E1:擦液機構
E11:擦拭平台
E12:擦拭帶
E2:排膠機構
E21:開口
E3:影像檢視器
E4:液重量測模組
E41:開口
F:零點校正裝置
F1:固定架
F2:靠座
F21:觸抵面
F3:感測元件
F4:間距
G:液材校正裝置
G1:座架
G2:帶體
G3:帶輪
G31:針孔
G32:帶面
G4:驅動件
G5:捲收輪
G6:導座
G61:靠抵面
G62:空腔
G621:開口
G63:罩蓋
G64:氣孔
G65:氣壓接頭
H:固化裝置
H1:立架
H2:固化器
H3:微調件
K:檢查裝置
K1:上檢視器
K2:下檢視器
K3:側檢視器
L:偏置檢查裝置
L1:投光架
L2:線性光柵
M:遮蔽裝置
M1:固定座
M11:滑軌
M2:懸臂
M3:驅動件
M4:滑軌
M5:導架
M6:遮蔽件
M61:遮蔽面
圖1是一個立體圖，說明本發明實施例中的液材施作設備；圖2是一個俯視圖，說明本發明實施例中的液材施作設備；圖3是一個立體圖，說明本發明實施例中的液材施作裝置及液材輔助裝置；圖4是一個側視圖，說明本發明實施例中的液材施作裝置及液材輔助裝置；圖5是一個立體圖，說明本發明第一實施例中的零點校正裝置及液材校正裝置；圖6是一個立體分解圖，說明本發明實施例中液材校正裝置中該導座內部構造；圖7是一個立體圖，說明本發明實施例中的固化裝置及檢查裝置；圖8是一個立體圖，說明本發明實施例中的偏置檢查裝置；圖9是一個立體圖，說明本發明實施例中的遮蔽裝置；圖10是一個側視圖，說明本發明實施例中遮蔽裝置下移及液材施作裝置旋轉至水平定位。
請參閱圖1，本發明實施例以如圖所示的液材施作設備為例作說明，該液材施作設備用以對二個晶圓上下疊設的工件A進行水平液材施作，所述液材通常為具有黏性的膠材，液材施作於二個晶圓上下疊設的工件A環狀周緣的夾縫處。
請參閱圖1、2，該液材施作設備在同一機台台面B上設有一承載台C、一液材施作裝置D、一液材輔助裝置E、一零點校正裝置F、一液材校正裝置G、一固化裝置H、一檢查裝置K、一偏置檢查裝置L、及一遮敝裝置M；其中：該承載台C上供以一機械手臂移入的該工件A置放，在一個較佳的實施例中，該承載台C已具有支撐及使該工件A對準承載台C中心下進行固定及加熱、連動作水平旋轉的能力，惟因非本案請求特徵，以下茲不贅述其詳細構造！該承載台C驅動該工件A以Z軸向為旋轉中心軸水平作旋轉時的周緣形成一圓形的位移路徑，該承載台C上的該工件A在X軸向的直徑端周緣側作為液材施作部位A1，液材連續噴注至該液材施作部位A1時，該承載台C驅動該工件A作旋轉，使該工件A的周緣環繞轉動的位移路徑皆塗佈液材於二個晶圓上下疊設的工件A環狀周緣的夾縫處；該承載台C周側位於該工件A下方設有供偵測該承載台C上是否有工件A的偵測器C1。
請參閱圖1、3、4，該液材施作裝置D位於相對該承載台C另一外側，設有一移動機構D1，該移動機構D1設有Y軸向的一滑軌D11、位於該滑軌D11上之X軸向的一滑軌D12、及位於該滑軌D12上之Z軸向的滑軌D13，該滑軌D13上設有一滑座D14，該滑座D14上設有受例如馬達的一旋轉驅動件D21驅動而可作以Y軸向為旋轉中心軸作旋轉的一座架D2，該座架D2上由遠離該滑座D14的一側向另一側依序以Y軸向直線併列並呈Z軸向上下立設的一第一液材擠出閥D3、一測距器D4、一第二液材擠出閥D5、及一影像檢視器D6，該旋轉中心軸的軸線通過該第一液材擠出閥D3、該測距器D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6；該座架D2被驅動作旋轉時，可連動其上的該第一液材擠出閥D3、該測距器
D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6同步由垂直的Z軸向設置旋轉為水平的X軸向；其中，該第一液材擠出閥D3供擠出一第一種材質成份的液材，該第二液材擠出閥D5供擠出一第二種材質成份的液材，兩種液材以先後順序分別施作於該液材施作部位A1，但在該工件A僅需施作單一種液材時，可僅以該第一液材擠出閥D3供擠出一第一種材質成份的液材進行施作；該測距器D4設有例如氣缸式感測頭D41可伸出鐵氟龍材質的接觸件D42抵觸該液材施作部位A1，以偵測該工件A上該液材施作部位A1的位置；該影像檢視器D6例如CCD鏡頭，用以檢視該工件A上該液材施作部位A1的影像以判別該液材施作部位A1的位置。
該液材輔助裝置E位於相對該承載台C的另一外側，並設於該液材施作裝置D的該座架D2下方的該機台台面B上，其大部份的機構設於該機台台面B上一鏤空區間B1中的下方，僅上方露出於該機台台面B；該液材輔助裝置E設有由遠離該滑座D14的一側向另一側依序以Y軸向直線併列並各呈Z軸向上下立設的一擦液機構E1、一排膠模組E2、一影像檢視器E3、及一液重量測模組E4；該擦液機構E1設有可受驅動捲繞經擦拭面朝上之一擦拭平台E11的一擦拭帶E12，藉由該擦拭帶E12在該擦拭平台E11上間歇性位移，變換被該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51擦拭的位置；該排膠模組E2設有朝上的開口E21，該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51被驅動位移至對應該開口E21上方，由上往下將液滴排入該開口E21內受收集；該影像檢視器E3例如CCD鏡頭，其鏡頭由下往上檢視位移至對應其上方的該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51，以檢視是否具有殘液積留及清潔程度；該液重量測模組E4設有朝上的開口E41，該第一液材擠出閥D3下方
第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51被驅動位移至對應該開口E41上方，由上往下噴注液滴進入該開口E41內受一磅秤秤重。
請參閱圖1、4、5，該零點校正裝置F位於該承載台C的一側，並設於鄰靠該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的下游路徑處外側下方，其設有：一固定架F1、位於該固定架F1上呈立設的一靠座F2、及固設於該靠座F2並露出於該靠座F2以水平方向朝該液材施作裝置D側表面的一感測元件F3；該靠座F2設有以水平方向朝向該液材施作裝置D的一觸抵面F21，該感測元件F3被觸發設定為零點的感測點，被設定與該靠座F2的該觸抵面F21在同一表面，該靠座F2的該觸抵面F21呈Y、Z軸向佈設的立設表面，並設於鄰近該工件A水平作旋轉時圓形的位移路徑通過該液材施作部位A1呈Y軸向之切線部位，該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51於進行液材施作前，被驅動位移至對應該感測元件F3偵測校正標定為將進行液材施作時的X軸向座標零點，然後該測距器D4再以接觸件D42抵觸該靠座F2的觸抵面F21取得X軸向座標零點後，該測距器D4再以接觸件D42抵觸該液材施作部位A1，以取得距離的實際值供該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51進行液材施作時的位移距離。
該液材校正裝置G位於該承載台C的一側，並設於該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的下游路徑處外側，該液材校正裝置G設有：一座架G1、設於該座架G1上並捲設有撓性的一帶體G2的一帶輪G3、受例如馬達的一驅動件G4驅動可捲收該帶體G2的一捲收輪G5、與該靠座F2一體共設於一固定架F1並與該靠座F2保持一間距F4下立置相鄰併設的一導座G6，該導座G6設有
朝向該液材施作裝置D的一靠抵面G61，該導座G6的該靠抵面G61呈Y、Z軸向佈設的立設表面，並設於鄰近該工件A水平作旋轉時圓形的位移路徑通過該液材施作部位A1呈Y軸向之切線部位，其表面與該靠座F2的該觸抵面F21在同一表面；該帶體G2兩側各設有相隔間距排列的多數個針孔G31，該帶體G2由該帶輪G3牽引以帶面G32呈立設方式，由該導座G6後側以Y軸向水平由左朝右繞經該間距F4而迴繞經該導座G6的該靠抵面G61由右朝左至該捲收輪G5被捲收，該驅動件G4依所接收的訊號在必要時才驅動該捲收輪G5捲動該帶體G2作位移。
請參閱圖4、6，該導座G6內部設有一空腔G62，該空腔G62上方設有一開口G621，該開口G621受一罩蓋G63蓋覆封閉，該靠抵面G61表面設有多數個氣孔G64以二排相隔間距方式列設，該導座G6下方設有氣壓接頭G65可供抽出該空腔G62中氣體，使該氣孔G64具有負壓吸力吸附繞經該靠抵面G61的該帶體G2；該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51於進行液材施作前，被驅動位移至對應該導座G6的前側對該帶體G2進行試噴液材，藉由該帶體G2在該導座G6前側間歇性位移，變換被該第一液材擠出閥D3下方第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5下方第二噴嘴D51噴出液滴停留的位置。
該液材輔助裝置E位於該座架D2被驅動作旋轉，連動其上該第一液材擠出閥D3、該測距器D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6同步旋轉時，連動其上各構件的操作指向對應之該液材輔助裝置E為第一位置，連動其上各構件操作指向對應之該零點校正裝置F、該液材校正裝置G、及該工件A水平作旋轉時圓形的位移路徑為第二位置，該座架D2被驅動作旋轉連動其上各構件操作指向由第一位置旋轉到第二位置為九十度角。
請參閱圖7，該固化裝置H位於該承載台C的一側，並設於該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的下游路徑處外側，其設有一立架H1及位於該立架H1上桿狀並指向該工件A的UV光源或熱源構成的固化器H2，該固化器H2受一螺桿構成的微調件H3作用，可作向該工件A朝靠或遠離的位移。
該檢查裝置K位於該承載台C的一側，並設於該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的下游路徑處外側，主要用以針對完成液材施作後的工件A進行全周的該液材施作部位A1的品質檢查，其設有由CCD鏡頭構成的一上檢視器K1、對應位於該上檢視器K1下方的一下檢視器K2、及與該上檢視器K1和下檢視器K2相隔一角弧度間距的一側檢視器K3。
請參閱圖1、7、8，該偏置檢查裝置L位於該承載台C的一側，並設於該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的上游路徑處外側，及位於該上檢視器K1、下檢視器K2與該側檢視器K3之間的該工件A環繞轉動的位移路徑外側，該偏置檢查裝置L設有分別各位於該工件A上、下方的二個水平設置的投光架L1，在二個該投光架L1間投射有雷射光束形成的線性光柵L2，該線性光柵L2的線段呈對應該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之徑向方向設置，該線段的長度跨經該位移路徑的內側及外側，位於內側的部份並延伸長逾該工件A構成物晶圓周緣所既有的標記缺口A2的水平徑向深度；該偏置檢查裝置L藉由該線性光柵L2被該工件A周緣遮蔽的程度，計算該工件A旋轉時偏離該承載台C旋轉中心的偏差量，並傳遞訊息給該液材施作裝置D作液材施作時的位移補償，但在檢測到該標記缺口A2時，將主動予以排除並列為不予計入的該偏差量。
請參閱圖9、10，該遮敝裝置M位於該承載台C的一側，並設於該承載台C上該工件A被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位A1的上游路徑處外側；該遮敝裝置M設有立置的一固定座M1、設於該固定座M1上朝向該工件A上方水平伸設的可受驅動在該固定座M1上一滑軌M11上作上下位移的一懸臂M2、設於該懸臂M2的一端並受一驅動件M3驅動而可在該驅動件M3上一側的一滑軌M4作上下位移的一導架M5、及位於該導架M5下端設有水平設置之一遮蔽面M61的一遮蔽件M6；其中，該遮蔽件M6之該遮蔽面M61恰對應位於該液材施作部位A1處朝靠該工件A周緣內側處上方，並可在該驅動件M3驅動該導架M5下移時，遮覆該液材施作部位A1處朝靠該工件A周緣內側處的上方表面部位，防止在進行液材施作時，液材不慎噴濺至該工件A周緣內側處上方表面。
本發明實施例液材施作裝置及設備在實施上，在一般未進行液材施作的狀態下，該液材施作裝置D的該座架D2連同其上的該第一液材擠出閥D3、該測距器D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6保持位於垂直的Z軸向設置，並於必要時在保持位於垂直的Z軸向設置狀態下進行在該擦液機構E1進行擦拭、在該排膠模組E2將液滴排注收集、在該影像檢視器E3檢視是否具有殘液積留及清潔程度、及在該液重量測模組E4噴注液滴受一秤重。
當欲對工件A進行液材施作時，該座架D2如圖10所示被驅動作旋轉，連動其上各操作指向對應該液材輔助裝E之第一位置的該第一液材擠出閥D3、該測距器D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6同步由垂直的Z軸向設置旋轉為水平的X軸向，使各操作指向轉換為對應該工件A水平作旋轉時圓形的位移路徑之第二位置，並在必要時進行以該
影像檢視器D6對該液材施作部位A1檢視判別位置、以該第一液材擠出閥D3的第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5的第二噴嘴D51位移至對應該感測元件F3偵測校正X軸座標零點、以該測距器D4的接觸件D42抵觸該靠座F2的該觸抵面F21取得X軸向座標零點、以該測距器D4再以接觸件D42抵觸該液材施作部位A1計算進行液材施作時的位移距離、及位移至對應該導座G6的前側對該帶體G2進行試噴液材，並使該遮敝裝置M的該遮蔽件M6之該遮蔽面M61遮覆該液材施作部位A1處朝靠該工件A周緣內側處的表面部位。
對工件A進行液材施作時，以該偏置檢查裝置L的該線性光柵L2計算該工件A旋轉時的偏差量並作液材施作時的位移補償；該座架D2連動其上的該第一液材擠出閥D3、該測距器D4、該第二液材擠出閥D5、及該影像檢視器D6同步在X、Y、Z軸向位移，並以該第一液材擠出閥D3的第一噴嘴D31或該第二液材擠出閥D5的第二噴嘴D51位移至對應該液材施作部位A1處，以水平的X軸向對該液材施作部位A1處以液材連續噴注至該液材施作部位A1，並在該承載台C驅動該工件A作旋轉下，使該工件A的周緣環繞轉動的位移路徑皆塗佈液材於二個晶圓上下疊設的工件A環狀周緣的夾縫處；在該液材施作部位A1處完成液材施作的工件A順時針旋轉位移至對應該固化裝置H的固化器H2前方時，被該固化器H2施予固化處理，並接續旋轉位移經該檢查裝置K受該上檢視器K1、該下檢視器K2、及該側檢視器K3檢查液材施作後環繞該工件A全周之該液材施作部位A1的施作品質。
本發明實施例之液材施作裝置及設備，藉該移動機構D1上的該座架D2可受該旋轉驅動件D21驅動而可作以一旋轉中心軸作旋轉，使該座架D2可被驅動作旋轉連動其上的該第一液材擠出閥D3由垂直設置旋
轉為水平設置，使該第一液材擠出閥D3在執行例如液滴秤重、排膠、清潔時，可以利用機械手更換該工件A時旋轉至垂直設置設置狀態以符合液滴重力朝下的條件下執行，在欲進行液材施作時才旋轉成水平設置狀態，使以水平進行液材施作的加工更具有效益。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
A:工件
A1:液材施作部位
B:機台台面
C:承載台
C1:偵測器
D:液材施作裝置
E:液材輔助裝置
F:零點校正裝置
G:液材校正裝置
H:固化裝置
K:檢查裝置
L:偏置檢查裝置
M:遮蔽裝置
Claims (16)
- 一種液材施作設備，包括：一承載台，設於一機台台面上，供設置一工件，該承載台可受驅動連動該工件旋轉；一液材施作裝置，設有位於該機台台面上相對該承載台另一外側的一移動機構，該移動機構上設有一第一液材擠出閥，該第一液材擠出閥設有一第一噴嘴可以水平的方向以液材施作至該承載台上該工件一液材施作部位；該移動機構上設有受一旋轉驅動件驅動而可作以一旋轉中心軸作旋轉的一座架，該座架上設有呈上下立設的該第一液材擠出閥，該座架可被驅動作旋轉連動其上的該第一液材擠出閥由垂直設置旋轉為水平設置；該座架上設有一測距器，該測距器設有氣缸式感測頭可伸出一接觸件抵觸該液材施作部位。
- 如請求項1所述液材施作設備，其中，該座架由一側向另一側依序以直線併列並呈上下立設該第一液材擠出閥、一測距器、一第二液材擠出閥、及一影像檢視器；該第一液材擠出閥供擠出一第一種材質成份的液材，該第二液材擠出閥供擠出一第二種材質成份的液材。
- 如請求項1所述液材施作設備，其中，更設有一液材輔助裝置位於相對該承載台的另一外側，並設於該液材施作裝置的該座架下方的該機台台面上，該液材輔助裝置設有由一側向另一側依序以直線併列並各呈上下立設的一擦液機構、一排膠模組、一影像檢視器、及一液重量測模組。
- 如請求項3所述液材施作設備，其中，該擦液機構設有可受驅動捲繞經擦拭面朝上之一擦拭平台的一擦拭帶。
- 如請求項3所述液材施作設備，其中，該影像檢視器其由下往上檢視位移至對應其上方的該第一液材擠出閥下方第一噴嘴，以檢視是否具有殘液積留及清潔程度。
- 如請求項3所述液材施作設備，其中，更設有一零點校正裝置位於該承載台的一側，並設於鄰靠該承載台上該工件被驅動作旋轉時環繞轉動的位移路徑之外側。
- 如請求項6所述液材施作設備，其中，該零點校正裝置設有：一固定架、位於該固定架上呈立設的一靠座、及固設於該靠座並以水平方向朝該液材施作裝置側表面的一感測元件。
- 如請求項7所述液材施作設備，其中，該靠座設有以水平方向朝向該液材施作裝置的一觸抵面，該靠座的該觸抵面呈Y、Z軸向佈設的立設表面，並設於鄰近該工件水平作旋轉時圓形的位移路徑通過該液材施作部位呈Y軸向之切線部位。
- 如請求項1所述液材施作設備，其中，更設有一液材校正裝置位於該承載台的一側，並設於該承載台上該工件被驅動作旋轉時環繞轉動的位移路徑之外側，該液材校正裝置設有迴繞經一導座的帶體。
- 如請求項9所述液材施作設備，其中，該液材校正裝置設有：一座架、設於該座架上並捲設有一帶體的一帶輪、受驅動可捲收該帶體的一捲收輪、及一導座；該帶體兩側各設有相隔間距排列的多數個針孔，該帶體由該帶輪牽引以帶面呈立設方式，由該導座後側以Y軸向水平迴繞經該導座的該靠抵面至該捲收輪被捲收。
- 如請求項9所述液材施作設備，其中，該導座設有朝向該液材施作裝置的一靠抵面，該靠抵面呈Y、Z軸向佈設的立設表面，並設於鄰近該工件水平作旋轉時圓形的位移路徑通過該液材施作部位呈Y軸向之 切線部位。
- 如請求項11所述液材施作設備，其中，該導座內部設有一空腔，該空腔上方設有一開口，該開口受一罩蓋蓋覆封閉，該靠抵面表面設有多數個氣孔以二排相隔間距方式列設，該導座下方設有氣壓接頭可供抽出該空腔中氣體，使該氣孔具有負壓吸力吸附繞經該前側面的該帶體。
- 如請求項1所述液材施作設備，其中，更設有一偏置檢查裝置位於該承載台的一側，並設於該承載台上該工件被驅動作旋轉時環繞轉動的位移路徑之該液材施作部位的上游路徑處外側，該偏置檢查裝置設有分別各位於該工件上、下方的二個水平設置的投光架，在二個該投光架間投射有雷射光束形成的線性光柵，該線性光柵的線段呈對應該工件被驅動作順時針旋轉時環繞轉動的位移路徑之徑向方向設置，該線段的長度跨經該位移路徑的內側及外側。
- 如請求項13所述液材施作設備，其中，該工件為二個晶圓上下疊設，該線段位於內側的部份並延伸長逾該工件構成物晶圓周緣所既有的標記缺口的水平徑向深度。
- 如請求項1所述液材施作設備，其中，更設有一遮敝裝置位於該承載台的一側，並設於該承載台上該工件被驅動作旋轉時環繞轉動的位移路徑之外側；該遮敝裝置的一遮蔽件之一遮蔽面可被驅動遮覆該液材施作部位處朝靠該工件周緣內側處的表面部位。
- 如請求項15所述液材施作設備，其中，該遮蔽裝置設有立置的一固定座、設於該固定座上朝向該工件上方水平伸設的可受驅動在該固定座上一滑軌上作上下位移的一懸臂、設於該懸臂的一端並受一驅動件驅動而可在該驅動件上一側的一滑軌作上下位移的一導架、及位於該導架下端設有水平設置之該遮蔽面的該遮蔽件；其中，該遮蔽件之該遮蔽面恰 對應位於該液材施作部位處朝靠該工件周緣內側處上方，並可在該驅動件驅動該導架下移時被連動。
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2023
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