TWI814359B - 氣密櫃及倉儲系統 - Google Patents

Abstract

一種氣密櫃，包括一氣密櫃本體、一電動撓性閘門、一壓板及多個動力源(如氣缸)。氣密櫃本體具有一容置空間及一開口，容置空間設於氣密櫃本體內，開口設於氣密櫃本體的一側。電動撓性閘門設置於氣密櫃本體上，電動撓性閘門能以電動方式驅動，用以關閉及開啟開口。壓板設置於氣密櫃本體的開口處，當電動撓性閘門關閉氣密櫃本體的開口時，能以動力源驅動壓板壓制於電動撓性閘門上，使電動撓性閘門得以密閉開口，使氣密櫃本體的內部維持氣密。由此，可提供良好的氣密性，且減少氣密櫃開啟時佔用的高度空間，並可達成自動化的需求。

Description

氣密櫃及倉儲系統

本發明涉及一種氣密櫃及倉儲系統，尤指一種能用於儲存被儲存物，且在儲存的過程中保持良好氣密性的氣密櫃及倉儲系統。

板件在運送的過程中，濕度及潔淨度等要求非常的重要，因此能將板件儲存於氣密櫃中，使板件保持良好的氣密性，而能維持預定的濕度及潔淨度等。然而現有的氣密櫃，在門板開啟時，會佔用較多的高度空間，且難以達成自動化的需求。

本發明所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種氣密櫃及倉儲系統，可提供良好的氣密性，且減少氣密櫃開啟時佔用的高度空間，並可達成自動化的需求。

為了解決上述的技術問題，本發明提供一種氣密櫃，包括：一氣密櫃本體，該氣密櫃本體具有一容置空間，該容置空間位於該氣密櫃本體內，該氣密櫃本體具有一開口，該開口位於該氣密櫃本體的一側，該開口與該容置空間相連通；一電動撓性閘門，該電動撓性閘門設置於該氣密櫃本體上，該電動撓性閘門具有一簾體及一電動馬達，該簾體連接於該電動馬達，該電動馬達能驅動該簾體進行捲放的動作；一壓板，該壓板具有一框體，該框體的內部形成一進出口；以及多個動力源，該些動力源設置於該氣密櫃本體上，該壓板連接於該些動力源，該些動力源能推動該壓板朝向靠近或遠離該氣密櫃本體的方向移動；其中當該氣密櫃需要呈氣密狀態時，能將該簾體放下，並以該些動力源推動該壓板朝向靠近該氣密櫃本體的方向移動，使該壓板壓制於該簾體上，而使該簾體抵觸該氣密櫃本體設有該開口的一側，用以封閉該開口。

為了解決上述的技術問題，本發明還提供一種倉儲系統，包括：一架體，該架體設有多個料架，該些料架排列成多層，每一所述料架為一具有獨立座標之儲位，該架體還設有至少一進出料平台，所述儲位及所述進出料平台皆能用以放置所述的氣密櫃；以及一搬運裝置，該搬運裝置設置於該架體中，該搬運裝置能搬運該進出料平台放置的氣密櫃將其移至任一儲位存放，該搬運裝置亦能搬運任一儲位放置的氣密櫃將其移至該進出料平台暫放。

本發明的有益效果在於，本發明所提供的氣密櫃及倉儲系統，該氣密櫃包括一氣密櫃本體、一電動撓性閘門、一壓板及多個動力源。電動撓性閘門設置於氣密櫃本體上，電動撓性閘門具有一簾體及一電動馬達，電動馬達能驅動簾體進行捲放的動作。該些動力源設置於氣密櫃本體上，壓板連接於該些動力源，該些動力源能推動壓板朝向靠近或遠離氣密櫃本體的方向移動。當氣密櫃需要呈氣密狀態時，能將簾體放下，並以該些動力源推動壓板朝向靠近氣密櫃本體的方向移動，使壓板壓制於簾體上，而使簾體抵觸氣密櫃本體設有開口的一側，用以封閉該開口。本發明可提供良好的氣密性，且氣密櫃欲開啟時，只需使壓板離開簾體，並將簾體捲收，不會佔用高度空間，且本發明的電動撓性閘門及壓板，不需以人工操作，而能以自動控制方式操作，可達成自動化的需求。

為使能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本發明加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例]

請參閱圖1至圖4，本發明提供一種氣密櫃，能用於被儲存物100(如基板、晶圓或光罩等物品)的儲存，該氣密櫃包括一氣密櫃本體1、一電動撓性閘門2、一壓板3及多個動力源4。

該氣密櫃本體1可為一方形箱體，該氣密櫃本體1的形狀並不限制，該氣密櫃本體1具有一容置空間11，該容置空間11位於氣密櫃本體1內，該氣密櫃本體1具有一開口12，該開口12位於氣密櫃本體1的一側(前側)，該開口12與容置空間11相連通，可通過開口12將被儲存物100放置於容置空間11內或移出。較佳的，該容置空間11內可設置多個支撐架13(如圖5及圖6所示)，該些支撐架13靠近氣密櫃本體1的兩側(左側及右側)，該些支撐架13能用以支撐被儲存物100，使該被儲存物100放置於氣密櫃本體1內適當高度位置。該些支撐架13各設有多個定位件14，該些定位件14突設於支撐架13上，該些定位件14能用以擋止定位該被儲存物100的邊緣，用以防止該被儲存物100滑動偏移，使該被儲存物100能穩定的放置。

該電動撓性閘門2設置於氣密櫃本體1上，該電動撓性閘門2設置於開口12處，該電動撓性閘門2能以電動方式驅動，用以關閉及開啟開口12。該電動撓性閘門2具有一簾體21及一電動馬達22，該簾體21以可撓性材質製成，較佳的，該簾體21以不透氣材質製成，該簾體21的材質例如可為PVC等。該簾體21的寬度及長度大於開口12的寬度及長度，使該簾體21的面積大於開口12的面積，使該簾體21能確實的遮蔽開口12，以具有較佳的氣密效果。該簾體21連接於電動馬達22，該電動馬達22能驅動簾體21進行捲放的動作。當該簾體21放下時，該簾體21遮蔽於開口12處，用以關閉該開口12，該簾體21放下時，該簾體21的下端較佳為低於氣密櫃本體1的底部，使該簾體21能確實的遮蔽開口12，以具有較佳的氣密效果。當該簾體21向上捲收時，該簾體21捲收位於開口12的上方處，用以開放該開口12。

該壓板3設置於氣密櫃本體1的開口12處，該壓板3具有一框體31，該框體31可對應於氣密櫃本體1設有開口12的一側而呈方形，該框體31豎立的設置，該框體31可平行於氣密櫃本體1設有開口12的一側，該框體31能壓制於氣密櫃本體1設有開口12的一側。該框體31的內部形成一進出口32，以便通過該進出口32將被儲存物100放置於容置空間11內或移出。較佳的，該進出口32呈方形。

該些動力源4可為氣缸等，該些動力源4設置於氣密櫃本體1上，較佳的，該些動力源4分別設置於氣密櫃本體1的兩側(左側及右側)，該些動力源4分別靠近氣密櫃本體1的頂部及底部，使該些動力源4形成較佳的配置。該壓板3連接於該些動力源4，該些動力源4能推動壓板3朝向靠近或遠離氣密櫃本體1的方向移動，以便達成自動關閉及開啟的效果。較佳的，該氣密櫃本體1的兩側各設置兩動力源4，該壓板3的兩側連接於該些動力源4，使得該壓板3受力較為平均。較佳的，該些動力源4分別連接於壓板3的兩側靠近頂部及底部處，可使該些動力源4更穩定的推動壓板3。

當該氣密櫃需要呈氣密狀態時，先將該簾體21放下，再以該些動力源4推動壓板3朝向靠近氣密櫃本體1的方向移動，使該壓板3壓制於簾體21上，使該簾體21夾置於壓板3及氣密櫃本體1之間，該簾體21能抵觸氣密櫃本體1設有開口12的一側(前側)，用以封閉該開口12，而能使該氣密櫃本體1的內部維持氣密。

當該氣密櫃欲開啟時，先以該些動力源4推動壓板3朝向遠離氣密櫃本體1的方向移動，使該壓板3離開簾體21，該簾體21即可於壓板3及氣密櫃本體1之間呈自由狀態，此時即可將該簾體21捲收，使該簾體21捲收於開口12的上方處，用以開放該開口12，而能通過進出口32及開口12移出或放置被儲存物100於容置空間11內。

另，在本實施例中，該氣密櫃本體1設有開口12的一側，亦可進一步設置至少一氣密膠條5，該氣密膠條5圍繞於開口12的外圍。當該壓板3壓制於簾體21上，該簾體21能抵觸氣密膠條5，藉以增加氣密性，使該開口12可確實的被簾體21密閉，使氣密櫃本體1的內部維持良好的氣密。

另，在本實施例中，該氣密櫃本體1的另一側(後側)，亦可進一步設置一溫溼度感測器6，該溫溼度感測器6伸至容置空間11內，該溫溼度感測器6能用以偵測氣密櫃本體1內的溫度及濕度，以便進行溫度及濕度的控制。另，在本實施例中，該氣密櫃本體1的另一側(後側)，亦可進一步設置一進氣接頭7，可因應需求而輸入氣體(如乾空氣或氮氣等)至氣密櫃本體1內。

另，請參閱圖7及圖8，本發明另提供一種倉儲系統，包括一架體200及一搬運裝置300。該架體200設有多個料架201，該些料架201排列成多層，且每一層設置至少一料架201，每一料架201為一具有獨立座標之儲位202，該架體200還設有至少一進出料平台203。該搬運裝置300設置於架體200中，該搬運裝置300可為各種現有的搬運移載裝置，能進行X軸、Y軸及Z軸等方向的搬運移載動作，由於該搬運裝置300為習知結構，且本發明並不限制搬運裝置300的結構，故不再予以贅述。

該搬運裝置300可搬運進出料平台203放置的氣密櫃將其移至任一儲位202存放，亦可搬運任一儲位202放置的氣密櫃將其移至進出料平台203暫放，以便於出料。由於每一個料架201所構成的儲位202都具有獨立的座標，因此可運用控制系統來驅動搬運裝置300，可準確地移至任一儲位202進行氣密櫃的取放，藉以進行氣密櫃及被儲存物的入、出庫作業。

[實施例的有益效果]

本發明的有益效果在於，本發明所提供的氣密櫃及倉儲系統，該氣密櫃包括一氣密櫃本體、一電動撓性閘門、一壓板及多個動力源。電動撓性閘門設置於氣密櫃本體上，電動撓性閘門具有一簾體及一電動馬達，電動馬達能驅動簾體進行捲放的動作。該些動力源設置於氣密櫃本體上，壓板連接於該些動力源，該些動力源能推動壓板朝向靠近或遠離氣密櫃本體的方向移動。當氣密櫃需要呈氣密狀態時，能將簾體放下，並以該些動力源推動壓板朝向靠近氣密櫃本體的方向移動，使壓板壓制於簾體上，而使簾體抵觸氣密櫃本體設有開口的一側，用以封閉該開口。本發明可提供良好的氣密性，且氣密櫃欲開啟時，只需使壓板離開簾體，並將簾體捲收，不會佔用高度空間，且本發明的電動撓性閘門及壓板，不需以人工操作，而能以自動控制方式操作，可達成自動化的需求。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的申請專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的申請專利範圍內。

1:氣密櫃本體 11:容置空間 12:開口 13:支撐架 14:定位件 2:電動撓性閘門 21:簾體 22:電動馬達 3:壓板 31:框體 32:進出口 4:動力源 5:氣密膠條 6:溫溼度感測器 7:進氣接頭 100:被儲存物 200:架體 201:料架 202:儲位 203:進出料平台 300:搬運裝置

圖1為本發明氣密櫃的立體圖。

圖2為本發明氣密櫃的前視圖。

圖3為本發明氣密櫃的側視圖。

圖4為圖1的Ⅳ-Ⅳ剖視圖。

圖5為本發明氣密櫃的立體分解圖(一)。

圖6為本發明氣密櫃的立體分解圖(二)。

圖7為本發明氣密櫃使用狀態的前視示意圖。

圖8為本發明氣密櫃使用狀態的俯視示意圖。

1:氣密櫃本體

2:電動撓性閘門

21:簾體

22:電動馬達

3:壓板

31:框體

32:進出口

4:動力源

Claims (9)

1. 一種氣密櫃，包括：一氣密櫃本體，該氣密櫃本體具有一容置空間，該容置空間位於該氣密櫃本體內，該氣密櫃本體具有一開口，該開口位於該氣密櫃本體的一側，該開口與該容置空間相連通；一電動撓性閘門，該電動撓性閘門設置於該氣密櫃本體上，該電動撓性閘門具有一簾體及一電動馬達，該簾體連接於該電動馬達，該電動馬達能驅動該簾體進行捲放的動作；一壓板，該壓板具有一框體，該框體的內部形成一進出口；以及多個動力源，該些動力源設置於該氣密櫃本體上，該壓板連接於該些動力源，該些動力源能推動該壓板朝向靠近或遠離該氣密櫃本體的方向移動；其中當該氣密櫃需要呈氣密狀態時，能將該簾體放下，並以該些動力源推動該壓板朝向靠近該氣密櫃本體的方向移動，使該壓板壓制於該簾體上，而使該簾體抵觸該氣密櫃本體設有該開口的一側，用以封閉該開口；該氣密櫃本體設有該開口的一側設置至少一氣密膠條，該氣密膠條圍繞於該開口的外圍，當該壓板壓制於該簾體上，該簾體能抵觸該氣密膠條，以增加氣密性。
2. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該容置空間內設置多個支撐架，該些支撐架靠近該氣密櫃本體的兩側，該些支撐架能用以支撐一被儲存物，該些支撐架上各設有定位件，用以擋止定位該被儲存物的邊緣。
3. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該簾體的面積大於該開口的面積。
4. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該氣密櫃本體的另一側設置 一溫溼度感測器，該溫溼度感測器伸至該容置空間內，能用以偵測該氣密櫃本體內的溫度及濕度。
5. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該氣密櫃本體的另一側設置一進氣接頭，能用以輸入氣體至該氣密櫃本體內。
6. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該些動力源分別設置於該氣密櫃本體的兩側，該些動力源分別靠近該氣密櫃本體的頂部及底部，該壓板的兩側連接於該些動力源。
7. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該些動力源分別連接於該壓板的兩側靠近頂部及底部處。
8. 如請求項1所述的氣密櫃，其中該壓板的框體豎立的設置，該壓板的框體平行於該氣密櫃本體設有該開口的一側。
9. 一種倉儲系統，包括：一架體，該架體設有多個料架，該些料架排列成多層，每一所述料架為一具有獨立座標之儲位，該架體還設有至少一進出料平台，所述儲位及所述進出料平台皆能用以放置如請求項1至8中任一項所述的氣密櫃；以及一搬運裝置，該搬運裝置設置於該架體中，該搬運裝置能搬運該進出料平台放置的氣密櫃將其移至任一儲位存放，該搬運裝置亦能搬運任一儲位放置的氣密櫃將其移至該進出料平台暫放。

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