TWI787462B - 感光性組成物 - Google Patents

Abstract

一種感光性組成物，其為用於利用波長300 nm以下的光進行曝光之感光性組成物且包含色材及聚合性單體，在感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計的含量為15質量%以下。

Description

感光性組成物

本發明係關於一種包含色材之感光性組成物。更詳細而言，係關於一種用於固體攝像元件或濾色器等之感光性組成物。

在視訊攝影機、數位相機、附攝像功能之行動電話等中使用CCD(電荷耦合元件)或CMOS(互補金屬氧化物半導體)。又，固體攝像元件中要求使用包含濾色器等色材之膜。包含濾色器等色材之膜例如可使用包含色材、聚合性單體及光聚合起始劑之感光性組成物來進行製造(參閱專利文獻1、2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特表2012-532334號公報

[專利文獻2]日本特開2010-097172號公報

關於包含色材之膜，若膜的硬化不充分，則色材從膜流出而有可能向其他膜顏色轉移等。因此，在製造包含色材之膜時，需要製造充分硬化之膜。為了提高感光性組成物的硬化性，以往使用了較多地包含聚合性單體及光聚合起始劑之感光性組成物。例如，在專利文獻1的實施例6中，在感光性組成物的總固體成分中包含23.69質量%的聚合性單體及1質量%的光聚合起始劑。又，在專利文獻2的實施例1中，在感光性組成物的總固體成分中包含 合計為20.5質量%的聚合性單體及5.8質量%的光聚合起始劑。

另一方面，近年來進行了關於包含色材之膜的薄膜化等的研究。例如，為了維持目的的分光特性的同時實現薄膜化，期望提高膜中的色材濃度。然而，習知之感光性組成物作為色材以外的成分，較多地包含聚合性單體及光聚合起始劑，因此難以維持充分的硬化性的同時進一步增加色材等的含量。

從而，本發明的目的在於提供一種即使聚合性單體及光聚合起始劑的含量較少硬化性亦優異之感光性組成物。

本發明人對感光性組成物進行了深入研究之結果，發現了對感光性組成物照射波長300nm以下的光來進行了曝光時，令人驚訝地發現即使感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體及光聚合起始劑的含量較少，亦能夠形成硬化性良好且充分地經硬化而成之膜，從而完成了本發明。藉此，本發明提供以下。

<1>一種感光性組成物，其為用於利用波長300nm以下的光進行曝光之感光性組成物且包含色材及聚合性單體，在感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計的含量為15質量%以下。

<2>如<1>所述之感光性組成物，其中聚合性單體與光聚合起始劑的合計量中的聚合性單體的含量為50質量%以上。

<3>如<1>所述之感光性組成物，其中 聚合性單體與光聚合起始劑的合計量中的聚合性單體的含量為70質量%以上且90質量%以下。

<4>如<1>~<3>中的任一項所述之感光性組成物，其中感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體的含量為13質量%以下。

<5>如<1>~<3>中的任一項所述之感光性組成物，其中感光性組成物的總固體成分中的光聚合起始劑的含量為5質量%以下。

<6>如<1>~<5>中的任一項所述之感光性組成物，其中光聚合起始劑的含量相對於色材100質量份為5質量份以下。

<7>如<1>~<5>中的任一項所述之感光性組成物，其中光聚合起始劑的含量相對於色材100質量份為1質量份以上且5質量份以下。

<8>如<1>~<7>中的任一項所述之感光性組成物，其中感光性組成物的總固體成分中的色材的含量為50質量%以上。

<9>如<1>~<8>中的任一項所述之感光性組成物，其中聚合性單體為2官能以上的聚合性單體。

<10>如<1>~<9>中的任一項所述之感光性組成物，其中聚合性單體包含具有茀骨架之聚合性單體。

<11>如<1>~<10>中的任一項所述之感光性組成物，其中 色材包含彩色著色劑。

<12>如<1>~<11>中的任一項所述之感光性組成物，其還含有矽烷偶合劑。

<13>如<1>~<12>中的任一項所述之感光性組成物，其為脈衝曝光用感光性組成物。

<14>如<1>~<13>中的任一項所述之感光性組成物，其為固體攝像元件用感光性組成物。

<15>如<1>~<14>中的任一項所述之感光性組成物，其為濾色器用感光性組成物。

依據本發明，能夠提供硬化性優異之感光性組成物。

以下，對本發明的內容進行說明。

本說明書中，“~”是以將其前後所記載之數值作為下限值及上限值而包含之含義來使用。

本說明書中之基團(原子團)的標記中，未標有經取代及未經取代之標記包含不具有取代基之基團(原子團)，並且還包含具有取代基之基團(原子團)。例如，“烷基”不僅包含不具有取代基之烷基(未經取代之烷基)，而且還包含具有取代基之烷基(經取代之烷基)。

本說明書中，“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲基烯丙基這兩者或其中任一個，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯這兩者或其中任一個，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯 酸這兩者或其中任一個，“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基這兩者或其中任一個。

本說明書中，重量平均分子量及數平均分子量為藉由GPC(凝膠滲透層析)法測量出之聚苯乙烯換算值。

本說明書中，所謂紅外線係指波長為700~2500nm的光。

本說明書中，總固體成分係指從組成物的所有成分中去除溶劑後之成分的總質量。

本說明書中，“步驟”這一術語，不僅是獨立的步驟，而且即使於無法與其他步驟明確區分之情況下，若可實現對該步驟所期待之作用，則亦包含於本術語中。

<感光性組成物>

本發明的感光性組成物為用於利用波長300nm以下的光進行曝光之感光性組成物且包含色材及聚合性單體，該感光性組成物的特徵為，在感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計的含量為15質量%以下。

本發明的感光性組成物中，藉由利用波長300nm以下的光進行曝光，即使感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計量較少，亦可具有優異之硬化性。作為得到該等效果之理由，可推測為如下。推測為，對該感光性組成物照射KrF射線等波長300nm以下的光來進行曝光，藉此亦從感光性組成物中所包含之聚合性單體等成分產生自由基等活性種而能夠有 效地硬化聚合性單體，其結果推測為，即使感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計量較少，亦可得到優異之硬化性。又，本發明的感光性組成物中，能夠減少聚合性單體與光聚合起始劑的合計量，因此配方設計的自由度較高。例如，提高感光性組成物的總固體成分中的色材的含量，從而能夠形成色材濃度較高的膜，藉此能夠實現薄膜化。

本發明的感光性組成物中，感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計的含量為15質量%以下，12質量%以下為較佳，10質量%以下為更佳，8質量%以下為進一步較佳。為了得到充分的硬化性，下限係1質量%以上為較佳，2質量%以上為更佳，3質量%以上為進一步較佳，4質量%以上為更進一步較佳。

本發明的感光性組成物為用於利用波長300nm以下的光進行曝光之感光性組成物。用於曝光之光為波長300nm以下的光即可，波長270nm以下的光為較佳，波長250nm以下的光為更佳。又，前述的光係波長180nm以上的光為較佳。具體而言，可舉出KrF射線(波長248nm)、ArF射線(波長193nm)等，從容易得到更優異之硬化性等的理由考慮，KrF射線(波長248nm)為較佳。

又，本發明的感光性組成物為脈衝曝光用感光性組成物亦為較佳。亦即，本發明的感光性組成物為脈衝照射波長300nm以下的光來進行曝光(脈衝曝光)而使用者為較佳。推測為，依據該 態樣，曝光感光性組成物時，能夠從聚合性單體本身亦可有效地產生自由基等活性種而有效地硬化聚合性單體，其結果，即使感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計量更少，亦可得到優異之硬化性。因此，能夠維持良好的硬化性的同時更能夠降低感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計量。另外，脈衝曝光係指在短時間(例如毫秒等級以下)的週期內反覆光的照射與暫停來進行曝光之方式的曝光方法。

本發明的感光性組成物可較佳地用作著色像素、黑色像素、遮光膜、紅外線透射濾波器層的像素等的形成用組成物。作為著色像素，可舉出選自紅色、藍色、綠色、青色、品紅色及黃色中之色相的像素。作為紅外線透射濾波器層的像素，可舉出滿足波長400~640nm的範圍內的透射率的最大值係20%以下(較佳為15%以下，更佳為10%以下)，波長1100~1300nm的範圍內的透射率的最小值係70%以上(較佳為75%以上，更佳為80%以上)之分光特性之過濾器層的像素等。又，紅外線透射濾波器層的像素為滿足以下的(1)~(4)中的任一分光特性之過濾器層的像素亦為較佳。

(1)：波長400~640nm的範圍內的透射率的最大值係20%以下(較佳為15%以下，更佳為10%以下)且波長800~1300nm的範圍內的透射率的最小值係70%以上(較佳為75%以上，更佳為80%以上)之過濾器層的像素。

(2)：波長400~750nm的範圍內的透射率的最大值係20%以下(較佳為15%以下，更佳為10%以下)且波長900~1300nm 的範圍內的透射率的最小值係70%以上(較佳為75%以上，更佳為80%以上)之過濾器層的像素。

(3)：波長400~830nm的範圍內的透射率的最大值係20%以下(較佳為15%以下，更佳為10%以下)且波長1000~1300nm的範圍內的透射率的最小值係70%以上(較佳為75%以上，更佳為80%以上)之過濾器層的像素。

(4)：波長400~950nm的範圍內的透射率的最大值係20%以下(較佳為15%以下，更佳為10%以下)且波長1100~1300nm的範圍內的透射率的最小值係70%以上(較佳為75%以上，更佳為80%以上)之過濾器層的像素。

將本發明的感光性組成物用作紅外線透射濾波器層的像素形成用組成物之情況下，本發明的感光性組成物滿足波長400~640nm的範圍內的吸光度的最小值Amin與波長1100~1300nm的範圍內的吸光度的最大值Bmax之比Amin/Bmax係5以上之分光特性為較佳。Amin/Bmax係7.5以上為更佳，15以上為進一步較佳，30以上為特佳。

任意波長λ中的吸光度Aλ藉由以下式(1)來定義。

Aλ=-log(Tλ/100)......(1)

Aλ係波長λ中的吸光度，Tλ係波長λ中的透射率(%)。

在本發明中，吸光度的值可以為在溶液的狀態下測量出之值，亦可以為在使用著色感光性組成物製作出之膜的狀態下測量出之值。在膜的狀態下測量吸光度之情況下，藉由旋塗等方法以乾燥後 的膜的厚度成為既定的厚度的方式在玻璃基板上塗佈著色感光性組成物，並使用利用加熱板在100℃下乾燥120秒鐘而製備之膜來測量為較佳。

將本發明的感光性組成物用作紅外線透射濾波器層的像素形成用組成物之情況下，本發明的感光性組成物滿足以下的(11)~(14)中的任一分光特性為更佳。

(11)：波長400~640nm的範圍內的吸光度的最小值Amin1與波長800~1300nm的範圍內的吸光度的最大值Bmax1之比Amin1/Bmax1係5以上，7.5以上為較佳，15以上為更佳，30以上為進一步較佳。依據該態樣，能夠形成遮擋波長400~640nm的範圍的光並能夠透射波長720nm以上的光的膜。

(12)：波長400~750nm的範圍內的吸光度的最小值Amin2與波長900~1300nm的範圍內的吸光度的最大值Bmax2之比Amin2/Bmax2係5以上，7.5以上為較佳，15以上為更佳，30以上為進一步較佳。依據該態樣，能夠形成遮擋波長400~750nm的範圍的光且能夠形成透射波長850nm以上的光的膜。

(13)：波長400~850nm的範圍內的吸光度的最小值Amin3與波長1000~1300nm的範圍內的吸光度的最大值Bmax3之比Amin3/Bmax3係5以上，7.5以上為較佳，15以上為更佳，30以上為進一步較佳。依據該態樣，能夠形成遮擋波長400~850nm的範圍的光且能夠透射波長940nm以上的光的膜。

(14)：波長400~950nm的範圍內的吸光度的最小值Amin4 與波長1100~1300nm的範圍內的吸光度的最大值Bmax4之比Amin4/Bmax4係5以上，7.5以上為較佳，15以上為更佳，30以上為進一步較佳。依據該態樣，能夠形成遮擋波長400~950nm的範圍的光且能夠透射波長1040nm以上的光的膜。

本發明的感光性組成物能夠較佳地用作固體攝像元件用感光性組成物。又，本發明的感光性組成物能夠較佳地用作濾色器用感光性組成物。具體而言，能夠較佳地用作濾色器的像素形成用感光性組成物，能夠更佳地用作固體攝像元件中所使用之濾色器的像素形成用感光性組成物。

以下，對本發明的感光性組成物中所使用之各成分進行說明。

<<色材>>

本發明的感光性組成物包含色材。作為色材，可舉出彩色著色劑、黑色著色劑、紅外線吸收色素等。本發明的感光性組成物中所使用之色材至少包含彩色著色劑為較佳。

(彩色著色劑)

作為彩色著色劑，可舉出紅色著色劑、綠色著色劑、藍色著色劑、黃色著色劑、紫色著色劑、橙色著色劑等。彩色著色劑可以為顏料，亦可以為染料。顏料為較佳。顏料的平均粒徑(r)係20nm

r

300nm為較佳，25nm

r

250nm為更佳，30nm

r

200nm為進一步較佳。在此所謂“平均粒徑”係指關於聚合有顏料的一次粒子之二次粒子的平均粒徑。又，能夠使用之顏料的二次粒子的粒 徑分佈(以下，簡稱為“粒徑分佈”。)在平均粒徑±100nm的範圍內所包含之二次粒子係整體的70質量%以上為較佳，80質量%以上為更佳。

顏料係有機顏料為較佳。作為有機顏料可舉出以下的顏料。

比色指數(C.I.)顏料黃(Pigment Yellow)1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35：1、36、36：1、37、37：1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等(以上為黃色顏料)；C.I.顏料橙(Pigment Orange)2，5，13，16，17：1，31，34，36，38，43，46，48，49，51，52，55，59，60，61，62，64，71，73等(以上為橙色顏料)、C.I.顏料紅(Pigment Red)1，2，3，4，5，6，7，9，10，14，17，22，23，31，38，41，48：1，48：2，48：3，48：4，49，49：1，49：2，52：1，52：2，53：1，57：1，60：1，63：1，66，67，81：1，81：2，81：3，83，88，90，105，112，119，122，123， 144，146，149，150，155，166，168，169，170，171，172，175，176，177，178，179，184，185，187，188，190，200，202，206，207，208，209，210，216，220，224，226，242，246，254，255，264，270，272，279等(以上為紅色顏料)、C.I.顏料綠(Pigment Green)7，10，36，37，58，59等(以上為綠色顏料)、C.I.顏料紫(Pigment Violet)1，19，23，27，32，37，42等(以上為紫色顏料)、C.I.顏料藍(Pigment Blue)1，2，15，15：1，15：2，15：3，15：4，15：6，16，22，60，64，66，79，80等(以上為藍色顏料)、該等有機顏料能夠單獨使用或者將多種組合使用。

又，作為黃色顏料，亦能夠使用包含選自由下述式(I)表示之偶氮化合物及其互變異構結構的偶氮化合物中之至少1種陰離子、2種以上的金屬離子及三聚氰胺化合物之金屬偶氮顏料。

式中，R¹及R²分別獨立地為-OH或-NR⁵R⁶，R³及R⁴分別獨立地為=O或=NR⁷，R⁵~R⁷分別獨立地為氫原子或烷基。R⁵~R⁷所表示之烷基的碳數係1~10為較佳，1~6為更佳，1~4為進一步較佳。烷基可以為直鏈、支鏈及環狀中的任一種，直鏈或支鏈為較 佳，直鏈為更佳。烷基亦可以具有取代基。取代基係鹵素原子、羥基、烷氧基、氰基及胺基為較佳。

式(I)中，R¹及R²係-OH為較佳。又，R³及R⁴係=O為較佳。

金屬偶氮顏料中的三聚氰胺化合物係由下述式(II)表示之化合物為較佳。

式中R¹¹~R¹³分別獨立地為氫原子或烷基。烷基的碳數係1~10為較佳，1~6為更佳，1~4為進一步較佳。烷基可以為直鏈、支鏈及環狀中的任一種，直鏈或支鏈為較佳，直鏈為更佳。烷基亦可以具有取代基。取代基係羥基為較佳。R¹¹~R¹³中的至少一個係氫原子為較佳，R¹¹~R¹³中的全部係氫原子為更佳。

上述金屬偶氮顏料係包含選自由上述之式(I)表示之偶氮化合物及其互變異構結構的偶氮化合物中之至少1種陰離子、至少包含Zn²⁺及Cu²⁺之金屬離子及三聚氰胺化合物之態樣的金屬偶氮顏料為較佳。在該態樣中，以金屬偶氮顏料的總金屬離子的1莫耳為基準，以合計含有95~100莫耳%的Zn²⁺及Cu²⁺為較佳，含有98~100莫耳%為更佳，含有99.9~100莫耳%為更佳，含有100莫耳%為特佳。又，金屬偶氮顏料中的Zn²⁺與Cu²⁺的莫耳比係 Zn²⁺：Cu²⁺=199：1~1：15為較佳，19：1~1：1為更佳，9：1~2：1為進一步較佳。又，在該態樣中，金屬偶氮顏料還可以包含除了Zn²⁺及Cu²⁺以外的二價或三價的金屬離子(以下亦稱為金屬離子Me1)。作為金屬離子Me1，可舉出Ni²⁺、Al³⁺、Fe²⁺、Fe³⁺、Co²⁺、Co³⁺、La³⁺、Ce³⁺、Pr³⁺、Nd²⁺、Nd³⁺、Sm²⁺、Sm³⁺、Eu²⁺、Eu³⁺、Gd³⁺、Tb³⁺、Dy³⁺、Ho³⁺、Yb²⁺、Yb³⁺、Er³⁺、Tm³⁺、Mg²⁺、Ca²⁺、Sr²⁺、Mn²⁺、Y³⁺、Sc³⁺、Ti²⁺、Ti³⁺、Nb³⁺、Mo²⁺、Mo³⁺、V²⁺、V³⁺、Zr²⁺、Zr³⁺、Cd²⁺、Cr³⁺、Pb²⁺、Ba²⁺，選自Al³⁺、Fe²⁺、Fe³⁺、Co²⁺、Co³⁺、La³⁺、Ce³⁺、Pr³⁺、Nd³⁺、Sm³⁺、Eu³⁺、Gd³⁺、Tb³⁺、Dy³⁺、Ho³⁺、Yb³⁺、Er³⁺、Tm³⁺、Mg²⁺、Ca²⁺、Sr²⁺、Mn²⁺及Y³⁺中之至少1種為較佳，選自Al³⁺、Fe²⁺、Fe³⁺、Co²⁺、Co³⁺、La³⁺、Ce³⁺、Pr³⁺、Nd³⁺、Sm³⁺、Tb³⁺、Ho³⁺及Sr²⁺中之至少1種為更佳，選自Al³⁺、Fe²⁺、Fe³⁺、Co²⁺及Co³⁺中之至少1種為特佳。以金屬偶氮顏料的總金屬離子的1莫耳為基準，金屬離子Me1的含量係5莫耳%以下為較佳，2莫耳%以下為更佳，0.1莫耳%以下為進一步較佳。

關於上述金屬偶氮顏料，能夠參閱日本特開2017-171912號公報的0011~0062、0137~0276段、日本特開2017-171913號公報的0010~0062、0138~0295段、日本特開2017-171914號公報的0011~0062、0139~0190段、日本特開2017-171915號公報的0010~0065、0142~0222段的記載，該等內容援用於本說明中。

又，作為紅色顏料，能夠使用具有在芳香族環上導入了鍵結有氧原子、硫原子或氮原子之基團之芳香族環基與二酮吡咯并 吡咯骨架鍵結之結構之化合物。作為這樣的化合物，由式(DPP1)表示之化合物為較佳，由式(DPP2)表示之化合物為更佳。

上述式中，R¹¹及R¹³分別獨立地表示取代基，R¹²及R¹⁴分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或雜芳基，n11及n13分別獨立地表示0~4的整數，X¹²及X¹⁴分別獨立地表示氧原子、硫原子或氮原子，X¹²為氧原子或硫原子的情況下，m12表示1，X¹²為氮原子的情況下，m12表示2，X¹⁴為氧原子或硫原子的情況下，m14表示1，X¹⁴為氮原子的情況下，m14表示2。作為R¹¹及R¹³所表示之取代基，可舉出烷基、芳基、鹵素原子、醯基、烷氧羰基、芳基氧羰基、雜芳基氧羰基、醯胺基、氰基、硝基、三氟甲基、亞碸基、磺基等作為較佳的具體例。

又，作為綠色顏料，亦能夠使用在1分子中的鹵素原子數為平均10~14個、溴原子為平均8~12個及氯原子為平均2~ 5個之鹵化鋅酞菁顏料。作為具體例，可舉出國際公開WO2015/118720號公報中所記載之化合物。

又，作為藍色顏料，亦能夠使用具有磷原子之鋁酞菁化合物。作為具體例，可舉出日本特開2012-247591號公報的0022~0030段、日本特開2011-157478號公報的0047段中所記載之化合物等。

作為染料並沒有特別限制，能夠使用公知的染料。例如能夠舉出吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、三芳基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶醌系、苯亞甲基系、氧雜菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、啡噻嗪系、吡咯并吡唑次甲基偶氮系、呫噸系、酞菁系、苯并吡喃系、靛藍系、吡咯亞甲基系等染料。又，亦可以使用該等染料的多聚體。又，亦能夠使用日本特開2015-028144號公報、日本特開2015-034966號公報中所記載之染料。

(黑色著色劑)

作為黑色著色劑，可舉出碳黑、金屬氮氧化物(鈦黑等)、金屬氮化物(氮化鈦等)等無機黑色著色劑、二苯并呋喃酮化合物、甲亞胺化合物、苝化合物、偶氮系化合物等有機黑色著色劑。有機黑色著色劑係雙苯并呋喃酮化合物、苝化合物為較佳。作為雙苯并呋喃酮化合物，可舉出日本特表2010-534726號公報、日本特表2012-515233號公報、日本特表2012-515234號公報等中所記載之化合物，例如能夠作為BASF公司製造之“Irgaphor Black”而獲得。作為苝化合物，可舉出C.I.顏料黑(Pigment Black)31、32等。作 為次甲基偶氮化合物，可舉出日本特開平1-170601號公報、日本特開平2-034664號公報等中所記載者，例如能夠作為Dainichiseika Color & Chemicals Mfg.Co.,Ltd.製造之“CHROMO FINE BLACK A1103”而獲得。雙苯并呋喃酮化合物係由下述式中的任一個表示之化合物或該等混合物為較佳。

式中，R¹及R²分別獨立地表示氫原子或取代基，R³及R⁴分別獨立地表示取代基，a及b分別獨立地表示0~4的整數，a為2以上時，複數個R³可以相同亦可以不同，複數個R³可以鍵結而形成環，b為2以上時，複數個R⁴可以相同亦可以不同，複數個R⁴可以鍵結而形成環。

R¹~R⁴所表示之取代基表示鹵素原子、氰基、硝基、烷基、烯基、炔基、芳烷基、芳基、雜芳基、-OR³⁰¹、-COR³⁰²、-COOR³⁰³、-OCOR³⁰⁴、-NR³⁰⁵R³⁰⁶、-NHCOR³⁰⁷、-CONR³⁰⁸R³⁰⁹、-NHCONR³¹⁰R³¹¹、-NHCOOR³¹²、-SR³¹³、-SO₂R³¹⁴、-SO₂OR³¹⁵、-NHSO₂R³¹⁶或-SO₂NR³¹⁷R³¹⁸，R³⁰¹~R³¹⁸分別獨立地表示氫原子、烷基、烯基、炔基、芳基或雜芳基。

關於雙苯並呋喃酮化合物的詳細內容，能夠參閱日本特 表2010-534726號公報的0014~0037段的記載，該內容援用於本說明中。

(紅外線吸收色素)

作為紅外線吸收色素，在波長700~1300nm的範圍，更佳為波長700~1000nm的範圍具有極大吸收波長之化合物為較佳。紅外線吸收色素可以為顏料，亦可以為染料。

在本發明中，作為紅外線吸收色素，能夠較佳地使用具有包含單環或縮合環的芳香族環之π共軛平面之化合物。除結構紅外線吸收色素所具有之π共軛平面之氫以外的原子數係14個以上為較佳，20個以上為更佳，25個以上為進一步較佳，30個以上為特佳。上限例如係80個以下為較佳，50個以下為更佳。紅外線吸收色素所具有之π共軛平面包含2個以上單環或縮合環的芳香族環為較佳，包含3個以上前述芳香族環為更佳，包含4個以上前述芳香族環為進一步較佳，包含5個以上前述芳香族環為特佳。上限係100個以下為較佳，50個以下為更佳，30個以下為進一步較佳。作為前述芳香族環，可舉出苯環、萘環、并環戊二烯(pentalene)環、茚環、薁環、庚搭烯(heptalene)環、茚烯(indecene)環、苝環、稠五苯環、夸特銳烯(quaterrylene)環、乙烷合萘(acenaphthene)環、菲環、蒽環、稠四苯(naphthacene)環、

(chrysene)環、聯伸三苯(triphenylene)環、茀環、吡啶環、喹啉環、異喹啉環、咪唑環、苯并咪唑環、吡唑環、噻唑環、苯并噻唑環、三唑環、苯并三唑環、噁唑環、苯并噁唑環、咪唑啉環、吡 嗪(pyrazine)環、喹噁啉(quinoxaline)環、嘧啶環、喹唑啉(quinazoline)環、嗒嗪(pyridazine)環、三嗪(triazine)環、吡咯環、吲哚環、異吲哚環、咔唑環及具有該等環之縮合環。

紅外線吸收色素係選自吡咯並吡咯化合物、花青化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、四萘嵌三苯化合物、部花青化合物、克酮鎓(croconium)化合物、氧雜菁(Oxonol)化合物、二亞胺(diimonium)化合物、二硫醇化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亞甲基化合物、甲亞胺化合物、蒽醌化合物及二苯並呋喃酮化合物中之至少一種為較佳，選自吡咯並吡咯化合物、花青化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物及二亞胺化合物中之至少一種為更佳，選自吡咯並吡咯化合物、花青化合物及方酸菁化合物中之至少一種為進一步較佳，吡咯並吡咯化合物為特佳。

作為吡咯并吡咯化合物，可舉出日本特開2009-263614號公報的0016~0058段中所記載之化合物、日本特開2011-068731號公報的0037~0052段中所記載之化合物、國際公開WO2015/166873號公報的0010~0033段中所記載之化合物等，該等內容援用於本說明中。

作為方酸菁化合物，可舉出日本特開2011-208101號公報的0044~0049段中所記載之化合物、日本專利第6065169號公報的0060~0061段中所記載之化合物、國際公開WO2016/181987號公報的0040段中所記載之化合物、國際公開WO2013/133099號公報中所記載之化合物、國際公開WO2014/088063號公報中所記 載之化合物、日本特開2014-126642號公報中所記載之化合物、日本特開2016-146619號公報中所記載之化合物、日本特開2015-176046號公報中所記載之化合物、日本特開2017-025311號公報中所記載之化合物、國際公開WO2016/154782號公報中所記載之化合物、日本專利5884953號公報中所記載之化合物、日本專利6036689號公報中所記載之化合物、日本專利5810604號公報中所記載之化合物、日本特開2017-068120號公報中所記載之化合物等，該等內容援用於本說明中。

作為花青化合物，可舉出日本特開2009-108267號公報的0044~0045段中所記載之化合物、日本特開2002-194040號公報的0026~0030段中所記載之化合物、日本特開2015-172004號公報中所記載之化合物、日本特開2015-172102號公報中所記載之化合物、日本特開2008-088426號公報中所記載之化合物、日本特開2017-031394號公報中所記載之化合物等，該等內容援用於本說明中。

作為二亞胺化合物，例如可舉出日本特表2008-528706號公報中所記載之化合物，該內容援用於本說明中。作為酞菁化合物，例如可舉出日本特開2012-077153號公報的0093段中所記載之化合物、日本特開2006-343631號公報中所記載之酞菁氧鈦、日本特開2013-195480號公報的0013~0029段中所記載之化合物，該等內容援用於本說明中。作為萘酞菁化合物，例如可舉出日本特開2012-077153號公報的0093段中所記載之化合物，該內容援用 於本說明中。

本發明中，紅外線吸收色素亦能夠使用市售品。例如，可舉出SDO-C33(Arimoto Chemical Co.Ltd.製)、EX Color IR-14、EX Color IR-10A、EX Color TX-EX-801B、EX Color TX-EX-805K(Nippon Shokubai Co.,Ltd.製)、ShigenoxNIA-8041、ShigenoxNIA-8042、ShigenoxNIA-814、ShigenoxNIA-820、ShigenoxNIA-839(HAKKO Chemical Co.,Ltd.製)、EpoliteV-63、Epolight3801、Epolight3036(EPOLIN INC.公司製)、PRO-JET825LDI(FUJIFILM Co.,Ltd.製)、NK-3027、NK-5060(Hayashibara Co.,Ltd.製)、YKR-3070(Mitsui Chemicals,Inc.製)等。

從所得到之膜的薄膜化的觀點考慮，感光性組成物的總固體成分中的色材的含量係50質量%以上為較佳，54質量%以上為更佳，58質量%以上為進一步較佳，60質量%以上為特佳。若色材的含量係50質量%以上，則容易形成薄膜且分光特性良好的膜。從製膜性的觀點考慮，上限係80質量%以下為較佳，75質量%以下為更佳，70質量%以下為進一步較佳。

本發明的感光性組成物中所使用之色材包含選自彩色著色劑及黑色著色劑中之至少一種為較佳。又，色材的總質量中的彩色著色劑及黑色著色劑的含量係30質量%以上為較佳，50質量%以上為更佳，70質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為90質量%以下。

又，本發明的感光性組成物中所使用之色材至少包含綠色著 色劑為較佳。又，色材的總質量中的綠色著色劑的含量係30質量%以上為較佳，40質量%以上為更佳，50質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為75質量%以下。

本發明的感光性組成物中所使用之色材中，色材的總質量中的顏料的含量係50質量%以上為較佳，70質量%以上為更佳，90質量%以上為進一步較佳。若色材的總質量中的顏料的含量在上述範圍內，則容易得到耐熱性優異之膜。

將本發明的感光性組成物用作著色像素形成用組成物之情況下，感光性組成物的總固體成分中的彩色著色劑的含量係50質量%以上為較佳，54質量%以上為更佳，58質量%以上為進一步較佳，60質量%以上為特佳。又，色材的總質量中的彩色著色劑的含量係25質量%以上為較佳，45質量%以上為更佳，65質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為75質量%以下。又，上述色材至少包含綠色著色劑為較佳。又，上述色材的總質量中的綠色著色劑的含量係35質量%以上為較佳，45質量%以上為更佳，55質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為80質量%以下。

將本發明的感光性組成物用作黑色像素用或遮光膜的形成用組成物之情況下，感光性組成物的總固體成分中的黑色著色劑(較佳為無機黑色著色劑)的含量係50質量%以上為較佳，54質量%以上為更佳，58質量%以上為進一步較佳。又，色材的總質量中的黑色著色劑的含量係30質量%以上為較佳，50質量%以上 為更佳，70質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為90質量%以下。

將著色感光性組成物用作紅外線透射濾波器層的像素形成用組成物之情況下，本發明中所使用之色材滿足以下的(1)~(3)中的至少一個要件為較佳。

(1)：包含2種以上的彩色著色劑且以2種以上的彩色著色劑的組合形成黑色。由選自紅色著色劑、藍色著色劑、黃色著色劑、紫色著色劑及綠色著色劑中之2種以上的著色劑的組合形成黑色為較佳。

(2)：包含有機黑色著色劑。

(3)：上述(1)或(2)中，還包含紅外線吸收色素。

作為上述(1)的態樣的較佳的組合，例如可舉出以下。

(1-1)含有紅色著色劑及藍色著色劑之態樣。

(1-2)含有紅色著色劑、藍色著色劑及黃色著色劑之態樣。

(1-3)含有紅色著色劑、藍色著色劑、黃色著色劑及紫色著色劑之態樣。

(1-4)含有紅色著色劑、藍色著色劑、黃色著色劑、紫色著色劑及綠色著色劑之態樣。

(1-5)含有紅色著色劑、藍色著色劑、黃色著色劑及綠色著色劑之態樣。

(1-6)含有紅色著色劑、藍色著色劑及綠色著色劑之態樣。

(1-7)含有黃色著色劑及紫色著色劑之態樣。

上述(2)的態樣中，還含有彩色著色劑亦為較佳。藉由併用有機黑色著色劑及彩色著色劑，容易獲得優異之分光特性。作為與有機黑色著色劑組合而使用之彩色著色劑，例如可舉出紅色著色劑、藍色著色劑、紫色著色劑等，紅色著色劑及藍色著色劑為較佳。該等可以單獨使用，亦可以併用2種以上。又，彩色著色劑與有機黑色著色劑的混合比例相對於有機系黑色著色劑100質量份，彩色著色劑係10~200質量份為較佳，15~150質量份為更佳。

上述(3)的態樣中，色材的總質量中的紅外線吸收色素的含量係5~40質量%為較佳。上限係30質量%以下為較佳，25質量%以下為更佳。下限係10質量%以上為較佳，15質量%以上為更佳。

<<聚合性單體>>

本發明的感光性組成物含有聚合性單體。作為聚合性單體，可舉出自由基聚合性單體、陽離子聚合性單體等。作為自由基聚合性單體，可舉出具有乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等乙烯性不飽和鍵基之化合物。作為陽離子聚合性單體，可舉出具有環氧基、氧雜環丁基等環狀醚基之化合物。從容易得到更優異之硬化性之理由考慮，利用波長300nm以下的光進行曝光感光性組成物時，聚合性單體係自由基聚合性單體為較佳。

聚合性單體係2官能以上的聚合性單體為較佳，2~15官能的聚合性單體為更佳，2~10官能的聚合性單體為進一步較佳，2~6官能的聚合性單體為特佳。

聚合性單體的分子量小於2000為較佳，1500以下為更佳，1000以下為進一步較佳。下限係100以上為較佳，150以上為進一步較佳。

又，本發明中，聚合性單體使用具有茀骨架之聚合性單體亦為較佳。認為具有茀骨架之聚合性單體而言，相對於波長300nm以下的光之吸光度高且照射波長300nm以下的光，藉此容易由聚合性單體產生自由基等活性種，其結果，利用波長300nm以下的光曝光感光性組成物時可得到更優異之硬化性。

作為具有茀骨架之聚合性單體，可舉出具有由下述式(Fr)表示之部分結構之化合物。

(Fr)

式中波浪線表示鍵結鍵，R^f1及R^f2分別獨立地表示取代基，m及n分別獨立地表示0~5的整數。m為2以上的情況下，m個R^f1可以相同，亦可以分別不同，m個R^f1中的2個R^f1可以彼此鍵結而形成環。n為2以上的情況下，n個R^f2可以相同，亦可以分別不同，n個R^f2中的2個R^f2可以彼此鍵結而形成環。作為R^f1及R^f2所表示之取代基，可舉出鹵素原子、氰基、硝基、烷基、芳基、雜芳基、-OR^f11、-COR^f12、-COOR^f13、-OCOR^f14、-NR^f15R^f16、 -NHCOR^f17、-CONR^f18R^f19、-NHCONR^f20R^f21、-NHCOOR^f22、-SR^f23、-SO₂R^f24、-SO₂OR^f25、-NHSO₂R^f26或-SO₂NR^f27R^f28。R^f11~R^f28分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或雜芳基。

聚合性單體的聚合性基值係2mmol/g以上為較佳，6mmol/g以上為更佳，10mmol/g以上為進一步較佳。上限係20mmol/g以下為較佳。若聚合性單體的聚合性基價為2mmol/g以上，則感光性組成物的硬化性良好。另外，聚合性單體的聚合性基值藉由將聚合性單體的1分子中所包含之聚合性基的數除以聚合性單體的分子量來算出。

又，聚合性單體係具有乙烯性不飽和鍵基之化合物之情況下，聚合性單體的乙烯性不飽和鍵基值(以下，稱為C=C值)係2mmol/g以上為較佳，6mmol/g以上為更佳，10mol/g以上為進一步較佳。上限係13mmol/g以下為較佳。聚合性單體的C=C值藉由將聚合性單體的1分子中所包含之乙烯性不飽和鍵基的數除以聚合性單體的分子量來算出。

(自由基聚合性單體)

作為自由基聚合性單體，具有2個以上的乙烯性不飽和鍵基之化合物(2官能以上的化合物)為較佳，具有2~15個乙烯性不飽和鍵基之化合物(2~15官能的化合物)為更佳，具有2~10個乙烯性不飽和鍵基之化合物(2~10官能的化合物)為進一步較佳，具有2~6個乙烯性不飽和鍵基之化合物(2~6官能的化合物)為特佳。具體而言，自由基聚合性單體係2官能以上的(甲基)丙烯 酸酯化合物為較佳，2~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳，2~10官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為進一步較佳，2~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為特佳。作為具體例，可舉出日本特開2009-288705號公報的0095~0108段、日本特開2013-029760號公報的0227段、日本特開2008-292970號公報的0254~0257段中所記載之化合物，該等內容援用於本說明書中。

自由基聚合性單體係具有茀骨架之自由基聚合性單體為較佳，具有由上述之式(Fr)表示之部分結構之自由基聚合性單體為更佳。又，具有茀骨架之自由基聚合性單體係具有2個以上的乙烯性不飽和鍵基之化合物為較佳，具有2~15個乙烯性不飽和鍵基之化合物為更佳，具有2~10個乙烯性不飽和鍵基之化合物為進一步較佳，具有2~6個乙烯性不飽和鍵基之化合物為特佳。作為具有茀骨架之自由基聚合性單體的具體例，可舉出下述結構的化合物。又，作為具有茀骨架之自由基聚合性單體的市售品，可舉出OGSOL EA-0200、EA-0300(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.製、具有茀骨架之(甲基)丙烯酸酯單體)等。

自由基聚合性單體亦能夠較佳地使用由下述式(MO-1)~(MO-6)表示之化合物。另外，式中，T為氧伸烷基的情況下，碳原子側的末端與R鍵結。

上述式中，n係0~14，m係1~8。在一分子內存在複數個之R、T分別可以相同，亦可以不同。

分別由上述式(MO-1)~(MO-6)表示之化合物中，複數個R內的至少1個表示-OC(=O)CH=CH₂、-OC(=O)C(CH₃)=CH₂、-NHC(=O)CH=CH₂或-NHC(=O)C(CH₃)=CH₂。

作為由上述式(MO-1)~(MO-6)表示之聚合性化合物的具體例，可舉出日本特開2007-269779號公報的0248~0251段中所記載之化合物。

自由基聚合性單體使用具有己內酯結構之化合物亦為較佳。具有己內酯結構之化合物係由下述式(Z-1)表示之化合物為較佳。

[化8]

式(Z-1)中，6個R均為由式(Z-2)表示之基團或6個R中的1~5個係由式(Z-2)表示之基團，剩餘為由式(Z-3)表示之基團、酸基或羥基。

式(Z-2)中，R¹表示氫原子或甲基，m表示1或2的數，“*”表示鍵結鍵。

式(Z-3)中，R¹表示氫原子或甲基，“*”表示鍵結鍵。

作為自由基聚合性單體，亦能夠使用由式(Z-4)或(Z-5)表示之化合物。

式(Z-4)及(Z-5)中，E分別獨立地表示-((CH₂)yCH₂O)-或-((CH₂)_yCH(CH₃)O)-，y分別獨立地表示0~10的整數，X分別獨立地表示(甲基)丙烯醯基、氫原子或羧基。式(Z-4)中，(甲基)丙烯醯基的合計係3個或4個，m分別獨立地表示0~10的整數，各m的合計係0~40的整數。式(Z-5)中，(甲基)丙烯醯基的合計係5個或6個，n分別獨立地表示0~10的整數，各n的合計係0~60的整數。

式(Z-4)中，m係0~6的整數為較佳，0~4的整數為更佳。又，各m的合計係2~40的整數為較佳，2~16的整數為更佳，4~8的整數為特佳。

式(Z-5)中，n係0~6的整數為較佳，0~4的整數為更佳。又，各n的合計係3~60的整數為較佳，3~24的整數為更佳，6~12的整數為特佳。

又，式(Z-4)或式(Z-5)中的-((CH₂)_yCH₂O)-或-((CH₂)_yCH(CH₃)O)-係氧原子側的末端與X鍵結之形態為較佳。

本發明中，作為自由基聚合性單體，併用具有茀骨架之自由基聚合性單體(較佳為具有茀骨架之2~15官能的自由基聚合性單體，更佳為具有茀骨架之2~10官能的自由基聚合性單體，進一步較佳為具有茀骨架之2~6官能的自由基聚合性單體，特佳為具有茀骨架之2官能的自由基聚合性單體)及不具有茀骨架之自由基聚合性單體(較佳為3官能以上的自由基聚合性單體，更佳為3~15官能的自由基聚合性單體)為較佳。依據該態樣，容易 有效地反應聚合性單體，且容易得到更優異之硬化性。

(陽離子聚合性單體)

陽離子聚合性單體係具有2個以上的環狀醚基之化合物(2官能以上的化合物)為較佳，具有2~15個環狀醚基之化合物(2~15官能的化合物)為更佳，具有2~10個環狀醚基之化合物(2~10官能的化合物)為進一步較佳，具有2~6個環狀醚基之化合物(2~6官能的化合物)為特佳。作為具體例，亦能夠使用日本特開2013-011869號公報的0034~0036段、日本特開2014-089408號公報的0085~0090段中所記載之化合物。該等內容援用於本說明書中。

作為陽離子聚合性單體，可舉出由下述式(EP1)表示之化合物。

式(EP1)中，R^EP1~R^EP3分別表示氫原子、鹵素原子、烷基，烷基可以為具有環狀結構者，又，亦可以具有取代基。又，R^EP1與R^EP2、R^EP2與R^EP3可以彼此鍵結而形成環結構。Q^EP表示單鍵或n^EP價的有機基團。R^EP1~R^EP3可以與Q^EP鍵結而形成環結構。n^EP表示2以上的整數，較佳為2~10，更佳為2~6。其中，Q^EP為單鍵的情況下，n^EP係2。關於R^EP1~R^EP3、Q^EP的詳細內容，能夠參閱日本特開2014-089408號公報的0087~0088段的記載，該 內容援用於本說明書中。作為由式(EP1)表示之化合物的具體例，可舉出日本特開2014-089408號公報的0090段中所記載之化合物、日本特開2010-054632號公報的0151段中所記載之化合物，該等內容援用於本說明書中。

作為陽離子聚合性單體的市售品，可舉出ADEKA CORPORATION製ADEKA Glycyrol系列(例如，ADEKA Glycyrol ED-505等)、Daicel Corporation製EPOLEAD系列(例如，EPOLEAD GT401等)等。

感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體的含量係13質量%以下為較佳，10質量%以下為更佳，8質量%以下為進一步較佳，6質量%以下為進一步較佳。從硬化性的觀點考慮，下限係1質量%以上為較佳，2質量%以上為更佳，3質量%以上為進一步較佳。

又，聚合性單體與光聚合起始劑的合計量中的聚合性單體的含量係50質量%以上為較佳，60質量%以上為更佳，70質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，但是從顯影性及硬化性的觀點考慮，95質量%以下為較佳，90質量%以下為更佳，85質量%以下為進一步較佳，80質量%以下為特佳。

又，聚合性單體的含量相對於色材100質量份係20質量份以下為較佳，10質量份以下為更佳，5質量份以下為進一步較佳。又，下限係1質量份以上為較佳。

<<光聚合起始劑>>

本發明的感光性組成物包含光聚合起始劑為較佳。作為光聚合起始劑，可舉出光自由基聚合起始劑、光陽離子聚合起始劑等，依據聚合性單體的種類選擇而使用為較佳。作為聚合性單體使用了自由基聚合性單體之情況下，作為光聚合起始劑使用光自由基聚合起始劑為較佳。又，作為聚合性單體使用了陽離子聚合性單體之情況下，作為光聚合起始劑使用光陽離子聚合起始劑為較佳。光聚合起始劑係在波長300nm以下的光進行反應而產生活性種之化合物為較佳，在波長300nm以下的光進行反應而產生自由基之化合物為較佳。

光聚合起始劑係相對於波長265nm的光之量子產率為15%以上之化合物亦為較佳。本說明書中，光聚合起始劑的量子產率為將分解分子數除以吸收光子數來求出之值。關於吸收光子數，從KrF射線近似光源(波長：265nm、強度：3mW)下的曝光時間求出照射光子數，將曝光前後的265nm的吸光度的平均換算成透射率，對照射光子數乘以(1-透射率)來求出了吸收光子數。關於分解分子數，從曝光後的光聚合起始劑的吸光度求出光聚合起始劑的分解率，對分解率乘以膜中的存在分子數，藉此求出了分解分子數。作為相對於波長265nm的光之量子產率為15%以上之化合物，可舉出IRGACURE-OXE01、OXE02、OXE03(以上、BASF公司製)等。

光聚合起始劑包含選自烷基苯酮化合物、醯基膦化合物、二苯甲酮化合物、9-氧硫

化合物、三

化合物及肟化合物中 之至少1種化合物為較佳，包含肟化合物為更佳。

作為烷基苯酮化合物，可舉出苄基二甲基縮酮化合物、α-羥基烷基苯酮化合物、α-胺基烷基苯酮化合物等。

作為苄基二甲基縮酮化合物，可舉出2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮等。作為市售品，可舉出IRGACURE-651(BASF公司製)等。

作為α-羥基烷基苯酮化合物，可舉出1-羥基-環己基-苯基-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮等。作為α-羥基烷基苯酮化合物的市售品，可舉出IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(以上，BASF公司製)等。

作為α-胺基烷基苯酮化合物，可舉出2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-

啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-

啉基苯基)-1-丁酮、2-二甲基胺基-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-

啉基)苯基]-1-丁酮等。作為α-胺基烷基苯酮化合物的市售品，可舉出IRGACURE-907、IRGACURE-369及IRGACURE-379(以上，BASF公司製)等。

作為醯基膦化合物，可舉出2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基-氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基氧化膦等。作為醯基膦化合物的市售品，可舉出IRGACURE-819、IRGACURE-TPO(以 上，BASF公司製)等。

作為二苯甲酮化合物，可舉出二苯甲酮、鄰苯甲醯基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲醯基-4’-甲基二苯基硫醚、3,3’,4,4’-四(第三丁基過氧羥基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。

作為9-氧硫

化合物，可舉出2-異丙基-9-氧硫

、4-異丙基-9-氧硫

、2,4-二乙基-9-氧硫

、2,4-二氯-9-氧硫

、1-氯-4-丙氧基-9-氧硫

等。

作為三

化合物，可舉出2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三

、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三

等。

作為肟化合物，可舉出日本特開2001-233842號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.1653-1660)中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.156-162)中所記載之化合物、Journal of Photopolymer Scienceand Technology(1995年、pp.202-232)中所記載之化合物、 日本特開2000-066385號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特表2004-534797號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、日本特開2017-019766號公報中所記載之化合物、日本專利第6065596號公報中所記載之化合物、國際公開WO2015/152153號公報中所記載之化合物、國際公開WO2017/051680號公報中所記載之化合物等。作為肟化合物的具體例，例如可舉出3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。作為肟化合物的市售品，可舉出IRGACURE-OXE01、IRGACURE-OXE02、IRGACURE-OXE03、IRGACURE-OXE04(以上，BASF公司製)、TR-PBG-304(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD製)、ADECA OPTOMER N-1919(ADEKA CORPORATION製，日本特開2012-014052號公報中所記載之光聚合起始劑2)。又，肟化合物使用沒有著色性之化合物、透明性高且不易使其他成分變色之化合物亦較佳。作為市售品，可舉出ADEKA ARKLS NCI-730、NCI-831、NCI-930(以上，ADEKA CORPORATION製)等。

在本發明中，作為光聚合起始劑，還能夠使用具有茀環之肟化合物。作為具有茀環之肟化合物的具體例，可舉出日本特開 2014-137466號公報中所記載之化合物。該內容援用於本說明書中。

在本發明中，作為光聚合起始劑，還能夠使用具有氟原子之肟化合物。作為具有氟原子之肟化合物的具體例，可舉出日本特開2010-262028號公報中所記載之化合物、日本特表2014-500852號公報中所記載之化合物24、36~40、日本特開2013-164471號公報中所記載之化合物(C-3)等。該內容援用於本說明書中。

在本發明中，作為光聚合起始劑，能夠使用具有硝基之肟化合物。具有硝基之肟化合物設為二聚體亦較佳。作為具有硝基之肟化合物的具體例，可舉出日本特開2013-114249號公報的0031~0047段、日本特開2014-137466號公報的0008~0012段、0070~0079段中所記載之化合物、日本專利4223071號公報的0007~0025段中所記載之化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION製)。

在本發明中，作為光聚合起始劑，還能夠使用具有苯并呋喃骨架之肟化合物。作為具體例，可舉出國際公開WO2015/036910號公報中所記載之OE-01~OE-75。

以下示出本發明中較佳地使用之肟化合物的具體例，但本發明並不限定於該等。

[化13]

本發明中，作為光聚合起始劑亦可以使用2官能或3官能以上的光聚合起始劑。藉由使用該等光聚合起始劑，從光聚合起始劑的1分子產生2個以上的自由基等活性種，因此可得到良好的靈敏度。又，使用了非對稱結構的化合物之情況下，結晶性降低且提高溶劑等中的溶解性，經時難以析出，並能夠提高感光性組成物的經時穩定性。作為2官能或3官能以上的光聚合起始劑的具體例，可舉出日本特表2010-527339號公報、日本特表2011-524436號公報、國際公開WO2015/004565號公報、日本特表2016-532675號公報的0412~0417段、國際公開WO2017/033680號公報的0039~0055段中所記載之肟化合物的二聚體、日本特表2013-522445號公報中所記載之化合物(E)及化合物(G)、國際公開WO2016/034963號公報中所記載之Cmpd1~7、日本特表2017-523465號公報的0007段中所記載之肟酯類光起始劑、日本特開2017-167399號公報的0020~0033段中所記載之光起始劑、日本 特開2017-151342號公報的0017~0026段中所記載之光聚合起始劑(A)等。

又，本發明中，作為光聚合起始劑還能夠使用頻哪醇化合物。作為頻哪醇化合物，苯并頻哪醇化合物為較佳。作為頻哪醇化合物的具體例，可舉出苯并頻哪醇、1,2-二甲氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷、1,2-二乙氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷、1,2-二苯氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷、1,2-二甲氧基-1,1,2,2-四(4-甲基苯基)乙烷、1,2-二苯氧基-1,1,2,2-四(4-甲氧基苯基)乙烷、1,2-雙(三甲基矽烷氧基)-1,1,2,2-四苯基乙烷、1,2-雙(三乙基矽烷氧基)-1,1,2,2-四苯基乙烷、1,2-雙(第三丁基二甲基矽烷氧基)-1,1,2,2-四苯基乙烷、1-羥基-2-三甲基矽烷氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷、1-羥基-2-三乙基矽烷氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷、1-羥基-2-第三丁基二甲基矽烷氧基-1,1,2,2-四苯基乙烷等。又，關於頻哪醇化合物，能夠參閱日本特表2014-521772號公報、日本特表2014-523939號公報及日本特表2014-521772號公報的記載，該等內容援用於本說明書中。

從容易抑制圖案粗細之理由考慮，感光性組成物的總固體成分中的光聚合起始劑的含量係5質量%以下為較佳，4質量%以下為更佳，3質量%以下為進一步較佳。從硬化性的觀點考慮，下限係0.1質量%以上為較佳，0.3質量%以上為更佳，0.5質量%以上為進一步較佳。又，從容易抑制圖案粗細之理由考慮，光聚合起始劑的含量相對於色材100質量份係5質量份以下為較佳，3.5質量份以下為更佳，2質量份以下為進一步較佳。從硬化性的觀點 考慮，下限係0.5質量份以上為較佳，1質量份以上為更佳。本發明的感光性組成物併用2種以上的光聚合起始劑之情況下，該等合計量為上述範圍為較佳。

又，本發明的感光性組成物亦能夠實質上不包含光聚合起始劑。本發明的感光性組成物實質上不包含光聚合起始劑之情況係指感光性組成物的總固體成分中的光聚合起始劑的含量為0.1質量%以下，0.05質量%以下為較佳，不包含為更佳。

<<樹脂>>

本發明的感光性組成物能夠含有樹脂。另外，本發明中樹脂係指色材以外的有機化合物且分子量為2000以上的有機化合物。樹脂以例如在組成物中分散顏料等粒子之用途或黏合劑的用途來摻合。另外，亦將主要用於分散顏料等粒子之樹脂稱為分散劑。但是，樹脂的該種用途為一例，亦能夠以該種用途以外的目的使用。

樹脂的重量平均分子量(Mw)係2000~2000000為較佳。上限係1000000以下為較佳，500000以下為更佳。下限係3000以上為較佳，5000以上為更佳。

作為樹脂，可舉出(甲基)丙烯酸樹脂、環氧樹脂、烯-硫醇樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、聚芳酯樹脂、聚碸樹脂、聚醚碸樹脂、聚伸苯基樹脂、聚伸芳基醚氧化膦樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、環狀烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂等。可以從該等樹脂中單獨使用1種，亦可以將2種以上混合使用。

作為環氧樹脂，例如可舉出作為苯酚化合物的環氧丙基醚化物之環氧樹脂、各種酚醛清漆樹脂的環氧丙基醚化物之環氧樹脂、脂環式環氧樹脂、脂肪族系環氧樹脂、雜環式環氧樹脂、環氧丙基酯系環氧樹脂、環氧丙基胺系環氧樹脂、對鹵化苯酚類進行環氧丙基化之環氧樹脂、具有環氧基之矽化合物與除此以外的矽化合物的縮合物、具有環氧基之聚合性不飽和化合物與除此以外的其他聚合性不飽和化合物的共聚物等。環氧樹脂的環氧當量係310~3300g/eq為較佳，310~1700g/eq為更佳，310~1000g/eq為進一步較佳。作為環氧樹脂的市售品，例如可舉出EHPE3150(Daicel Corporation製)、EPICLON N-695(DIC CORPORATION製)、MARPROOF G-0150M、G-0105SA、G-0130SP、G-0250SP、G-1005S、G-1005SA、G-1010S、G-2050M、G-01100、G-01758(以上，NOF CORPORATION製、含環氧基的聚合物)等。關於環氧樹脂，亦能夠使用日本特開2014-043556號公報的0153~0155段、日本特開2014-089408號公報的0092段中所記載之環氧樹脂，該等內容援用於本說明書中。

作為環狀烯烴樹脂，從提高耐熱性的觀點而言，能夠較佳地使用降莰烯樹脂。作為降莰烯樹脂的市售品，例如可舉出JSR CORPORATION製造的ARTON系列(例如，ARTON F4520)等。

又，樹脂亦能夠使用國際公開WO2016/088645號公報的實施例中所記載之樹脂、日本特開2017-057265號公報中所記載之樹脂、日本特開2017-032685號公報中所記載之樹脂、日本特開 2017-075248號公報中所記載之樹脂、日本特開2017-066240號公報中所記載之樹脂，該等內容援用於本說明書中。又，亦能夠較佳地使用具有茀骨架之樹脂。作為具有茀骨架之樹脂，可舉出下述結構的樹脂。以下的結構式中，A為選自均苯四甲酸二酐、二苯基酮四羧酸二酐、聯苯四羧酸二酐及二苯基醚四羧酸二酐之羧酸二酐的殘基，M為苯基或苄基。關於具有茀骨架之樹脂，能夠參閱美國專利申請公開第2017/0102610號公報的記載，該內容援用於本說明中。

本發明中，作為樹脂使用具有酸基之樹脂為較佳。依據該態樣，能夠提高感光性組成物的顯影性，容易形成矩形性優異之像素。作為酸基，可舉出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羥基等，羧基為較佳。具有酸基之樹脂例如能夠用作鹼可溶性樹脂。

具有酸基之樹脂包含在側鏈具有酸基之重複單元為較佳，在樹脂的總重複單元中包含5~70莫耳%的在側鏈具有酸基之重複單元為更佳。在側鏈具有酸基之重複單元的含量的上限係50莫耳%以下為較佳，30莫耳%以下為更佳。在側鏈具有酸基之重複單 元的含量的下限係10莫耳%以上為較佳，20莫耳%以上為更佳。

具有酸基之樹脂係包含在側鏈具有羧基之重複單元之樹脂為較佳。作為具體例，可舉出甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化順丁烯二酸共聚物、酚醛清漆樹脂等鹼可溶性酚醛樹脂、側鏈上具有羧基之酸性纖維素衍生物、在具有羥基之聚合物中使酸酐加成而得到之樹脂。尤其，(甲基)丙烯酸和能夠與其共聚合之其他單體的共聚物較佳地作為鹼可溶性樹脂。作為能夠與(甲基)丙烯酸共聚合之其他單體，可舉出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯，可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己酯等，作為乙烯基化合物，可舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯啶酮、甲基丙烯酸四氫糠基酯、聚苯乙烯大分子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體等。又，其他單體亦能夠使用日本特開平10-300922號公報中所記載之N位取代順丁烯二醯亞胺單體，例如N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺等。能夠與該等(甲基)丙烯酸共聚合之其他單體可以僅為1種，亦可以為2種以上。關於具有酸基之樹脂，能夠參閱日本特開2012-208494號 公報的0558~0571段(對應之美國專利申請公開第2012/0235099號說明書的0685~0700段)的記載、日本特開2012-198408號公報的0076~0099段的記載，該等內容援用於本說明書中。又，具有酸基之樹脂亦能夠使用市售品。例如，可舉出Acrybase FF-426(FUJIKURAKASEI CO.,LTD.製)等。

具有酸基之樹脂的酸值係30~200mgKOH/g為較佳。下限係50mgKOH/g以上為較佳，70mgKOH/g以上為更佳，100mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係180mgKOH/g以下為較佳，150mgKOH/g以下為更佳。

本發明中，作為樹脂使用具有聚合性基之樹脂為較佳。依據該態樣，容易形成矩形性及與支撐體的密接性更加優異之像素。作為聚合性基，可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等乙烯性不飽和鍵基，(甲基)丙烯醯基為較佳。

具有聚合性基之樹脂的重量平均分子量係5000~20000為較佳。上限係17000以下為較佳，14000以下為更佳。下限係7000以上為較佳，9000以上為更佳。若具有聚合性基之樹脂的重量平均分子量在上述範圍，則容易形成顯影性良好且矩形性良好的像素。

具有聚合性基之樹脂的聚合性基值係0.5~3mmol/g為較佳。上限係2.5mmol/g以下為較佳，2mmol/g以下為更佳。下限係0.9mmol/g以上為較佳，1.2mmol/g以上為更佳。另外，樹脂的聚合性基值係表示每1g樹脂的固體成分的聚合性基值的莫 耳量之數值。又，具有聚合性基之樹脂的C=C值係0.6~2.8mmol/g為較佳。上限係2.3mmol/g以下為較佳，1.8mmol/g以下為更佳。下限係1.0mmol/g以上為較佳，1.3mmol/g以上為更佳。另外，樹脂的C=C值係表示每1g樹脂的固體成分的乙烯性不飽和鍵基的莫耳量之數值。

具有聚合性基之樹脂包含在側鏈具有聚合性基(較佳為乙烯性不飽和鍵基)之重複單元為較佳，在樹脂的總重複單元中包含5~80莫耳%的在側鏈具有聚合性基之重複單元為更佳。在側鏈具有聚合性基之重複單元的含量的上限係60莫耳%以下為較佳，40莫耳%以下為更佳。在側鏈具有聚合性基之重複單元的含量的下限係15莫耳%以上為較佳，25莫耳%以上為更佳。

具有聚合性基之樹脂還包含在側鏈具有酸基之重複單元亦為較佳。依據該態樣，更容易形成矩形性優異之像素。在樹脂的總重複單元中在側鏈具有酸基之重複單元的含量係10~60莫耳%為較佳。上限係40莫耳%以下為較佳，25莫耳%以下為更佳。下限係10莫耳%以上為較佳，20莫耳%以上為更佳。

本發明中所使用之樹脂係包含如下重複單元亦較佳，該重複單元來自於包含由下述式(ED1)表示之化合物和/或由下述式(ED2)表示之化合物(以下，有時將該等化合物亦稱為“醚二聚物”。)之單體成分。

[化16]

式(ED1)中，R¹及R²分別獨立地表示氫原子或亦可以具有取代基之碳數1~25的烴基。

式(ED2)中，R表示氫原子或碳數1~30的有機基團。關於式(ED2)的詳細內容，能夠參閱日本特開2010-168539號公報的記載，該內容援用於本說明書中。

作為醚二聚物的具體例，例如能夠參閱日本特開2013-029760號公報的0317段，該內容援用於本說明書中。

本發明中所使用之樹脂包含來自於由下述式(X)表示之化合物之重複單元亦為較佳。

式(X)中，R₁表示氫原子或甲基，R₂表示碳數2~10的伸烷基，R₃表示氫原子或可以包含苯環之碳數1~20的烷基。n表示1~15的整數。

作為具有酸基及/或聚合性基之樹脂，例如可舉出下述結構的樹脂等。以下的結構式中，Me表示甲基。

本發明的感光性組成物亦能夠包含作為分散劑的樹脂。分散劑可舉出酸性分散劑(酸性樹脂)、鹼性分散劑(鹼性樹脂)。在此，酸性分散劑(酸性樹脂)表示酸基的量多於鹼性基的量的樹脂。酸性分散劑(酸性樹脂)係將酸基的量與鹼性基的量的合計量設為100莫耳%時酸基的量佔據70莫耳%以上之樹脂為較佳，實質上僅包含酸基之樹脂為更佳。酸性分散劑(酸性樹脂)所具有之酸基係羧基為較佳。酸性分散劑(酸性樹脂)的酸值係40~105mgKOH/g為較佳，50~105mgKOH/g為更佳，60~105mgKOH/g為進一步較佳。又，鹼性分散劑(鹼性樹脂)表示鹼性基的量多於酸基的量的樹脂。鹼性分散劑(鹼性樹脂)係將酸基的量與鹼性基 的量的合計量設為100莫耳%時鹼性基的量超過50莫耳%之樹脂為較佳。鹼性分散劑所具有之鹼性基係胺基為較佳。

用作分散劑之樹脂包含具有酸基之重複單元為較佳。藉由用作分散劑之樹脂包含具有酸基之重複單元，能夠製得顯影性優異之感光性組成物，在藉由光微影法形成像素時，能夠有效地抑制顯影殘渣等的產生。

用作分散劑之樹脂係接枝共聚物亦較佳。接枝共聚物藉由接枝鏈而具有與溶劑的親和性，因此顏料的分散性及經時後的分散穩定性優異。接枝共聚物的詳細內容能夠參閱日本特開2012-255128號公報的0025~0094段的記載，該內容援用於本說明書中。又，作為接枝共聚物的具體例可舉出下述樹脂。以下樹脂亦為具有酸基之樹脂(鹼可溶性樹脂)。又，作為接枝共聚物，可舉出日本特開2012-255128號公報的0072~0094段中所記載之樹脂，該內容援用於本說明書中。

又，本發明中，作為樹脂(分散劑)使用在主鏈及側鏈中的至少一者中包含氮原子之寡聚亞胺系分散劑亦較佳。作為寡聚 亞胺系分散劑，係具有如下結構單元和包含原子數40~10,000的側鏈Y之側鏈，並且在主鏈及側鏈中的至少一者中具有鹼性氮原子之樹脂為較佳，該結構單元含有具有pKa 14以下的官能基之部分結構X。鹼性氮原子只要係呈鹼性之氮原子，則並沒有特別限制。關於寡聚亞胺系分散劑，能夠參閱日本特開2012-255128號公報的0102~0166段的記載，該內容援用於本說明書中。作為寡聚亞胺系分散劑，能夠使用下述結構的樹脂或日本特開2012-255128號公報的0168~0174段中所記載之樹脂。

又，用作分散劑之樹脂係包含在側鏈具有乙烯性不飽和鍵基之重複單元之樹脂亦為較佳。在側鏈具有乙烯性不飽和鍵基之重複單元的含量在樹脂的總重複單元中係10莫耳%以上為較佳，10~80莫耳%為更佳，20~70莫耳%為進一步較佳。

分散劑還能夠作為市售品而獲得，作為這種具體例，可舉出Disperbyk-111、161(BYK Chemie GmbH製)等。又，亦能夠使用日本特開2014-130338號公報的0041~0130段中所記載之顏料分散劑，該內容援用於本說明書中。又，亦能夠將上述具有酸基之樹脂等用作分散劑。

感光性組成物的總固體成分中的樹脂的含量係5~25質量%為較佳。從製膜性的觀點考慮，下限係7質量%以上為較佳，9質量%以上為更佳，11質量%以上為進一步較佳。從液體的適性黏度的觀點考慮，上限係22質量%以下為較佳，19質量%以下為更佳，16質量%以下為進一步較佳。

又，感光性組成物的總固體成分中的具有酸基之樹脂的含量係3~23質量%為較佳。從顯影性的觀點考慮，下限係4質量%以上為較佳，6質量%以上為更佳，8質量%以上為進一步較佳。從膜的耐顯影液性的觀點考慮，上限係21質量%以下為較佳，18質量%以下為更佳，15質量%以下為進一步較佳。

又，從顯影性的觀點考慮，樹脂總量中的具有酸基之樹脂的含量係50質量%以上為較佳，70質量%以上為更佳，80質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%，亦能夠設為95質量%，還能夠設為90質量%以下。

又，感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與樹脂的合計含量係10~40質量%為較佳。從硬化性的觀點考慮，下限係13質量%以上為較佳，16質量%以上為更佳，19質量%以上為進一步較佳。從液體的適性黏度的觀點考慮，上限係37質量%以下為較佳，34質量%以下為更佳，31質量%以下為進一步較佳。又，相對於聚合性單體的100質量份，含有25~400質量份的樹脂為較佳。從兼顧硬化性及顯影性的觀點考慮，下限係50質量份以上為較佳，75質量份以上為更佳。從液體的適性黏度的觀點考慮，上限係300質量份以下為較佳，200質量份以下為更佳。

<<矽烷偶合劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有矽烷偶合劑。依據該態樣，能夠提高所得到之膜的與支撐體的密接性。本發明中，矽烷偶合劑係指具有水解性基和除此以外的官能基之矽烷化合物。又，水解性基 係指與矽原子直接連接且能夠藉由水解反應及縮合反應中的至少任意一種反應產生矽氧烷鍵之取代基。作為水解性基，例如可舉出鹵素原子、烷氧基、醯氧基等，烷氧基為較佳。亦即，矽烷偶合劑係具有烷氧基矽基之化合物為較佳。又，作為除了水解性以外的官能基，例如可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基、巰基、環氧基、氧雜環丁基、胺基、脲基、硫醚基、異氰酸酯基、苯基等，胺基、(甲基)丙烯醯基及環氧基為較佳。作為矽烷偶合劑的具體例，可舉出日本特開2009-288703號公報的0018~0036段中所記載之化合物、日本特開2009-242604號公報的0056~0066段中所記載之化合物，該等內容援用於本說明書中。

感光性組成物的總固體成分中的矽烷偶合劑的含量係0.1~5質量%為較佳。上限係3質量%以下為較佳，2質量%以下為更佳。下限係0.5質量%以上為較佳，1質量%以上為更佳。矽烷偶合劑可以僅為1種，亦可以為2種以上。2種以上的情況下，合計量成為上述範圍為較佳。

<<顏料衍生物>>

本發明的感光性組成物還能夠含有顏料衍生物。作為顏料衍生物，可舉出具有將顏料的一部分經酸基、鹼性基、具有鹽結構之基團或酞醯亞胺甲基取代之結構之化合物。作為顏料衍生物，由式(B1)表示之化合物為較佳。

[化21]

式(B1)中，P表示色素結構，L表示單鍵或連接基，X表示酸基、鹼性基、具有鹽結構之基團或酞醯亞胺甲基，m表示1以上的整數，n表示1以上的整數，當m為2以上時複數個L及X可以互不相同，當n為2以上時複數個X可以互不相同。

作為P所表示之色素結構，選自吡咯并吡咯色素結構、二酮吡咯并吡咯色素結構、喹吖啶酮色素結構、蒽醌色素結構、二蒽醌色素結構、苯并異吲哚色素結構、噻嗪靛藍色素結構、偶氮色素結構、喹酞酮色素結構、酞青色素結構、萘酞青色素結構、二

色素結構、苝色素結構、紫環酮色素結構、苯并咪唑酮色素結構、苯并噻唑色素結構、苯并咪唑色素結構及苯并噁唑色素結構中之至少一種為較佳，選自吡咯并吡咯色素結構、二酮吡咯并吡咯色素結構、喹吖啶酮色素結構及苯并咪唑酮色素結構中之至少一種為更佳。

作為L所表示之連接基，可舉出包含烴基、雜環基、-NR-、-SO₂-、-S-、-O-、-CO-或該等組合之基團。R表示氫原子、烷基或芳基。

作為X所表示之酸基，可舉出羧基、磺酸基、羧酸醯胺基、磺酸醯胺基、醯亞胺酸基等。作為羧酸醯胺基，由-NHCOR^X1表示之基團為較佳。作為磺酸醯胺基，由-NHSO₂R^X2表示之基團為較佳。作為醯亞胺酸基，由-SO₂NHSO₂R^X3、-CONHSO₂R^X4、- CONHCOR^X5或-SO₂NHCOR^X6表示之基團為較佳。R^X1~R^X6分別獨立地表示烴基或雜環基。R^X1~R^X6所表示之烴基及雜環基還可以具有取代基。作為進一步具有之取代基，鹵素原子為較佳，氟原子為更佳。作為X所表示之鹼性基可舉出胺基。作為X所表示之鹽結構，可舉出上述酸基或鹼性基的鹽。

作為顏料衍生物，可舉出下述結構的化合物。又，還能夠使用日本特開昭56-118462號公報、日本特開昭63-264674號公報、日本特開平01-217077號公報、日本特開平03-009961號公報、日本特開平03-026767號公報、日本特開平03-153780號公報、日本特開平03-045662號公報、日本特開平04-285669號公報、日本特開平06-145546號公報、日本特開平06-212088號公報、日本特開平06-240158號公報、日本特開平10-030063號公報、日本特開平10-195326號公報、國際公開WO2011/024896號公報的0086~0098段、國際公開WO2012/102399號公報的0063~0094段、國際公開WO2017/038252號公報的0082段等中所記載之化合物，該內容援用於本說明書中。

顏料衍生物的含量相對於顏料100質量份係1~50質量 份為較佳。下限值係3質量份以上為較佳，5質量份以上為更佳。上限值係40質量份以下為較佳，30質量份以下為更佳。若顏料衍生物的含量在上述範圍，則能夠提高顏料的分散性而有效地抑制顏料的凝集。顏料衍生物可以僅使用1種，亦可以使用2種以上。當使用2種以上時，合計量成為上述範圍為較佳。

<<溶劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有溶劑。作為溶劑，可舉出有機溶劑。溶劑只要滿足各成分的溶解性或組成物的塗佈性，則基本上並沒有特別限制。作為有機溶劑的例子，例如可舉出酯類、醚類、酮類、芳香族烴類等。關於該等詳細內容，能夠參閱國際公開WO2015/166779號公報的0223段，該內容援用於本說明書中。又，亦能夠較佳地使用環狀烷基經取代之酯系溶劑、環狀烷基經取代之酮系溶劑。作為有機溶劑的具體例，可舉出聚乙二醇單甲基醚、二氯甲烷、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙酸環己酯、環戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇單甲醚及丙二醇單甲醚乙酸酯等。本發明中，有機溶劑可以單獨使用1種，亦可以組合使用2種以上。又，就提高溶解性之觀點而言，3-甲氧基-N，N-二甲基丙醯胺、3-丁氧基-N，N-二甲基丙醯胺亦較佳。但是，有時出自環境方面等原因，減少作為溶劑之芳香族烴類(苯、甲苯、二甲苯、乙苯等)為佳(例如，相對於有機溶劑總量，能夠設為50質量ppm(百萬分率(parts per million))以下，亦能夠設為10質量ppm以下，亦能夠設為1質量ppm以下)。

本發明中，使用金屬含量少的溶劑為較佳，溶劑的金屬含量例如係10質量ppb(十億分率(parts per billion))以下為較佳。根據需要亦可以使用質量ppt(兆分率(parts per trillion))級別的溶劑，該種高純度溶劑例如由TOYO Gosei Co.,Ltd.提供(化學工業日報，2015年11月13日)。

作為從溶劑中去除金屬等雜質之方法，例如能夠舉出蒸餾(分子蒸餾或薄膜蒸餾等)或使用過濾器之過濾。作為過濾中所使用之過濾器的過濾器孔徑，10μm以下為較佳，5μm以下為更佳，3μm以下為進一步較佳。過濾器的材質係聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龍為較佳。

溶劑可以包含異構物(原子數相同但結構不同之化合物)。又，異構物可以僅包含1種，亦可以包含複數種。

本發明中，有機溶劑中過氧化物的含有率係0.8mmol/L以下為較佳，實質上不包含過氧化物為更佳。

感光性組成物中的溶劑的含量係10~95質量%為較佳，20~90質量%為更佳，30~90質量%為進一步較佳。

又，從環境管制的觀點考慮，本發明的感光性組成物係實質上不包含環境管制物質為較佳。另外，本發明中，實質上不包含環境管制物質係指感光性組成物中的環境管制物質的含量為50質量ppm以下，30質量ppm以下為較佳，10質量ppm以下為更佳， 1質量ppm以下為特佳。環境管制物質例如可舉出苯；甲苯、二甲苯等烷基苯類；氯苯等鹵化苯類等。該等依據REACH(Registration Evaluation Authorization and Restriction of Chemicals，化學品註冊評估授權與限制)規則、PRTR(Pollutant Release and Transfer Register，環境污染物排放與轉移登記制度)法、VOC(Volatile Organic Compounds，揮發性有機化合物)管制等作為環境管制物質而登記，使用量和操作方法被嚴格管制。該等化合物在製造本發明的感光性組成物中所使用之各成分等時有時用作溶劑，有時作為殘留溶劑混入感光性組成物中。從對人的安全性、對環境的配慮的觀點考慮，盡可能減少該等物質為較佳。作為減少環境管制物質之方法，可舉出對體系中進行加熱或減壓來成為環境管制物質的沸點以上並從體系中對環境管制物質進行蒸餾來減少之方法。又，對少量的環境管制物質進行蒸餾之情況下，為了提高效率與具有和該溶劑相等的沸點之溶劑共沸亦是有用的。又，含有具有自由基聚合性之化合物之情況下，為了在減壓蒸餾中抑制進行自由基聚合反應而在分子間進行交聯，亦可以添加聚合抑制劑等而進行減壓蒸餾。該等蒸餾方法能夠在原料的階段、使原料進行反應之產生物(例如聚合之後的樹脂溶液或多官能單體溶液)的階段或混合該等化合物來製作之組成物的階段中的任一階段種進行。

<<聚合抑制劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有聚合抑制劑。作為聚合抑制 劑，可舉出氫醌、對甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、鄰苯三酚、第三丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥基胺鹽(銨鹽、亞鈰鹽等)。其中，對甲氧基苯酚為較佳。感光性組成物的總固體成分中的聚合抑制劑的含量係0.001~5質量%為較佳。

<<界面活性劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有界面活性劑。作為界面活性劑，能夠使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽系界面活性劑等各種界面活性劑。關於界面活性劑能夠參閱國際公開WO2015/166779號公報的0238~0245段，該內容援用於本說明書中。

本發明中，界面活性劑係氟系界面活性劑為較佳。藉由在感光性組成物中含有氟系界面活性劑，液特性(尤其，流動性)得到進一步提高，能夠進一步提高省液性。又，還能夠形成厚度不均勻少的膜。

氟系界面活性劑中的氟含有率係3~40質量%為較佳，更佳為5~30質量%，特佳為7~25質量%。氟含有率在該範圍內之氟系界面活性劑在塗佈膜的厚度的均勻性或省液性的觀點上有效，在組成物中之溶解性亦良好。

作為氟系界面活性劑，可舉出日本特開2014-041318號公報的0060~0064段(對應之國際公開2014/017669號公報的0060~0064段)等中所記載之界面活性劑、日本特開2011-132503 號公報的0117~0132段中所記載之界面活性劑，該等內容援用於本說明書中。作為氟系界面活性劑的市售品，例如可舉出MEGAFACE F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780、EXP、MFS-330(以上，DIC Corporation製)、Fluorad FC430、FC431、FC171(以上，Sumitomo 3M Limited製)、Surflon S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC-1068、SC-381、SC-383、S-393、KH-40(以上，AGC Inc.製)、PolyFox PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上，OMNOVA SOLUTIONS INC.製)等。

又，氟系界面活性劑亦能夠適宜使用丙烯酸系化合物，該丙烯酸系化合物為具有含有氟原子之官能基之分子結構且施加熱時含有氟原子之官能基部分被切斷而氟原子揮發。作為該種氟系界面活性劑，可舉出DIC Corporation製造之MEGAFACE DS系列(化學工業日報，2016年2月22日)(日經產業新聞，2016年2月23日)，例如MEGAFACE DS-21。

又，氟系界面活性劑使用具有氟化烷基或氟化伸烷基醚基之含氟原子之乙烯基醚化合物及親水性乙烯基醚化合物的聚合物亦較佳。關於該種氟系界面活性劑，能夠參閱本日本特開2016-216602號公報的記載，該內容援用於本說明書中。

氟系界面活性劑亦能夠使用嵌段聚合物。例如可舉出日本特開2011-089090號公報中所記載之化合物。氟系界面活性劑亦能夠較佳地使用含氟高分子化合物，該含氟高分子化合物包含來 源於具有氟原子之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元和來源於具有2個以上(較佳為5個以上)伸烷氧基(較佳為伸乙氧基、伸丙氧基)之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元。下述化合物亦可以作為本發明中所使用之氟系界面活性劑而進行例示。

上述化合物的重量平均分子量較佳為3,000~50,000，例如為14,000。上述化合物中，表示重複單元的比例之%為莫耳%。

又，氟系界面活性劑亦能夠使用在側鏈上具有乙烯性不飽和鍵基之含氟聚合物。作為具體例，可舉出日本特開2010-164965號公報的0050~0090段及0289~0295段中所記載之化合物，例如DIC Corporation製造之MEGAFACE RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K等。氟系界面活性劑亦能夠使用日本特開2015-117327號公報的0015~0158段中所記載之化合物。

作為非離子系界面活性劑，可舉出甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷及該等的乙氧基化物及丙氧基化物(例如，甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂 肪酸酯、Pluronic L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF公司製)、Tetronic 304、701、704、901、904、150R1(BASF公司製)、Solsperse 20000(Lubrizol Japan Limited.製)、NCW-101、NCW-1001、NCW-1002(FUJIFILM Wako Pure Chemical Corporation製)、PIONIN D-6112、D-6112-W、D-6315(Takemoto Oil & Fat Co.,Ltd.製)、Olfine E1010、Surfynol 104、400、440(Nissin Chemical Co.,Ltd.製)等。

作為矽系界面活性劑，例如可舉出Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(以上，Dow Corning Toray Co.,Ltd.製)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上，Momentive Performance Materials Inc.製)、KP-341、KF-6001、KF-6002(以上，Shin-Etsu Chemical Co.,LTD.製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上，BYK-Chemie Corporation製)等。又，矽系界面活性劑亦能夠使用下述結構的化合物。

感光性組成物的總固體成分中的界面活性劑的含量係0.001質量%~5.0質量%為較佳，0.005~3.0質量%為更佳。界面活性劑可以僅為1種，亦可以為2種以上。2種以上的情況下，合 計量成為上述範圍為較佳。

<<紫外線吸收劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有紫外線吸收劑。紫外線吸收劑能夠使用共軛二烯化合物、胺基二烯化合物、水楊酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、羥基苯基三

化合物、吲哚化合物、三

化合物等。關於該等詳細內容，能夠參閱日本特開2012-208374號公報的0052~0072段、日本特開2013-068814號公報的0317~0334段、日本特開2016-162946號公報的0061~0080段的記載，該等內容援用於本說明書中。作為紫外線吸收劑的具體例，可舉出下述結構的化合物等。作為紫外線吸收劑的市售品，例如可舉出UV-503(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.製)等。又，作為苯并三唑化合物，可舉出MIYOSHI OIL & FAT CO.,LTD.製MYUA系列(化學工業日報、2016年2月1日)。

感光性組成物的總固體成分中的紫外線吸收劑的含量係0.01~10質量%為較佳，0.01~5質量%為更佳。本發明中，紫外線吸收劑可以僅使用1種，亦可以使用2種以上。當使用2種以 上時，合計量成為上述範圍為較佳。

<<抗氧化劑>>

本發明的感光性組成物能夠含有抗氧化劑。作為抗氧化劑，可舉出酚化合物、亞磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作為酚化合物，能夠使用作為酚系抗氧化劑而已知之任意的酚化合物。作為較佳的酚化合物，可舉出受阻酚化合物。在與酚性羥基相鄰之部位(鄰位)具有取代基之化合物為較佳。作為前述取代基，碳數1~22的經取代或未經取代之烷基為較佳。又，抗氧化劑係在同一分子內具有酚基和亞磷酸酯基之化合物亦較佳。又，抗氧化劑亦能夠適宜使用磷系抗氧化劑。作為磷系抗氧化劑，可舉出三[2-[[2,4,8,10-四(1,1-二甲基乙基)二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷雜庚英(dioxaphosphepin)-6-基]氧基]乙基]胺、三[2-[(4,6,9,11-四-第三丁基二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷雜庚英-2-基)氧基]乙基]胺、雙(2,4-二-第三丁基-6-甲基苯酚)亞磷酸乙酯等。作為抗氧化劑的市售品，例如可以舉出ADKSTAB AO-20、ADKSTAB AO-30、ADKSTAB AO-40、ADKSTAB AO-50、ADKSTAB AO-50F、ADKSTAB AO-60、ADKSTAB AO-60G、ADKSTAB AO-80、ADKSTAB AO-330(以上，ADEKA CORPORATION製)等。

感光性組成物的總固體成分中的抗氧化劑的含量係0.01~20質量%為較佳，0.3~15質量%為更佳。抗氧化劑可以僅使用1種，亦可以使用2種以上。當使用2種以上時，合計量成為上述範圍為較佳。

<<其他成分>>

依據需要，本發明的感光性組成物可以含有增感劑、硬化促進劑、填料、熱硬化促進劑、可塑劑及其他助劑類(例如，導電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、調平劑、剝離促進劑、香料、表面張力調節劑、鏈轉移劑等)。藉由適當含有該等成分，能夠調整膜物性等性質。該等成分例如能夠參閱日本特開2012-003225號公報的0183段以後(對應之美國專利申請公開第2013/0034812號說明書的0237段)的記載、日本特開2008-250074號公報的0101~0104段、0107~0109段等的記載，該等內容援用於本說明書中。又，依據需要，本發明的感光性組成物亦可以含有潛在抗氧化劑。作為潛在抗氧化劑，可舉出作為抗氧化劑發揮功能之部位被保護基保護之化合物且在100~250℃下進行加熱或在酸/鹼觸媒存在下在80~200℃下進行加熱來脫離保護基作為抗氧化劑發揮功能之化合物。作為潛在抗氧化劑，可舉出國際公開WO2014/021023號公報、國際公開WO2017/030005號公報、日本特開2017-008219號公報中所記載之化合物。作為市售品，可舉出ADEKA ARKLSGPA-5001(ADEKA CORPORATION製)等。

例如，在藉由塗佈形成膜之情況下，本發明的感光性組成物的黏度(23℃)係1~100mPa．s為較佳。下限係2mPa‧s以上為更佳，3mPa‧s以上為進一步較佳。上限係50mPa‧s以下為更佳，30mPa‧s以下為進一步較佳，15mPa‧s以下為特佳。

<容納容器>

作為本發明的感光性組成物的容納容器，並無特別限定，能夠使用公知的容納容器。又，作為容納容器，以抑制雜質混入原材料或組成物中為目的，使用由6種6層的樹脂構造容器內壁之多層瓶或將6種樹脂設為7層結構之瓶亦較佳。作為該等容器，例如可列舉日本特開2015-123351號公報中所記載之容器。

<感光性組成物的製備方法>

本發明的感光性組成物能夠混合前述成分來製備。製備感光性組成物時，可以將總成分同時溶解或分散於溶劑中而製備感光性組成物，亦可以依據需要預先製備適當摻合各成分之2種以上的溶液或分散液之後，使用時(塗佈時)混合該等作為感光性組成物而製備。

又，在本發明的感光性組成物包含顏料等的粒子之情況下，包含使粒子分散之製程為較佳。在使粒子分散之製程中，作為用於粒子的分散之機械力，可舉出壓縮、壓榨、衝擊、剪斷、氣蝕等。作為該等製程的具體例，可舉出珠磨、砂磨、輥磨、球磨、塗料攪拌器、微射流、高速葉輪、混砂、噴射流混合、高壓濕式微粒化、超聲波分散等。又，在砂磨(珠磨)中的粒子的粉碎中，以如下條件處理為較佳：藉由使用直徑較小之微珠，且提高微珠的填充率等來提高粉碎效率。又，在粉碎處理之後藉由過濾、離心分離等來去除粗粒子為較佳。又，關於使粒子分散之製程及分散機，能夠較佳地使用“分散技術大全、JOHOKIKO CO.,LTD.發行，2005年7月15日”或“圍繞懸浮液(固體/液體分散體系)之分散技術與工 業上的實際應用綜合資料集，經營開發中心出版部發行，1978年10月10日”、日本特開2015-157893號公報的0022段中所記載的製程及分散機。又，分散粒子之製程中，鹽磨步驟中亦可以進行粒子的微細化處理。關於鹽磨步驟中所使用之原材料、設備、處理條件等，例如能夠參閱日本特開2015-194521號公報、日本特開2012-046629號公報的記載。

製備本發明的感光性組成物時，以去除異物或降低缺陷等為目的，利用過濾器過濾感光性組成物為較佳。作為過濾器，只要係從以往用於過濾用途等之過濾器，則能夠無特別限制地使用。例如，可舉出使用了聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍(例如尼龍-6、尼龍-6,6)等聚醯胺系樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯烴樹脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烴樹脂)等原材料之過濾器。在該等原材料中，聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龍為較佳。過濾器的孔徑適合為0.01~7.0μm左右，較佳為0.01~3.0μm左右，進而較佳為0.05~0.5μm左右。若過濾器的孔徑在上述範圍，則能夠確實地去除微細的異物。又，使用纖維狀過濾材料亦較佳。作為纖維狀過濾材料，例如可舉出聚丙烯纖維、尼龍纖維、玻璃纖維等。具體而言，可舉出ROKI TECHNO CO.,LTD.製SBP型系列(SBP008等)、TPR型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX型系列(SHPX003等)的濾芯。當使用過濾器時，可以組合不同的過濾器(例如，第1過濾器和第2過濾器等)。此時，各過濾器中的過濾可以僅為1次，亦可以進行2次以上。又，在上述之範圍內亦可以組合不同之孔 徑的過濾器。又，第1過濾器中的過濾僅對分散液進行，混合其他成分之後，亦可以由第2過濾器進行過濾。

<濾光器之製造方法>

接著，對使用了本發明的感光性組成物之濾光器之製造方法進行說明。作為濾光器的種類，可舉出濾色器、紅外線透射濾波器等。

本發明中的濾光器之製造方法包括如下步驟為較佳，亦即在支撐體上適用上述之本發明的感光性組成物來形成感光性組成物層之步驟(感光性組成物層形成步驟)、對感光性組成物層照射波長300nm以下的光來曝光成圖案狀之步驟(曝光步驟)及顯影去除未曝光部的感光性組成物層來形成像素之步驟(顯影步驟)。以下對各步驟進行說明。

(感光性組成物層形成步驟)

感光性組成物層形成步驟中，在支撐體上適用上述之本發明的感光性組成物來形成感光性組成物層。作為支撐體，例如可舉出由矽、無鹼玻璃、鈉玻璃、PYREX(註冊商標)玻璃、石英玻璃等材質構成之基板。又，使用InGaAs基板等為較佳。又，支撐體上可以形成有電荷耦合元件(CCD)、互補金屬氧化物半導體(CMOS)、透明導電膜等。又，有時亦在支撐體形成有隔離各像素之黑矩陣。又，支撐體上根據需要可以為了改善與上部的層之密合性、防止物質的擴散或基板表面的平坦化而設置底塗層。

作為對支撐體適用感光性組成物的方法，能夠使用公知 的方法。例如，可舉出滴加法(滴鑄)；狹縫塗佈法；噴霧法；輥塗法；旋轉塗佈法(旋塗法)；流延塗佈法；狹縫旋塗法；預濕法(例如，日本特開2009-145395號公報中所記載之方法)；噴墨(例如按需方式、壓電方式、熱方式)、噴嘴噴射等噴出系印刷、柔版印刷、網版印刷、凹版印刷、逆轉偏移印刷、金屬遮罩印刷法等各種印刷法；使用模具等之轉印法；奈米壓印法等。作為基於噴墨之適用方法並沒有特別限定，例如可舉出《可推廣、使用之噴墨-專利中出現之無限可能性-、2005年2月發行、Sumitbe Techon Research Co.,Ltd.》所示之方法(尤其第115~133頁)或日本特開2003-262716號公報、日本特開2003-185831號公報、日本特開2003-261827號公報、日本特開2012-126830號公報、日本特開2006-169325號公報等中所記載之方法。又，關於感光性組成物的適用方法，亦能夠使用國際公開WO2017/030174號公報、國際公開WO2017/018419號公報中所記載之方法，該等內容援用於本說明中。

在支撐體適用感光性組成物之後，還可以進行乾燥(預烘烤)。當進行預烘烤時，預烘烤溫度係150℃以下為較佳，120℃以下為更佳，110℃以下為進一步較佳。下限例如能夠設為50℃以上，亦能夠設為80℃以上。預烘烤時間係10~3000秒鐘為較佳，40~2500秒鐘為更佳，80~2200秒鐘為進一步較佳。乾燥能夠藉由加熱板、烘箱等來進行。

(曝光步驟)

接著，對如上述形成之支撐體上的感光性組成物層照射波長 300nm以下的光來曝光成圖案狀。經由具有預定的遮罩圖案之遮罩，對感光性組成物層進行曝光，藉此能夠將感光性組成物層曝光成圖案狀。藉此，能夠硬化感光性組成物層的曝光部分。

曝光時所使用之光可以為波長300nm以下的光，波長270nm以下的光為較佳，波長250nm以下的光為更佳。又，前述的光係波長180nm以上的光為較佳。具體而言，可舉出KrF射線(波長248nm)、ArF射線(波長193nm)等，從難以切斷感光性組成物中所包含之色材等的鍵結等的理由考慮，KrF射線(波長248nm)為較佳。又，使用KrF射線掃描曝光機進行曝光為較佳。依據該態樣，曝光的對準精度良好，容易形成微細的像素。作為光源，可舉出準分子雷射光源、遠紫外線燈等，從能夠以高強度的光瞬間曝光且有利於硬化性之理由考慮，準分子雷射光源為較佳。

又，曝光時，亦可以連續照射波長300nm以下的光來進行曝光，亦可以脈衝照射來進行曝光(脈衝曝光)，但是從容易得到更優異之硬化性之理由考慮，脈衝照射來進行曝光(脈衝曝光)為較佳。另外，脈衝曝光係指在短時間(例如，毫秒等級以下)的週期內反覆光的照射與暫停來曝光之方式的曝光方法。脈衝曝光的情況下，從容易瞬間大量地產生自由基等活性種之理由考慮，脈衝寬度係100奈秒(ns)以下為較佳，50奈秒以下為更佳，30奈秒以下為進一步較佳。脈衝寬度的下限並無特別限定，但是能夠設為1飛秒(fs)以上，亦能夠設為10飛秒以上。從容易促進基於曝光熱之熱聚合的理由考慮，頻率係1kHz以上為較佳，2kHz以 上為更佳，4kHz以上為進一步較佳。從容易抑制基於曝光熱之基板等的變形之理由考慮，頻率的上限係50kHz以下為較佳，20kHz以下為更佳，10kHz以下為進一步較佳。從硬化性的觀點考慮，最大瞬間照度係50000000W/m²以上為較佳，100000000W/m²以上為更佳，200000000W/m²以上為進一步較佳。又，從抑制高照度失效的觀點考慮，最大瞬間照度的上限係1000000000W/m²以下為較佳，800000000W/m²以下為更佳，500000000W/m²以下為進一步較佳。另外，脈衝寬度係指脈衝週期中的照射光之時間。又，頻率係指每1秒的脈衝週期的次數。又，最大瞬間照度係指脈衝週期中的照射光之時間內的平均照度。又，脈衝週期係指脈衝曝光中的光的照射及暫停設為1週期之週期。

曝光量例如係1~2000mJ/cm²為較佳。上限係1000mJ/cm²以下為較佳，500mJ/cm²以下為更佳。下限係5mJ/cm²以上為較佳，10mJ/cm²以上為更佳，20mJ/cm²以上為進一步較佳。又，脈衝曝光的情況下，15~300mJ/cm²為較佳。上限係250mJ/cm²以下為較佳，150mJ/cm²以下為更佳。下限係25mJ/cm²以上為較佳，35mJ/cm²以上為更佳，45mJ/cm²以上為進一步較佳。

關於曝光時的氧濃度，能夠適當選擇，除了在大氣下進行曝光以外，例如可以在氧濃度為19體積%以下的低氧環境下(例如，15體積%、5體積%、實質上無氧)進行曝光，亦可以在氧濃度超過21體積%之高氧環境下(例如，22體積%、30體積%、50體積%)進行曝光。

(顯影步驟)

接著，顯影去除曝光步驟後的感光性組成物層中的未曝光部的感光性組成物層來形成像素(圖案)。去除顯影未曝光部的感光性組成物層能夠使用顯影液來進行。藉此，未曝光部的感光性組成物層溶出於顯影液，在支撐體上僅殘留在上述曝光步驟中進行光硬化之部分。顯影液的溫度例如係20~30℃為較佳。顯影時間係20~180秒鐘為較佳。又，為了提高殘渣去除性，可以重複複數次每隔60秒鐘甩掉顯影液，進而供給新的顯影液之步驟。

顯影液係藉由純水稀釋鹼劑之鹼性水溶液為較佳。作為鹼劑，例如可舉出氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺、二乙醇胺、羥基胺、乙二胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化乙基三甲基銨、氫氧化苄基三甲基銨、氫氧化二甲基雙(2-羥基乙基)銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二吖雙環[5.4.0]-7-十一烯等有機鹼性化合物或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等無機鹼性化合物。鹼劑在環境方面及安全方面而言，分子量較大的化合物為較佳。鹼性水溶液的鹼劑的濃度係0.001~10質量%為較佳，0.01~1質量%為更佳。又，顯影液亦還可以含有進而界面活性劑。作為界面活性劑，可舉出上述之界面活性劑，非離子系界面活性劑為較佳。從方便移送或保管等觀點而言，顯影液可以暫時製造成濃縮液，並在使用時稀釋成所需要之濃度。稀釋倍率並沒有特別限定，例如能夠設定為1.5~100倍的範圍。另外，將鹼性水溶液用作顯 影液之情況下，顯影後藉由純水進行清洗(沖洗)為較佳。

顯影後，還能夠在實施乾燥之後進行追加曝光處理、加熱處理(後烘烤)。追加曝光處理、後烘烤為用於使膜完全硬化之顯影後的處理。在進行追加曝光處理之情況下，作為曝光中所使用之光，g射線、h射線、i射線等為較佳，i射線為更佳。又，可以為將複數種該等組合而得到之光。

作為所形成之像素(圖案)的膜厚，依據像素的種類適當選擇為較佳。例如，2.0μm以下為較佳，1.0μm以下為更佳，0.3~1.0μm為進一步較佳。上限係0.8μm以下為較佳，0.6μm以下為更佳。下限值係0.4μm以上為較佳。

又，作為所形成之像素(圖案)的尺寸(線寬)，依據用途或像素的種類適當選擇為較佳。例如，2.0μm以下為較佳。上限係1.0μm以下為較佳，0.9μm以下為更佳。下限值係0.4μm以上為較佳。

製造具有複數個種類的像素之濾光器之情況下，經過上述之步驟形成至少1種類的像素即可，經過上述之步驟形成初始所形成之像素(第1種類的像素)為較佳。關於第2個以後所形成之像素(第2種類以後的像素)亦可以經過與上述相同的步驟形成，亦可以藉由超過波長300nm之光(例如i射線等)進行曝光來形成像素。

[實施例]

以下，列舉實施例對本發明進行進一步詳細說明。以下的 實施例中所示出之材料、使用量、比例、處理內容、處理步驟等於不脫離本發明的宗旨之範圍內，能夠適當進行變更。因此，本發明的範圍並不限定於以下所示之具體例。

<樹脂的重量平均分子量(Mw)的測量>

藉由凝膠滲透色譜法(GPC)在以下的條件下測量了樹脂的重量平均分子量。

管柱的種類：連接TOSOH TSKgel Super HZM-H、TOSOH TSKgel Super HZ4000及TOSOH TSKgel Super HZ2000之管柱

展開溶劑：四氫呋喃

管柱溫度：40℃

流量(樣品注入量)：1.0μL(樣品濃度：0.1質量%)

裝置名：TOSOH CORPORATION製HLC-8220GPC

檢測器：RI(折射率)檢測器

校準曲線基礎樹脂：聚苯乙烯樹脂

<感光性組成物的製備>

混合了下述表中所記載的原料之後，藉由孔徑0.45μm的尼龍製過濾器(NIHON PALL LTD.製)進行過濾，從而製備了固體成分濃度20質量%的感光性組成物(組成物1~25)。另外，感光性組成物的固體成分濃度藉由改變丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)的摻合量來調整。

上述表中所記載的原料如以下。

(顏料分散液)

A1：藉由以下的方法製備之顏料分散液

在混合了C.I.Pigment Green 58的9質量份、C.I.Pigment Yellow 185的6質量份、顏料衍生物Y1的2.5質量份、分散劑D1的5質量份及丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)的77.5質量份之混合液中，添加直徑為0.3mm的氧化鋯微珠230質量份，利用塗料攪拌器進行3小時的分散處理，並藉由過濾分離微珠而製備了顏料分散液A1。該顏料分散液A1的固體成分濃度係22.5質量%，顏料含量係15質量%。

顏料衍生物Y1：下述結構的化合物。

分散劑D1：下述結構的樹脂(Mw=24000，在主鏈上標記之數值為莫耳比，在側鏈上標記之數值為重複單元的數量。)

A7：藉由以下的方法製備之顏料分散液

在混合了C.I.Pigment Blue 15：6的12質量份、日本特開2015-041058號公報的0292段中所記載之V染料1的3質量份、顏料衍生物Y1的2.7質量份、分散劑D1的4.8質量份及PGMEA的77.5質量份之混合液，添加直徑為0.3mm的氧化鋯微珠230質量份，利用油漆攪拌器進行3小時的分散處理，並藉由過濾分離微珠而製備了顏料分散液A7。該顏料分散液A7的固體成分濃度係22.5質量%，色材含量(顏料與染料的合計量)係15質量%。

(樹脂)

B1：下述結構的樹脂(在主鏈上標記之數值為莫耳比。Mw=10,000、酸值=70mgKOH/g、C=C值=1.4mmol/g)

B2：下述結構的樹脂(在主鏈上標記之數值為莫耳比。Mw=40,000、酸值=95mgKOH/g、C=C值=6.8mmol/g)

(聚合性單體)

M1：OGSOL EA-0300(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.製、具有茀骨架之(甲基)丙烯酸酯單體、C=C值=2.1mmol/g)

M2：下述結構的化合物(C=C值=10.4mmol/g)

M3：OGSOL EA-0200(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.製、具有茀骨架之(甲基)丙烯酸酯單體、C=C值=3.55mmol/g)

M4：下述結構的化合物(C=C值=6.24mmol/g)

(光聚合起始劑)

I1~I5：下述結構的化合物

(界面活性劑)

W1：下述化合物

W2：下述結構的化合物(Mw=14000、表示重複單元的比例之%的數值為莫耳%)

(添加材料)

T1：EHPE3150(Daicel Corporation製、環氧樹脂)

T2：下述結構的化合物(矽烷偶合劑)

[硬化性的評價]

(試驗例1~25)

後烘烤CT-4000L(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製)之後使用旋塗機以厚度成為0.1μm的方式將其塗佈於玻璃基板上，使用加熱板在220℃下加熱300秒鐘形成底塗層，從而得到了附底塗層的玻璃基板(支撐體)。接著，以後烘烤後的膜厚成為下述表中所記載的膜厚的方式藉由旋塗法塗佈了各感光性組成物(組成物1~25)。接著，使用加熱板在100℃下後烘烤了2分鐘。接著，使用KrF掃描曝光機，經由具有以像素(圖案)尺寸為1μm四方來形成之拜耳圖案之遮罩以200mJ/cm²的曝光量藉由KrF射線進行了脈衝曝光(最大瞬間照度：250000000W/m²(平均照度：30,000W/m²)、脈衝寬度：30奈秒、頻率：4kHz)。接著，使用氫氧化四甲銨(TMAH)0.3質量%水溶液，在23℃下進行了60秒鐘的旋覆浸沒顯影。之後，藉由旋轉噴淋進行沖洗，進而藉由純水進行了水洗。接著，使用加熱板在200℃下加熱5分鐘，藉此形成了像素(圖案)。

(試驗例R1)

後烘烤CT-4000L(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製)之後使用旋塗機以厚度成為0.1μm的方式將其塗佈於玻璃基板上，使用加熱板在220℃下加熱300秒鐘形成底塗層，從而得到了附底塗層的玻璃基板(支撐體)。接著，以後烘烤後的膜厚成為下述表中所記載的膜厚的方式藉由旋塗法塗佈了組成物3的感光性組成物。接著，使用加熱板在100℃下後烘烤了2分鐘。接著，使用i 射線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Co.,Ltd.製)，經由具有以像素(圖案)尺寸為1μm四方來形成之拜耳圖案之遮罩以200mJ/cm²的曝光量藉由i射線進行了曝光。接著，使用氫氧化四甲銨(TMAH)0.3質量%水溶液，在23℃下進行了60秒鐘的旋覆浸沒顯影。之後，藉由旋轉噴淋進行沖洗，進而藉由純水進行了水洗。接著，使用加熱板在200℃下加熱5分鐘，藉此形成了像素(圖案)。

(評價方法)

將所得到之膜浸漬於25℃的丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)5分鐘。觀察浸漬於PGMEA之前和浸漬於PGMEA之後的膜的波長665nm的吸光度的變化度，由以下的基準評價了硬化性。

吸光度的變化度=|浸漬於PGMEA前的膜的波長665nm的吸光度-浸漬於PGMEA之後的膜的波長665nm的吸光度|

A：吸光度的變化度小於0.01。

B：吸光度的變化度為0.01以上且小於0.05。

C：吸光度的變化度為0.05以上且小於0.1。

D：吸光度的變化度為0.1以上。

[殘渣的評價]

(試驗例1~25)

後烘烤CT-4000L(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製)之後使用旋塗機以厚度成為0.1μm的方式將其塗佈於8英吋(20.32cm)矽晶圓上，使用加熱板在220℃下加熱300秒鐘形成 底塗層，從而得到了附底塗層的矽晶圓(支撐體)。接著，以後烘烤後的膜厚成為下述表中所記載的膜厚的方式藉由旋塗法塗佈了各感光性組成物(組成物1~25)。接著，使用加熱板在100℃下後烘烤了2分鐘。接著，使用KrF掃描曝光機，經由具有以像素(圖案)尺寸為1μm四方來形成之拜耳圖案之遮罩照射光並在上述之條件下進行了脈衝曝光。接著，使用氫氧化四甲銨(TMAH)0.3質量%水溶液，在23℃下進行了60秒鐘的旋覆浸沒顯影。之後，藉由旋轉噴淋進行沖洗，進而藉由純水進行了水洗。接著，使用加熱板在200℃下加熱5分鐘，藉此形成了像素(圖案)。

(評價方法)

關於所得到之像素，使用高解像力FEB(Field Emission Beam)測長裝置(HITACHI CD-SEM)S9380II(Hitachi High-Technologies Corporation製)，觀察了非圖像部(像素間)的殘渣。

A：完全看不到殘渣。

B：在非圖像部的超過0%且小於5%的區域看得到殘渣。

C：在非圖像部的5%以上且小於10%的區域看得到殘渣。

D：在非圖像部的10%以上的區域看得到殘渣。

[最小密接線寬的評價]

各試驗例中，使用了具有以像素圖案為0.7μm四方、0.8μm四方、0.9μm四方、1.0μm四方、1.1μm四方、1.2μm四方、1.3μm四方、1.4μm四方、1.5μm四方、1.7μm四方、2.0μm四方、3.0μm四方、5.0μm四方、10.0μm四方來形成之拜耳圖案之遮 罩，除此以外，藉由與殘渣的評價相同的方法評價了像素(圖案)。使用高解像力FEB測長裝置(HITACHI CD-SEM)S9380II(Hitachi High-Technologies Corporation製)，觀察0.7μm四方、0.8μm四方、0.9μm四方、1.0μm四方、1.1μm四方、1.2μm四方、1.3μm四方、1.4μm四方、1.5μm四方、1.7μm四方、2.0μm四方、3.0μm四方、5.0μm四方、10.0μm四方的圖案，將形成有未剝離的圖案之最小的圖案尺寸設為最小密接線寬。

如上述表所述，利用波長300nm以下的光曝光組成物1~25的組成物來製造膜，藉此即使感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計量較少但是硬化性優異(試驗例1~25)。

相對於此，以i射線(超過波長300nm之光)曝光之試驗例 R1的硬化性不充分。

Claims (17)

1. 一種感光性組成物，其為用於利用波長300nm以下的光進行曝光之感光性組成物且包含色材及聚合性單體，在該感光性組成物的總固體成分中的聚合性單體與光聚合起始劑的合計的含量為15質量%以下，該聚合性單體包括C=C值為6mmol/g以上的具有乙烯性不飽和鍵基之化合物。
2. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其中聚合性單體與光聚合起始劑的合計量中的聚合性單體的含量為50質量%以上。
3. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其中聚合性單體與光聚合起始劑的合計量中的聚合性單體的含量為70質量%以上且90質量%以下。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該感光性組成物的總固體成分中的該聚合性單體的含量為13質量%以下。
5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該感光性組成物的總固體成分中的該光聚合起始劑的含量為5質量%以下。
6. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光 性組成物，其中該光聚合起始劑的含量相對於該色材100質量份為5質量份以下。
7. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該光聚合起始劑的含量相對於該色材100質量份為1質量份以上且5質量份以下。
8. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該感光性組成物的總固體成分中的該色材的含量為50質量%以上。
9. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該聚合性單體為2官能以上的聚合性單體。
10. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該聚合性單體包含具有茀骨架之聚合性單體。
11. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該色材包含彩色著色劑。
12. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其還含有矽烷偶合劑。
13. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其為脈衝曝光用感光性組成物。
14. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其為固體攝像元件用感光性組成物。
15. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其為濾色器用感光性組成物。
16. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該感光性組成物更包括樹脂，該樹脂包括C=C值為0.6~2.8mmol/g的具有乙烯性不飽和鍵基之樹脂，該感光性組成物的總固體成分中的該聚合性單體與該光聚合起始劑的合計含量為10質量%以下，該感光性組成物的總固體成分中的該色材的含量為50質量%以上，該感光性組成物的總固體成分中的該樹脂的含量為5~25質量%。
17. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之感光性組成物，其中該感光性組成物為用於在支撐體上適用感光性組成物來形成感光性組成物層，對該感光性組成物層照射波長300nm以下的光來曝光成圖案狀，並顯影去除未曝光部的該感光性組成物層來形 成像素的感光性組成物。