TWI769521B - 在流體處置系統中之靜電放電緩和總成及流體迴路 - Google Patents

在流體處置系統中之靜電放電緩和總成及流體迴路 Download PDF

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Abstract

本發明提供靜電放電(ESD)緩和裝置。在一或多項實施例中，該靜電放電(ESD)緩和裝置係用以連接一流體迴路中之兩個或更多個導電管段之一管道連接器，該管道連接器包含一導電連接器本體與兩個或更多個附接部分、兩個或更多個附接配件，且一導電支架經組態以與該連接器本體附接及介接以將該連接器本體電連接至接地。

Description

在流體處置系統中之靜電放電緩和總成及流體迴路
本發明之實施例係關於可用於(例如)流體處置系統中之靜電放電(ESD)緩和組態，且更明確言之，係關於可經併入至此類流體處置系統中之一導電支架。
靜電放電(ESD)係半導體產業及其他技術應用中之流體處置系統之一重要技術問題。流體與流體系統中之各種操作組件(例如，管道或管路、閥、配件、過濾器等)之表面之間之摩擦接觸可導致靜態電荷產生及積聚。電荷產生之程度取決於各種因素，包含(但不限於)組件及流體之性質、流體速度、流體粘度、流體之導電性、接地通路、液體中之湍流及剪切、流體中氣體之存在及表面積。此外，隨著流體流動通過系統，電荷可在稱為一流動電荷(streaming charge)之一現象中被帶到下游，在下游電荷之積聚程度可能會超出電荷產生之地方。充分之電荷累積可導致管道或管路壁、組件表面處發生一靜電放電，或甚至會在各個程序步驟處靜電放電至基板或晶圓上。
在一些應用中，半導體基板或晶圓對靜態電荷高度敏感，且此ESD可導致基板或晶圓損壞或損毀。舉例而言，可損毀基板上之電路，且光敏化合物可能會由於不可控ESD而在正常曝光之前活化。另外， 積聚之靜態電荷可自流體處置系統內放電至外部環境，從而潛在地損壞流體處置系統中之組件(例如，管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，此會導致系統中之流體洩漏、溢出且使組件效能降低。在此等情況中，當易燃、有毒及/或腐蝕性流體用於受損之流體處置系統中時，此放電可能導致潛在火災或爆炸。
通常，一電氣系統中之薄弱環節係接地之完整性。在一些流體處置系統中，為了減少靜態電荷積聚，將流體處置系統中之某些金屬或導電組件接地以在靜態電荷連續自金屬或導電組件連續分散至接地緩和其在系統中之積聚。目前，由諸如尼龍(Nylon)之一導電組合物組成之一導電紮帶或「束線帶」有時用於將組件連接至接地。此類聚合物紮帶易受蠕變、移動、斷裂、環境效應或敏感性、劣化、磨損等影響，且在實踐中具有諸多缺點。
期望改良ESD緩和且提供用於超純流體處置系統中之一接地裝置，該接地裝置改良組件可靠性、穩定性、效能且減少具有潛在損毀性之ESD事件。
本發明大體上係關於可用於(例如)流體處置系統中之靜電放電(ESD)緩和裝置，且更明確言之，係關於可經併入到此類流體處置系統中之一導電支架。
在一些實施例中，揭示用以連接一流體迴路中之兩個或更多個導電管段之一管道連接器，該管道連接器包含一導電連接器本體與兩個或更多個附接部分、兩個或更多個附接配件，且一導電支架經組態以與該連接器本體附接及介接以將該連接器本體電連接至接地。
在管道連接器之某些實施例中，該導電支架包含夾緊部分，其與該連接器本體介接且選擇性地變緊以將該支架附接至該連接器本體。在管道連接器之其他實施例中，該導電支架包含用於將該支架連接至接地之一接地夾具。在管道連接器之一些實施例中，該夾緊部分之形狀係實質上圓形。在管道連接器之某些實施例中，該夾緊部分之形狀係實質上多邊形。在管道連接器之某些實施例中，該夾緊部分之形狀係實質上六邊形。
在管道連接器之各項實施例中，該管道連接器包含一筆直連接器、一T型連接器或一彎頭連接器。在管道連接器之某些實施例中，該管道連接器係具有用以連接兩個管段之一流體通道之一筆直連接器。在管道連接器之某些實施例中，該管道連接器係具有用以連接兩個管段之一流體通道之一彎頭連接器。在管道連接器之某些實施例中，該管道連接器係具有用以連接三個管段之流體通道之一T型連接器。在管道連接器之某些實施例中，該連接器本體附接部分包含一螺紋區及用以接納管段之一接頭區。在管道連接器之某些實施例中，該附接配件包含用以將管段附接至該管道連接器之該螺紋區及頸部區之螺母。
在管道連接器之一些實施例中，連接器本體係一導電填充聚合物，且更特定言之，係一導電填充含氟聚合物。在管道連接器之某些實施例中，該導電聚合物係經填充有碳纖維、鍍鎳的石墨、碳粉、碳奈米管、金屬顆粒及鋼纖維的全氟烷氧基烷烴聚合物。在管道連接器之某些實施例中，該連接器本體係一碳填充全氟烷氧基烷烴聚合物。在管道連接器之某些實施例中，該管道連接器之各組件係導電附接的。在管道連接器之某些實施例中，該管道連接器包含包括一導電含氟聚合物之一或多個內部 導電條。在某些實施例中，一流體迴路包含連接至管道連接器之至少一個管段，其中一導電支架將來自因流體穿過管段及管道連接器而產生之一電荷之靜電電荷傳送至接地。
本發明進一步描述包含用於具有至少一個入口及至少一個出口之預定流體流動通道之一流體迴路之一實施例，該流體迴路包含至少一個管道連接器，其包含連接至一或多個導電管段之一導電支架。
上述發明內容不希望描述本發明之各繪示之實施例或每個實施方案。
10:總成
100:管道連接器
102:連接器本體
104:附接部分
106:附接部分
107:附接部分
108:螺紋部分
110:螺紋部分
112A:導電支架
112B:導電支架
114:突片
115:支架接地開口
116:支架螺栓
117:夾緊部分
118:支架螺母
119:支架旋轉鎖定突片
120:入口
122:出口
124:附接配件
126:附接配件
128:第三附接螺紋連接器
129:連接驗證環
130:連接驗證環
132:接頭部分
134:接頭部分
136:頸部區
158:中空區段
170:連接器
172:導電連接器本體
174:澆口墊片
176:頸部區
190:連接器
192:導電連接器本體
194:澆口墊片
196:頸部區
198:導電支架
250:流體處置系統
252:流體供應器
256:程序階段
260:流體迴路
264:管段
274:閥/操作組件
276:過濾器/操作組件
278:流感測器/操作組件
本發明中包含之圖繪示本發明之實施例，且與描述一起用於解釋本發明之原理。該圖僅繪示某些實施例且不限制本發明。
圖1A係根據本發明之各項實施例之包含一ESD緩和管道連接器及用於使連接器接地之一導電支架之一總成之一等距視圖。
圖1B係圖1A之總成之一分解圖。
圖2係圖1A及圖1B中所展示之一例示性導電支架之一詳細視圖，其中導電支架之形狀係實質上多邊形。
圖3係一替代導電支架之一詳細視圖，其中導電支架之形狀係實質上圓形。
圖4A及圖4B係根據本發明之實施例之與圖1B之連接器本體接合之圖2之導電支架之更詳細視圖。
圖5A及圖5B展示無導電支架之圖4A及圖4B之連接器本體。
圖6展示根據本發明之實施例之包含與一連接器接合之一 導電支架之另一總成。
圖7展示根據本發明之實施例之包含與一連接器接合之一導電支架之又另一總成。
圖8展示根據各種實施例之一例示性流體處置系統。
本發明之實施例服從各種修改及替代形式，且某些細節已經(例如)在圖中展示且將進行詳細描述。應理解，不希望將本發明限於描述之特定實施例；意圖係涵蓋落於本發明之精神及範疇內之所有修改、等效物及替代物。
應參考其中不同圖中之類似元件經相同編號之圖式來閱讀以下詳細描述。詳細描述及不一定係按比例之圖式描繪繪示性實施例且不希望限制本發明之範疇。描繪之繪示性實施例僅意欲係例示性的。任一繪示性實施例之所選擇特徵可經併入至一額外實施例中，除非另外明確規定。
如此說明書及所附發明申請專利範圍中使用，單數形式「一(a/an)」及“該」包含複數參照物，除非內容另外明確指示。如此說明書及所附發明申請專利範圍中使用，術語「或」以其包含「及/或」的意義來使用，除非內容另外明確指示。
術語「約」大體上係指被認為係等於所述值(例如，具有同一函數或結果)之一數字範圍。在諸多例項中，術語「約」可包含四捨五入至最接近之有效數字之數字。
本發明之一或多個實施例係關於靜電放電(ESD)緩和。特定言之，實施例係關於使用一導電支架提供一安全及可靠方法來將一流體 處置系統之組件連接至接地。支架可針對各尺寸及樣式之配件定制且可在將配件安裝於系統中之前或之後安裝。例示性流體處置系統包含一流體迴路，其包含導電連接之操作組件及ESD緩和管段。習知及一些ESD緩和流體迴路報告(例如)於國際專利申請案WO 2017/210293中，該國際專利申請案惟其中所含之明確定義或專利發明申請專利範圍除外，以引用方式併入本文中。其他ESD緩和流體迴路報告(例如)於2015至2017之一應格特(Entegris)手冊『FLUOROLINE®靜電(ESD)管道』中。申請人擁有之其他專利，2019年2月27日申請之美國專利申請案16/287,847及2020年5月12日申請之專利合作條約申請案第PCT/US2020/032417號，惟其中所含之明確定義或專利發明申請專利範圍除外，以引用方式併入本文中。
圖1A及圖1B展示根據各項實施例之一總成10之不同視圖，總成10包含一例示性ESD緩和管道連接器100及用於使一連接器本體102接地之一導電支架112A。圖4A及圖4B係圖1A及圖1B中展示之連接器本體102與導電支架112A之一組合之更詳細視圖。圖5A及圖5B係圖1A及圖1B中展示之聚合物連接器導電本體102之更詳細視圖，其中移除了導電支架112A。本文中考慮使用若干連接器及配件，包含PRIMELOCK®配件、PILLAR®配件、FLARETEK®配件、喇叭口配件及其他配件。例示性配件例如繪示於美國專利第5,154,453號、第6,409,222號、第6,412,832號、第6,601,879號、第6,758,104號及第6,776,440號中。考慮各種尺寸及比例之管道連接器及導電支架。
諸如管道連接器100之一ESD緩和管道連接器經組態以連接及界定一流體迴路(未展示)中之兩個或更多個管段之間之一流體通道。在一些情況中，管段可為導電管段。一管道連接器可為諸如圖1A至圖1B 及圖4A至圖5B中所展示之連接器100之一筆直管道連接器、諸如圖6中展示之連接器170之一彎頭連接器或諸如圖7中展示之連接器190之一T型連接器之任一者。
在一些實施例中，如圖1A至圖1B及圖4A至圖5B中展示，管道連接器100係一筆直連接器。管道連接器100包含具有一入口120及出口122之一連接器本體102、兩個或更多個(即，第一及第二)附接部分104、106及經組態以與附接部分104、106接合之兩個或更多個(即，第一及第二)附接配件124、126。如圖1A及圖1B中展示，總成10可視情況包含一或多個連接驗證環129、130，其等經組態以與螺母124、126接合以驗證在螺母124、126與連接器本體102之間進行了一安全連接。第一附接部分104及第二附接部分106在各項實施例中可相同或類似，且在一些情況中，第一附接部分104可為第二附接部分106之一鏡像，如圖1A至圖1B及圖4A至圖5B中展示。
如在圖1B及圖4A至圖5B中可最佳觀察，附接部分104、106各自包含一螺紋部分108、110及用以接納一管段之一接頭部分132、134。當整合至一流體迴路中時，螺母124、126用於經組態以將管段固定至連接器本體102之接頭部分132、134。在一些實施例中，兩個或更多個附接配件124、126係經組態以與提供於連接器本體102之附接部分104、106上之螺紋部分108、110接合之螺紋連接器。在圖6及圖7中描繪之實施例中亦展示附接配件124、126。在一些實施例中，第一附接配件124及第二附接配件126係經組態以螺合至連接器本體102之各自螺紋部分108、110上之螺母。另外，在一些情況中，附接配件124、126可包含包括「去芯(coring)」之一或多個中空區段158。各項實施例中之各個組件之去芯 可具有益處，特別係在較大規模之實施例中，且可改良模製特性及/或包含材料節省，及類似者。
參考圖1A至圖1B及圖4A至圖7，連接器本體102、172、192係一導電連接器本體102、172、192。導電連接器本體102、172、192具有一表面傳導性及通過其塊體之傳導性使得連接器本體102、172及192具有一表面電阻率及一體積電阻率。儘管不希望受到理論束縛，然吾等認為，當併入至用於傳輸一流體之一流體迴路中時，由於流體流動通過連接器本體102、172、192，靜電電荷會累積在連接器本體102、172、192之外表面上。
根據一些實施例，導電連接器本體102、172、192整體由一導電聚合物製造而成，且更特定言之，由一導電填充含氟聚合物製造而成。根據各項實施例，導電填充含氟聚合物可為經填充有一導電材料之一全氟烷氧基烷烴(PFA)聚合物。在一些實施例中，全氟烷氧基烷烴(PFA)聚合物經填充有一導電材料，諸如(但不限於)碳纖維、鍍鎳的石墨、碳粉、碳奈米管、金屬顆粒、鋼纖維及其等之組合。在一個實施例中，連接器本體102、172、192由其製造而成之導電填充含氟聚合物係經填充有碳粉之全氟烷氧基烷烴聚合物。在一個實施例中，連接器本體102、172、192由其製造而成之導電填充含氟聚合物係經填充有碳粉之一全氟烷氧基烷烴聚合物。
在其他實施例中，連接器本體102、172、192之僅一部分係導電的。舉例而言，在一個實施例中，連接器本體102、172、192可包含連接器本體102、172、192之內表面及/或外表面上之一或多個導電條。在另一實施例中，連接器本體102、172、192可包含包覆或塗佈至連接器 本體102、172、192之一表面上之一導電外部。
圖2及圖3展示可根據本文中所描述之本發明之各項實施例使用之一導電支架(例如，導電支架112A、112B)之不同實施例。諸如(舉例而言)導電支架112A或112B的導電支架係能夠在支架連接至一接地線時將一電荷運輸至接地之一導電金屬支架。任一合適之金屬導體可用於製造導電金屬支架112A、112B。導電支架112A、112B可經組態以附接至諸如連接器本體102、172、192之一導電連接器本體及與該導電連接器本體介接(參見圖1A至圖1B及圖4A至圖7)。接著，導電支架112A、112B可用於將連接器本體102、172、192電連接至一接地線，接地線又連接至一接地端子。
導電支架112A、112B可經設定大小及塑形以與一管道連接器(諸如(舉例而言)管道連接器100或其可耦合至之其他流體處置系統組件)之一外表面介接及接觸該外表面。更特定言之，導電支架112A、112B經設定大小及塑形以接觸一連接器本體之頸部區之一外表面，頸部區諸如圖1B中展示之連接器本體102之頸部區136、圖6中展示之連接器本體172之頸部區176或圖7中展示之連接器本體192之頸部區196。導電支架之形狀取決於其將耦合至之頸部區之形狀而可為實質上圓形或多邊形。在一個實施例中，如圖2中更詳細展示，導電支架112A係一實質上多邊形(例如，多面)導電支架。在另一實施例中，導電支架112B係實質上圓形。
如圖2及圖3中展示，導電支架112A、112B各自包含一夾緊部分117，其經組態以與一連接器本體之一頸部區介接且選擇性地變緊以將支架112A附接至連接器本體之頸部區。夾緊部分117可經設定大小及塑形以約束頸部區且當選擇性地變緊時，接觸頸部區之一外表面以在連接 器本體與導電支架112A、112B之間建立一電連接，如圖1A、圖4A至圖4B、及圖6至圖7中展示。
根據各項實施例，導電支架112A、112B包含用於將支架112A、112B連接至一接地線之一接地特徵，諸如支架接地突片114及/或支架接地開口115，接地線繼而可連接至一接地端子以使導電支架(未展示)附接至其之連接器或配件接地。導電支架112A、112B亦可包含一緊固件。在一項實施例中，緊固件可為一螺紋支架螺栓116，其可經組態以與一螺紋支架螺母118螺合地介接以便選擇性地使支架112A變緊或變松(在圖1B中進行最佳觀察)。亦可考慮非螺紋實施例，其中可採用任一形式之緊固件。亦在圖1B中進行最佳觀察，支架112A亦可包含一或多個支架螺栓開口，支架螺栓116透過該一或多個支架螺栓開口穿過支架112A之一或多個部分。
圖3展示替代導電支架112B，其中夾緊部分117之形狀係實質上圓柱形、圓形或圓化。圓形導電支架112B亦可包含一或多個支架旋轉鎖定突片119，其(等)可與一連接器本體172、192之一頸部136介接，如圖中繪示之實施例中展示。圓形導電支架112B亦可包含一或多個支架旋轉鎖定突片119，其(等)可與一連接器本體172、192之一頸部區176、196介接，如圖6及圖7中繪示之實施例中展示。支架旋轉鎖定突片119可朝向支架112B之夾緊部分117之一內部突出。在特定實施例中，一連接器本體172或192之一對應頸部區136、176、196(相對於對應連接器本體102具有至少某一直徑變窄部分)亦可包含用於接納鎖定突片119以進行牢固之抗旋轉安裝之一凹部。在特定實施例中，一連接器本體172或192之頸部區176或196(相對於對應連接器本體102具有至少某一直徑變窄部分)亦可包 含用於接納鎖定突片119以進行牢固之抗旋轉安裝之一凹部。在其他實施例中，鎖定突片119可代替地經組態以在支架112B變緊時向各自導電本體172、192之頸部區176、196施加壓力，以便限制導電本體之旋轉。
圖6展示包含根據本發明之實施例提供之一替代ESD緩和管道連接器170及一導電支架112B之一總成。如圖6中展示，管道連接器170係具有用以連接兩個管段(未展示)之一流體通道之一彎頭形連接器170。管道連接器170之組態及功能類似於管道連接器100，然連接器本體172具有呈一特定角度(諸如所展示之90°)之一彎曲。在連接器本體172上可包含一或多個澆口墊片(gate pad)174。澆口墊片174可用於修整各種模製部件之一澆口。修整可藉由一徒手刀切割、機器或任何其他合適之技術來完成。
圖7展示包含根據本發明之實施例提供之另一ESD緩和管道連接器190及支架112B之另一總成。如圖7中展示，管道連接器190係具有用以連接三個管段(未展示)之一流體通道之一T形連接器190。管道連接器190之組態及功能類似於管道連接器100及170，然連接器本體192具有含一內部交叉點之一T形三通連接器，如所展示。一第三附接部分107包含第三附接螺紋連接器128，且隨著管道連接器獲得進一步附接點，對於第三附接部分且在一些情況中對於第四、第五或任一數目之附接部分，考慮有第一附接部分104及第二附接部分106中存在之任何其他部件。如展示，在連接器本體192上包含一或多個澆口墊片194。澆口墊片194可用於修整各種模製部件之一澆口。修整可藉由一徒手刀切割、機器或任何其他合適之技術來完成。
連接器100、170及/或190可用於將各個管段連接在一起以 形成具有至少一個入口及一個出口之一流體迴路，其中一導電支架(例如，112A、112B)將來自因流體傳遞穿過管段及管道連接器100而產生之一電荷之靜電電荷傳送至接地。根據一些實施例，一流體迴路包含藉由複數個管道連接器互連之複數個管段，如本文中根據各項實施例描述。流體迴路亦可包含一或多個操作組件，其包含(但不限於)配件、閥、過濾器、熱交換裝置、感測器、泵、混合器、噴嘴、淨化器、脫氣器及施配頭。
圖8描繪一例示性流體處置系統250。系統250提供用於使流體自一流體供應器252流動至定位在流體供應源之下游之一或多個程序階段256之一流路徑。系統250包含一流體迴路260，其包含流體處置系統250之流路徑之一部分。流體迴路260包含藉由複數個連接器100、170、190及複數個操作組件互連之複數個管段264。在圖6中，操作組件包含閥274、過濾器276及流感測器278。此等僅係一些實例。然而，在各項實施例中，流體迴路260在數目及類型方面可包含額外或更少操作組件及連接器。在連接在一起之情況下，複數個管段264、連接器100、170、190及操作組件274、276、278提供自流體供應器252且朝向程序階段256穿過流體迴路260之一流體通道。
在某些實施例中，為了緩和靜態電荷積聚，連接器100、170、190中之一或多者經由一或多個導電支架198電連接至接地194，如本文中根據各項實施例描述。導電支架198藉由提供至接地194之一路徑而在靜態電荷在流體迴路260之表面中及表面上積聚時促進靜態電荷之連續分散。在一些情況中，導電支架198連接至一接地線，接著，接地線繼而連接至一接地端子。在一些實施例中，一或多個操作組件亦可經由一或多個導電支架198連接至接地194，如圖8中展示。
在本發明中，管段通常係指適於容納或運輸流體之任一撓性或非撓性管線或管道。管段可為導電的，從而沿著流體迴路中之各管段之長度提供一導電通路。導電管道可由包含金屬或填充聚合物材料之材料構造而成。填充聚合物材料包含經填充有鋼絲、鋁片、鍍鎳之石墨、碳纖維、碳粉、碳奈米管或其他導電材料之一聚合物。在一些例項中，管段係部分導電的，具有由非導電或低導電材料構造而成之一主要部分及一次要導電部分。非導電部分可由各種碳氫及非碳氫聚合物構造而成，諸如(但不限於)聚酯、聚碳酸酯、聚醯胺、聚醯亞胺、聚氨酯、聚烯烴、聚苯乙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚酮，聚脲、聚乙烯樹脂、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯及含氟聚合物。例示性含氟聚合物包含(但不限於)全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)及四氟乙烯聚合物(PTFE)。次要導電部分可由包含金屬或導電填充材料之材料構造而成，如本文中描述。
在一些實施例中，管段包含一非導電部分及一第二導電部分，第二導電部分包含界定於管段之一內部上且沿著管段之一長度延伸之一或多個導電條。在一些實施例中，導電條由一導電填充含氟聚合物組成，且更特定言之，由填充有碳粉之一全氟烷氧基烷烴聚合物組成。包含管段之一內部上之一或多個導電條之例示性管段展示且描述於國際專利申請案PCT/US2019/019759中，該國際專利申請案惟其中所含之明確定義或專利發明申請專利範圍外，以引用方式併入本文中。
態樣
態樣1係一種總成，其包括：一管道連接器，其用以連接一流體迴路中之兩個或更多個導電管段，該管道連接器具有一入口及一出 口且包含一導電連接器本體、兩個或更多個附接部分及兩個或更多個附接配件；及一導電支架，其接觸該導電連接器本體以用於將該連接器本體電連接至接地。
態樣2係態樣1之總成，其中該導電支架包含一夾緊部分，其約束該導電連接器本體且選擇性地變緊以將該支架附接至該連接器本體。
態樣3係態樣2之總成，其中該導電支架包括用於將該支架連接至接地之一接地夾具。
態樣4係態樣2之總成，其中該夾緊部分之形狀係實質上圓形。
態樣5係根據態樣2之總成，其中該夾緊部分之形狀係實質上多邊形。
態樣6係根據態樣2之總成，其中該夾緊部分之形狀係實質上六邊形。
態樣7係根據態樣1至6中任一態樣之總成，其中該管道連接器包括一筆直連接器、一T型連接器或一彎頭連接器。
態樣8係根據態樣7之總成，其中該管道連接器係具有用以連接兩個管段之一流體通道之一筆直連接器。
態樣9係根據態樣7之總成，其中該管道連接器係具有用以連接兩個管段之一流體通道之一彎頭連接器。
態樣10係根據態樣7之總成，其中該管道連接器係具有用以連接三個管段之流體通道之一T型連接器。
態樣11係根據態樣1之總成，其中該管道連接器之該兩個 或更多個附接部分各自包括螺紋區及用以接納管段之一接頭區。
態樣12係根據態樣11之總成，其中該兩個或更多個附接配件各自包括用以將管段附接至該管道連接器之頸部及該螺紋區之螺母。
態樣13係根據態樣1之總成，其中導電連接器本體包括導電填充含氟聚合物。
態樣14係根據態樣13之總成，其中該導電填充含氟聚合物是填充有自由以下各者組成之群組選擇之一導電材料之全氟烷氧基烷烴聚合物：碳纖維、鍍鎳的石墨、碳粉、碳奈米管、金屬顆粒及鋼纖維。
態樣15係根據態樣13之總成，其中該導電填充含氟聚合物係一碳填充全氟烷氧基烷烴聚合物。
態樣16係根據態樣1至15中之任一態樣之總成，其中該管道連接器之該導電連接器本體、兩個或更多個附接部分及兩個或兩個附接配件之各者經導電附接，使得一電荷可自該導體本體傳遞至該兩個或更多個附接部分及/或該兩個或兩個附接配件。
態樣17係根據態樣1至15中之任一態樣之總成，其中導電連接器本體包含包括一導電填充聚合物之一或多個內部導電條。
態樣18係根據態樣1至15中之任一態樣之總成，其中該導電連接器本體進一步包括界定延伸於該管道連接器之該入口與該出口之間之一流體流路徑之一非導電本體部分，其中該導電本體部分接觸該非導電本體部分且自該流體流路徑向外位移。
態樣19係根據態樣1至15中之任一態樣之總成，其中該導電連接器本體整體由一導電填充聚合物製造而成。
態樣20係一種包括連接至根據態樣1至15中任一態樣該之 總成之至少一個管段之一流體迴路，其中該導電支架將因流體穿過該管段及管道連接器而產生之靜電電荷傳送至連接至一接地端子之一接地線。
已出於闡釋性目的呈現本發明之各種實施例之描述，但其不意欲係詳盡的或限於揭示之實施例。諸多修改及變動對一般技術者將係顯而易見的，而不會脫離所描述實施例之範疇及精神。選取本文中使用之術語來解釋實施例之原理、優於發現於市場中之技術之實際應用或技術改良或使一般技術者能夠理解本文中揭示之實施例。
10:總成
100:管道連接器
104:附接部分
106:附接部分
112A:導電支架
114:突片
115:支架接地開口
116:支架螺栓
118:支架螺母
120:入口
124:附接配件
126:附接配件
129:連接驗證環
130:連接驗證環
158:中空區段

Claims (11)

  1. 一種在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其包括：一管道連接器，其用以連接一流體迴路中之兩個或更多個導電管段，該管道連接器具有一入口及一出口且包含一導電連接器本體、兩個或更多個附接部分及兩個或更多個附接配件；及一導電支架，其接觸該導電連接器本體以用於將該導電連接器本體電連接至接地。
  2. 如請求項1之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該導電支架包含一夾緊部分，該夾緊部分約束該導電連接器本體且選擇性地變緊以將該導電支架附接至該導電連接器本體。
  3. 如請求項2之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該導電支架包括用於將該導電支架連接至接地之一接地夾具。
  4. 如請求項2之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該夾緊部分之形狀係實質上圓形。
  5. 如請求項2之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該夾緊部分之形狀係實質上六邊形。
  6. 如請求項1之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該管道連 接器包括一筆直連接器、一T型連接器或一彎頭連接器。
  7. 如請求項1之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該管道連接器之該兩個或更多個附接部分各自包括一螺紋區及用以接納該等導電管段之一者之一接頭區。
  8. 如請求項7之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該兩個或更多個附接配件各自包括用以將該等導電管段附接至該管道連接器之頸部及該螺紋區之螺母。
  9. 如請求項1之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該導電連接器本體由一碳填充全氟烷氧基烷烴聚合物組成。
  10. 如請求項1之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成，其中該導電支架包含約束該導電連接器本體之一導電夾緊部分，該導電夾緊部分具有一內表面，其與該導電連接器本體之一外表面接觸。
  11. 一種包括連接至如請求項1至10中任一者之在流體處置系統中之靜電放電緩和總成之至少一個導電管段之流體迴路，其中該導電支架將因流體穿過該導電管段及管道連接器而產生之靜電電荷傳送至連接至一接地端子之一接地線。
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