JP7379673B2 - 静電放電緩和装置 - Google Patents

Description

関連出願の相互参照
本出願は、２０１９年９月９日に出願された米国仮出願第６２／８９７，５４４号の優先権及び利益を主張し、その全体は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。

本開示の実施形態は、例えば流体処理システムで使用され得る静電放電（ＥＳＤ）緩和構成に関し、より具体的には、そのような流体処理システムに組み込まれ得る導電性ブラケットに関する。

静電放電（ＥＳＤ）は、半導体産業及び他の技術用途における流体処理システムの重要な技術的問題である。流体システムにおいて、流体と、様々な動作構成要素（例えば、チューブ又は配管、バルブ、継手、フィルタなど）の表面との間の摩擦接触は、静電荷の発生及び蓄積をもたらす可能性がある。電荷発生の程度は、限定しないが、構成要素及び流体の性質、流体速度、流体粘度、流体の電気伝導率、接地への経路、液体中の乱流及びせん断、流体中の空気の存在、及び表面エリアを含む様々な要因に依存する。更に、流体がシステムを通って流れるとき、電荷が発生した場所を越えて電荷が蓄積する可能性がある流動電荷と呼ばれる現象で、電荷は下流に運ばれる可能性がある。十分な電荷蓄積は、様々なプロセスステップで、チューブ又は配管壁、構成要素表面、あるいは基板又はウエハ上にさえ静電放電をもたらす可能性がある。

いくつかの用途では、半導体基板又はウエハは静電荷に対して極めて影響を受けやすく、そのようなＥＳＤは、基板又はウエハの損傷又は破壊をもたらす可能性がある。例えば、基板上の回路は破壊される可能性があり、光活性化合物は、制御されていないＥＳＤのために、定期的な露光の前に活性化される可能性がある。更に、蓄積された静電荷は、流体処理システム内から外部環境に放電し、流体処理システム内の構成要素（例えば、チューブ又は配管、継手、構成要素、容器、フィルタなど）を損傷させる可能性があり、システム内の流体の漏れ、流出、及び構成要素の性能低下をもたらす可能性がある。これらの状況では、可燃性、毒性及び／又は腐食性の流体が、危険が及んでいる流体処理システムで使用されると、そのような放電が火災又は爆発をもたらす可能性がある。

多くの場合、電気システムの弱いリンクは接地の保全性である。一部の流体処理システムでは、静電荷の蓄積を低減するために、流体処理システム内の特定の金属又は導電性構成要素を接地して、金属又は導電性構成要素から接地へと、静電荷が連続的に分散するように、システム内の静電荷の蓄積を緩和する。現在、構成要素を接地に接続するために、ナイロンなどの導電性ポリマーで構成された導電性ケーブルタイ又は「ジップタイ」を使用することがある。そのようなポリマー・ケーブル・タイは、クリープ、ずれ、破損、環境影響又は過敏、劣化、摩耗などを起こしやすく、実際には多くの欠点を有する。

ＥＳＤ緩和を改善し、構成要素の信頼性、安定性、性能を改善し、損傷を与える可能性があるＥＳＤ事象を低減する超純流体処理システムで使用するための接地装置を提供することが望まれる。

本開示は、一般に、例えば流体処理システムで使用され得る静電放電（ＥＳＤ）緩和装置に関し、より具体的には、そのような流体処理システムに組み込まれ得る導電性ブラケットに関する。

いくつかの実施形態では、流体回路内の２つ以上の導電性チューブセグメントを接続するためのチューブコネクタを開示し、チューブコネクタは、２つ以上の取付部分を有する導電性コネクタ本体と、２つ以上の取付継手と、コネクタ本体を接地に電気的に接続するためにコネクタ本体に取り付けられて連結するように構成された導電性ブラケットと、を含む。

チューブコネクタの特定の実施形態では、導電性ブラケットはクランプ部分を含み、クランプ部分は、コネクタ本体と連結し、ブラケットをコネクタ本体に取り付けるために選択的に締め付ける。チューブコネクタの他の実施形態では、導電性ブラケットは、ブラケットを接地に接続するための接地固定具を含む。チューブコネクタのいくつかの実施形態では、クランプ部分は実質的に円形の形状である。チューブコネクタの特定の実施形態では、クランプ部分は、実質的に多角形の形状である。チューブコネクタの特定の他の実施形態では、クランプ部分は、実質的に六角形の形状である。

チューブコネクタの様々な実施形態では、チューブコネクタは、ストレートコネクタ、Ｔコネクタ、又はエルボコネクタを含む。チューブコネクタの特定の実施形態では、チューブコネクタは、２つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するストレートコネクタである。チューブコネクタの特定の実施形態では、チューブコネクタは、２つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するエルボコネクタである。チューブコネクタの特定の実施形態では、チューブコネクタは、３つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するＴコネクタである。チューブコネクタの特定の実施形態では、コネクタ本体取付部分は、チューブセグメントを受け入れるためのねじ領域及びニップル領域を含む。チューブコネクタの特定の実施形態では、取付継手は、チューブセグメントをチューブコネクタのねじ領域及びネック領域に取り付けるためのナットを含む。

チューブコネクタのいくつかの実施形態では、コネクタ本体は、導電性充填ポリマー、より具体的には、導電性充填フルオロポリマーである。チューブコネクタの特定の実施形態では、導電性ポリマーは、カーボン繊維、ニッケル被覆グラファイト、カーボンパウダ、カーボンナノチューブ、金属粒子、及び鋼繊維で充填されたパーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである。チューブコネクタの特定の実施形態では、コネクタ本体は、カーボン充填パーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである。チューブコネクタの特定の実施形態では、チューブコネクタの各構成要素は導電的に取り付けられる。チューブコネクタの特定の実施形態では、チューブコネクタは、導電性フルオロポリマーを含む１つ又は複数の内部導電性ストライプを含む。特定の実施形態では、チューブコネクタに接続された少なくとも１つのチューブセグメントを含む流体回路であって、導電性ブラケットが、チューブセグメント及びチューブコネクタを通る流体によって発生された電荷から静電電荷を接地に伝達する、流体回路。

本開示は、少なくとも１つの入口及び少なくとも１つの出口を有する所定の流体流路のための流体回路を含む実施形態を更に説明し、流体回路は、１つ又は複数の導電性チューブセグメントに接続された導電性ブラケットを含む少なくとも１つのチューブコネクタを含む。

上記の概要は、本開示の各例示された実施形態又はすべての実装形態を説明することを意図するものではない。

本開示に含まれる図面は、本開示の実施形態を例示し、説明と共に、本開示の原理を説明する役割を果たす。図面は、特定の実施形態の例示にすぎず、本開示を限定するものではない。

本開示の様々な実施形態による、ＥＳＤ緩和チューブコネクタと、コネクタを接地するための導電性ブラケットと、を含むアセンブリの等角図である。 図１Ａのアセンブリの分解図である。 導電性ブラケットが実質的に多角形の形状である、図１Ａ及び図１Ｂに示す例示的な導電性ブラケットの詳細図である。 導電性ブラケットが実質的に円形の形状である代替の導電性ブラケットの詳細図である。 本開示の実施形態による、図１Ｂのコネクタ本体と係合した、図２の導電性ブラケットの詳細図である。 本開示の実施形態による、図１Ｂのコネクタ本体と係合した、図２の導電性ブラケットの詳細図である。 導電性ブラケットを省略した、図４Ａ及び図４Ｂのコネクタ本体を示す図である。 導電性ブラケットを省略した、図４Ａ及び図４Ｂのコネクタ本体を示す図である。 本開示の一実施形態による、コネクタと係合した導電性ブラケットを含む別のアセンブリを示す図である。 本開示の一実施形態による、コネクタと係合した導電性ブラケットを含む更に別のアセンブリを示す図である。 様々な実施形態による、例示的な流体処理システムを示す図である。

本開示の実施形態は、様々な修正及び代替形態に適しており、特定の詳細を、例えば図面に示し、詳細に説明する。記載した特定の実施形態に本開示を限定する意図はなく、本開示の趣旨及び範囲内にあるすべての修正形態、均等物、及び代替形態を網羅することを意図していることが理解される。

以下の詳細な説明は、図面を参照して読まれるべきであり、異なる図面における同様の要素は、同じ番号を付している。詳細な説明及び図面は、必ずしも縮尺通りではなく、例示的な実施形態を示しており、本発明の範囲を限定することを意図していない。図示した例示的な実施形態は、例示としてのみ意図している。反対のことを明確に述べていない限り、任意の例示的な実施形態の選択された特徴は、追加の実施形態に組み込まれ得る。

単数形「ａ」、「ａｎ」、及び「ｔｈｅ」を本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用する場合、内容が明らかにそうでないことを指示しない限り、複数の指示対象を含む。「又は」という用語を本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用する場合、全般に、内容が明らかにそうでないことを指示しない限り、「及び／又は」を含む意味で使用する。

用語「約」は、全般に、列挙した値（例えば、同じ機能又は結果を有する）と等価であると考えられる数の範囲を指す。多くの場合、「約」という用語は、最も近い有効数字に丸められた数字を含み得る。

本開示の１つ又は複数の実施形態は、静電放電（ＥＳＤ）緩和に関する。特に、実施形態は、流体処理システムの構成要素を接地に接続するための安全で信頼性の高い方法を提供するために、導電性ブラケットを使用することに関する。本ブラケットは、継手のサイズ及びスタイルごとに特注され、それは、継手をシステムに設置する前でも、後でも設置され得る。例示的な流体処理システムは、導電的に接続された動作構成要素及びＥＳＤ緩和チューブセグメントを含む流体回路を含む。従来の一部のＥＳＤ緩和流体回路は、例えば、国際公開第２０１７／２１０２９３号パンフレットに報告されており、そこに含まれる明示的な定義又は特許請求の範囲を除いて、この国際公開は、参照により本明細書に組み込まれる。他のＥＳＤ緩和流体回路は、例えば、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ社のパンフレット、ＦＬＵＯＲＯＬＩＮＥ（登録商標）Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ（ＥＳＤ）Ｔｕｂｉｎｇ（２０１５－２０１７年）に報告されている。出願人が所有する他の特許である、２０１９年２月２７日に出願した米国特許出願第１６／２８７，８４７号及び２０２０年５月１２日に出願した特許協力条約出願第ＰＣＴ／ＵＳ２０２０／０３２４１７号は、そこに含まれる明示的な定義又は特許請求の範囲を除いて、参照により本明細書に組み込まれる。

図１Ａ及び図１Ｂは、例示的なＥＳＤ緩和チューブコネクタ１００と、コネクタ本体１０２を接地するための導電性ブラケット１１２Ａと、を含む、様々な実施形態によるアセンブリ１０を示す異なる図である。図４Ａ及び図４Ｂは、図１Ａ及び図１Ｂに示すコネクタ本体１０２と導電性ブラケット１１２Ａとの組合せの詳細図である。図５Ａ及び図５Ｂは、導電性ブラケット１１２Ａを取り外した、図１Ａ及び図１Ｂに示すポリマーコネクタ導電性本体１０２の詳細図である。ＰＲＩＭＥＬＯＣＫ（登録商標）継手、ＰＩＬＬＡＲ（登録商標）継手、ＦＬＡＲＥＴＥＫ（登録商標）継手、フレア継手、及び他の継手を含む、いくつかのコネクタ及び継手を、本明細書において使用することを企図している。例示的な継手は、例えば、米国特許第５，１５４，４５３号、６，４０９，２２２号、６，４１２，８３２号、６，６０１，８７９号、６，７５８，１０４号、及び６，７７６，４４０号に示されている。チューブコネクタ及び導電性ブラケットの様々なサイズ及びスケーリングが考えられる。

チューブコネクタ１００などのＥＳＤ緩和チューブコネクタは、流体回路（図示せず）内の２つ以上のチューブセグメント間に流体通路を接続し、及び画定するように構成される。場合によっては、チューブセグメントは、導電性チューブセグメントであり得る。チューブコネクタは、図１Ａ～図１Ｂ及び図４Ａ～図５Ｂに示すコネクタ１００などのストレート・チューブ・コネクタ、図６に示すコネクタ１７０などのエルボコネクタ、又は図７に示すコネクタ１９０などのＴコネクタのうちのいずれか１つであり得る。

いくつかの実施形態では、図１Ａ～図１Ｂ及び図４Ａ～図５Ｂに示すように、チューブコネクタ１００はストレートコネクタである。チューブコネクタ１００は、入口１２０及び出口１２２を有するコネクタ本体１０２と、２つ以上（すなわち、第１及び第２）の取付部分１０４，１０６と、取付部分１０４，１０６と係合するように構成された２つ以上（すなわち、第１及び第２）の取付継手１２４，１２６と、を含む。図１Ａ及び図１Ｂに示すように、アセンブリ１０は、１つ又は複数の接続確認リング１２９，１３０を任意選択で含んでもよく、接続確認リング１２９，１３０は、ナット１２４，１２６と、コネクタ本体１０２との間の確実な接続を確認するために、ナット１２４，１２６と係合するように構成される。第１の取付部分１０４及び第２の取付部分１０６は、様々な実施形態において同じ又は同様であってもよく、場合によっては、第１の取付部分１０４は、図１Ａ～図１Ｂ及び図４Ａ～図５Ｂに示すように、第２の取付部分１０６の鏡像であってもよい。

図１Ｂ及び図４Ａ～図５Ｂが好適に示すように、取付部分１０４，１０６はそれぞれ、チューブセグメントを受け入れるねじ部分１０８，１１０及びニップル部分１３２，１３４を含んでいる。流体回路に組み込まれる場合、ナット１２４，１２６を使用して、チューブセグメントをコネクタ本体１０２のニップル部分１３２，１３４に固定するように構成する。いくつかの実施形態では、２つ以上の取付継手１２４，１２６は、コネクタ本体１０２の取付部分１０４，１０６に設けられたねじ部分１０８，１１０と係合するように構成されたねじ付きコネクタである。取付継手１２４，１２６は、図６及び図７に示す実施形態にも示されている。いくつかの実施形態では、第１の取付継手１２４及び第２の取付継手１２６は、コネクタ本体１０２のそれぞれのねじ部分１０８，１１０に、ねじ込むように構成されたナットである。更に、場合によっては、取付継手１２４，１２６は、「芯抜き（ｃｏｒｉｎｇ）」を含む１つ又は複数の中空セクション１５８を含んでもよい。様々な実施形態における様々な構成要素の芯抜きは、特に大規模な実施形態において利点を有し、成形特性を改善し、及び／又は材料節約などを含み得る。

図１Ａ～図１Ｂ及び図４Ａ～図７を参照すると、コネクタ本体１０２，１７２，１９２は、導電性コネクタ本体１０２，１７２，１９２である。導電性コネクタ本体１０２，１７２，１９２は、表面コンダクタンス、及びその体積を通るコンダクタンスを有し、これにより、コネクタ本体１０２，１７２及び１９２は、表面抵抗率及び体積抵抗率の両方を有する。理論に拘束されることを望むものではないが、流体を輸送するために使用される流体回路に組み込まれた場合、流体が流れる結果として、コネクタ本体１０２，１７２，１９２の外側表面には、静電電荷が蓄積すると考えられる。

いくつかの実施形態によれば、導電性コネクタ本体１０２，１７２，１９２は、その全体が導電性ポリマー、より具体的には導電性充填フルオロポリマーから製造される。様々な実施形態によれば、導電性充填フルオロポリマーは、導電性材料で充填されたパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）ポリマーであり得る。いくつかの実施形態では、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）ポリマーは、限定しないが、カーボン繊維、ニッケル被覆グラファイト、カーボンパウダ、カーボンナノチューブ、金属粒子、鋼繊維、及びそれらの組合せなどの導電性材料で充填される。一実施形態では、コネクタ本体１０２，１７２，１９２を製造する導電性充填フルオロポリマーは、カーボンパウダで充填されたパーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである。一実施形態では、コネクタ本体１０２，１７２，１９２を製造する導電性充填フルオロポリマーは、カーボンパウダで充填されたパーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである。

他の実施形態では、コネクタ本体１０２，１７２，１９２の一部のみが導電性である。例えば、一実施形態では、コネクタ本体１０２，１７２，１９２は、コネクタ本体１０２，１７２，１９２の内側表面及び／又は外側表面に１つ又は複数の導電性ストライプを含んでもよい。別の実施形態では、コネクタ本体１０２，１７２，１９２は、コネクタ本体１０２，１７２，１９２の表面にオーバーモールドされた、又は被覆された導電性外側部分を含んでもよい。

図２及び図３は、本明細書に記載の本開示の様々な実施形態による、使用され得る導電性ブラケット（例えば、導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂ）の様々な実施形態を示している。例えば、導電性ブラケット１１２Ａ又は１１２Ｂなどの導電性ブラケットは、ブラケットが接地線に接続されたとき、電荷を接地に搬送し得る導電性金属ブラケットである。任意の適切な金属導体を使用して、導電性金属ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂを製造してもよい。導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂは、コネクタ本体１０２，１７２，１９２などの導電性コネクタ本体に取り付けられて連結するように構成され得る（図１Ａ～図１Ｂ及び図４Ａ～図７を参照されたい）。次いで、導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂを使用して、コネクタ本体１０２，１７２，１９２を接地線に電気的に接続し、更に接地線を接地端子に接続し得る。

導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂは、例えばチューブコネクタ１００、又はチューブコネクタ１００が結合され得る他の流体処理システム構成要素など、チューブコネクタの外側表面と連結し、及び接触するようなサイズ及び形状であり得る。より詳細には、導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂは、図１Ｂに示すコネクタ本体１０２のネック領域１３６、図６に示すコネクタ本体１７２のネック領域１７６、又は図７に示すコネクタ本体１９２のネック領域１９６など、コネクタ本体のネック領域の外側表面に接触するようなサイズ及び形状である。導電性ブラケットが結合されるネック領域の形状に応じて、導電性ブラケットは、実質的に円形又は多角形の形状であり得る。一実施形態では、図２に詳細に示すように、導電性ブラケット１１２Ａは、実質的に多角形（例えば、多面）の導電性ブラケットである。別の実施形態では、導電性ブラケット１１２Ｂは実質的に円形である。

図２及び図３に示すように、導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂはそれぞれ、コネクタ本体のネック領域と連結し、選択的に締め付けて、ブラケット１１２Ａをコネクタ本体のネック領域に取り付けるように構成されたクランプ部分１１７を含む。クランプ部分１１７は、ネック領域に外接するようなサイズ及び形状であり、更に選択的に締め付けたときにネック領域の外側表面に接触して、図１Ａ、図４Ａ～図４Ｂ、及び図６～図７に示すように、コネクタ本体と導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂとの間の電気的接続を確立するようなサイズ及び形状であり得る。

様々な実施形態によれば、導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂは、ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂを接地線に接続するためのブラケット接地タブ１１４及び／又はブラケット接地開口部１１５など、接地機構を含み、接地線は、接地端子に接続され、導電性ブラケットが取り付けられるコネクタ又は継手（図示せず）を接地してもよい。導電性ブラケット１１２Ａ、１１２Ｂはまた、締結具を含んでもよい。一実施形態では、締結具は、ブラケット１１２Ａ（図１Ｂが好適に示す）を選択的に締め付け又は緩めるために、ねじ付きブラケットナット１１８と螺合するように構成され得るねじ付きブラケットボルト１１６であり得る。非ねじ式の実施形態も考えられ、任意の形態の締結具を採用しもよい。また、図１Ｂが好適に示すように、ブラケット１１２Ａはまた、ブラケットボルト１１６がブラケット１１２Ａの１つ又は複数の部分を通過する、１つ又は複数のブラケットボルト開口部を含み得る。

図３は、代替的な導電性ブラケット１１２Ｂを示し、クランプ部分１１７は、実質的に円筒形、円形、又は丸みを帯びた形状である。円形導電性ブラケット１１２Ｂはまた、図６及び図７に示す実施形態に示すように、コネクタ本体１７２，１９２のネック部分１３６と連結し得る１つ又は複数のブラケット回転ロックタブ１１９を含み得る。円形導電性ブラケット１１２Ｂはまた、図６及び図７に示す実施形態に示すように、コネクタ本体１７２，１９２のネック領域１７６，１９６と連結し得る１つ又は複数のブラケット回転ロックタブ１１９を含み得る。ブラケット回転ロックタブ１１９は、ブラケット１１２Ｂのクランプ部分１１７の内部に向かって突出し得る。特定の実施形態では、コネクタ本体１７２又は１９２の対応するネック領域１３６，１７６，１９６（対応するコネクタ本体１０２に対して少なくともいくらか狭い直径部分を有する）はまた、固定された回転抵抗式の取付けのために、ロックタブ１１９を受け入れる凹部を含んでもよい。特定の実施形態では、コネクタ本体１７２又は１９２のネック領域１７６又は１９６（対応するコネクタ本体１０２に対して少なくともいくらか狭い直径部分を有する）はまた、固定された回転抵抗式の取付けのために、ロックタブ１１９を受け入れる凹部を含んでもよい。他の実施形態では、代わりに、ロックタブ１１９は、ブラケット１１２Ｂが締め付けられたときに、導電性本体の回転を制限するために、導電性本体１７２，１９２それぞれのネック領域１７６，１９６に圧力を加えるように構成されてもよい。

図６は、本開示の実施形態による、提供される代替的なＥＳＤ緩和チューブコネクタ１７０と、導電性ブラケット１１２Ｂと、を含むアセンブリを示している。図６に示すように、チューブコネクタ１７０は、２つのチューブセグメント（図示せず）を接続するための流体通路を有するエルボ形状のコネクタ１７０である。チューブコネクタ１７０は、チューブコネクタ１００と構成及び機能が類似しているが、コネクタ本体１７２は、図示のように９０°などの特定の角度で屈曲している。コネクタ本体１７２は、１つ又は複数のゲートパッド１７４を含んでもよい。ゲートパッド１７４は、様々な成形部品からスプルーをトリミングするために使用され得る。トリミングは、フリー・ハンド・ナイフ・カット、機械、又は任意の他の適切な技術によって実施され得る。

図７は、本開示の実施形態による、提供される別のＥＳＤ緩和チューブコネクタ１９０及びブラケット１１２Ｂを含む別のアセンブリを示している。図７に示すように、チューブコネクタ１９０は、３つのチューブセグメント（図示せず）を接続するための流体通路を有するＴ字形コネクタ１９０である。チューブコネクタ１９０は、チューブコネクタ１００及び１７０と構成及び機能が類似しているが、コネクタ本体１９２は、図示のように、内部交差部を有するＴ字形の三方コネクタを有する。第３の取付部分１０７は、第３の取付ねじ付きコネクタ１９８を含み、第１の取付部分１０４及び第２の取付部分１０６に見られる任意の他の部分は、チューブコネクタが更なる取付点を得るにつれて、第３、場合によっては第４、第５、又は任意の数の取付部分が考えられる。図示のように、コネクタ本体１９２上には、１つ又は複数のゲートパッド１９４が含まれている。ゲートパッド１９４は、様々な成形部品からスプルーをトリミングするために使用し得る。トリミングは、フリー・ハンド・ナイフ・カット、機械、又は任意の他の適切な技術によって実施され得る。

コネクタ１００，１７０及び／又は１９０を使用して、様々なチューブセグメントを互いに接続して、少なくとも１つの入口及び１つの出口を有する流体回路を形成し、少なくとも１つの入口及び１つの出口は、導電性ブラケット（例えば、１１２Ａ、１１２Ｂ）が、チューブセグメント及びチューブコネクタ１００を通過する流体によって発生した電荷からの静電電荷を、接地に伝達し得る。いくつかの実施形態によれば、流体回路は、様々な実施形態に従って、本明細書に記載されるように、複数のチューブコネクタによって相互接続された複数のチューブセグメントを含む。流体回路はまた、限定しないが、継手、バルブ、フィルタ、熱交換器、センサ、ポンプ、ミキサ、スプレーノズル、浄化器、脱気器、及び分配ヘッドを含む、１つ又は複数の動作構成要素を含んでもよい。

図８は、例示的な流体処理システム２５０を示している。システム２５０は、流体が流体供給部２５２から、流体供給部の供給元の下流に配置された１つ又は複数のプロセス段２５６に流れるための流路を提供する。システム２５０は、流体処理システム２５０の流路の一部を含む流体回路２６０を含む。流体回路２６０は、複数のコネクタ１００，１７０，１９０及び複数の動作構成要素によって相互接続された、複数のチューブセグメント２６４を含む。図６において、動作構成要素は、バルブ２７４、フィルタ２７６、及び流量センサ２７８を含む。これらは単なる例である。しかしながら、様々な実施形態では、流体回路２６０は、数及び種類において、追加又は少ない動作構成要素及びコネクタを含んでもよい。互いに接続された複数のチューブセグメント２６４、コネクタ１００，１７０，１９０、及び動作構成要素２７４，２７６，２７８は、流体供給部２５２からプロセス段２５６に向かって流体回路２６０を通る流体通路を設ける。

特定の実施形態では、静電荷の蓄積を緩和するために、コネクタ１００，１７０，１９０のうちの１つ又は複数は、様々な実施形態に従って、本明細書に記載されるように、１つ又は複数の導電性ブラケット１９８を介して接地１９４に電気的に接続される。導電性ブラケット１９８は、接地１９４への経路を設けることによって、流体回路２６０の表面内及び表面上に蓄積する静電電荷の連続的な分散を容易にする。場合によっては、導電性ブラケット１９８は接地線に接続され、更に接地線を接地端子に接続する。いくつかの実施形態では、図８に示すように、１つ又は複数の動作構成要素を、１つ又は複数の導電性ブラケット１９８を介して接地１９４に接続してもよい。

本開示におけるチューブセグメントは、通常、流体の収容又は輸送に適した任意の可撓性又は非可撓性の配管又はチューブを指す。チューブセグメントは導電性であり、流体回路内の各チューブセグメントの長さに沿って導電性経路を設け得る。導電性チューブは、金属又は充填ポリマー材料を含む材料から構成されてもよい。充填ポリマー材料は、鋼線、アルミニウムフレーク、ニッケル被覆グラファイト、カーボン繊維、カーボンパウダ、カーボンナノチューブ、又は他の導電性材料で充填されたポリマーを含む。いくつかの例では、チューブセグメントは部分的に導電性であり、非導電性又は低導電性材料から構成された主要部分と、二次導電性部分と、を有する。非導電性部分は、限定しないが、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリケトン、ポリ尿素、ポリビニル樹脂、ポリアクリレート、ポリメチルアクリレート及びフルオロポリマーなど、様々な炭化水素及び非炭化水素ポリマーから構成され得る。例示的なフルオロポリマーには、限定しないが、パーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマー（ＰＦＡ）、エチレン・テトラフルオロエチレン・ポリマー（ＥＴＦＥ）、エチレンテトラフルオロエチレン及びヘキサフルオロプロピレンポリマー（ＥＦＥＰ）、フッ素化エチレン・プロピレン・ポリマー（ＦＥＰ）、及びテトラフルオロエチレンポリマー（ＰＴＦＥ）が含まれる。二次導電部分は、本明細書に記載の金属又は導電性充填ポリマー材料を含む材料から構成され得る。

いくつかの実施形態では、チューブセグメントは、非導電性部分と、チューブセグメントの内部に画定され、チューブセグメントの長さに沿って延在する１つ又は複数の導電性ストライプを含む第２の導電性部分と、を含む。いくつかの実施形態では、導電性ストライプは、導電性充填フルオロポリマー、より具体的には、カーボンパウダで充填されたパーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーから構成される。チューブセグメントの内部に１つ又は複数の導電性ストライプを含む例示的なチューブセグメントは、明示的な定義又はその中に含まれる特許請求の範囲を除いて、参照により本明細書に組み込まれる国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ ２０１９／０１９７５９号に示され、及び説明されている。

態様
態様１は、流体回路内の２つ以上の導電性チューブセグメントを接続し、入口及び出口を有し、導電性コネクタ本体、２つ以上の取付部分、及び２つ以上の取付継手を含むチューブコネクタと、導電性コネクタ本体を接地に電気的に接続するために導電性コネクタ本体に接触する導電性ブラケットと、を備えるアセンブリである。

態様２は、導電性ブラケットが、クランプ部分を含み、クランプ部分が導電性コネクタ本体に外接し、導電性ブラケットを導電性コネクタ本体に取り付けるために選択的に締め付ける、態様１のアセンブリである。

態様３は、導電性ブラケットが、導電性ブラケットを接地に接続するための接地固定具を備える、態様２のアセンブリである。

態様４は、クランプ部分が、実質的に円形の形状である、態様２のアセンブリである。

態様５は、クランプ部分が、実質的に多角形の形状である、態様２に記載のアセンブリである。

態様６は、クランプ部分が、実質的に六角形の形状である、態様２に記載のアセンブリである。

態様７は、チューブコネクタが、ストレートコネクタ、Ｔコネクタ、又はエルボコネクタを含む、態様１～６のいずれか１つに記載のアセンブリである。

態様８は、チューブコネクタが、２つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するストレートコネクタである、態様７に記載のアセンブリである。

態様９は、チューブコネクタが、２つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するエルボコネクタである、態様７に記載のアセンブリである。

態様１０は、チューブコネクタが、３つのチューブセグメントを接続するための流体通路を有するＴコネクタである、態様７に記載のアセンブリである。

態様１１は、チューブコネクタの２つ以上の取付部分がそれぞれ、チューブセグメントを受け入れるためのねじ領域及びニップル領域を備える、態様１に記載のアセンブリである。

態様１２は、２つ以上の取付継手がそれぞれ、チューブセグメントをチューブコネクタのネック領域及びねじ領域に取り付けるためのナットを備える、態様１１に記載のアセンブリである。

態様１３は、導電性コネクタ本体が、導電性充填フルオロポリマーを含む、態様１に記載のアセンブリである。

態様１４は、導電性充填フルオロポリマーが、カーボン繊維、ニッケル被覆グラファイト、カーボン繊維、カーボンパウダ、カーボンナノチューブ、金属粒子、及び鋼繊維からなる群から選択された導電性材料で充填されたパーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである、態様１３に記載のアセンブリである。

態様１５は、導電性充填フルオロポリマーが、カーボン充填パーフルオロアルコキシ・アルカン・ポリマーである、態様１３に記載のアセンブリである。

態様１６は、チューブコネクタの導電性コネクタ本体、２つ以上の取付部分、及び２つ以上の取付継手のそれぞれが、電荷が導体本体から２つ以上の取付部分及び／又は２つ以上の取付継手に流れ得るように導電的に取り付けられる、態様１から１５のいずれか１つに記載のアセンブリである。

態様１７は、導電性コネクタ本体が、導電性充填ポリマーを含む１つ又は複数の内部導電性ストライプを含む、態様１から１５のいずれか１つに記載のアセンブリである。

態様１８は、導電性コネクタ本体が、チューブコネクタの入口と出口との間に延在する流体流路を画定する非導電性本体部分を更に備え、導電性本体部分が、非導電性本体部分と接触し、流体流路から外側に変位する、態様１から１５のいずれか１つに記載のアセンブリである。

態様１９は、導電性コネクタ本体の全体が、導電性充填ポリマーから製造される、態様１から１５のいずれか１つに記載のアセンブリである。

態様２０は、態様１から１５のいずれか１つに記載のアセンブリに接続された少なくとも１つのチューブセグメントを備える流体回路であり、導電性ブラケットが、チューブセグメント及びチューブコネクタを通過する流体によって発生した静電電荷を、接地端子に接続された接地線に伝達する。

本開示の様々な実施形態の説明は、例示の目的で提示しているが、網羅的であること、又は開示された実施形態に限定することを意図するものではない。記載した実施形態の範囲及び精神から逸脱することなく、多くの修正形態及び変形形態が当業者には明らかであろう。本明細書で使用される用語は、実施形態の原理、実際の用途又は市場で見られる技術に対する技術的改善を説明するために、又は当業者が本明細書に開示した実施形態を理解することを可能にするために選択された。

Claims (7)

1. 流体回路内の２つ以上の導電性チューブセグメントを接続し、入口及び出口を有し、導電性コネクタ本体、２つ以上の取付部分、及び２つ以上の取付継手を含むチューブコネクタと、
   前記導電性コネクタ本体を接地に電気的に接続するために前記導電性コネクタ本体に接触する導電性ブラケットと
   を備え、
   前記導電性ブラケットは、前記導電性コネクタ本体の外側表面に接触する内側表面で前記導電性コネクタ本体を囲む導電性クランプ部分を含む、アセンブリ。
2. 前記チューブコネクタの前記２つ以上の取付部分がそれぞれ、チューブセグメントを受け入れるためのねじ領域及びニップル領域を備える、請求項１に記載のアセンブリ。
3. 前記２つ以上の取付継手がそれぞれ、チューブセグメントを前記導電性コネクタ本体のネック領域及び前記ねじ領域に取り付けるように構成されたナットを備える、請求項２に記載のアセンブリ。
4. 前記導電性コネクタ本体が、導電性充填フルオロポリマーを含む、請求項１に記載のアセンブリ。
5. 前記導電性ブラケットは、前記導電性コネクタ本体のネック領域と連結する１つ又は複数のブラケット回転ロックタブを備える、請求項１に記載のアセンブリ。
6. 前記ブラケット回転ロックタブは、前記導電性ブラケットのクランプ部分の内部に向かって突出している、請求項５に記載のアセンブリ。
7. 請求項１から６のいずれか一項に記載のアセンブリに接続された少なくとも１つのチューブセグメントを備える流体回路であって、前記導電性ブラケットが、前記チューブセグメント及び前記チューブコネクタを通過する流体によって発生した静電電荷を、接地端子に接続された接地線に伝達する、流体回路。

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