TWI768083B - 光電子設備 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及一種光電子設備(10),該光電子設備包括: 支撐件(12); 至少一個第一導電層(18),覆蓋該支撐件; 顯示像素電路(Pix),包括:接合到該第一導電層的相反的第一表面(22)及第二表面(23),各個顯示像素電路包括電子電路(20),該電子電路包括該第一表面及與該第一表面相反的第三表面(24),該第一表面接合到該第一導電層;及至少一個光電子電路(26),接合到該第三表面且包括至少一個發光二極體,該發光二極體的電極中的至少一者藉由該第三表面連接到該電子電路; 至少一個第二導電層(34),覆蓋該等顯示像素電路且在該第二表面的側上電耦接到該等顯示像素電路的該等電子電路。
Description
本專利申請案主張法國專利申請案FR17/56984的優先權權益,其以引用方式併入本文中。
本揭示案涉及光電子設備,具體而言是涉及包括基於半導體材料的發光二極體(下文稱為LED)的顯示螢幕或影像投射設備,及它們的製造方法。
影像的像素與由光電子設備所顯示的影像的單位元素對應。在光電子設備是彩色影像顯示螢幕時,其為了顯示影像的各個像素一般包括至少三種元件(亦稱為顯示子像素),該等元件各實質上以單種色彩(例如,紅色、綠色及藍色)發射光輻射。由三種顯示子像素所發射的輻射的疊加將與所顯示的影像的像素對應的色感提供給觀察者。在此情況下,由用來顯示影像像素的三種顯示子像素所形成的組件稱為光電子設備的顯示像素。
各個顯示子像素可包括例如由半導體材料構成的光源(具體而言是發光二極體)。製造包括發光二極體的光電子設備(具體而言是顯示螢幕或影像投射設備)的習知方法(稱為「取放(pick and place)」法)包括以下步驟:以單獨元件的形式製造發光二極體,及將各個發光二極體安置在支撐件上的所需位置處,該支撐件可包括導電軌跡以供電連接發光二極體。
此類方法的缺點是,其一般需要精確地將發光二極體安置在支撐件上。這需要實施對準方法,該等對準方法皆隨著發光二極體的尺度減少而變得更加複雜。
此類方法的另一缺點是,光電子設備的解析度上的增加造成將發光二極體傳輸到支撐件上的次數上的增加且因此造成光電子設備製造的持續時間上的增加,這與工業規模下的製造不相容。
為了形成由組裝的單元LED元件構成的大型LED顯示器,應將LED與控制許多LED的控制電路一同組裝。藉由電線將不同的單元耦接在一起。此類組件減少了可傳送的資料量且難以顯示視訊串流。
對於微米範圍的LED顯示器(下文稱為µLED),對於正由若干製造商研發的TV、平板電腦、智慧型手機類型的格式,為了顯示具有高解析度的視訊串流,有源陣列是必要的。目前,顯示器的有源陣列是用薄膜電晶體(或TFT)來形成的。TFT使用大的玻璃表面區域上的非晶矽或多晶矽的沉積物,且需要在大的表面區域上使用複雜的微電子方法。
使用將控制電子設備與LED或µLED整合在一起的所謂的智能像素可允許形成無TFT的有源陣列。可將此類有源陣列形成於大的表面區域上,因為該等有源陣列基於裝載在像素下方的電子設備。另一方面,此類電子設備會受益於基於矽的技術的執行。可藉由有源矩陣來控制整合此技術的大型室外或室內螢幕,藉此增加該等螢幕的亮度,且進一步地,該等螢幕可顯示更大的資料串流。
該方法的另一優點是以非常大量的像素形成大型螢幕。預界定的TFT有源矩陣或要組裝的電子設備沒有任何限制。
因此,實施例的目標是至少部分地克服先前所述的包括發光二極體的光電子設備的缺點。
實施例的另一目標是在光電子設備的製造期間減少將元件傳輸到光電子設備的支撐件上的次數。
實施例的另一目標是減少將元件安置在光電子設備的支撐件上方面的精確度約束。
實施例的另一目標是使得能夠在工業規模下及以低成本製造光電子設備。
另一目標是讓光電子設備包括有功(active)陣列。
另一目標是讓光電子設備能夠顯示視訊串流。
因此,一個實施例提供了一種光電子設備,該光電子設備包括:
一支撐件;
至少一個第一導電層,覆蓋該支撐件;
顯示像素電路,包括:接合到該第一導電層的相反的第一表面及第二表面,各個顯示像素電路包括一電子電路,該電子電路包括該第一表面及與該第一表面相反的一第三表面,該第一表面接合到該第一導電層;及至少一個光電子電路,接合到該第三表面且包括至少一個發光二極體,該發光二極體的電極中的至少一者藉由該第三表面連接到該電子電路;
至少一個第二導電層,覆蓋該等顯示像素電路且在該第二表面的側上電耦接到該等顯示像素電路的該等電子電路。
依據一個實施例,該設備更包括覆蓋該等顯示像素電路之間的該第一導電層的一電絕緣層。
依據一個實施例,該電絕緣層覆蓋該等顯示像素電路的側向側。
依據一個實施例,各個顯示像素電路更包括:一電絕緣部分,覆蓋該電子電路及該光電子電路;及至少一個導電構件,與該電絕緣部分相交且電耦接到該第二導電層及電耦接到該光電子電路或該電子電路。
依據一個實施例,對於各個顯示像素電路而言,該光電子電路包括一有孔連接件,該有孔連接件與該光電子電路的其餘部分電絕緣且電耦接到該電子電路及該導電構件。
依據一個實施例,該設備包括:至少兩個單獨的第一導電層,該等第一導電層覆蓋該支撐件;所述顯示像素電路的組件,接合到各個第一導電層;及至少兩個第二導電層,各個第二導電層覆蓋所述顯示像素電路的該等組件中的一者且各個第二導電層電耦接到所述顯示像素電路的該等組件中的一者的該等電子電路。
依據一個實施例,該設備包括一單元,該單元用於在該第一導電層與該第二導電層之間供應藉由控制訊號來調變的一電壓,各個顯示像素電路的該電子電路能夠解調變所述電壓以抽取該等控制訊號。
依據一個實施例,各個電子電路包括一記憶體,該記憶體具有儲存在該記憶體中的一識別碼,儲存在該等電子電路中的該等識別碼是不同的,且各個電子電路包括能夠從該調變電壓抽取表示該等識別碼中的一者的資訊的電路。
依據一個實施例,該設備包括至少一個波導器,該至少一個波導器可被整合到該第二導電層、耦接到該等顯示像素電路的該等光電子電路且能夠引導一電磁輻射。
依據一個實施例,該設備更包括所述電磁輻射的一來源,該來源與該波導器耦接,且對於各個顯示像素電路而言,該光電子電路包括所述電磁輻射的一感測器,該感測器能夠向該電子電路供應一測量訊號。
依據一個實施例,該來源能夠用控制訊號調變該電磁輻射,且對於各個顯示像素電路而言,該電子電路能夠解調變該測量訊號以抽取該等控制訊號。
依據一個實施例,該設備包括至少兩個波導器,該等波導器可被整合到該第二導電層及耦接到所述顯示像素電路的不同組件的該等光電子電路。
依據一個實施例,該設備更包括該波導器與該等顯示像素電路中的至少某些顯示像素電路之間的光耦接手段。
一個實施例提供了一種製造一光電子設備的方法,該方法包括以下步驟:
a)製造顯示像素電路,該等顯示像素電路包括:相反的第一表面及第二表面,且各個顯示像素電路包括一電子電路,該電子電路包括該第一表面及與該第一表面相反的一第三表面;及至少一個光電子電路,接合到該第三表面,且包括至少一個發光二極體,該發光二極體的該等電極中的至少一者藉由該第三表面連接到該電子電路;
b)製造一支撐件,該支撐件被至少一個第一導電層覆蓋;
c)將各個顯示像素電路的該電子電路的該第一表面接合到該第一導電層;
d)形成至少一個第二導電層,覆蓋該等顯示像素電路且在該第二表面的側上電耦接到該等顯示像素電路的該等光電子電路。
依據一個實施例,該方法在步驟c)與d)之間包括以下步驟:形成覆蓋該等顯示像素電路之間的該第一導電層的一電絕緣層。
依據一個實施例,步驟a)包括針對各個顯示像素電路形成:一電絕緣部分,覆蓋該電子電路及該光電子電路;及至少一個導電構件,與該電絕緣部分相交且電耦接到該第二導電層及電耦接到該光電子電路或該電子電路。
為了明確起見,已在各種繪圖中用相同的參考標號來標誌相同的構件,且進一步地,如電子電路表示中常見的,各種繪圖並不是按照比例的。進一步地,已經示出了且將描述只有對於瞭解本揭示案而言有用的彼等構件。具體而言,發光二極體的結構對於本領域中的技術人員是眾所周知的,且不詳細描述該結構。
在以下說明中,在提及限定相對位置的用語(例如用語「頂部」、「下方」、「上」或「下」等等)時,是涉及繪圖的定向或處於正常使用位置下的光電子設備。除另有指定外,用語「大約」、「近似」及「在...的範圍」意指是在10%內,較佳地是在5%內。進一步地,發光二極體的「有功區域(active area)」指的是從以發射由發光二極體所提供的電磁輻射的大部分的發光二極體區域。進一步地,在第一恆定狀態(例如記為「0」的低態)與第二恆定狀態(例如記為「1」的高態)之間交替的訊號稱為「二進制訊號」。相同電子電路的不同二進制訊號的高態及低態可能是不同的。具體而言,二進制訊號可與在高態或低態下可能不是完美恆定的電壓或電流對應。
圖1及2示出包括顯示像素的光電子設備10(例如與顯示螢幕或影像投射設備對應)的實施例,圖1中示出了兩個顯示像素,而圖2中示出了三個顯示像素。圖1是圖2沿著線II-II的橫截面圖,而圖2是圖1沿著線I-I的橫截面圖。
從圖1中的底部到頂部,設備10包括:
支撐件12,包括相反的下表面14及上表面16(較佳地是平行的);
第一電極層18,包括覆蓋上表面16的導電層18;
顯示像素Pix(下文亦稱為顯示像素電路),安置在電極層1上且與電極層18接觸,且包括下表面22及與該下表面相反的上表面23,各個顯示像素Pix包括:
電子電路20(下文稱為控制電路),包括下表面22及與下表面22相反的上表面24,表面22、24較佳地是平行的,下表面22例如經由接合材料接合到電極層18;
光電子電路26,接合到電子電路20的上表面24,圖2中示出了每個顯示像素Pix有三個光電子電路26,各個光電子電路26包括至少一個發光二極體(未示出);
電絕緣部分28,覆蓋光電子電路26且覆蓋光電子電路26之間的控制電路20的上表面24;
導電構件30,與絕緣部分28相交且與光電子電路26及控制電路20的上表面24接觸;
電絕緣層32,覆蓋顯示像素Pix之間的電極層18且覆蓋電子電路20的側向側且可能覆蓋絕緣部分28的側向側;及
第二電極層34,包括至少部分地透明於由發光二極體所發射的輻射的導電層,導電層34覆蓋絕緣層32及絕緣層28且與各個顯示像素Pix的導電構件30接觸。
包覆層(未示出)可覆蓋導電層34。
在電子電路20的下表面22是藉由接合材料來接合到電極層18的時候,接合材料較佳地是導電的。舉個變體,可使用例如佈置在電子電路20的下表面22的周邊處的不導電的接合材料。
依據一個實施例,各個光電子電路26包括至少一個發光二極體。在光電子電路26包括兩個或多於兩個發光二極體的情況下,光電子電路26的所有發光二極體較佳地實質上以相同的波長發射光輻射。
各個發光二極體可與所謂的二維發光二極體對應,該二維發光二極體包括實質平坦的半導體層的堆疊,該等半導體層包括有功區域。各個發光二極體可包括具有徑向結構的至少一個三維發光二極體,該徑向結構包括覆蓋三維半導體構件(具體而言是微導線、奈米線、錐體、平截頭體、角錐體、截頭角錐體)的半導體殼,該殼體是由包括有功區域的非平坦半導體層的堆疊所形成的。此類發光二極體的示例被描述在專利申請案US2014/0077151及US2016/0218240中。各個發光二極體可包括具有軸向結構的至少一個三維發光二極體,在該至少一個三維發光二極體處,殼體定位在半導體構件的軸向範圍上。
對於各個顯示像素Pix而言,可藉由「倒裝(flip-chip)」類型的連接將光電子電路26接合到控制電路20。將光電子電路26耦接到控制電路20的易熔導電構件36(例如焊球或銦球)確保了光電子電路26與控制電路20之間的機械耦接,且進一步確保了將光電子電路26的發光二極體或多個發光二極體電連接到控制電路20。依據另一實施例,可藉由直接接合將各個光電子電路26接合到控制電路20。
依據一個實施例,各個顯示像素Pix包括至少兩個類型的光電子電路26。第一類型的光電子電路26能夠發射第一波長下的第一輻射,而第二類型的光電子電路26能夠發射第二波長下的第二輻射。依據一個實施例,各個顯示像素Pix包括至少三個類型的光電子電路26,第三類型的光電子電路26能夠發射第三波長下的第三輻射。第一、第二及第三波長可以是不同的。
依據一個實施例,第一波長與藍光對應且是在從430 nm到490 nm的範圍內。依據一個實施例,第二波長與綠光對應且是在從510 nm到570 nm的範圍內。依據一個實施例,第三波長與紅光對應且是在從600 nm到720 nm的範圍內。
依據一個實施例,各個顯示像素Pix包括第四類型的光電子電路26,第四類型的光電子電路26能夠發射第四波長下的第四輻射。第一、第二、第三及第四波長可以是不同的。依據一個實施例,第四波長與黃光對應且是在從570 nm到600 nm的範圍中。依據另一實施例,第四輻射與近紅外線中(具體而言是在700 nm與980 nm之間的波長下)的輻射對應、與紫外線輻射對應或與白光對應。
各個光電子電路26可包括半導體基板,該半導體基板具有安置在其上的發光二極體或多個發光二極體。半導體基板例如是由矽、鍺、碳化矽、III-V族化合物(例如GaN或GaAs)製作的基板、ZnO基板或藍寶石基板。依據另一實施例,各個光電子電路26可能不包括基板。可接著將鏡層佈置在光電子電路26與發光二極體或多個發光二極體接觸的下表面上。依據一個實施例,鏡層能夠至少部分地反射由發光二極體所發射的輻射。
各個控制電路20可包括用來控制發光二極體的電子元件(未示出)(具體而言是電晶體)。各個控制電路26可包括具有電子元件的半導體基板,該等電子元件形成在該半導體基板裡面及/或該半導體基板的頂部上。控制電路20的下表面22可接著與基板的後表面對應,該後表面與基板的前表面相反,該前表面是在基板的形成電子元件的側上。半導體基板例如是由矽(具體而言是單晶矽)製作的基板。
較佳地,光電子電路26僅包括發光二極體及發光二極體的連接構件,而控制電路20包括用來控制光電子電路26的發光二極體的所有必要電子元件。舉個變體,光電子電路26亦可包括除了發光二極體以外的其他電子元件。
光電子設備10可包括從10個到109
個的顯示像素Pix。各個顯示像素Pix在俯視圖中可佔用從1 µm2
到100 mm2
的範圍中的表面面積。各個顯示像素Pix的厚度可在從100 µm到10 mm的範圍中。各個電子電路20的厚度可在從1 µm到2,000 µm的範圍中。各個光電子電路26的厚度可在從0.2 µm到1,000 µm的範圍中。
支撐件12可由例如包括聚合物(具體而言是環氧樹脂)的電絕緣材料(且具體而言是用於製造印刷電路的FR4材料)或金屬材料(例如鋁)製作。支撐件12的厚度可在從100 µm到10 mm的範圍中。
導電層18較佳地與金屬層(例如鋁、銀、銅或鋅)對應。導電層18的厚度可在從0.5 µm到1,000 µm的範圍中。
各個絕緣部分28可由例如具有氧化矽(SiO2
)、氮化矽(Six
Ny
,其中x大約等於3而y大約等於4,例如Si3
N4
)、氮氧化矽(SiOx
Ny
,其中x可大約等於1/2,y可大約等於1,例如Si2
ON2
)、氧化鋁(Al2
O3
)或氧化鉿(HfO2
)的介電材料製作。各個絕緣部分28的最大厚度可在從0.5 µm到1,000 µm的範圍中。
各個導電構件30可由選自包括以下項目的群組的材料製作:銅、鈦、鎳、金、錫、鋁及這些化合物中的至少兩者的合金。
絕緣層32可由例如具有氧化矽(SiO2
)、氮化矽(Six
Ny
,其中x大約等於3而y大約等於4,例如Si3
N4
)、氮氧化矽(SiOx
Ny
,其中x可大約等於1/2,y可大約等於1,例如Si2
ON2
)、氧化鋁(Al2
O3
)或氧化鉿(HfO2
)的介電材料製作。絕緣層32的厚度可在從0.02 µm到1,000 µm的範圍中。較佳地,絕緣層32是不透明的。絕緣層32可與具體填有氧化鈦粒子的白色樹脂、黑色樹脂或透明樹脂對應。
導電層34能夠讓由發光二極體所發射的電磁輻射通過。形成導電層34的材料可為透明導電材料,例如氧化銦錫(ITO)、氧化鋁鋅或氧化鎵鋅、或石墨烯。顯示像素Pix上的導電層34的最小厚度可在從0.1 µm到1,000 µm的範圍中。
包覆層可由至少部分地透明的絕緣材料製作。包覆層可由至少部分地透明的無機材料製作。舉個例子,無機材料選自包括以下項目的群組:SiOx
類型(其中x是1與2之間的實數)或SiOy
Nz
類型(其中y及z是0與1之間的實數)的氧化矽、及氧化鋁(例如Al2
O3
)。包覆層可由至少部分地透明的有機材料製作。舉個例子,包覆層是矽氧聚合物、環氧聚合物、丙烯酸聚合物或聚碳酸酯。
依據一個實施例,操作時,為了顯示像素Pix(具體而言是顯示像素Pix的光電子電路26的發光二極體)的供電而在電極層34與18之間施加電壓VE
。
圖3示出圖1及2中所示的顯示像素Pix的等效電圖。各個發光二極體LED的第一電極(例如陰極)連接到顯示像素Pix的控制電路20,而各個發光二極體LED的第二電極(例如陽極)連接到電極層34。控制電路20被連接在電極層18與34之間且接收電壓VE
。電路20控制光電子電路26的發光二極體。
圖4A是光電子設備37的另一實施例的與圖1類似的視圖,該光電子設備包括光電子設備10的所有構件,其中差異在於,絕緣層32不存在且電極層34安置在基板38上。製造光電子設備37的方法包括以下步驟:在支撐件12上形成電極層18,在電極層18上組裝顯示像素Pix,在基板38上形成電極層34,及接著將顯示像素Pix雜交(hybridize)在電極層34上。支撐件12及基板38可為可撓的,這允許製造可撓的光電子設備37。
圖4B是光電子設備40的另一實施例的與圖1類似的視圖,該光電子設備包括光電子設備10的所有構件,其中差異在於,對於各個顯示像素Pix而言,光電子電路26被整合在單個光電子電路42中,光電子電路42覆蓋顯示像素Pix的控制電路20的上表面24且例如藉由易熔導電構件36接合到控制電路20的上表面24。各個光電子電路42包括相反的下表面44及上表面46(該等表面較佳地是平行的),光電子電路42的下表面44接合到控制電路20的上表面24。光電子電路42包括例如形成在光電子電路42的部分47中的至少一個有孔的垂直連接件48或矽穿通孔(through silicon via, TSV),該至少一個有孔垂直連接件或TSV將上表面46耦接到下表面44且與光電子電路42的其餘部分電絕緣。部分47可由電絕緣材料或半導體材料製作。在最後一種情況下,TSV 48被電絕緣層圍繞。各個光電子電路42的上表面46被絕緣部分28覆蓋。絕緣部分28被與TSV 48接觸的導電構件30交錯。依據另一實施例,控制電路20的電力供應是用TSV 48以外的手段達成的。
依據一個實施例,各個TSV 48可包括由被電絕緣層圍繞的導電材料(例如多晶矽、鎢、銅、鋁或耐火金屬材料)製作的核心。
各個光電子電路42包括能夠發射第一波長下的第一輻射的至少一個第一發光二極體及能夠發射第二波長下的第二輻射的第二發光二極體。各個光電子電路42可更包括能夠發射第三波長下的第三輻射的至少一個第三發光二極體。
圖5示出圖3中所示的顯示像素Pix在各個光電子電路42包括三個發光二極體的情況下的等效電圖。在此實施例中,光電子電路42的各個發光二極體LED的兩個電極連接到顯示像素Pix的控制電路20。控制電路20被連接在電極層18與34之間且接收電壓VE
。電路20控制光電子電路26的發光二極體LED。
在本實施例中,導電層18與光電子電路10、40的所有顯示像素Pix接觸,且導電層34與光電子電路10、40的所有顯示像素Pix接觸。
製造光電子設備10或40的方法的實施例包括以下步驟:製造顯示像素Pix及將各個顯示像素Pix單獨安裝在電極層18上。依據一個實施例,電極層18及34是所有顯示像素Pix共有的,顯示像素Pix的連接被簡化了,且用高精確度執行將各個顯示像素Pix安置在電極層18上的步驟並不是必要的。這有利地允許在減少的成本下實施更快速的技術來將顯示像素Pix佈置在電極層18上。進一步地,因為發光二極體先前就被組裝在顯示像素Pix的電子電路20上,在光電子設備10或40的組裝期間要執行的傳輸次數減少了。在本實施例中,各個顯示像素Pix可包括記憶體,該記憶體具有儲存在其中的像素識別碼。製造方法可包括校準階段,在校準階段,各個顯示像素Pix的位置依據該顯示像素的識別碼而被恢復。操作時,可接著依據像素的識別碼將資料傳送到該等像素。
圖6示出光電子設備10或40的簡化俯視圖,該視圖繪示以下事實:不非常精確地佈置(例如完美地對準成列及成行)顯示像素Pix是可能的,且某些顯示像素Pix可相對於列及行的方向而傾斜。
在先前所述的實施例中,電極層18連接到所有顯示像素Pix且以延伸於支撐件12的大部分或甚至所有部分上方的不間斷的層的形式呈現。
對於各個顯示像素Pix而言,控制電路20能夠接收控制訊號,及藉由所接收到的控制訊號控制顯示像素的發光二極體(具體而言是控制由顯示像素所發射的光的明暗、飽和度及亮度)。
依據一個實施例,可藉由調變電壓VE
將控制訊號傳送到顯示像素Pix的控制訊號20。
圖7非常示意性地示出了處理單元49,該處理單元接收控制訊號COM且能夠將電壓VE
供應給光電子設備10及40以供將顯示像素Pix供電,該電壓是用控制訊號COM調變的。 處理單元49可與專用電路對應或可包括能夠執行儲存在記憶體中的電腦程式的指令的處理器(例如微處理器或微控制器)。
各個顯示像素Pix的控制電路20可藉由解調變電壓VE
來抽取控制訊號COM。控制電路20可接著決定控制訊號COM是否被定址到該控制電路。舉個例子,可將識別碼與各個顯示像素Pix相關聯,且藉由解調變電壓VE
所獲得的控制訊號COM可包括控制訊號所要針對的顯示像素的識別碼。
有利地,可執行顯示像素Pix的主動定址(active addressing)。確實,各個控制電路20可控制維持顯示性質(具體而言是顯示像素的明暗、飽和度及亮度)直到該控制電路接收到新的控制訊號為止的行為。
圖8A示出光電子設備50的另一實施例的簡化俯視圖,該光電子設備包括光電子設備10或40的所有構件,其中電極層18被分割成延伸在支撐件12上的平行導電條52,在圖8中作為一個示例而示出了三個狹條52。各個導電條上分佈了至少一列的顯示像素Pix。較佳地,各個導電條52上分佈了複數列的顯示像素Pix,在圖8中作為一個示例而每個導電條52示出了三列的顯示像素Pix。
依據另一實施例,電極層18及/或電極層34可被分割成單獨的電極部分。依據另一實施例,電極層34亦可被分割成平行的導電條。在電極層18及34各被分割成狹條時,電極層18的狹條較佳地具有與電極層34的狹條實質相同的尺度,且電極層34的各個狹條實質覆蓋電極層18的狹條中的單個狹條。依據另一實施例,電極18或34中的一者可以是顯示像素Pix共有的,而另一電極18或34被分割成平行的導電條。在電極層18、34被分割成將顯示像素的組件夾在中間的堆疊狹條的實施例中,可藉由對於顯示像素的各個組件不同地調變電壓VE
來並行地傳送不同的控制訊號。這允許針對顯示像素Pix的各個組件並行傳送控制訊號。這允許減少電磁輻射的調變頻率及/或增加傳送資料的速率。
圖8B是光電子設備55的另一實施例的部分簡化俯視圖,其中電極層18被分割成沿著列方向延伸的導電條56,且其中電極層34被分割成沿著行方向延伸的導電條58(且稱為行電極)。在俯視圖中,在各個列電極56與各個行電極58之間的交點處佈置了至少一個顯示像素Pix,且該至少一個顯示像素連接到列電極56及行電極58。舉個例子,在圖8B中,在俯視圖中,在各個列電極56與各個行電極58的交點處提供了三個顯示像素Pix,且該等顯示像素形成了要顯示的影像的像素。在針對要顯示的影像的各個像素提供了複數個顯示像素Pix時,這允許在顯示像素Pix中的一者會是有缺陷的情況下具有一定的冗餘度。
圖9是光電子設備60的另一實施例的與圖1類似的視圖,該光電子設備包括光電子設備10的所有構件且更包括第一層62及覆蓋電極層34的第二層64的堆疊。層62是由具有大於形成層64的材料的折射率的折射率的材料製作的。層62及64至少部分地透明於由顯示像素Pix所發射的輻射。層64例如是由玻璃、SiO2
、Al2
O3
、HfO2
、有機材料(例如聚合物,具體而言是聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA))製作的。層62例如與氣膜對應。層64形成電磁輻射66(例如在可見光範圍中或在可見光範圍之外的電磁輻射,較佳地是在紅外線與紫外線範圍之間的波長範圍中的電磁輻射)的波導器。光電子設備60包括能夠在層64中發射此類輻射66的光電子電路68。光電子電路68可定位在層64的周邊處,且可在層64中從該層的側緣發射輻射66。紅外線輻射被調變為輸送先前所述的控制訊號。依據一個實施例,在各個顯示像素Pix與波導器64之間提供了光耦接手段70,使得波導器64中所引導的輻射66的一小部份72經由耦接手段70散逸在顯示像素Pix的層級下。舉個例子,耦接手段70與提供在層64上及/或層62上的與各個顯示像素Pix相對的紋飾對應,以確保各個顯示像素Pix與層64之間的光耦接。耦接手段70例如與繞射光柵對應,該繞射光柵允許朝向相關聯的顯示像素Pix反射在波導器64中傳播的電磁輻射的一部分。
各個顯示像素Pix包括能夠偵測由光電子電路68所發射的輻射的至少一個感測器74(例如光電二極體或光敏電阻器),該感測器將例如表示由顯示像素Pix所接收的輻射72的強度的電訊號供應給控制電路20。控制電路20連接到感測器且能夠基於由感測器所供應的測量訊號來抽取控制訊號。
依據一個實施例,輸送控制訊號的相同電磁輻射被傳送到所有顯示像素Pix。依據另一實施例,可提供複數個波導器,各個波導器與顯示像素的組件相關聯。依據另一實施例,可在波導器中形成光連續性中斷區域以能夠定址不同群組的像素。
圖10是光電子設備80的另一實施例的部分簡化俯視圖,該光電子設備包括具有光不連續性的單獨的波導器82或單個波導器,各個波導器覆蓋顯示像素的組件(未示出)。光電子設備80更包括光電子電路84,各個光電子電路能夠在相關聯的波導器82中發射非可見光範圍中的電磁輻射。這允許針對顯示像素Pix的各個組件並行傳送控制訊號。這允許減少電磁輻射的調變頻率及/或增加傳送資料的速率。
圖11是光電子設備90的另一實施例的部分簡化俯視圖,該光電子設備包括設備80的所有構件,各個單獨的波導器82覆蓋至少一列顯示像素。
在本實施例中,電極層34或電極層18被分割成沿著行方向延伸的導電條92。各個導電條92耦接到至少一個像素行的顯示像素。
顯示像素控制方法的實施例包括:經由電極18、92選定顯示像素或顯示像素群組的階段,之後是向顯示像素中由波導器82中的一者所選定的某些顯示像素傳送資料的階段。可藉由以下步驟來執行選定階段:使得耦接到要選定的顯示像素的導電條92轉移到第一電勢,而將其他導電條92維持在與第一電勢不同的第二電勢下。只有被選定的顯示像素是有功的且能夠處理由電磁輻射所傳送的資料。其他顯示像素是無功的且忽略由輻射所傳送的資料。接著將輸送資料的輻射發射到覆蓋關注像素的波導器82中。只有已被選定且被波導器82覆蓋的顯示像素將處理藉由偵測由波導器82所傳送的輻射所獲得的資料。
依據一個實施例,各個導電條92耦接到單行顯示像素的顯示像素,且各個波導器82僅覆蓋一列顯示像素。先前所述的控制方法因此允許僅選定單個顯示像素及向單個顯示像素傳送資料。
圖12是光電子設備100的另一實施例的部分簡化俯視圖,其中電極層18被分割成沿著列方向延伸且稱為列電極的導電條102,各個導電條102耦接到像素列的顯示像素Pix,且其中電極層34被分割成沿著行方向延伸且稱為行電極的導電條104,各個導電條104耦接到像素行的顯示像素Pix。
如圖12中所示,各個導電條102的寬度大於顯示像素Pix沿著行方向所測量到的尺度,且各個導電條104的寬度大於顯示像素Pix沿著列方向所測量到的尺度。藉此,對於各列而言,顯示像素Pix可能屬於不被完美對準的列。類似地,對於各行而言,顯示像素Pix可能屬於不被完美對準的行。
控制顯示像素Pix的方法的實施例包括:選定顯示像素的階段,之後是向顯示像素Pix傳送資料的階段。
圖13是分別施加到耦接到要控制的顯示像素的行及列電極的各別電勢Vpix+及Vpix-的時序圖,而圖14是在要控制的顯示像素的電源終端之間看到的電壓訊號的時序圖。
依據一個實施例,光電子電路100能夠在兩個值V0與V1(V1大於V0)之間變化各個列電極的電勢,且能夠在兩個值V2與V3(V3大於V2,且V2大於V1)之間變化各個行電極的電勢。V3與V2之間的差異可等於V1與V0之間的差異。
依據一個實施例,控制方法包括:選定要控制的顯示像素的階段S1,之後是向選定的顯示像素傳送資料的階段S2。
階段S1包括以下步驟:將耦接到要控制的顯示像素的列電極轉移到V0,使其他列電極處於V1,及將耦接到要控制的顯示像素的行電極轉移到V3,使其他行電極處於V2。要控制的顯示像素接著看到等於V3-V0的電壓,而相同列的其他顯示像素看到等於V2-V0的電壓,相同行的其他顯示像素看到等於V3-V1的電壓,而其他列及行的其他顯示像素看到等於V2-V1的電壓。要控制的顯示像素以外的所有顯示像素都看到小於V3-V0的電壓。
階段S2包括以下步驟:在V2與V3之間變化要控制的顯示像素的行電極的電勢,而使要控制的顯示像素的列電極處於V1。藉此,由要控制的顯示像素看到的電壓與行電極的電勢類似地變化。
各個顯示像素能夠在階段S1處偵測施加到該顯示像素的電源電壓是否大於臨界值。在顯示像素在階段S1偵測到施加到該顯示像素的電源電壓大於臨界值時,該顯示像素能夠處理接著在階段S2期間傳送的資料。在顯示像素在階段S1偵測到施加到該顯示像素的電源電壓小於臨界值時,該顯示像素不處理接著在階段S2期間傳送到該顯示像素的資料。
本實施例允許選定顯示像素同時維持其他顯示像素的電力供應。本實施例更允許向顯示像素陣列的單個顯示像素傳送資料。有利地,陣列的所有顯示像素可與相同的光電子設備對應。這允許簡化顯示像素及顯示像素組件的設計。本實施例更允許向複數個顯示像素同時傳送資料,或甚至允許向所有顯示像素同時傳送資料。進一步地,使電極中的一者的電勢在階段S2期間保持恆定的事實有利地允許顯示像素在階段S2期間具有恆定的電勢基準,這簡化了由顯示像素進行的訊號處理。
在階段S2期間傳送的資料可為二進制資料及/或類比資料。傳送的資料可為經調變的。其可為頻率、振幅、相位調變或脈寬調變。
舉個例子,在圖13及14中,階段S2連續地包括與傳送二進制資料對應的子階段Scom、與針對第一顯示子像素(例如紅色顯示子像素)傳送控制訊號對應的階段SR、與針對第二顯示子像素(例如綠色顯示子像素)傳送控制訊號對應的階段SG及與針對第三顯示子像素(例如藍色顯示子像素)傳送控制訊號對應的階段SB。舉個變體,可省略子階段Scom。
依據一個實施例,各個子階段SR、SG及SB包括以下步驟:傳送具有一定持續時間的電壓脈衝,該持續時間表示啟動所考慮的顯示子像素的所需持續時間。
圖15示出顯示像素Pix的實施例的等效電圖。
顯示像素Pix耦接到行電極104中處於電勢Vpix+的一個行電極,且耦接到列電極102中處於電勢Vpix-的一個列電極。
顯示像素Pix包括處理單元CM(訊號處理器)、用於控制第一顯示子像素(紅色像素)(例如紅色顯示子像素)的單元CR、用於控制第二顯示子像素(綠色像素)(例如綠色顯示子像素)的單元CG及用於控制第三顯示子像素(藍色像素)(例如藍色顯示子像素)的單元CB。處理單元CM的電子元件定位在控制電路20的層級處。單元CR、CG、CB的電子元件可定位在控制電路20的層級處及/或光電子電路26的層級處。
各個單元CM、CR、CG及CB耦接到與電勢Vpix+及Vpix-相關聯的行電極102及列電極104以供進行該等單元的電力供應。控制電路CM接收電勢值Vpix+及Vpix-及訊號「end」作為輸入訊號,且輸出三個二進制訊號「data」、「write」及「clear」。依據一個實施例,單元CR、CG及CB是相同的,且各個單元CR、CG及CB包括三個輸入「write capacitor」、「write enable」及「clear pixel」以及輸出「write done」。舉個變體,單元CB可與單元CR及CG不同,且可不包括輸出「write done」。各個單元CR、CG及CB的輸入「write capacitor」各接收訊號「data」。各個單元CR、CG及CB的輸入「clear pixel」各接收訊號「clear」。單元CR的輸入「write enable」接收訊號「write」。單元CG的輸入「write enable」耦接到單元CR的輸出「write done」,而單元CB的輸入「write enable」耦接到單元CG的輸出「write done」。在圖15中所繪示的實施例中,單元CB的輸入「write done」供應由單元CM所接收的訊號「end」。
圖16示出單元CR的實施例的等效電圖,其中單元CG及CB可以是相同的。
依據一個實施例,單元CR包括發光二極體LED,該發光二極體的陽極耦接到電勢Vpix+下的電極且該發光二極體的陰極耦接到MOS電晶體T1的汲極或源極之中的一個控制終端,且該MOS電晶體的另一控制終端耦接到電勢Vpix-下的電極。單元CR更包括電容器C1,該電容器具有耦接到電晶體T1的閘極的電極,且該電容器的另一電極耦接到電勢Vpix-的電極。單元CR更包括MOS電晶體T2,該MOS電晶體具有汲極或源極之中的一個控制終端,該控制終端耦接到電晶體T1的閘極,且該MOS電晶體的另一控制終端耦接到電勢Vpix-下的電極。電晶體T2的閘極耦接到輸入「clear pixel」。單元CR更包括具有兩個輸入的三輸入AND邏輯閘AND1,該等輸入與單元CR的輸入「write enable」及「write capacitor」對應。邏輯閘AND1向電流源CS供應控制訊號「enable」,該電流源具有耦接到電勢Vpix+下的電極的終端,且該電流源的另一終端耦接到電晶體T1的閘極。單元CR更包括RS正反器RS1,該RS正反器的S輸入(對於下降的邊緣敏感)接收訊號「enable」,該RS正反器的R輸入耦接到單元CR的輸入「clear pixel」,且該RS正反器的輸出耦接到邏輯閘AND1的第三輸入。正反器RS1的Q輸出耦接到單元CR的輸出「write done」。
圖17示出圖15的顯示像素的控制循環期間的訊號的時序圖。將t0、t1、t2、t3、t4、t5、t6及t7稱為連續的時間。單元CR的輸出「write enable」供應訊號「Red Done」。單元CG的輸出「write enable」供應訊號「Green Done」。單元CB的輸出「write enable」供應訊號「Blue Done」。
訊號「Red Cap」、「Green Cap」及「Blue Cap」分別與跨各別的單元CR、CG及CB的電容器C1的電壓對應。訊號「sig」與電勢Vpix+與Vpix-之間的差異對應。訊號「sig」可採取三個離散的值「0」、「1」及「2」。
在本實施例中,訊號「data」在選定階段之外等於訊號「sig」,且訊號「write」在顯示子像素的控制階段期間被設定為「1」。
在時間t0處,訊號「Red Done」、「Green Done」及「Blue Done」處於「1」,訊號「sig」處於「0」,而訊號「clear」處於「0」。在時間t1處,訊號「sig」從「0」切換到「2」。單元CM偵測到顯示像素被選定且將訊號「clear」設定為「1」。在時間t2處,訊號「sig」切換到「0」。單元CM接著將訊號「write」設定為「1」及將訊號「clear」設定為「0」。這初始化了單元CR、CG及CB的正反器RS1、將訊號「Red Done」、「Green Done」及「Blue Done」設定為「0」及空化(empty)單元CR、CG及CB的電容器C1,而將電壓「Red Cap」、「Green Cap」及「Blue Cap」設定為0。在時間t3處,紅色顯示子像素的控制階段起動。在本實施例中,紅色顯示子像素被啟動,且訊號「sig」切換到「1」。訊號「data」等於訊號「sig」,使得單元CR的電容器C1被電流源CS充電,直到時間t4為止,在時間t4處,訊號「sig」及「data」切換到「0」。訊號「Red Done」接著切換到「1」。在時間t5處,綠色顯示子像素的控制階段起動。在本實施例中,綠色顯示子像素不被啟動,且訊號「sig」切換到「1」非常短的時間。單元CG的電容器C1實質上不被充電,且訊號「Green Done」接著切換到「1」。在時間t6處,藍色顯示子像素的控制階段起動。在本實施例中,藍色顯示子像素被啟動,且訊號「sig」切換到「1」。訊號「data」等於訊號「sig」,使得單元CR的電容器C1被電流源CS充電,直到時間t7為止,在時間t7處,訊號「sig」及「data」切換到「0」。訊號「Blue Done」接著切換到「1」。
圖18示出單元CM的另一實施例的等效電圖,該單元被調適為用於訊號「end」是由單元CG、單元CR的輸出「write」所供應的情況,單元CG例如與下文所述的圖20中所示的電圖對應,而單元CB例如與下文所述的圖21中所示的電圖對應。在本實施例中,在傳送階段S2期間,訊號「data」等於延遲給定持續時間ΔT的訊號「sig」,而訊號「write」等於訊號「sig」。
單元CM包括模塊「起動偵測器」,該模塊包括耦接到電勢Vpix+下的電極的輸入s+及耦接到電勢Vpix-下的電極的輸入s-且供應二進制訊號「start」。模塊「起動偵測器」能夠偵測到與輸入s+與s-之間的電壓對應的訊號「sig」切換到「2」,且能夠在訊號「sig」切換回「0」時將訊號「start」設定為「1」。
單元CM包括模塊「資料抽取器」,該模塊包括耦接到電勢Vpix+下的電極的輸入s+、耦接到電勢Vpix-下的電極的輸入s-及接收訊號「start」的輸入「enable」。該模塊供應訊號「clear」及訊號「raw_data」,訊號「raw_data」是從訊號「sig」抽取的且例如與選定階段之外的二進制版本的訊號「sig」對應。
單元CM包括模塊「零點偵測器」,該模塊接收訊號「raw_data」且供應等於訊號「raw_data」的訊號「write」且供應等於訊號「raw_data」的訊號「data」,其中處於「1」的各個脈衝的持續時間減少持續時間ΔT,各個脈衝的開始延遲持續時間ΔT,且各個脈衝的結束是未更改的,使得若訊號「raw_data」的脈衝短於持續時間ΔT,則訊號「data」不包括對應的脈衝。
圖19示出圖18中所示的單元CM的實施例的更詳細電圖。
單元CM包括第一電壓分配橋,該第一電壓分配橋包括在電勢Vpix+下的電極與電勢Vpix-下的電極之間串聯組裝的兩個電阻器R1及R2。第一分配橋的中點供應了一連串的兩個串聯的反相器INV1及INV2,第二反相器INV2供應訊號「start」。單元CM包括RS正反器RS2,該RS正反器的S輸入接收訊號「start」,且該RS正反器的輸入R(對下降的邊緣敏感)接收訊號「end」。訊號「end」是由單元CG的輸出「write done」所供應的,如圖20中所述。單元CM包括NOR邏輯閘NOR1,該NOR邏輯閘的第一輸入接收訊號「start」,該NOR邏輯閘的第二輸入耦接到正反器RS2的輸出,且該NOR邏輯閘供應訊號「enable」。
單元CM包括第二電壓分配橋,該第一電壓分配橋包括在電勢Vpix+下的電極與電勢Vpix-下的電極之間串聯組裝的兩個電阻器R3及R4。單元CM包括在電勢Vpix+下的電極與電勢Vpix-下的電極之間串聯組裝的三個MOS電晶體T3、T4及T5。電晶體T3具有P通道,而電晶體T4及T5具有N通道。電晶體T3及T4的閘極接收訊號「enable」。第二分配橋的中點對電晶體T5的閘極供電。
電晶體T3的源極對反相器INV3供電,該反相器供應訊號「write」。單元CM包括雙輸入AND邏輯閘AND2,該雙輸入AND邏輯閘的第一輸入接收訊號「write」。單元CM包括組裝在反相器INV3的輸出與閘AND2的第二輸入之間的電阻器R5。單元CM包括電容器C2,該電容器具有耦接到閘AND2的第二輸入的電極,且該電容器的另一電極耦接到電勢Vpix-的電極。閘AND2的輸出供應訊號「data」。
圖20示出單元CR的其他實施例的等效電圖,其中單元CG可以是相同的。單元CR包括圖16中所示的單元的所有構件,其中差異在於,正反器RS1的S輸入耦接到單元CR的輸入「write enable」,且單元CR包括雙輸入AND邏輯閘AND3,該雙輸入AND邏輯閘的第一輸入接收Q訊號,該雙輸入AND邏輯閘的第二輸入耦接到輸入「write enable」,且該雙輸入AND邏輯閘的輸出耦接到輸出「write done」。
圖21示出單元CB的另一實施例的等效電圖。單元CB包括圖16中所示的單元的所有構件,其中差異在於,正反器RS1不存在,且三輸入邏輯閘AND1被雙輸入邏輯閘AND4替換,該雙輸入邏輯閘的第一輸入耦接到單元CB的輸入「write capacitor」,且該雙輸入邏輯閘的第二輸入耦接到單元CB的輸入「write enable」,且該雙輸入邏輯閘供應訊號「enable」。
圖22示出圖18的顯示像素的控制循環期間的訊號的時序圖。將t'0、t'1、t'2、t'3、t'4、t'5、t'6、t'7、t'8及t'9稱為連續的時間。訊號「Red write enable」、「Green write enable」及「Blue write enable」與分別由單元CR、CG及CB的輸入「write enable」所接收的訊號對應。
訊號在時間t'0、t'1、t'2處用與先前已針對訊號t0、t1及t2所述相同的方式變化。在時間t'3處,紅色顯示子像素控制階段起動。在本實施例中,紅色顯示子像素被啟動,且訊號「sig」切換到「1」。訊號「data」等於延遲持續時間ΔT的訊號「sig」,使得單元CR的電容器C1從時間t'4到時間t'5被電流源CS充電,從時間t'4到時間t'5,訊號「sig」、「data」及「Red write enable」切換到「0」。單元CR的訊號「write done」接著變成等於訊號「Red write enable」。在時間t'6處,綠色顯示子像素控制階段起動。在本實施例中,綠色顯示子像素不被啟動,且訊號「sig」切換到「1」短於ΔT的持續時間。訊號「write」及「Green write enable」亦切換到「1」此非常短的持續時間。然而,訊號「data」保持在「0」,使得單元CG的電容器C不被充電。單元CR的訊號「write done」接著變成等於訊號「Green write enable」。在時間t'7處,藍色顯示子像素控制階段起動。在本實施例中,藍色顯示子像素被啟動,且訊號「sig」切換到「1」。訊號「data」等於延遲持續時間ΔT的訊號「sig」,使得單元CB的電容器C從時間t'8到時間t'9被電流源CS充電,從時間t'8到時間t'9,訊號「sig」、「data」、「Red write enable」、「Green write enable」及「Blue write enable」切換到「0」。
依據一個實施例,顯示像素可被形成為具有小於150個MOS電晶體、5個電阻器及4個電容器。其可因此佔用小的表面面積。
圖23示出顯示像素Pix的另一實施例的電圖。
顯示像素Pix耦接到行電極102中處於電勢Vpix+的一個行電極,且耦接到列電極104中處於電勢Vpix-的一個列電極。
顯示像素Pix包括級別偵測單元M1、上升邊緣偵測器M2及計數器M3(環式計數器)及顯示子像素控制單元CR、CG及CB。單元M1、M2及M3的電子元件定位在控制電路20的層級處。單元CR、CG、CB的電子元件可定位在控制電路20的層級處及/或光電子電路26的層級處。
各個單元M1、M2、M3、CR、CG及CB耦接到與電勢Vpix+及Vpix-相關聯的行電極102及列電極104以供進行該等單元的電力供應。
單元M1分別接收電勢值Vpix+及Vpix-作為輸入V+及V-處的輸入訊號且接收二進制訊號「Reset」及供應二進制訊號「Detect enable」及二進制訊號「Clear」。單元M2分別接收電勢值Vpix+及Vpix-作為輸入V+及V-處的輸入訊號且在輸入「Enable」處接收二進制訊號「Detect enable」且供應二進制訊號「Clock」。單元M3接收二進制訊號「Clock」且供應三個二進制訊號b0、b1及b2。b2的下降邊緣重設單元M1。
各個單元CR、CG及CB包括輸入「Cap reset」及輸入「Prog」。各個單元CR、CG及CB的輸入「Cap reset」接收訊號「Detect enable」。單元CR的輸入「Prog」接收訊號b0,單元CG的輸入「Prog」接收訊號b1,而單元CB的輸入「Prog」接收訊號b2。
在本實施例中,單元M1能夠藉由訊號「sig」的增加來偵測顯示像素被選定。在已偵測到選定時,單元M2偵測訊號「sig」的上升邊緣。單位CR、CG及CB的電容器依序被充電,從一個單元切換到另一個單元的行為是藉由訊號「sig」的下降邊緣來觸發的。在各個序列開始時,單元CR、CG及CB的電容器被放電。
圖24示出單元M3的實施例。單元M3包括具有不同步的/S及/R輸入的一連串的四個D型正反器D1、D2、D3及D4。各個正反器D1、D2及D3的ck輸入接收訊號「Clock」。正反器D1的Q輸出耦接到正反器D2的D輸入,正反器D2的Q輸出耦接到正反器D3的D輸入,而正反器D3的Q輸出耦接到正反器D4的D輸入。正反器D1的輸出在設定計數器時處於「1」,同時其他正反器的輸出處於邏輯狀態「0」。位元b0與由正反器D2的Q輸出所供應的訊號對應,位元b1與由正反器D3的Q輸出所供應的訊號對應,而位元b2與由正反器D4的Q輸出所供應的訊號對應。源自單元M1的訊號「Clear」被供應到反相器INV9且對反相器D1的/S輸入以及反相器D2、D3及D4的/R輸入供電。
圖25示出單元CR的實施例。單位CG及CB可具有相同的結構。單元CR具有與圖16中所示的單元CR相同的結構,其中差異在於,邏輯閘AND1及正反器RS1不存在,電流源CS是由在單元CR的輸入「Prog」處所接收的訊號所控制的,且電晶體T2的閘極是由在單元CR的輸入「Cap_reset」處所接收的訊號所控制的。
圖26示出圖23的顯示像素的控制循環期間的訊號的時序圖。將t"0、t"1、t"2、t"3、t"4、t"5、t"6、t"7、t"8、t"9、t"10、t"11及t"12稱為連續的時間。
在時間t"0處,訊號「sig」、「Cap_reset」、「detect enable」、「up」、b0、b1及b2處於「0」。在時間t"1處,訊號「sig」從「0」切換到「2」。單元M1偵測到顯示像素被選定且將訊號「Clear」及訊號「detect enable」設定為「1」。在時間t"2處,訊號「sig」切換到「1」,而單元M1將訊號「Clear」切換到「0」。在時間t"3處,紅色顯示子像素控制階段SR起動。在本實施例中,紅色顯示子像素被啟動,且訊號「sig」切換到「2」。從時間t"3到時間t"4,訊號「clock」被設定為「1」。訊號b0在時間t"3處被設定為「1」。在時間t"5處,訊號「sig」切換到「1」。在時間t"6處,訊號「sig」切換到「2」,綠色顯示子像素的控制階段SG起動,同時紅色子像素控制階段結束。在本實施例中,綠色顯示子像素被啟動。從時間t"6到時間t"7,訊號「clock」被設定為「1」。訊號b1在時間t"6處被設定為「1」。訊號b0在時間t"6處被設定為「0」。在時間t"8處,訊號「sig」切換到「2」,顯示子像素的控制階段SB起動。在本實施例中,藍色顯示子像素被啟動。從時間t"8到時間t"9,訊號「clock」被設定為「1」。訊號b2在時間t"8處被設定為「1」。訊號b1在時間t"8處被設定為「0」。在時間t"10處,訊號「sig」切換到「1」。在時間t"11處,訊號「sig」被設定為「2」。通知事務的結束。在時間t"11處,訊號「clock」被設定為「1」,而訊號b2被設定為「0」,藍色子像素的控制階段SB結束。在時間t"12處,訊號「sig」切換到「1」且接著切換到「0」。
依據一個實施例,顯示像素可被形成為具有小於150個MOS電晶體、3個電阻器及4個電容器。其可因此佔用小的表面面積。
為了最大化資料傳輸條件,所有實施例可整合一定功能以在通訊的持續時間內關掉(turn off)經定址的列或行中的像素,這會限制要在資料傳輸期間驅動的負載。可藉由減少電勢差Vpix+ - Vpix-來執行此類功能性的添加。
圖27A到27H為用製造圖1及2中所示的圖10的光電子設備的方法的另一實施例的連續步驟所獲得的結構的部分簡化橫截面圖。
圖27A示出在製造電子電路110之後獲得的結構,該電子電路包括複數個所需的控制電路20,在圖27A中作為一個示例而示出了四個控制電路20。製造電子電路110的方法可包括積體電路製造方法的常規步驟。
圖27B示出在將光電子電路26固定到電子電路110上之後所獲得的結構。在電子電路110上組裝光電子電路26的方法可包括焊接操作。
圖27C示出在沉積電絕緣層112之後所獲得的結構,該電絕緣層覆蓋光電子電路26及光電子電路26之間的電子電路110。絕緣層112是由與先前所述的絕緣部分28相同的材料製作的。絕緣層112可由SiO2
、SiN、Al2
O3
、ZrO2
、HfO2
或藉由化學氣相沉積(CVD)、電漿強化化學氣相沉積(PECV)、原子層沉積(ALD)或陰極濺射來沉積的任何其他介電材料製作。
圖27D示出在絕緣層112中形成導電構件30之後所獲得的結構。可藉由以下步驟來形成導電構件30:在絕緣層112中蝕刻停止在光電子電路26及/或控制電路20上的開口,在整個獲得的結構上方沉積導電層,及除去導電層在開口之外的部分。
圖27E示出在鋸開電子電路110及絕緣層112以劃分顯示像素Pix之後所獲得的結構。
圖27F示出在將顯示像素Pix固定到電極層18之後所獲得的結構,該電極層先前已被沉積於支撐件12上。舉個例子,可藉由分子接合或經由接合材料(具體而言是導電環氧膠)將各個顯示像素Pix固定到電極層18。
圖27G示出在將絕緣層32形成於顯示像素Pix上及顯示像素Pix之間的電極層18上之後所獲得的結構。絕緣層32可為SiO2
、SiN、Al2
O3
、ZrO2
、HfO2
或任何其他的介電材料。
圖27H示出在從各個顯示像素Pix的頂部除去絕緣層32之後所獲得的結構。依據一個實施例,可藉由化學機械拋光(CMP)來實現除去行為,其中該拋光行為停止於絕緣部分28上。依據另一實施例,這可藉由化學蝕刻絕緣層32來獲得。依據另一實施例,可藉由所謂的抬升法(lift-off method)來實現除去行為,抬升法包括以下步驟:在沉積絕緣層32之前在各個顯示像素Pix的頂部處沉積犧牲層,且在沉積絕緣層32之後,除去犧牲層及絕緣層32覆蓋犧牲層的部分。
圖27I示出在形成電極層34之後所獲得的結構。電極層34可由TCO(透明導電氧化物)製作,TCO是藉由CVD、PECVD、ALD、陰極濺射或蒸發來沉積的。
圖28A到28D為用製造圖4B所示的光電子設備的方法的另一實施例的連續步驟所獲得的結構的部分簡化橫截面圖。
圖28A示出在形成光電子電路90之後所獲得的結構,該光電子電路包括複數個光電子電路42,在圖27A中作為一個示例而示出了三個光電子電路42。舉個例子,在圖28A中,各個光電子電路42被示為包括被部分47分開的兩個光電子電路26。
圖28B示出在形成與光電子電路64相交的TSV 48之後所獲得的結構。可藉由蝕刻與光電子電路90相交的開口來形成各個TSV 48。此開口可具有圓形或矩形的橫截面。蝕刻可為深反應離子蝕刻(DRIE)。接著將絕緣層沉積於開口的壁上。絕緣層例如是藉由由PECVD進行的共形沉積或藉由絕緣聚合物的共形沉積來形成的。絕緣層具有從10 nm到5,000 nm的範圍中的厚度,例如約3 µm。可接著藉由電解銅沉積來實現TSV的填充。
圖28C示出在光電子電路90上沉積絕緣層92之後所獲得的結構。絕緣層92是由與先前所述的絕緣部分28相同的材料製作的。可藉由CVD、PECVD、ALD或陰極濺射來沉積絕緣層92。
圖28D示出在絕緣層92中形成導電構件30之後所獲得的結構。
方法的後續步驟可與先前涉及圖27E到27I所描述的彼等步驟相同。
已在上文描述了具有不同變體的各種實施例。應注意,本領域中的技術人員可在不顯現任何獨創性的情況下結合這些各種實施例及變體的各種元素。舉個例子,圖3中所示的電圖可用圖4B中所示的設備40的結構來實施,而圖5中所示的電圖可用圖1及2中所示的設備10的結構來實施。
10‧‧‧光電子設備12‧‧‧支撐件14‧‧‧下表面16‧‧‧上表面18‧‧‧導電層20‧‧‧電子電路22‧‧‧下表面24‧‧‧上表面26‧‧‧光電子電路28‧‧‧電絕緣部分30‧‧‧導電構件32‧‧‧電絕緣層34‧‧‧導電層36‧‧‧易熔導電構件37‧‧‧光電子設備38‧‧‧基板40‧‧‧光電子設備42‧‧‧光電子電路44‧‧‧下表面46‧‧‧上表面47‧‧‧光電子電路的部分48‧‧‧有孔的垂直連接件/矽穿通孔49‧‧‧處理單元50‧‧‧光電子設備52‧‧‧導電條55‧‧‧光電子設備56‧‧‧導電條58‧‧‧行電極60‧‧‧光電子設備62‧‧‧第一層64‧‧‧第二層66‧‧‧電磁輻射68‧‧‧光電子電路70‧‧‧光耦接手段72‧‧‧輻射的一小部分74‧‧‧感測器82‧‧‧波導器84‧‧‧光電子電路90‧‧‧光電子設備92‧‧‧導電條100‧‧‧光電子設備102‧‧‧導電條104‧‧‧導電條110‧‧‧電子電路112‧‧‧絕緣層AND1‧‧‧三輸入AND邏輯閘AND2‧‧‧雙輸入AND邏輯閘AND3‧‧‧雙輸入AND邏輯閘AND4‧‧‧雙輸入AND邏輯閘C1‧‧‧電容器C2‧‧‧電容器CB‧‧‧單元CG‧‧‧單元CM‧‧‧處理單元CR‧‧‧單元CS‧‧‧單元INV1‧‧‧反相器INV2‧‧‧反相器INV3‧‧‧反相器M1‧‧‧級別偵測單元M2‧‧‧上升邊緣偵測器M3‧‧‧環式計數器NOR1‧‧‧NOR邏輯閘Pix‧‧‧顯示像素R1‧‧‧電阻器R2‧‧‧電阻器R3‧‧‧電阻器R4‧‧‧電阻器R5‧‧‧電阻器RS1‧‧‧正反器RS2‧‧‧正反器S1‧‧‧階段S2‧‧‧階段SB‧‧‧子階段Scom‧‧‧子階段SG‧‧‧子階段SR‧‧‧子階段T1‧‧‧MOS電晶體T2‧‧‧MOS電晶體T3‧‧‧MOS電晶體T4‧‧‧MOS電晶體T5‧‧‧MOS電晶體VE‧‧‧電壓
將連同附圖在以下非限制性的具體實施例說明中詳細論述上述的及其他的特徵及優點,在該等附圖中:
圖1及2分別是光電子設備的實施例的部分及簡化的側向橫截面圖及俯視圖;
圖3是圖1及2中所示的光電子設備的顯示像素的等效電圖;
圖4A及4B為光電子設備的其他實施例的部分簡化側向橫截面圖;
圖5是圖4B中所示的光電子設備的顯示像素的等效電圖;
圖6是圖1及2中所示的光電子設備的部分簡化俯視圖,繪示了光電子設備製造方法的優點;
圖7是一個圖解,繪示圖1或4中所示的光電子設備的控制;
圖8A及8B為光電子設備的其他實施例的部分簡化俯視圖;
圖9是光電子設備的另一實施例的部分簡化側向橫截面圖;
圖10到12為光電子設備的其他實施例的部分簡化俯視圖;
圖13及14分別為施加到耦接到要控制的顯示像素的導電條的電勢及在要控制的顯示像素的電源終端之間看到的電壓的時序圖;
圖15示出顯示像素的實施例的等效電圖;
圖16示出圖15的顯示像素的一部分的等效電圖;
圖17示出圖15的顯示像素的操作期間的訊號的時序圖;
圖18到21示出圖15的顯示像素的一部分的等效電圖;
圖22示出具有依據圖18中所示的實施例的控制單元的顯示像素的操作期間的訊號的時序圖;
圖23示出顯示像素的另一實施例的等效電圖;
圖24及25示出圖23的顯示像素的一部分的等效電圖;
圖26示出圖23的顯示像素的操作期間的訊號的時序圖;
圖27A到27I為用製造圖1及2中所示的光電子設備的方法的另一實施例的連續步驟所獲得的結構的部分簡化側向橫截面圖;及
圖28A到28D為用製造圖4B所示的光電子設備的方法的另一實施例的連續步驟所獲得的結構的部分簡化側向橫截面圖。
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10‧‧‧光電子設備
12‧‧‧支撐件
14‧‧‧下表面
16‧‧‧上表面
18‧‧‧導電層
20‧‧‧電子電路
22‧‧‧下表面
24‧‧‧上表面
26‧‧‧光電子電路
28‧‧‧電絕緣部分
30‧‧‧導電構件
32‧‧‧電絕緣層
34‧‧‧導電層
36‧‧‧易熔導電構件
Pix‧‧‧顯示像素
Claims (16)
- 一種光電子設備(10;40;50;60;70),包括: 一支撐件(12); 至少一個第一導電層(18),覆蓋該支撐件; 顯示像素電路(Pix),包括:接合到該第一導電層的相反的第一表面(22)及第二表面(23),各個顯示像素電路包括一電子電路(20),該電子電路包括該第一表面及與該第一表面相反的一第三表面(24),該第一表面接合到該第一導電層;及至少一個光電子電路(26;42),接合到該第三表面且包括至少一個發光二極體(LED),該發光二極體的電極中的至少一者藉由該第三表面連接到該電子電路; 至少一個第二導電層(34),覆蓋該等顯示像素電路中的至少一者且在該第二表面的側上電耦接到該等顯示像素電路中的所述至少一個顯示像素電路的該電子電路。
- 如請求項1所述的光電子設備,更包括:一電絕緣層(32),覆蓋該等顯示像素電路(Pix)之間的該第一導電層(18)。
- 如請求項2所述的光電子設備,其中該電絕緣層(32)覆蓋該等顯示像素電路(Pix)的側向側。
- 如請求項1到3中的任一者所述的光電子設備,其中該等顯示像素電路(Pix)中的所述至少一個顯示像素電路更包括:一電絕緣部分(28),覆蓋該電子電路(20)及該光電子電路(26;42);及至少一個導電構件(30),與該電絕緣部分相交且電耦接到該第二導電層(34)及該光電子電路(26;42)或該電子電路(20)。
- 如請求項4所述的光電子設備,其中對於該等顯示像素電路(Pix)中的所述至少一個顯示像素電路而言,該光電子電路(42)包括一有孔連接件(48),該有孔連接件與該光電子電路的其餘部分電絕緣且電耦接到該電子電路(20)及該導電構件(30)。
- 如請求項1到3中的任一者所述的光電子設備,包括:至少兩個單獨的第一導電層(52),且該等第一導電層覆蓋該支撐件(12);該等顯示像素電路之中的第一顯示像素電路(Pix),該第一顯示像素電路接合到各個第一導電層;及至少兩個第二導電層(34),各個第二導電層覆蓋該等顯示像素電路之中的第二顯示像素電路且各個第二導電層電耦接到該等第二顯示像素電路的該等電子電路(20)。
- 如請求項1到3中的任一者所述的光電子設備,包括一單元(49),該單元用於在該第一導電層(18)與該第二導電層(34)之間供應藉由控制訊號(COM)來調變的一電壓(VE ),各個顯示像素電路(Pix)的該電子電路(20)能夠解調變所述電壓以抽取該等控制訊號。
- 如請求項7所述的光電子設備,其中各個電子電路(20)包括一記憶體,該記憶體具有儲存在該記憶體中的一識別碼,儲存在該等電子電路中的該等識別碼是不同的,且其中各個電子電路(20)包括能夠從該調變電壓(VE )抽取表示該等識別碼中的一者的資訊的電路。
- 如請求項1到3中的任一者所述的光電子設備,包括至少一個波導器(64),該至少一個波導器可被整合到該第二導電層(34)、耦接到該等顯示像素電路(Pix)的該等光電子電路(26;42)且能夠引導一電磁輻射。
- 如請求項9所述的光電子設備,其中該設備更包括所述電磁輻射的一來源(68),該來源與該波導器耦接,且其中對於各個顯示像素電路(Pix)而言,該光電子電路(26;42)包括所述電磁輻射的一感測器,該感測器能夠向該電子電路(20)供應一測量訊號。
- 如請求項10所述的光電子電路,其中該來源(68)能夠用控制訊號(COM)調變該電磁輻射,且其中對於各個顯示像素電路(Pix)而言,該電子電路(20)能夠解調變該測量訊號以抽取該等控制訊號。
- 如請求項9所述的光電子設備,包括至少兩個波導器,該等波導器可被整合到該第二導電層(34)及耦接到所述顯示像素電路(Pix)的不同組件的該等光電子電路(26;42)。
- 如請求項9所述的光電子設備,更包括該波導器(64)與該等顯示像素電路(Pix)中的至少某些顯示像素電路之間的光耦接手段(70)。
- 一種製造一光電子設備(10;40;50;60;70)的方法,該方法包括以下步驟: a)製造顯示像素電路(Pix),該等顯示像素電路包括:相反的第一表面(22)及第二表面(23),且各個顯示像素電路包括一電子電路(20),該電子電路包括該第一表面及與該第一表面相反的一第三表面(24);及至少一個光電子電路(26;42),接合到該第三表面,且包括至少一個發光二極體(LED),該發光二極體的該等電極中的至少一者藉由該第三表面連接到該電子電路; b)製造一支撐件(12),該支撐件被至少一個第一導電層(18)覆蓋; c)將各個顯示像素電路的該電子電路(20)的該第一表面接合到該第一導電層; d)形成至少一個第二導電層(34),該至少一個第二導電層覆蓋該等顯示像素電路中的至少一者且在該第二表面的側上電耦接到該等顯示像素電路中的所述至少一個顯示像素電路的該光電子電路。
- 如請求項14所述的方法,在步驟c)與d)之間包括以下步驟:形成覆蓋該等顯示像素電路(Pix)之間的該第一導電層(18)的一電絕緣層(32)。
- 如請求項14或15所述的方法,其中步驟a)包括以下步驟:針對該等顯示像素電路(Pix)中的所述至少一個顯示像素電路形成:一電絕緣部分(18),覆蓋該電子電路(20)及該光電子電路(26;42);及至少一個導電構件(30),與該電絕緣部分相交且電耦接到該第二導電層(34)及該光電子電路(26;42)或該電子電路(20)。
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