TWI767222B - 可移動式氣體管線排淨方法 - Google Patents

Abstract

一種可移動式氣體管線排淨裝置及方法；該裝置包括：一可移動載物台；及一排淨用氣體鋼瓶，設於該載物台上，其出口設有調壓閥；及一排淨用氣體供氣管線，其前端連接該調壓閥，其後端連接製程用氣體供氣管線；該方法之步驟大致包括：a1).將該移動裝置移動至製程機台旁並與製程管線連接；a2).關閉製程機台供氣閥；a3).打開該排淨用氣體鋼瓶；a4).等待該製程的氣體管線內的壓力達到預定壓力；a5).關閉該排淨用氣體鋼瓶；a6).打開製程機台供氣閥；藉此步驟之組合，該排淨裝置可移動至任一製程機台搭配使用，藉以達到節省在每一製程機台設立排淨裝置的成本，還可透過變壓充氣稀釋的方式，達到快速排淨製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體的目的。

Description

可移動式氣體管線排淨方法

本發明係關於一種可移動式氣體管線排淨裝置及方法；特別是本裝置不但可移動並可與任一製程機台搭配使用，藉以達到節省在每一製程機台設立排淨裝置的目的，還可透過變壓充氣稀釋的方式，快速排淨製程用氣體供氣管線內的殘餘廢氣。

習用的氣體管線排淨方法有利用排淨用氣體單純的通過氣體管線以帶走氣體管線內的殘餘氣體的方法，但該方法耗時長，而且需要消耗大量排淨用氣體。

另有用抽真空排淨方法，該方法是先關閉製程用之氣體鋼瓶，再將製程管線釋壓，之後再將製程管線抽真空，之後打開排淨用氣體鋼瓶，將排淨用氣體灌入製程管線，之後再將製程管線抽真空，此方法也能排淨製程管線內的殘餘氣體，如：美國專利第5,137,047號專利。

另有用加壓充氣排淨方法，該方法是先關閉製程用之氣體鋼瓶，將製程管線釋壓後，打開排淨用氣體鋼瓶，將排淨用氣體灌入製程管線，加壓至一定之設定壓力後，再將製程管線釋壓，如此重覆操作，此方法也能排淨製程管線內的殘餘氣體，如台灣專利第I275424號專利。

上述之排淨裝置及方法，無論是抽真空方法或加壓排淨方法都是固定裝設在每一製程機台上，成為製程機台的一部份。但因半導體廠製程機台甚多，若每座製程機台各設一 套製程管線廢氣排淨裝置，將導致製程管線廢氣排淨裝置數量太多，佔用廠房空間太大，投資太大，是一種浪費。

發明人有鑑於此，乃苦思細索，積極研究，加以多年從事相關產品研究之經驗，並經不斷試驗及改良，終於發展出本發明。

本發明的目的在於提供一種不但可移動並可與任一製程機台搭配使用，藉以達到節省在每一製程機台設立排淨裝置的成本的目的，還可透過變壓充氣稀釋的方式，快速排淨製程用氣體供氣管線內的殘餘廢氣的可移動式氣體管線排淨裝置。

本發明達成上述目的之結構包括：一可移動載物台；及一排淨用氣體鋼瓶，設於該可移動載物台上，其出口設有一調壓閥；以及一排淨用氣體供氣管線，其前端連接該調壓閥，其後端連接一製程機台的製程用氣體供氣管線。

較佳者，該可移動載物台的底部裝設輪子或叉重車用叉架，可方便移動。

較佳者，該可移動載物台上設有一廢氣處理裝置，進而可有效處理混合廢氣。

較佳者，該排淨用氣體供氣管線設有一安全支管；該安全支管上設有一釋壓閥；該釋壓閥的釋壓口連接一廢氣處理裝置，可確保安全性。

較佳者，該排淨用氣體供氣管線上設有一單向閥，可防止製程用氣體倒灌進入排淨用氣體供氣管線及排淨用氣體鋼瓶而污染排淨用氣體的情況發生。

較佳者，該排淨用氣體供氣管線上設有一壓力錶，可供操作者直接觀查調壓閥調壓後之壓力。

較佳者，該排淨用氣體供氣管線上設有一抽氣設備；該抽氣設備連接一廢氣處理裝置，可減少製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體的殘留量，並可增加進行步驟a4)時的充氣量，進而加快製程用氣體供氣管線的排淨工作。

本發明的另一目的在於提供一種不但可移動與任一製程機台搭配使用，藉以達到節省在每一製程機台設立排淨裝置的成本的目的，還可透過變壓充氣稀釋的方式，快速排淨製程用氣體供氣管線內的殘餘廢氣。

本發明達成上述目的之方法包括下列步驟：a1)將可移動式氣體管線排淨裝置移動至需要排淨之製程機台的旁邊，確認製程用氣體鋼瓶關閉，將排淨用氣體供氣管線與預留排淨接頭連接，打開遮斷閥；a2)關閉製程用氣體供氣閥；a3)打開排淨用氣體鋼瓶，將排淨用氣體灌入製程用氣體供氣管線，使排淨用氣體與製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體混合成混合廢氣；a4)等待製程用氣體供氣管線內的壓力達到一預定壓力；a5)關閉排淨用氣體鋼瓶；a6)打開製程用氣體供氣閥，藉以排出混合廢氣，使製程用氣體供氣管線內恢復至常壓狀態；a7)關閉遮斷閥，將排淨用氣體供氣管線與預留排淨接頭分離。

較佳者，在步驟a2)之後先進行一步驟a11)，然後進行步驟a3)；步驟a11)為：以一抽氣設備抽取製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體，使製程用氣體供氣管線內的壓力呈負壓狀態，可減少製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體的殘留量，並可增加進行步驟a4)時的充氣量，進而加快製程用氣體供氣管線的排淨工作。

本發明為達到上述及其他目的，其所採取之技術 手段、元件及其功效，茲採一較佳實施例配合圖示說明如下。

100:可移動式氣體管線排淨裝置

1:可移動載物台

11:輪子

2:排淨用氣體鋼瓶

3:調壓閥

4:排淨用氣體供氣管線

5:廢氣處理裝置

6:安全支管

61:釋壓閥

7:單向閥

8:壓力錶

9:抽氣設備

200:製程機台

201:製程用氣體供氣管線

2011:第一支管

2012:第二支管

2013:第三支管

202:製程用氣體供氣閥

203:製程用氣體鋼瓶

204:製程裝置

205:遮斷閥

206:預留排淨接頭

207:廢氣處理裝置

[圖1]為本發明的可移動式氣體管線排淨裝置可與任一製程機台搭配使用的示意圖。

[圖2]為本發明的可移動式氣體管線排淨裝置與製程機台連接前的示意圖。

[圖3]為本發明的可移動式氣體管線排淨裝置與製程機台連接後的示意圖。

[圖4]為本發明的可移動式氣體管線排淨方法的流程圖。

[圖5]為本發明設有一廢氣處理裝置的示意圖。

[圖6]為本發明的廢氣處理裝置與製程機台連接後的示意圖。

[圖7]為本發明設有一安全支管、一單向閥、一壓力錶、一抽氣設備的示意圖。

[圖8]為本發明的安全支管、抽氣設備連接廢氣處理裝置的示意圖。

如圖1~3所示，本發明可移動式氣體管線排淨裝置100包括：一可移動載物台1；及一排淨用氣體鋼瓶2，設於可移動載物台1上，其出口設有一調壓閥3；以及一排淨用氣體供氣管線4，其前端連接調壓閥3，其後端連接一製程機台200的製程用氣體供氣管線201；藉此結構，不但可移動並可與任一製程機台搭配使用，藉以達到節省在每一製程機台設立排淨裝置的成本的目的，還可透過變壓充氣稀釋的方式，達到快速排淨製程用氣體供氣管線內的殘餘廢氣的目的。下文將詳予說明。

與本發明配合的製程機台200的基本結構包括：一 製程用氣體供氣管線201及一製程用氣體供氣閥202；製程用氣體供氣管線201具有第一支管2011、第二支管2012及第三支管2013；第一支管2011連接一製程用氣體鋼瓶203；第二支管2012連接一製程裝置204，並裝設製程用氣體供氣閥202；第三支管2013上設一遮斷閥205，並在其末端設一預留排淨接頭206。在進行製程時，遮斷閥205呈關閉狀態，需要排淨時才會打開遮斷閥205。

本發明還提供一種可移動式氣體管線排淨方法。在利用本方法進行製程用氣體供氣管線201排淨操作之前，應先進行一前置作業，前置作業包括：1、確認製程用氣體鋼瓶203呈關閉狀態。2、確認製程用氣體供氣閥202呈開啟狀態，藉以釋放製程用氣體供氣管線201內的壓力，使製程用氣體供氣管線201內呈常壓狀態。3、確認排淨用氣體鋼瓶2呈關閉狀態。

如圖4所示，可移動式氣體管線排淨方法包括下列步驟：a1)將可移動式氣體管線排淨裝置100移動至需要排淨之製程機台200的旁邊，確認製程用氣體鋼瓶203關閉，將排淨用氣體供氣管線4與預留排淨接頭206連接，打開遮斷閥205；a2)打開製程用氣體供氣閥202釋壓後關閉；a3)打開排淨用氣體鋼瓶2，將排淨用氣體灌入製程用氣體供氣管線201，使排淨用氣體與製程用氣體供氣管線201內的殘餘氣體混合成混合廢氣；a4)等待製程用氣體供氣管線201內的壓力達到一預定壓力；a5)關閉排淨用氣體鋼瓶2；a6)打開製程用氣體供氣閥202，藉以排出混合廢氣，使製程用氣體供氣管線201內恢復至常壓狀態；a7)關閉遮斷閥205，將排淨用氣體供氣管線4與預留排淨接頭206分離。

本發明藉由上述的加壓稀釋的可移動式氣體管線 排淨方法以達到快速排淨氣體體管線之目的，與在常壓下做排淨動作的排淨方法相較下，本發明可快速排除細長的管線死角內的殘餘氣體，並可大量節省排淨作業時間及節省排淨用氣體。此外，循環進行步驟a2)至步驟a6)，可以倍速稀釋製程用氣體供氣管線201內的殘餘氣體。

可移動載物台1以方便移動為主，因此可搭配任何移動設備，例如在可移動載物台1的底部設若干輪子11，藉以方便將該可移動載物台1及其上的零組件移動到需要排淨之製程機台200的製程用氣體供氣管線201旁邊。除此之外，在可移動載物台的底部亦可設有叉重車用叉架(圖中未示)，或是將可移動載物台設於自走車上(圖中未示)。

排淨用氣體鋼瓶2設於可移動載物台1上，其出口設有一調壓閥3，藉以使排淨用氣體鋼瓶2可輸出壓力穩定的氣體。此外，可設定調壓閥之出口壓力等於或大於步驟a4)的預定壓力，藉以使氣製程用氣體供氣管線201內的充氣壓力可達到預定壓力，並可提高操作安全性。

如圖2所示，一般製程裝置204的排氣結構會連接一廢氣處理裝置207。因此，步驟a6)排出的混合廢氣將直接排至製程機台200原有的廢氣處理裝置207。除此之外，如圖5~6所示，由於製程機台200原有的廢氣處理裝置207主要用於處理製程裝置204排出的廢氣，因此在可移動載物台1上可增設一廢氣處理裝置5。在進行步驟a1)時，可將製程裝置204的排氣結構與該可移動載物台1上的廢氣處理裝置5連接，使步驟a6)排出的混合廢氣排至廢氣處理裝置5，進而可有效處理混合廢氣。

如圖7~8所示，在可移動式氣體管線排淨裝置100上還可加裝一安全支管6、一單向閥7、一壓力錶8及/或一抽氣 設備9，藉以增加各種功效，茲說明如下。

排淨用氣體供氣管線4上可設有一安全支管6。安全支管6上設有一釋壓閥61。釋壓閥61的釋壓口連接廢氣處理裝置5。當製程用氣體供氣管線201的壓力超過一預定釋壓壓力時，釋壓閥會自動開啟、釋壓，將製程用氣體供氣管線201內超過的氣體排放到廢氣處理裝置5，使製程用氣體供氣管線201內的壓力下降，以確保安全性。

在排淨用氣體供氣管線4上可設有一單向閥7。單向閥7可設於靠近排淨用氣體供氣管線4的後端處，其可防止製程用氣體倒灌進入排淨用氣體供氣管線4及排淨用氣體鋼瓶2而污染排淨用氣體的情況發生。

在排淨用氣體供氣管線4上可設有一壓力錶8。壓力錶8可設於調壓閥3之後，藉以供操作者直接觀查調壓閥3調壓後之壓力。

在排淨用氣體供氣管線4上還可以設有一抽氣設備9，抽氣設備9連接廢氣處理裝置5。在設有抽氣設備9的情況下，在步驟a2)之後可先進行一步驟a11)，然後進行步驟a3)。步驟a11)為：以抽氣設備9抽取製程用氣體供氣管線201內的殘餘氣體，使製程用氣體供氣管線201內的壓力呈負壓狀態。藉由步驟a11)可減少製程用氣體供氣管線201內的殘餘氣體的殘留量，並可增加進行步驟a4)時的充氣量，進而加快製程用氣體供氣管線201的排淨工作。

如前所述，由於可移動式氣體管線排淨裝置100為可移動式裝置，可供全廠任一製程機台使用，可節省設置排淨裝置的成本，並減少排淨裝置佔據的廠房空間。

以上為本案所舉之實施例，僅為便於說明而設， 當不能以此限制本案之意義，即大凡依所列申請專利範圍所為之各種變換設計，均應包含在本案之專利範圍中。

100:可移動式氣體管線排淨裝置

1:可移動載物台

11:輪子

2:排淨用氣體鋼瓶

3:調壓閥

4:排淨用氣體供氣管線

200:製程機台

201:製程用氣體供氣管線

2011:第一支管

2012:第二支管

2013:第三支管

202:製程用氣體供氣閥

203:製程用氣體鋼瓶

204:製程裝置

205:遮斷閥

206:預留排淨接頭

207:廢氣處理裝置

Claims (2)

1. 一種可移動式氣體管線排淨方法，其中包括下列步驟：a1)將可移動式氣體管線排淨裝置移動至需要排淨之製程機台的旁邊，確認製程用氣體鋼瓶關閉，將排淨用氣體供氣管線與預留排淨接頭連接，打開遮斷閥；a2)打開製程用氣體供氣閥釋壓後關閉；a3)打開排淨用氣體鋼瓶，將排淨用氣體灌入製程用氣體供氣管線，使排淨用氣體與製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體混合成混合廢氣；a4)等待製程用氣體供氣管線內的壓力達到一預定壓力；a5)關閉排淨用氣體鋼瓶；a6)打開製程用氣體供氣閥，藉以排出混合廢氣，使製程用氣體供氣管線內恢復至常壓狀態；a7)關閉遮斷閥，將排淨用氣體供氣管線與預留排淨接頭分離。
2. 如請求項1所述之可移動式氣體管線排淨方法，其中在步驟a2)之後先進行一步驟a11)，然後進行步驟a3)；步驟a11)為：以一抽氣設備抽取製程用氣體供氣管線內的殘餘氣體，使製程用氣體供氣管線內的壓力呈負壓狀態。

Images