TWI764627B

TWI764627B - 一種雷射脈寬高調製系統

Info

Publication number: TWI764627B
Application number: TW110109595A
Authority: TW
Inventors: 楊雅博; 陳柏勳; 陳彥穆
Original assignee: 上儀股份有限公司
Priority date: 2021-03-17
Filing date: 2021-03-17
Publication date: 2022-05-11
Also published as: TW202239090A

Abstract

一種雷射脈寬高調製系統，係一雷射脈衝源產生一輸入雷射脈衝沿著一光軸被該光學延遲裝置的一第一延遲反射部及一第二延遲反射部形成複數子脈衝通過一調節透鏡組；及一控制模組係分別控制該第一延遲反射部及該第二延遲反射部位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，然後藉由該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。

Description

一種雷射脈寬高調製系統

本發明係有關於雷射領域，尤其關於一種具有可分別調整脈衝雷射的脈衝寬度與脈衝能量的雷射系統。

對於非傳統雷射加工而言，特別是在皮秒雷射加工領域，由於皮秒脈衝寬度極短，同時又能提供極高峰值功率的脈衝能量，因此近年來已廣泛應用於例如，精密加工、畫線、切割裂片改變、透明材料改質、內部加工乃至於生醫材料等。再者，皮秒雷射系統相對於長脈衝雷射、連續波雷射或是其他類型雷射，其脈衝寬度接近材料的熱擴散時間，因此更容易能達到優異的加工效果。對於傳統機械加工而言，可以透過擴束方式達成大面積加工的功能。對於易碎材質，如玻璃、陶瓷及合成材料，也可透過高脈衝能量的皮秒雷射來獲得良好加工結果。另一方面，針對特定被加工物材料的物理及化學特性，需要考量雷射之波長、功率、脈寬、頻率、相位及偏振等等因素，以獲得預期的加工效果。其中脈寬及功率的調整則是其中最普遍的參數。而在皮秒脈衝範圍來說，目前尚未有較佳的調變裝置來控制脈衝長度介於數個至數千皮秒(10 ^-12s)之脈衝寬度及波型。因此，有需要提供一種更容易調變脈衝寬度及脈衝波形的皮秒雷射系統，穩定一致的雷射加工法對加工件加工即為本案之發明人與從事此行業之相關廠商所亟欲研究改善之方向所在者。

本發明之一目的，提供一種將一輸入雷射脈衝反射形成可調整延遲時間及脈衝能量強度的複數子脈衝，且該等子脈衝係輸出形成至少一調變輸出脈衝的雷射脈寬高調製系統。本發明另一目的，提供一種雷射脈寬高調製系統，係一輸入雷射脈衝沿著一光軸被一光學延遲裝置的一第一延遲反射部及一第二延遲反射部形成複數子脈衝通過一調節透鏡組；及一控制模組係分別控制該第一延遲反射部及該第二延遲反射部位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。本發明另一目的，提供一種雷射脈寬高調製系統，係產生一輸入雷射脈衝沿著一光軸通過一分束鏡組與一調節透鏡組；該通過調節透鏡組的輸入雷射脈衝被該光學延遲裝置反射形成複數子脈衝；及一控制模組控制該光學延遲裝置移動以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。為達成上述之目的，本發明提供一種雷射脈寬高調製系統，包括：一雷射脈衝源，用以產生一輸入雷射脈衝；一光學延遲裝置，分別設有一第一延遲反射部及一第二延遲反射部，該輸入雷射脈衝沿著一光軸被該光學延遲裝置的該第一延遲反射部及該第二延遲反射部形成複數子脈衝通過一調節透鏡組；及一控制模組，係分別控制該第一延遲反射部及該第二延遲反射部位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。前述該第一延遲反射部設有複數個第一延遲反射鏡係平行堆疊，且每一第一延遲反射鏡分別具有一第一鏡軸；及該第二延遲反射部設有複數個第二延遲反射鏡係平行堆疊，且每一第二延遲反射鏡分別具有一第二鏡軸與該第一鏡軸平行。前述該第二延遲反射部設有一平面反射鏡改變該光軸方向。前述該控制模組具有一第一方向移動模組係控制該第一延遲反射部的該等第一延遲反射鏡分別沿著該第一鏡軸的一第一垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸。前述該第一方向移動模組係控制該第二延遲反射部的該等第二延遲反射鏡分別沿著該第二鏡軸的一第二垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸。前述該控制模組具有一第二方向移動模組係控制該第一延遲反射部的該等第一延遲反射鏡分別沿著該第一鏡軸的一第一平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度。前述該第二方向移動模組係控制該第二延遲反射部的該等第二延遲反射鏡分別沿著該第二鏡軸的一第二平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度。前述該調節透鏡組係為一準直鏡、一擴束鏡或一均光單元。一種雷射脈寬高調製系統，包括：一雷射脈衝源，用以產生一輸入雷射脈衝沿著一光軸通過一分束鏡組與一調節透鏡組；一光學延遲裝置，係用以將該輸入雷射脈衝反射形成複數子脈衝，且該等子脈衝沿著該光軸反射通過該調節透鏡組及該分束鏡組；及一控制模組，係控制該光學延遲裝置位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。前述該光學延遲裝置設有複數個延遲反射鏡係平行堆疊，且每一延遲反射鏡分別具有一鏡軸。前述在該調節透鏡組及該光學延遲裝置之間設有一平面反射鏡以改變該光軸方向。前述該控制模組具有一第一方向移動模組係控制該光學延遲裝置的該等延遲反射鏡分別沿著該鏡軸的一垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸的階梯式結構。前述該控制模組具有一第二方向移動模組係控制該光學延遲裝置的該等延遲反射鏡分別沿著該鏡軸的一平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度的階梯式結構。前述該調節透鏡組係為一準直鏡、一擴束鏡或一均光單元。前述該分束鏡組包括一二分之一波片、一分光鏡及一四分之一波片。

本發明之上述目的及其結構與功能上的特性，將依據所附圖式之較佳實施例予以說明。第1圖係為本發明第一實施態樣示意圖；第2 A圖係為本發明第一方向移動模組調整第一延遲反射部的踏步尺寸示意圖；第2B圖係為本發明第一方向移動模組調整第二延遲反射部的階梯深度示意圖；第2C圖係為本發明第二方向移動模組調整第二延遲反射部的踏步尺寸示意圖；第2D圖係為本發明第二方向移動模組調整第二延遲反射部的階梯深度示意圖。如第1A圖所示的雷射脈寬高調製系統具有一雷射脈衝源10、一光學延遲裝置12、一調節透鏡組13及一控制模組19。該雷射脈衝源10產生一輸入雷射脈衝11沿著一光軸14被該光學延遲裝置12形成複數子脈衝16，該調節透鏡組13沿該光軸14設置於該光學延遲裝置12之後，使該複數子脈衝16通過該調節透鏡組13準直聚焦以形成至少一調變輸出脈衝18。前述雷射脈衝源10係可以形成脈衝長度介於一至數千皮秒的雷射光源，其可以係鈦藍寶石固體雷射器、Yb ⁺³參雜晶體或光纖雷射，但不以此為限。前述調節透鏡組13係沿該光軸14設置於該光學延遲裝置12之後，使該複數子脈衝16藉由通過該調節透鏡組13準直聚焦後出光，該調節透鏡組13可以由一準直鏡、一擴束鏡、一凸凹透鏡組或一均光單元所組成，但不以此為限。如第2A、2B、2C及2D圖合併參照第1圖所示，該光學延遲裝置12具有第一延遲反射部121及第二延遲反射部122，其中該第一延遲反射部121設有複數個第一延遲反射鏡1216係平行堆疊，且每一第一延遲反射鏡1216分別具有一第一鏡軸1211；該第二延遲反射部122設有複數個第二延遲反射鏡1226係平行堆疊，且每一第二延遲反射鏡1226分別具有一第二鏡軸1221與該第一鏡軸1211平行。因此，各該延遲反射鏡(1216及1226)被該輸入雷射脈衝11照射的區域分別形成相對應的各該子脈衝16。如第2A及3圖所示，該控制模組19係具有一第一方向移動模組191係控制該第一延遲反射部121的該等第一延遲反射鏡1216分別沿著該第一鏡軸1211的一第一垂直方向1215以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡1216形成相同或不同踏步尺寸1212。如第2C及3圖所示，該控制模組19的第一方向移動模組191控制該第二延遲反射部122的該等第二延遲反射鏡1226分別沿著該第二鏡軸1221的一第二垂直方向1225以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡1226形成相同或不同踏步尺寸1222。上述該踏步尺寸1212及1222分別為相鄰的該等第一延遲反射鏡1216的一第一側邊1217，及相鄰的該等第二延遲反射鏡1226的一第二側邊1227形成一階梯寬度。因此，該輸入雷射脈衝11沿著該光軸14投射至該光學延遲裝置12，且被各該延遲反射鏡(1216及1226)分別反射形成相對應的各該子脈衝16，其中各該子脈衝16的脈衝能量強度分別與該輸入雷射脈衝11在各該延遲反射鏡(1216及1226)的投射面積係成正比，也就是踏步尺寸1212、1222越寬使得延遲反射鏡(1216及1226)被投射面積越大，脈衝能量強度越強。如第2B及3圖所示，該控制模組19具有一第二方向移動模組192係控制該第一延遲反射部121的該等第一延遲反射鏡1216分別沿著該第一鏡軸1211的一第一平行方向1214以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡1216形成相同或不同階梯深度1213。如第2D及3圖所示，該控制模組19的該第二方向移動模組192係控制該第二延遲反射部122的該等第二延遲反射鏡1226分別沿著該第二鏡軸1221的一第二平行方向1224以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡1226形成相同或不同階梯深度1223。上述階梯深度1213及1223分別為相鄰的該等第一延遲反射鏡1216的一第一反射面1218的一間隔距離，及相鄰的該等第二延遲反射鏡1226的一第二反射面1228的一間隔距離。在本圖示，舉例表示兩兩間隔相鄰的第一延遲反射鏡1216及第二延遲反射鏡1226。但不侷限於此，在其他實施也可以根據需求使每一片第一延遲反射鏡1216及第二延遲反射鏡1226間隔設置，或以任意片間隔搭配任意片相鄰的設置。因此，該輸入雷射脈衝11沿著該光軸14投射至該光學延遲裝置12，且被各該延遲反射鏡(1216及1226)分別反射形成相對應的各該子脈衝16，其中各該延遲反射鏡(1216及1226)的階梯深度(1213、1223)係分別提供一光程差（也就是該輸入雷射脈衝11照射到每一延遲反射鏡1216、1226的時間不同）以使各該子脈衝16以一延遲時間通過該調節透鏡組13。請合併參考如第3、2A、2B、2C及2D圖所示，藉由該控制模組19控制該第一延遲反射鏡組121及該第二延遲反射鏡組122的位移(如前述的踏步尺寸1212、1222及階梯深度1213、 1223)，以分別調整各該子脈衝16的延遲時間及脈衝能量的強度，使各該子脈衝16在出光後形成該至少一調變輸出脈衝18。如第4圖係為本發明第二實施態樣之光學設置圖。如圖所示，前述第二延遲反射部122係可以替換為一平面反射鏡17。請繼續參考第5圖係為本發明雷射脈寬高調製系統第三實施態樣示意圖；第6A圖係為本發明第一方向移動模組控制該光學延遲裝置的踏步尺寸示意圖；第6B圖係為本發明第二方向移動模組控制該光學延遲裝置的階梯深度示意圖；如第5圖所示的雷射脈寬高調製系統具有一雷射脈衝源10、一分束鏡組15、一光學延遲裝置12及一控制模組19。該雷射脈衝源10產生一輸入雷射脈衝11沿著一光軸14通過一分束鏡組15與一調節透鏡組13，該輸入雷射脈衝11通過該分束鏡組15引導通過該調節透鏡組13以放大該輸入雷射脈衝11的光斑大小。該光學延遲裝置12沿著該光軸14設置於該調節透鏡組13之後，用以將該輸入雷射脈衝11反射形成複數子脈衝16，且該複數子脈衝16沿著該光軸14反射通過該調節透鏡組13及該分束鏡組15，其中該複數子脈衝16通過該分束鏡組15引導以改變該光軸14路徑往垂直於該輸入雷射脈衝11的方向形成至少一調變輸出脈衝18以準直聚焦出光。前述雷射脈衝源10係可以形成脈衝寬度介於1至數千皮秒的雷射光源，其可以係鈦藍寶石固體雷射器、Yb ⁺³參雜晶體或光纖雷射，但不以此為限。前述分束鏡組15包括一二分之一波片151、一分光鏡152及一四分之一波片153，用以使該輸入雷射脈衝11沿該光軸14通過，以及反射該複數子脈衝16。前述調節透鏡組13係沿該光軸14設置於該分束鏡組15之後，用以使該輸入雷射脈衝11準直擴束，以及使該複數子脈衝16準直聚焦，該調節透鏡組13可以由一準直鏡、一擴束鏡、一凸凹透鏡組或一均光單元所組成，但不以此為限。如第5、6A及6B圖所示，該光學延遲裝置12設有複數個延遲反射鏡1236係平行堆疊，且每一延遲反射鏡1236分別具有一鏡軸1231。因此，每一延遲反射鏡1236被該輸入雷射脈衝11照射的區域分別形成相對應的各該子脈衝16。如第3及6A圖所示，該控制模組19具有一第一方向移動模組191係控制該光學延遲裝置12的該等延遲反射鏡1236分別沿著該鏡軸1231的一垂直方向1235以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡1236形成相同或不同踏步尺寸1232，該踏步尺寸1232為相鄰的該等延遲反射鏡1236的一側邊1237形成一階梯寬度。復參第5及6A圖，詳細而言該輸入雷射脈衝11沿著該光軸14投射在該等延遲反射鏡1236的該側邊1237所形成的該等階梯上，然後被該等延遲反射鏡1236分別反射形成相對應的各子脈衝16，其中各子脈衝16的強度與該輸入雷射脈衝11在各該階梯的投射面積係成正比。如第3及6B圖所示，該控制模組19具有一第二方向移動模組192係控制該光學延遲裝置12的該等延遲反射鏡1236分別沿著該鏡軸1231的一平行方向1234以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度1233。該階梯深度1233為相鄰的該等延遲反射鏡1236的一反射面1238的一間隔距離。在本圖示，舉例表示兩兩間隔相鄰的延遲反射鏡1236。但不侷限於此，在其他實施也可以根據需求使每一片延遲反射鏡1236間隔設置，或以任意片延遲反射鏡1236間隔搭配任意片延遲反射鏡1236相鄰的狀態。復參第5及6B圖，該輸入雷射脈衝11沿著該光軸14投射至該光學延遲裝置12，且被各該延遲反射鏡1236分別反射形成相對應的各該子脈衝16，其中各該延遲反射鏡1236藉由該階梯深度1233分別提供一光程差使各該子脈衝16分別以一延遲時間通過該調節透鏡組13。請合併參考如第3、6A及6B圖所示，藉由該控制模組19控制該光學延遲裝置12的位移，以分別調整各該子脈衝16的延遲時間及脈衝能量的強度，使各該子脈衝16在該光軸14方向上疊加形成該調變輸出脈衝18。續參第7圖係為本發明第四實施態樣之光學設置圖。如圖所示，前述第三實施也可以選擇在該調節透鏡組13及該光學延遲裝置13之間設置一平面反射鏡17以改變該光軸14方向。以下將以第一實施例的雷射脈寬高調製系統說明本案輸入雷射脈衝11的波形及經過調變後的調變輸出脈衝18的波形。另外第二至第四實施的與第一實施相同茲不再重複贅述。請參閱第8A圖係本發明輸入脈衝波型；第8B圖係本發明第一型調變輸出脈衝波型；第8C圖係本發明第二型調變輸出脈衝波型；第8D圖係本發明第三型調變輸出脈衝波型；第8E圖係本發明第四型調變輸出脈衝波型。以下所述系統的各元件請一併配合參閱第1-3圖。如第8A圖所示，預設該輸入雷射脈衝11波形的脈寬係大約為10ps的時間寬度以及脈衝能量I=1任意單位(I=1a.u.)，後述的第8B、8C、8D及8E圖係根據第8A圖的輸入雷射脈衝11所產生的調變輸出脈衝18的波形圖。如第8B圖所示係該控制模組19調整該光學延遲裝置12使各該踏步尺寸(1212及1222)相等以及各該階梯深度(1213及1223)相等，以形成該調變輸出脈衝18，由於該輸入雷射脈衝11在各該踏步尺寸(1212及1222)對應各該延遲反射鏡(1216及1226)上例如為一橢圓投影面積（或圓形投影面積），使得該輸入雷射脈衝11在每一片延遲反射鏡上的照射面積不相同，以形成該調變輸出脈衝18的波形圖具有週期性波紋且波紋形狀向兩側遞減。如第8C圖所示係該控制模組19調整該光學延遲裝置12使該輸入雷射脈衝11在各該踏步尺寸(1212及1222)對應各該延遲反射鏡(1216及1226)上的投影面積相同，以及該控制模組19調整該光學延遲裝置12使各該階梯深度(1213及1223)相同，以形成該調變輸出脈衝18的波形圖具有相等波高的週期性波紋。如第8D圖所示係該控制模組19調整該光學延遲裝置12使該輸入雷射脈衝11在各該踏步尺寸(1212及1222)對應各該延遲反射鏡(1216及1226)上的投影面積不相同，以及該控制模組19調整該光學延遲裝置12使各該階梯深度(1213及1223)相同，以形成該調變輸出脈衝18的波形圖具有一相等波高的週期性波紋及一具有相對其他波紋較高的能量強度的單一波紋。如第8E圖所示係該控制模組19調整該光學延遲裝置12使該輸入雷射脈衝11在各該踏步尺寸(1212及1222)對應各該延遲反射鏡(1216及1226)上的投影面積不相同，以及該控制模組19調整該光學延遲裝置12使各該階梯深度(1213及1223)不相同，以形成兩個調變輸出脈衝18a及18b的波形圖，其中該調變輸出脈衝18a具有一相等波高的週期性波紋，另一調變輸出脈衝18b遠離該調變輸出脈衝18a且為一個相對能量強度較高的波紋。以上已將本發明做一詳細說明，惟以上所述者，僅為本發明之一較佳實施例而已，當不能限定本發明實施之範圍。即凡依本發明申請範圍所作之均等變化與修飾等，皆應仍屬本發明之專利涵蓋範圍。

10:雷射脈衝源 11:輸入雷射脈衝 12:光學延遲裝置 121:第一延遲反射部 122:第二延遲反射部 1211:第一鏡軸 1212:踏步尺寸 1213:階梯深度 1214:第一平行方向 1215:第一垂直方向 1216:第一延遲反射鏡 1217:第一側邊 1218:第一反射面 1221:第二鏡軸 1222:踏步尺寸 1223:階梯深度 1224:第二平行方向 1225:第二垂直方向 1226:第二延遲反射鏡 1227:第二側邊 1228:第二反射面 1231:鏡軸 1232:踏步尺寸 1233:階梯深度 1234:平行方向 1235:垂直方向 1236:延遲反射鏡 1237:側邊 1238:反射面 13:調節透鏡組 14:光軸 15:分束鏡組 151:二分之一波片 152:分光鏡 153:四分之一波片 16:複數子脈衝 17:平面反射鏡 18、18a、18b:調變輸出脈衝 19:控制模組 191:第一方向移動模組 192:第二方向移動模組

下列圖式之目的在於使本發明能更容易被理解，於本文中會詳加描述該些圖式，並使其構成具體實施例的一部份。透過本文中之具體實施例並參考相對應的圖式，俾以詳細解說本發明之具體實施例，並用以闡述發明之作用原理。第1圖係為本發明第一實施態樣之光學設置圖；第2 A圖係為本發明第一方向移動模組調整第一延遲反射部的踏步尺寸示意圖；第2B圖係為本發明第一方向移動模組調整第二延遲反射部的階梯深度示意圖；第2C圖係為本發明第二方向移動模組調整第二延遲反射部的踏步尺寸示意圖；第2D圖係為本發明第二方向移動模組調整第二延遲反射部的階梯深度示意圖；第3圖係為本發明的控制模組示意圖；第4圖係為本發明第二實施態樣之光學設置圖；第5圖係為本發明第三實施態樣之光學設置圖；第6A圖係為本發明第一方向移動模組控制該光學延遲裝置的踏步尺寸示意圖；第6B圖係為本發明第二方向移動模組控制該光學延遲裝置的階梯深度示意圖；第7圖係為本發明第四實施態樣之光學設置圖；第8A圖係本發明輸入雷射脈衝波型；第8B圖係本發明第一型調變輸出脈衝波型；第8C圖係本發明第二型調變輸出脈衝波型；第8D圖係本發明第三型調變輸出脈衝波型；第8E圖係本發明第四型調變輸出脈衝波型。

10:雷射脈衝源

11:輸入雷射脈衝

12:光學延遲裝置

121:第一延遲反射部

122:第二延遲反射部

13:調節透鏡組

14:光軸

16:複數子脈衝

18:調變輸出脈衝

19:控制模組

Claims

一種雷射脈寬高調製系統，包括: 一雷射脈衝源，用以產生一輸入雷射脈衝；一光學延遲裝置，分別設有一第一延遲反射部及一第二延遲反射部，該輸入雷射脈衝沿著一光軸被該光學延遲裝置的該第一延遲反射部及該第二延遲反射部形成複數子脈衝通過一調節透鏡組；及一控制模組，係分別控制該第一延遲反射部及該第二延遲反射部位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。
如請求項1之雷射脈寬高調製系統，其中該第一延遲反射部設有複數個第一延遲反射鏡係平行堆疊，且每一第一延遲反射鏡分別具有一第一鏡軸；及該第二延遲反射部設有複數個第二延遲反射鏡係平行堆疊，且每一第二延遲反射鏡分別具有一第二鏡軸與該第一鏡軸平行。
如請求項2之雷射脈寬高調製系統，其中該第二延遲反射部設有一平面反射鏡改變該光軸方向。
如請求項2之雷射脈寬高調製系統，其中該控制模組具有一第一方向移動模組係控制該第一延遲反射部的該等第一延遲反射鏡分別沿著該第一鏡軸的一第一垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸。
如請求項4之雷射脈寬高調製系統，其中該第一方向移動模組係控制該第二延遲反射部的該等第二延遲反射鏡分別沿著該第二鏡軸的一第二垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸。
如請求項4之雷射脈寬高調製系統，其中該控制模組具有一第二方向移動模組係控制該第一延遲反射部的該等第一延遲反射鏡分別沿著該第一鏡軸的一第一平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第一延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度。
如請求項6之雷射脈寬高調製系統，其中該第二方向移動模組係控制該第二延遲反射部的該等第二延遲反射鏡分別沿著該第二鏡軸的一第二平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等第二延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度。
如請求項1之雷射脈寬高調製系統，其中該調節透鏡組係為一準直鏡、一擴束鏡或一均光單元。
一種雷射脈寬高調製系統，包括：一雷射脈衝源，用以產生一輸入雷射脈衝沿著一光軸通過一分束鏡組與一調節透鏡組；一光學延遲裝置，係用以將該輸入雷射脈衝反射形成複數子脈衝，且該等子脈衝沿著該光軸反射通過該調節透鏡組及該分束鏡組；及一控制模組，係控制該光學延遲裝置位移，以調整通過該調節透鏡組的每一子脈衝的一延遲時間，且該等子脈衝形成至少一調變輸出脈衝。
如請求項9之雷射脈寬高調製系統，其中該光學延遲裝置設有複數個延遲反射鏡係平行堆疊，且每一延遲反射鏡分別具有一鏡軸。
如請求項9之雷射脈寬高調製系統，其中在該調節透鏡組及該光學延遲裝置之間設有一平面反射鏡以改變該光軸方向。
如請求項10之雷射脈寬高調製系統，其中該控制模組具有一第一方向移動模組係控制該光學延遲裝置的該等延遲反射鏡分別沿著該鏡軸的一垂直方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡形成相同或不同踏步尺寸的階梯式結構。
如請求項10之雷射脈寬高調製系統，其中該控制模組具有一第二方向移動模組係控制該光學延遲裝置的該等延遲反射鏡分別沿著該鏡軸的一平行方向以相同或不同的位移距離位移，以使該等延遲反射鏡形成相同或不同階梯深度的階梯式結構。
如請求項9之雷射脈寬高調製系統，其中該調節透鏡組係為一準直鏡、一擴束鏡或一均光單元。
如請求項9之雷射脈寬高調製系統，其中該分束鏡組包括一二分之一波片、一分光鏡及一四分之一波片。