TWI760143B - 半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置 - Google Patents

Abstract

本發明為有關一種半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，係與一天車載體結合，主要結構包括至少一設於天車載體上之下板件、二彎折形成於下板件兩側之承載部、一供容置定位桿之限位凹槽、複數設於承載部上之阻尼元件、一設於阻尼元件上之上板件、複數設於上板件上之定位銷、複數形成於下板件上之定位孔、複數設於結合部上且位置對應定位孔之定位件、及複數穿設定位孔及與其位置對應之定位件的緊迫件。藉上述結構，可在不影響原OHB系統的情況下，快速結合阻尼元件而提供減震效果，且限位凹槽的設計幾乎不影響整體體積大小，定位件與緊迫件則可免校正的直接定位，大幅提升OHB升級的便利性及定位準確性。

Description

半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置

本發明為提供一種半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，尤指一種具有組裝改良方便快速、直覺化的精準定位、及良好的減震效果等優勢的半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置。

按，半導體相關元件(如半導體晶圓)於不同的位置間移動或存放時，皆會置放於一特製的儲存匣中以避免被雜質汙染，並利用空中自走式無人搬運車(Overhead Hoist Transport，OHT)搬運，當不需要使用時，則會暫時存放在軌道緩衝區(Over Head Buffer，OHB)中以待下一次的取用。其中，OHT為高架搬送系統，它能有效利用廠房的立體空間，在不占用人員走道的前提下，將無塵室內的空間使用率最大化，透過模擬分析更能使無塵室內的物流搬送具有較高的生產稼動率。OHB則為與OHT配合使用的一種晶舟盒置放架。

一般OHT系統中，用予結合晶舟盒的定位銷(KC pin)，係直接結合於OHB的結構上，故所有來自OHT的震動，包括來自天花板的震動、軌道運行時懸吊支架的晃動、及晶舟盒置放時的碰撞，都會透過OHB傳遞至晶舟盒內部的晶圓，而晶舟盒的不當晃動會使晶圓位置發生偏移、碰撞甚至損壞，或產生微塵顆粒擴散於材料表面，影響材料良率，這些情況對於成本高昂之半導體晶圓來說是相當不願意見到的。

另外，工廠內一般擁有多組OHB，且OHB的設置皆須與OHT進行三軸及旋轉角度等四個方位的精準對位，對位不易，而既有OHB的減震方法，大多透過簡單增設彈簧，故會導致整體體積增加，且若欲針對OHB改良時，則需一一撤除上方既有的貨物，完成後再一一重新校正，非常不便。

是以，要如何解決上述習用之問題與缺失，即為本發明之申請人與從事此行業之相關廠商所亟欲研究改善之方向所在者。

故，本發明之申請人有鑑於上述缺失，乃蒐集相關資料，經由多方評估及考量，並以從事於此行業累積之多年經驗，經由不斷試作及修改，始設計出此種具有組裝改良方便快速、直覺化的精準定位、及良好的減震效果等優勢的半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置的發明專利者。

本發明之主要目的在於：利用與上板件位置對應的定位件及定位孔，使現有OHB的上板件免於在加裝下板件後重新定位校正之動作，即可結合阻尼元件而降低OHT對半導體儲存器的影響。

為達成上述目的，本發明之儲存器減震裝置係與一天車載體結合，該天車載體具有二定位桿、及二分別形成於各該定位桿上之結合部，且該儲存器減震裝置主要包括：至少一下板件、二承載部、一限位凹槽、複數阻尼元件、一上板件、複數定位銷、複數定位孔、複數定位件、及複數緊迫件，其中該下板件係設於天車載體上，該承載部係分別彎折形成於下板件兩側，該限位凹槽係形成於下板件與承載部之間並供容置定位桿，該阻尼元件係設於承載部上，該上板件係設於些阻尼元件上以供承載半導體儲存器，該定位銷係設於上板件上以供定位半導體儲存器，該定位孔係形成於下板件上且位置分別對應定位銷，該定位件係設於結合部上且位置對應各定位孔，並與下板件共同夾持定位桿，而該緊迫件係穿設定位孔及與其位置對應定位件，以固定下板件與定位桿。

本發明之下板件與上板件在組裝時，乃利用定位銷與定位孔位置對應之設計、及定位件與定位孔位置對應之設計，設置於結合部上，使下板件再利用阻尼元件與上板件結合後，即同步完成定位動作，而降低組裝難度、免於重新校正定位，且下板件的限位凹槽除了可對定位桿進行限位外，其內凹的設計可使下板件本身的體積幾乎不影響天車載體的空間配置。因此，在上、下板件組裝完成後，利用阻尼元件的效果，即可有效對來自天花板的震動、軌道運行時懸吊支架的晃動、及半導體儲存器置放時的碰撞等情形，達到緩衝減震的效果，以確保半導體的儲存品質。

藉由上述技術，可針對習用OHT系統所存在之對OHB的震動問題、OHB改良不易、及須重新定位校正的問題點加以突破，達到上述優點之實用進步性。

100:儲存器減震裝置

1、1a、1b、1c:下板件

11:承載部

12、12a:限位凹槽

13、13c:定位孔

2:阻尼元件

21:第一緩衝空間

3、3a、3c:上板件

31、31c:定位銷

4、4a、4b:定位件

41:凸出部

42:夾持部

43a:撓性結合部

44a、44b:墊體部

45b:吸震元件

451b:插入部

452b:隔離部

453b:第二緩衝空間

5、5a、5c:緊迫件

51、51c:螺絲

52、52c:螺帽

6、6c:天車載體

61、61a、61b、61c:定位桿

611:溝槽

612、612a、612b、612c:結合部

613c:開口端

62:懸樑

7:半導體儲存器

71:無人搬運車

第一圖 係為本發明較佳實施例之立體圖。

第二圖 係為本發明較佳實施例之第一圖之A-A線剖視圖。

第三圖 係為本發明較佳實施例之隱藏天車載體之分解圖。

第四圖 係為本發明較佳實施例之組裝示意圖(一)。

第五圖 係為本發明較佳實施例之組裝示意圖(二)。

第六圖 係為本發明較佳實施例之減震示意圖(一)。

第七圖 係為本發明較佳實施例之減震示意圖(二)。

第八圖 係為本發明再一較佳實施例之立體圖。

第九圖 係為本發明再一較佳實施例之第八圖之B-B線剖視圖。

第十圖 係為本發明又一較佳實施例之剖視圖。

第十一圖 係為本發明另一較佳實施例之分解圖。

為達成上述目的及功效，本發明所採用之技術手段及構造，茲繪圖就本發明較佳實施例詳加說明其特徵與功能如下，俾利完全了解。

請參閱第一圖至第三圖所示，係為本發明較佳實施例之立體圖至隱藏天車載體之分解圖，由圖中可清楚看出本發明之儲存器減震裝置100係與一天車載體6結合，該天車載體6具有二定位桿61、及二分別形成於各該定位桿61上之結合部612，且該儲存器減震裝置100主要包括：

至少一下板件1，係設於該些定位桿61上；

二承載部11，係分別彎折形成於該下板件1兩側；

一限位凹槽12，係形成於該下板件1與該些承載部11之間，並供容置該定位桿61；

複數阻尼元件2，係設於該承載部11上；

一上板件3，係設於該些阻尼元件2上，以供承載半導體儲存器，且該阻尼元件2之高度大於該承載部11之深度，以使該上板件3與該下板件1之間具有一第一緩衝空間21；

複數定位銷31，係設於該上板件3上，以供定位該半導體儲存 器；

複數定位孔13，係形成於該下板件1上且位置分別對應各該定位銷31；

複數定位件4，係設於該結合部612上且位置對應各該定位孔13，並與該下板件1共同夾持該定位桿61，且該定位件4具有一埋設於該結合部612內之凸出部41、及一由該凸出部41側處一體成形而設於該結合部612外側之夾持部42；及

複數緊迫件5，係分別穿設各該定位孔13及與其位置對應之定位件4，以固定該下板件1與該定位桿61。

藉由上述之說明，已可了解本技術之結構，而依據這個結構之對應配合，更具有組裝改良方便快速、直覺化的精準定位、及良好的減震效果等優勢，而詳細之解說將於下述說明。

請同時配合參閱第一圖至第七圖所示，係為本發明較佳實施例之立體圖至減震示意圖(二)，藉由上述構件組構時，由第一圖至第四圖中可清楚看出，該天車載體6係為軌道緩衝區(Over Head Buffer，OHB)，故具有四根懸樑62及兩根定位桿61，一般皆為鋁擠型態樣，各定位桿61上具有一結合部612，本實施例中結合部612為鋁擠型上的溝槽611之開口部分；上板件3可為原設置於定位桿61上的平面板件，以方便使用者加裝下板件1，或為與儲存器減震裝置100整組配置之結構，以方便新用戶設置，上板件3上的定位銷31為與半導體儲存器7(見第七圖)定位結合之柱狀結構(KC pin)，僅直接鎖固於上板件3上，未與下板件1或定位桿61連接；下板件1為一體成形沖壓而成之凸型板件，凸出部分鄰近上板件3並具有多個定位孔13，兩端則定義為承載部11，用以設置阻尼元件2，而上板件3則透過設置於阻尼元件2上以與下板件1結合；定位件4則為凸型的塊狀結構，緊迫件5為螺絲51及螺帽52之組合。本實施例之定位銷31、定位孔13、定位件4、緊迫件5數量皆為三，並分別設置於兩個定位桿61上，下板件1數量為一，故與之對應的限位凹槽12、上板件3數量亦為一。

如第三圖及第四圖所示，本發明於組裝時，若上板件3為原設置於定位桿61上的平面板件，則先拆下上板件3，再安裝下板件1，否則乃直接安裝下板件1。安裝時先將定位件4與緊迫件5的螺帽52置於定位桿61 的溝槽611內，該定位件4的凸出部41係位於結合部612處，而夾持部42則位於溝槽611內，接著將下板件1置於定位桿61上，放置時因限位凹槽12的設計，可使兩定位桿61自然完成左右限位，故只要確定定位孔13的位置，並將緊迫件5的螺絲51同時穿設定位孔13、定位件4及結合部612即可。在完成三組緊迫件5的設置後，因為緊迫件5的鎖固動作，使夾持部42與下板件1共同夾持固定該定位桿61，也因該鎖固動作，使下板件1與定位桿61不會產生相對位移。

如第五圖至第七圖所示，將阻尼元件2設於下板件1的承載部11上，再將上板件3設於阻尼元件2上，本實施例中兩個承載部11上分別設置有兩個阻尼元件2，整體而言，阻尼元件2係分置於下板件1的四個角落，而上板件3因不直接與下板件1接觸，故上板件3所承受的應力，如空中自走式無人搬運車71(Overhead Hoist Transport，OHT)放置半導體儲存器7的動作，都必須經由阻尼元件2才有可能傳遞至下板件1，反之，來自天車載體6的震動，也必須經由阻尼元件2才有可能傳遞至上板件3或半導體儲存器7，並因為阻尼元件2之高度大於承載部11之深度，以使上板件3與下板件1之間具有一第一緩衝空間21，也可提供上板件3一定程度的緩衝效果。且因阻尼元件2與上板件3、下板件1的結合位置為預先對應設置的，故在組裝完成後，每一組定位銷31、定位孔13、緊迫件5、定位件4都位於同一直線上，故可在上述組裝動作的過程中，自然完成定位桿61、下板件1及上板件3的定位，藉此使新的定位銷31位置與舊的定位銷31位置，在前後、左右、上下、及角度方位上完全一致，而具有快速、精準的定位功效。再者，該上板件3與下板件1組裝後，係概呈一倒凹型，限位凹槽12處的內凹的設計可使定位桿61還是很靠近上板件3，故新增的下板件1本身之體積幾乎不影響原天車載體6的空間配置。

再請同時配合參閱第八圖及第九圖所示，係為本發明再一較佳實施例之分解圖及第八圖之B-B線剖視圖，由圖中可清楚看出，本實施例與上述實施例為大同小異，僅令該定位件4a具有一埋設於該結合部612a內之撓性結合部43a、及一設於該撓性結合部43a一側之墊體部44a，其中該撓性結合部43a係為聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)或聚甲醛(Polyoxymethylene，POM)等工程塑膠材質，組裝時，該撓性結合部43a可直接塞入結合部 612a內，故設置方式更為簡便，而設置緊迫件5a時，則因撓性結合部43a的材質特性，會受緊迫件5a擠壓而形變，同時在結合部612a內達到對內結合緊迫件5a、對外咬合定位桿61a之特性，同樣具有防止下板件1a與定位桿61a產生滑移、造成定位不準確的風險。另外，本實施例之下板件1a數量為二，故與之對應的限位凹槽12a、上板件3a數量亦為二。

又請同時配合參閱第十圖所示，係為本發明又一較佳實施例之剖視圖，由圖中可清楚看出，本實施例與上述實施例為大同小異，僅令該定位件4b包含有一設於該下板件1b與該定位桿61b間之吸震元件45b、及一設於該吸震元件45b一側之墊體部44b，且該吸震元件45b具有一插置於該結合部612b內之插入部451b、及一形成於該插入部451b一側且位於該下板件1b與該定位桿61b間之隔離部452b，而該隔離部452b係使該下板件1b與該定位桿61b間具有一第二緩衝空間453b。該吸震元件45b係為熱塑性彈性體(Thermoplastic Elastomer,TPE)、或熱塑性彈性海綿其中之一者，具有高延展性及低回彈率的特性，不但可提供良好的吸震效果，其設置時利用插入部451b直接對應結合於結合部612b處，同樣具有組裝便利的優勢，其在受力前隔離部452b具有一定的厚度，可使下板件1b與定位桿61b間具有第二緩衝空間453b，進一步提升緩衝功效。

另請同時配合參閱第十一圖所示，係為本發明另一較佳實施例之分解圖，由圖中可清楚看出，本實施例與上述實施例為大同小異，僅令天車載體6c上的兩根定位桿61c為C型鋼，故具有一開口端613c，各定位桿61c上的結合部612c則為C型鋼上的穿孔，結合部612c位於定位桿61c背離開口端613c的一側，並同樣與下板件1c上的定位孔13c位置對應，且本實施例之結合部612c係為改裝前供上板件3c的定位銷31c直接鎖固的穿孔。如此一來，在組裝下板件1c時，只要將緊迫件5c的螺絲51c從下板件1c上方，向下穿設定位桿61c的結合部612c，而由定位桿61c下方的開口端613c套設螺帽52c進行鎖固，藉此，使下板件1c固定於定位桿61c後，無須進行校正即可使結合部612c與原定位銷31c的位置精準對應。

惟，以上所述僅為本發明之較佳實施例而已，非因此即侷限本發明之專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所為之簡易修飾及等效結 構變化，均應同理包含於本發明之專利範圍內，合予陳明。

綜上所述，本發明之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置於使用時，為確實能達到其功效及目的，故本發明誠為一實用性優異之發明，為符合發明專利之申請要件，爰依法提出申請，盼 審委早日賜准本發明，以保障申請人之辛苦創作，倘若 鈞局審委有任何稽疑，請不吝來函指示，申請人定當竭力配合，實感德便。

1:下板件

11:承載部

12:限位凹槽

13:定位孔

2:阻尼元件

21:第一緩衝空間

3:上板件

31:定位銷

4:定位件

41:凸出部

42:夾持部

5:緊迫件

61:定位桿

612:結合部

Claims (9)

1. 一種半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，該儲存器減震裝置係與一天車載體結合，該天車載體具有二定位桿、及二分別形成於各該定位桿上之結合部，且該儲存器減震裝置主要包括：

   至少一下板件，係設於該些定位桿上；

   二承載部，係分別彎折形成於該下板件兩側；

   一限位凹槽，係形成於該下板件與該些承載部之間，並供容置該定位桿；

   複數阻尼元件，係設於該承載部上；

   一上板件，係設於該些阻尼元件上，以供承載半導體儲存器；

   複數定位銷，係設於該上板件上，以供定位該半導體儲存器；

   複數定位孔，係形成於該下板件上且位置分別對應各該定位銷；

   複數定位件，係設於該結合部上且位置對應各該定位孔，並與該下板件共同夾持該定位桿；及

   複數緊迫件，係分別穿設各該定位孔及與其位置對應之定位件，以固定該下板件與該定位桿。
2. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該阻尼元件之高度大於該承載部之深度，以使該上板件與該下板件之間具有一第一緩衝空間。
3. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該定位件具有一埋設於該結合部內之凸出部、及一由該凸出部側處一體成形而設於該結合部外側之夾持部。
4. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該定位件具有一埋設於該結合部內之撓性結合部、及一設於該撓性結合部一側之墊體部。
5. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該定位件具有一設於該下板件與該定位桿間之吸震元件、及一設於該吸震元件一側之墊體部。
6. 如申請專利範圍第5項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該吸震元件具有一插置於該結合部內之插入部、及一形成於該插入部一側且位於該下板件與該定位桿間之隔離部。
7. 如申請專利範圍第6項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該隔離部係使該下板件與該定位桿間距有一第二緩衝空間。
8. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該儲存器減震裝置係呈一倒凹型。
9. 如申請專利範圍第1項所述之半導體自動化物流傳送系統之儲存器減震裝置，其中該定位桿具有一開口端，且該結合部係位於該定位桿背離該開口端之一側。

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