TWI759169B - 樣品分析方法及樣品製備方法 - Google Patents

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Abstract

本發明揭露一種樣品分析方法及樣品製備方法。樣品分析方法包含樣品製備步驟、送入步驟及分析步驟。樣品製備步驟包含：取得步驟：取得識別資訊；標示及置放步驟：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使標示設備利用識別資訊，於樣品承載構件形成一識別結構，再依據識別資訊將樣品承載構件設置於相對應的容置槽中；送入步驟：由存放盒的其中一個容置槽中，取出一個具有識別結構的樣品承載構件，再將樣品承載構件設置於一電子顯微鏡設備中；分析步驟：利用電子顯微鏡設備對樣品進行拍攝，以產生一分析影像。

Description

樣品分析方法及樣品製備方法
本發明涉及一種樣品分析方法及樣品製備方法，特別是一種適用於利用電子顯微鏡設備對樣品進行分析的樣品分析方法及樣品製備方法。
習知利用電子顯微鏡設備對樣品進行觀察的流程大致是：相關人員由一暫存裝置中，將已經承載有樣品的構件取出，並利用紙筆紀錄該構件是從暫存裝置的哪一個位置取出。
當相關人員利用電子顯微鏡設備對樣品完成觀察後，相關人員會將該構件放回原暫存裝置中，此時，若是找不到當初用來紀錄該構件是從暫存裝置的哪一個位置取出的紀錄紙，則可能發生相關人員將構件置放於與當初取出的位置不相同的位置，為此，將導致後續相關流程發生錯誤。
本發明公開一種樣品分析方法及樣品製備方法，主要用以改善習知的樣品分析方法或樣品製備方法容易發生使用者觀察完樣品後，將銅網設置於存放盒中的錯誤的位置的問題。
本發明的其中一實施例公開一種樣品分析方法，其包含：一樣品製備步驟，其被執行至少一次，樣品製備步驟包含：一取得步驟：取得一識別資訊；其中，識別資訊用來表示一存放盒的其中一個容置槽的位置，存放盒包含多個容置槽；一標示及置放步驟：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使標示設備利用識別資訊，於樣品承載構件形成一識別結構，再依據識別資訊將樣品承載構件設置於相對應的容置槽中；其中，樣品承載構件包含一本體及至少一網狀結構，本體具有至少一穿孔，穿孔貫穿本體，網狀結構與本體相連接，網狀結構位於穿孔中，網狀結構將穿孔區隔為多個網孔，網狀結構用以承載樣品；一送入步驟：由存放盒的其中一個容置槽中，取出一個具有識別結構的樣品承載構件，再將樣品承載構件設置於一電子顯微鏡設備中；一分析步驟：利用電子顯微鏡設備對樣品進行拍攝，以產生一分析影像。
本發明的其中一實施例公開一種樣品製備方法，其包含：一取得步驟：取得一識別資訊；其中，識別資訊用來表示一存放盒的其中一個容置槽的位置，存放盒包含多個容置槽；一標示及置放步驟：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使標示設備利用識別資訊，於樣品承載構件形成一識別結構，再依據識別資訊將樣品承載構件設置於相對應的容置槽中；其中，樣品承載構件包含一本體及至少一網狀結構，本體具有至少一穿孔，穿孔貫穿本體，網狀結構與本體相連接，網狀結構位於穿孔中，網狀結構將穿孔區隔為多個網孔，網狀結構用以承載樣品。
綜上所述，本發明的樣品分析方法及樣品製備方法，可以大幅地降低相關人員在利用電子顯微鏡設備觀察完樣品後，將樣品承載構件及其承載的樣品設置於存放盒的錯誤位置的問題。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
於以下說明中，如有指出請參閱特定圖式或是如特定圖式所示，其僅是用以強調於後續說明中，所述及的相關內容大部份出現於該特定圖式中，但不限制該後續說明中僅可參考所述特定圖式。
請一併參閱圖1至圖4，本發明的樣品分析方法包含： 一樣品製備步驟S11，其被執行至少一次，樣品製備步驟S11包含： 一取得步驟S111：取得一識別資訊；其中，識別資訊用來表示一存放盒2的其中一個容置槽211的位置； 一標示及置放步驟S112：先將已經設置有至少一樣品S的一樣品承載構件1送入一標示設備中，並使標示設備依據識別資訊，於樣品承載構件1形成一識別結構13，再依據識別資訊將樣品承載構件1設置於相對應的容置槽211中； 一送入步驟S13：先由存放盒2的其中一個容置槽211中，取出一個具有識別結構13的樣品承載構件1，再將樣品承載構件1設置於一電子顯微鏡設備中； 一分析步驟S15：利用電子顯微鏡設備對樣品S進行拍攝，以產生一分析影像。
關於樣品製備步驟S11被執行的次數，可以是依據實際需求及存放盒2所包含的容置槽211的數量決定，於此不加以限制。具體來說，相關人員可以是先重複執行多次樣品製備步驟S11，以於存放盒2中儲存多個具有識別結構13的樣品承載構件1，而後，再執行送入步驟S13及分析步驟S15。
在不同的實施例中，於所述取得步驟S111中所取得的識別資訊除了包含用來表示存放盒2的其中一個容置槽的位置的相關內容外，還可以依據需求包含有其他關於所述存放盒2的相關內容、設置於存放盒2中的樣品承載構件1的相關內容、設置於樣品承載構件上的樣品的相關內容等，舉例來說，識別資訊還可以包含有樣品的材質、樣品的觀測倍率、取樣觀測區的數量等資訊。
請參閱圖2至圖4，在實際應用中，所述存放盒2可以包含一盒體21、一蓋體22及12個標示結構23。盒體21包含12個容置槽211。各個容置槽211用以容置一個樣品承載構件1。盒體21所包含的容置槽211的數量可依據需求增減，不以圖中所示為限。蓋體22可拆卸地與盒體21相連接，而使用者可以是通過操作蓋體22，以使蓋體22遮蔽所有容置槽211，藉此，避免設置於容置槽211中的樣品承載構件1離開容置槽211。關於盒體21及蓋體22的尺寸及其外型、蓋體22與盒體21相連接的方式，不以圖中所示為限。在不同的實施例中，存放盒2也可以是不包含所述蓋體22。
樣式彼此不相同的12個標示結構23設置於存放盒2的一側，且各個標示結構23鄰近其中一個容置槽211設置，各個標示結構23用來提供使用者識別不同的容置槽211。各個所述標示結構23例如是以文字(例如是英文、中文或是任一國家的文字等)、數字(例如是阿拉伯數字、羅馬數字等)、符號(例如是各式幾何圖形等)、圖樣(例如是使用者自訂的任何圖案)中的至少一個方式呈現。舉例來說，12個標示結構23可以分別以A、B、C、D、E、F、G、H、I、J、K、L的英文文字呈現於盒體21。在另一個具體例子中，各個標示結構23也可以是同時包含文字及數字，舉例來說，12個標示結構23可以是A1、A2、A3、B1、B2、B3、C1、C2、C3、D1、D2、D3。標示結構23的數量是對應於容置槽211的數量，而標示結構23是用來提供使用者辨別各個容置槽211。
如圖4所示，各個樣品承載構件1用以承載一樣品S。承載有樣品S的樣品承載構件1用以設置於電子顯微鏡設備(例如各式TEM、SEM、AFM等)中，而相關人員可以通過電子顯微鏡設備觀察設置於樣品承載構件1上的樣品S。各個樣品承載構件1包含：一本體11、一網狀結構12及一識別結構13。
本體11具有一穿孔111，穿孔111貫穿本體11。關於本體11及穿孔111的外型及尺寸，不以圖中所示為限。本體11及網狀結構12的材質例如可以包含銅、鎳等，其可以是依據樣品的種類選擇，於此不加以限制。網狀結構12與本體11相連接，網狀結構12位於穿孔中，網狀結構12將穿孔111區隔為多個網孔112，網狀結構12用以承載樣品S。關於網孔112的外型及尺寸，可以是依據樣品S尺寸及外型決定，於此不加以限制。在實際應用中，網狀結構12的材質可以是與本體11的材料相同。
識別結構13可以是以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。在實際應用中，識別結構13可以是凹陷地形成於本體11的一側，或者，識別結構13為貫穿本體11的穿孔結構。舉例來說，標示設備可以是利用雷射技術、化學蝕刻、物理加工、油墨印刷等方式於本體11上形成識別結構13。
識別結構13可以是與存放盒2的其中一個標示結構23以相同的樣式呈現，以本實施例的圖式來說，圖4所示的樣品承載構件1是設置於圖3所示的存放盒2的最左上角的容置槽211中，該容置槽211旁邊的標示結構23是以「A」呈現，則於所述標示及置放步驟S112中，標示設備將先會於本體11上形成以「A」呈現的識別結構13，再將所述樣品承載構件1設置於存放盒2的最左上角的容置槽211中。
在實際應用中，所述識別資訊是包含了標示設備於樣品承載構件1上形成識別結構13所需的所有資訊；舉例來說，如圖1、圖3及圖4所示，假設於送入步驟S13中，是由圖3所示的存放盒2中取出位於「A」的容置槽211中的樣品承載構件1，則於所述取得步驟S111中，所述識別資訊內則可以是至少包含「A」字串或是任何可以讓標示設備足以判讀的相對應資料，而使標示設備能於標示及置放步驟S112中，正確地於樣品承載構件1上形成以「A」呈現的識別結構13。
依上所述，通過標示及置放步驟S112的設計，於分析步驟S15中，使用者利用電子顯微鏡設備觀察樣品S時，將可以通過觀看識別結構13，以瞭解當前所觀察的樣品S原本是被設置於存放盒2的哪一個容置槽211中，如此，使用者觀察完樣品S後，將樣品承載構件1放回存放盒2的過程，將不容易發生錯誤。
請一併參閱圖5及圖6，在不同的實施例中，存放盒2所包含的標示結構的數量可以是小於容置槽211的數量，且標示結構可以是依據其設置的位置而區分為3個彼此樣式不相同的縱向標示結構23A及4個彼此樣式不相同的橫向標示結構23B。舉例來說，存放盒2所包含的容置槽211若是以3*4矩陣方式排列設置，則存放盒2可是包含彼此樣式不相同的4個縱向標示結構23A及彼此樣式不相同的3個橫向標示結構23B。各個縱向標示結構23A可以是由以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現，各個橫向標示結構23B可以是由以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現，舉例來說，4個縱向標示結構23A可以是以阿拉伯數字1、2、3、4呈現，3個橫向標示結構23B可以是以呈現英文文字A、B、C，但不以此為限。
相對地，於標示及置放步驟S112中，標示設備則是於樣品承載構件1形成兩個識別結構13A、13B；其中，識別結構13A用以表示樣品承載構件1設置於存放盒2中的一橫向位置，識別結構13B用以表示樣品承載構件1設置於存放盒2中的一縱向位置，且識別結構13A與其中一個縱向標示結構23A具有相同的樣式，識別結構13B則是與其中一個橫向標示結構23B具有相同的樣式，具體來說，識別結構13A可以是以英文文字「C」呈現，識別結構13B可以是以阿拉伯數字「3」呈現。
依上所述，於分析步驟S15中，使用者將可以利用電子顯微鏡設備觀看樣品承載構件1上的兩個識別結構13A、13B所呈現的「C3」，而知道圖6所示的樣品承載構件1是設置於圖5所示的存放盒2的第3行(標示有英文字母C的行)第3列(標示有阿拉伯數字3的列)的位置。
需說明的是，兩個識別結構13A、13B設置於本體11的位置可以是依據需求變化，不以圖中所示為限。另外，兩個識別結構13A、13B彼此間的距離，可以是依據需求設計，而在特殊的應用中，兩個識別結構13A、13B也可以是不相鄰的設置(例如識別結構13A設置於本體11的左側，而識別結構13B設置於本體11的右側)。
如圖6至圖9所示，在不同的實施例中，於標示及置放步驟S112中，還可以是利用標示設備於樣品承載構件1形成至少一個位置識別結構14(14A、14B)、一方向識別結構15及至少一樣品識別結構16A、16B中的至少一個。如圖6所示，各個位置識別結構14用以表示樣品承載構件1所承載的樣品S相對於樣品承載構件1的中心C位置的位置。位置識別結構14可以是以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。
在實際應用中，在利用標示設備於本體11上形成位置識別結構14時，可以是依據樣品承載構件1所承載的樣品S，相對於網狀結構12的中心C的位置，來決定位置識別結構14所呈現的樣式；如圖6所示，舉例來說，相關人員可以是使位置識別結構14分別以RU、RD、LU及LD的樣式呈現，據以表示樣品S相對於中心C位於右上、右下、左上及左下的位置；亦即，使用者將樣品S設置於網狀結構12的中心C的右下方後，可以是利用標示設備(例如雷射雕刻機等)，於本體11上形成以「RD」樣式呈現的位置標示結構23。
在實際應用中，可以是使識別結構13及位置識別結構14都設置於本體11的固定位置，而於分析步驟S15中，使用者可以是先使用以承載樣品承載構件1的載台及鏡頭彼此相對移動，而讓位置識別結構14位於電子顯微鏡設備的視野範圍中，接著，使用者或是相關影像擷取設備，將可以通過觀看位置識別結構14，決定載台及鏡頭相對移動的方向，如此，將可以讓相關人員以相對快的速度尋找到樣品承載構件1所承載的樣品S，而對其進行觀察。
如圖6所示，方向識別結構15可以是以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。相關人員或是設備在觀看位置識別結構14之前，可以是先觀看方向識別結構15，如此，將可以確保觀看位置識別結構14後，使顯微鏡的視野範圍移動至正確的位置。
具體來說，假設標示設備在本體11上形成位置識別結構14時，方向識別結構15是位於網狀結構12的中心C的上方，且樣品S是位於網狀結構12的中心C的右下方，則標示設備將可以於本體11上，形成以「RD」的樣式呈現的位置識別結構14；而後，於分析步驟S15中，使用者則可以是通過觀看方向識別結構15是否位於網狀結構12的中心C的上方，來決定後續視野範圍的移動方向；也就是說，若是使用者在視野範圍中看到方向識別結構15位於網狀結構12的中心C的上方，則後續將控制視野範圍相對於網狀結構12的中心C向右下方移動，反之，則使視野範圍向左上方移動。
如圖7所示，在不同實施例中，若樣品承載構件1同時承載兩個樣品S1、S2，則於所述標示及置放步驟S112中，標設備將是於樣品承載構件1上形成兩個位置識別結構14A、14B及兩個樣品識別結構16A、16B。所述位置識別結構及所述樣品識別結構的數量是依據網狀結構所承載的樣品的數量決定。位置識別結構14A是用來表示設置於網狀結構12上的樣品S1相對於網狀結構12的中心的位置，位置識別結構14B是用來表示設置於網狀結構12上的樣品S2相對於網狀結構12的中心的位置。
樣品識別結構16A鄰近位置識別結構14A設置，樣品識別結構16B鄰近位置識別結構14B設置，各個樣品識別結構16A、16B是用來讓使用者辨識設置於網狀結構12上的樣品S1、S2的相關資料，舉例來說，圖中所示MA-001、MA-002中的MA可以表示為公司標號，001及002則可以是標示為該公司的樣品編號。
依上所述，具體來說，在分析步驟S15中，相關人員可以是利用電子顯微鏡設備觀看以「RD-MA-001」呈現的位置識別結構14A及樣品識別結構16A，而得知公司標號為MA且樣品標號為001的樣品S2，是設置網狀結構12的右下方，且相關人員可以利用電子顯微鏡設備觀看以「LU-MA-002」呈現的位置識別結構14B及樣品識別結構16B，得知公司標號為MA的樣品標號002的樣品S1，是設置網狀結構12的左上方。
如圖6及圖7所示，值得一提的是，在標示及置放步驟S112後，樣品承載構件1上形成有位置識別結構14(14A、14B)及樣品識別結構16A、16B的實施例中，於取得步驟S111所取得的識別資訊，可以是包含「RD」、「RD-MA-001」、「LU-MA-002」等資料，或者，足以讓標示設備判讀的相關資料，而使標示設備能正確地於樣品承載構件1形成以「RD」、「RD-MA-001」、「LU-MA-002」樣式呈現的位置識別結構14(14A、14B)及樣品識別結構16A、16B。
如圖8所示，在不同的實施例中，於所述標示及置放步驟S112中，標示設備還可以是使識別結構13以圖樣方式呈現於樣品承載構件1上，特別是標示設備可以是使識別結構13以二維條碼的圖樣形式呈現於本體11。當然，標示設備也可以是使識別結構13以一維條碼的圖樣形式呈現於本體11。在實際應用中，可以是於一維條碼或二維條碼中儲存關於樣品S、樣品承載構件1的任何相關資料，舉例來說，條碼中可以是儲存有樣品的公司資料(公司代號)、樣品編號、樣品相對於網狀結構12的位置、樣品種類、樣品承載構件1設置於存放盒2的位置等。相對地，在圖8所示的實施例中，於所述取得步驟S111中所取得的識別資訊，則是包含了足以讓所述標示設備判讀的相關資料，並使標示設備能於樣品承載構件1上形成一維條碼或二維條碼。
依上所述，通過於所述標示及置放步驟S112中，在樣品承載構件1上形成識別結構、位置識別結構、方向識別結構及樣品識別結構等的設計，可以讓使用者在網狀結構12上設置有多個樣品時，不容易發生觀測、記錄錯誤等問題。
綜合上述，本發明的樣品分析方法通過取得步驟S111及標示及置放步驟S112等設計，可以大幅地降低相關人員發生記錄錯誤、樣品承載構件取、放錯誤等問題，而可降低整個分析流程的出錯機率。
在實際應用中，於分析步驟S15中，相關人員例如可以是通過電子顯微鏡設備，觀看樣品承載構件1上的識別結構13，據以判斷當前位於電子顯微鏡設備中的樣品承載構件1是否與當前預定要進行分析的樣品相同，舉例來說，如圖6所示，假設相關人員通過電子顯微鏡設備觀看到樣品承載構件1上的識別結構13呈現為「C3」，則相關人員可以是通過相關顯示器觀看所述識別資訊，以確認識別資訊是否同為「C3」；若相關人員於相關顯示器中沒有看到「C3」，則代表當前位於電子顯微鏡設備中的樣品承載構件1所承載的樣品S，並非當前預定要進行分析的樣品；反之，則代表當前位於電子顯微鏡設備中的樣品，是當前預定要進行分析的樣品，而後於分析步驟S15中所產生的分析影像，則將會被正確地記錄於相關設備(例如電腦、伺服器等)中。
請參閱圖9，本實施例的樣品分析方法與前述實施例最大不同之處在於：於取得步驟S111中除了取得識別資訊外，還可以取得一系統資訊，系統資訊例如可以是包含至少一系統編號及一客戶資料；而於分析步驟S15後，還可以包含一資料傳送步驟S16：將系統資訊及分析影像整合為一分析資訊，並將分析資訊傳遞至一遠端設備。其中，連線至遠端設備的客戶能讀取包含有相對應的客戶資料的分析資訊中的分析影像。所述遠端設備例如是伺服器等各式雲端設備，於此不加以限制。
舉例來說，樣品分析廠商在客戶委託一樣品進行分析時，樣品分析廠商將會利用電腦等設備，產生對應於該客戶及該樣品的相關資訊(即系統資訊)，而後，樣品分析廠商利用電子顯微鏡設備觀察、分析完樣品後，電子顯微鏡設備所拍攝的分析影像、該客戶的相關資料及該樣品的相關資料(即分析資訊)，則會被上傳至雲端；而當該客戶連線至該雲端並登錄帳戶後，該客戶將可觀看或下載該分析影像等。當然，在不同的實施例中，分析資訊中也可以是包含有由相關人員或是相關電腦依據分析影像自行產生的一分析結果資料，而該客戶連線至該雲端並登錄帳戶後，將可以觀看或下載該分析結果資料。
所述系統編號例如可以是樣品分析廠商自行決定的字串等，而系統編號例如可以是用來提供樣品分析廠商分辨當前分析的樣品的順序、客戶名稱、樣品種類等資訊，或者，系統編號也可以是樣品分析廠商自行定義的流水號，於此不加以限制。
請參閱圖10，本實施例的樣品分析方法與前述實施例最大不同之處在於：於所述送入步驟S13及所述分析步驟S15之間還包含一判斷步驟S14，判斷步驟S14包含： 一影像產生步驟S141：利用電子顯微鏡設備對樣品承載構件1進行拍攝，以產生一判斷影像； 一即時資訊產生步驟S142：由判斷影像中判讀識別結構13，以產生一即時資訊； 一比對步驟S143：比對即時資訊所包含的至少一部分的資料是否與系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應；
若即時資訊所包含的至少一部分的資料與系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應，則執行分析步驟S15；
若即時資訊所包含的至少一部分的資料未與系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應，則控制一警示裝置作動，以提示使用者當前位於電子顯微鏡設備中的樣品承載構件與系統資訊不相符。
須說明的是，在實際應用中，所述即時資訊產生步驟S142例如可以是應用與電子顯微鏡設備相連接的電腦等設備執行，或者，也可以是由電子顯微鏡設備內的相關處理器執行，且電腦或是相關處理器是對所述判斷影像進行影像辨識作業，以辨識出形成於樣品承載構件1上的識別結構13所呈現的內容為何，並據以產生所述即時資訊。
舉例來說，假設通過標示及置放步驟S112後的樣品承載構件1是如圖6所示，則在影像產生步驟S141所產生的判斷影像將等同於圖6所示的影像，而在即時資訊產生步驟S142中，則是相關電腦或處理器，對圖6所示的判斷影像進行影像辨識，以讀出樣品承載構件1上的識別結構所對應的字串「C3」，而後，於比對步驟S143中，則是電腦或是處理器，判斷所述系統資訊中是否包含「C3」或等同於此字串的相關資料，若是有包含此字串的相關資料，則判斷當前位於電子顯微鏡設備中的樣品承載構件，與當前系統預設要進行分析的樣品承載構件相同，如此，將會續行所述分析步驟S15。
承上，反之，當電腦或是處理器判斷系統資訊中並未包含「C3」或等同於此字串的相關資料時，則不會執行所述分析步驟S15，而是控制警示裝置(例如各式可以發出聲音、資訊、燈光等，足以提醒相關操作人員的裝置)作動，以提示使用者當前位於電子顯微鏡設備中的樣品承載構件1與系統預設當下要分析的樣品承載構件1不相同。如此，將可以大幅降低在相關人員將不正確的樣品承載構件1設置於電子顯微鏡設備中的情況下，仍然執行分析步驟S15，從而導致後續記錄錯誤等問題。
請參閱圖11，本實施例的樣品分析方法與前述實施例最大不同之處在於：在所述取得步驟S111之前，還包含一前置步驟S02：將樣品設置於樣品承載構件1的網狀結構12上，並將已經設置有樣品S的樣品承載構件1設置於存放盒2的其中一個容置槽211中，且利用一輸入裝置，將存放盒2於容置槽211旁的一標示結構23所呈現的內容輸入，以產生所述識別資訊。
舉例來說，電子顯微鏡設備可以是連接一電腦，電腦可以是連接滑鼠及鍵盤(即輸入裝置)、螢幕等，而於所述前置步驟S02中，相關人員例如可以是將樣品S設置於樣品承載構件1後，將設置有樣品S的樣品承載構件1設置於存放盒2上標示為「C3」的容置槽211(如圖6所示)中，而後，再利用滑鼠及鍵盤，輸入「C3」至所述電腦中，而電腦將據以產生包含「C3」字串或是等同於此字串的相關資料的識別資訊。當然，於此所指的輸入裝置可以是任何可以輸入字串的裝置，例如觸控螢幕或是實體按鍵等。另外，於此所指的電腦，可以是獨立於電子顯微鏡設備的裝置，或者也可以是屬於電子顯微鏡設備內部的相關處理裝置。
請一併參閱圖11及圖12，本實施例的樣品分析方法與前述實施例的另一不同之處在於：於前置步驟S02前，還可以包含一標示及切割步驟S01，其包含： 一組合標示及置放步驟S011：利用標示設備，於一大尺寸基材A形成8個具有不同樣式的組合標示結構B1～B8； 一大尺寸切割步驟S012：利用一切割設備，對大尺寸基材A進行至少一次切割作業，以將大尺寸基材A切割為多個小尺寸基材A1；各個小尺寸基材A1包含一個組合標示結構； 一取樣步驟S013：利用一取樣設備，切割其中一個小尺寸基材A1，以取得一個樣品S；
其中，於分析步驟S15後，還包含一組合步驟S17：依據各個小尺寸基材A1的組合標示結構B，拼接多個小尺寸基材A1。
在實際應用中，於所述組合標示及置放步驟S01A中所指的標示設備，可以是與標示及置放步驟S112中所指的標示設備相同，但不以此為限。大尺寸切割步驟S012及取樣步驟S013中所指的切割設備及取樣設備，可以是依據大尺寸基材A的種類、材質等決定，於此不加以限制。
具體來說，樣品分析廠商可能是拿到客戶提供的大尺寸基材A，而客戶是要求樣品分析廠商，針對該大尺寸基材A的失效位置進行取樣及分析，此時，即可通過本實施例的樣品分析方法對大尺寸基材A進行切割，並由小尺寸基材B中取出位於失效位置的部分，以做成樣品。當樣品分析廠商對樣品完成分析後，樣品分析廠商則可以通過已經標適於各個小尺寸基材A1上的組合標示結構B，拼接多個小尺寸基材A1，最後再將拼接後的多個小尺寸基材A1還給客戶。
依上所述，本實施例的樣品分析方法可以讓樣品分析廠商，在完成樣品的分析後，可以快速且正確地將多個小尺寸基材A1拼回至與原本客戶提供的大尺寸基材A大致相同的外型。
請參閱圖13，本發明的樣品製備方法包含： 一取得步驟S21：取得一識別資訊；其中，識別資訊用來表示一存放盒的其中一個容置槽的位置，存放盒包含多個容置槽； 一標示及置放步驟S22：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使標示設備利用識別資訊，於樣品承載構件形成一識別結構，再依據識別資訊將樣品承載構件設置於相對應的容置槽中；其中，樣品承載構件包含一本體及至少一網狀結構，本體具有至少一穿孔，穿孔貫穿本體，網狀結構與本體相連接，網狀結構位於穿孔中，網狀結構將穿孔區隔為多個網孔，網狀結構用以承載樣品。
本實施例所舉的取得步驟S21及標示及置放步驟S22，與前述實施例所舉的取得步驟S111及標示及置放步驟S112相同，於此不再贅述。
以上所述僅為本創作的較佳可行實施例，非因此侷限本創作的專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的保護範圍內。
1:樣品承載構件 11:本體 111:穿孔 112:網孔 113:寬側面 12:網狀結構 13:識別結構 13A:識別結構 13B:識別結構 14:位置識別結構 14A:位置識別結構 14B:位置識別結構 15:方向識別結構 16A:樣品識別結構 16B:樣品識別結構 2:存放盒 21:盒體 211:容置槽 22:蓋體 22A:橫向標示結構 22B:縱向標示結構 23:標示結構 23A:縱向標示結構 23B:橫向標示結構 S:樣品 S1:樣品 S2:樣品 A:大尺寸基材 A1:小尺寸基材 B1～B8:組合標示結構 C:中心 S11、S111、S112、S13、S15、S16、S17:流程步驟 S14、S141、S142、S143:流程步驟 S01、S011、S012、S013、S02:流程步驟 S21、S22:流程步驟
圖1為本發明的樣品分析方法的第一實施例的流程示意圖。
圖2為本發明的樣品分析方法中的存放盒及一個樣品承載構件的示意圖。
圖3為本發明的樣品分析方法中的存放盒設置有一個樣品承載構件的俯視示意圖。
圖4為本發明的樣品分析方法中的樣品承載構件承載有樣品的俯視示意圖。
圖5為本發明的樣品分析方法中的存放盒的另一實施例的俯視示意圖。
圖6為本發明的樣品分析方法中的樣品承載構件承載的其中一實施例的俯視示意圖。
圖7為本發明的樣品分析方法中的樣品承載構件承載的其中一實施例的俯視示意圖。
圖8為本發明的樣品分析方法中的樣品承載構件承載的其中一實施例的俯視示意圖。
圖9為本發明的樣品分析方法的第二實施例的流程示意圖。
圖10為本發明的樣品分析方法的第三實施例流程示意圖。
圖11為本發明的樣品分析方法的第四實施例流程示意圖。
圖12為本發明的樣品分析方法的第四實施例的大尺寸基材及小尺寸基材的示意圖。
圖13為本發明的樣品製備方法的流程示意圖。
S11、S111、S112、S13、S15:流程步驟

Claims (14)

  1. 一種樣品分析方法，其包含： 一樣品製備步驟，其被執行至少一次，所述樣品製備步驟包含： 一取得步驟：取得一識別資訊；其中，所述識別資訊用來表示一存放盒的其中一個容置槽的位置，所述存放盒包含多個所述容置槽； 一標示及置放步驟：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使所述標示設備利用所述識別資訊，於所述樣品承載構件形成一識別結構，再依據所述識別資訊將所述樣品承載構件設置於相對應的所述容置槽中；其中，所述樣品承載構件包含一本體及至少一網狀結構，所述本體具有至少一穿孔，所述穿孔貫穿所述本體，所述網狀結構與所述本體相連接，所述網狀結構位於所述穿孔中，所述網狀結構將所述穿孔區隔為多個網孔，所述網狀結構用以承載所述樣品； 一送入步驟：由所述存放盒的其中一個所述容置槽中，取出一個具有所述識別結構的所述樣品承載構件，再將所述樣品承載構件設置於一電子顯微鏡設備中； 一分析步驟：利用所述電子顯微鏡設備對所述樣品進行拍攝，以產生一分析影像。
  2. 如請求項1所述的樣品分析方法，其中，於所述取得步驟中除了取得所述識別資訊外，還取得一系統資訊，所述系統資訊包含至少一系統編號及一客戶資料；於所述分析步驟後，還包含一資料傳送步驟：將所述系統資訊及所述分析影像整合為一分析資訊，並將所述分析資訊，傳遞至一遠端設備；其中，連線至所述遠端設備的客戶能讀取包含有相對應的所述客戶資料的所述分析資訊中的所述分析影像。
  3. 如請求項2所述的樣品分析方法，其中，於所述送入步驟及所述分析步驟之間還包含一判斷步驟S14，其包含： 利用所述電子顯微鏡設備對所述樣品承載構件進行拍攝，以產生一判斷影像； 由所述判斷影像中判讀所述識別結構，以產生一即時資訊； 比對所述即時資訊所包含的至少一部分的資料是否與所述系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應； 若所述即時資訊所包含的至少一部分的資料與所述系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應，則執行所述分析步驟； 若所述即時資訊所包含的至少一部分的資料未與所述系統資訊所包含的至少一部分的資料相對應，則控制一警示裝置作動，以提示使用者當前位於所述電子顯微鏡設備中的所述樣品承載構件與所述系統資訊不相符。
  4. 如請求項1所述的樣品分析方法，其中，在所述取得步驟之前，還包含一前置步驟：將所述樣品設置於所述樣品承載構件的所述網狀結構上，並將已經設置有所述樣品的所述樣品承載構件設置於所述存放盒的其中一個所述容置槽中；於所述標示及置放步驟中，是由所述存放盒的其中一個所述容置槽中取出已經設置有所述樣品的所述樣品承載構件，並利用一輸入裝置，將所述存放盒於所述容置槽旁的一標示結構所呈現的內容輸入至所述輸入裝置，以形成所述識別資訊。
  5. 如請求項4所述的樣品分析方法，其中，於所述前置步驟前，還包含一標示及切割步驟： 利用所述標示設備，於一大尺寸基材形成多個具有不同樣式的組合標示結構； 利用一切割設備，對所述大尺寸基材進行至少一次切割作業，以將所述大尺寸基材切割為多個小尺寸基材；各個所述小尺寸基材包含一個所述組合標示結構； 利用一取樣設備，切割其中一個所述小尺寸基材，以取得一個所述樣品。
  6. 如請求項1所述的樣品分析方法，其中，所述識別結構凹陷地形成於所述本體的一側，或者，所述識別結構為貫穿所述本體的穿孔結構；所述識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。
  7. 如請求項1所述的樣品分析方法，其中，於所述標示及置放步驟中，是利用所述標示設備於所述樣品承載構件上形成兩個所述識別結構，各個所述識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現，其中一個所述識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件設置於所述存放盒中的一縱向位置，另一個所述識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件設置於所述存放盒中的一橫向位置。
  8. 如請求項1所述的樣品分析方法，其中，於所述標示及置放步驟中，還利用所述標示設備於所述樣品承載構件形成至少一個位置識別結構、一方向識別結構及至少一樣品識別結構中的至少一個，所述樣品承載構件與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接，各個所述位置識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件所承載的所述樣品相對於所述樣品承載構件的中心位置的位置；所述位置識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現；所述方向識別結構與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接；所述方向識別結構設置於所述本體的一側，或者，所述方向識別結構設置於所述網狀結構的中心位置；所述方向識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現；所述樣品識別結構與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接；所述樣品識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。
  9. 一種樣品製備方法，其包含： 一取得步驟：取得一識別資訊；其中，所述識別資訊用來表示一存放盒的其中一個容置槽的位置，所述存放盒包含多個所述容置槽； 一標示及置放步驟：先將已經設置有至少一樣品的一樣品承載構件送入一標示設備中，並使所述標示設備利用所述識別資訊，於所述樣品承載構件形成一識別結構，再依據所述識別資訊將所述樣品承載構件設置於相對應的所述容置槽中；其中，所述樣品承載構件包含一本體及至少一網狀結構，所述本體具有至少一穿孔，所述穿孔貫穿所述本體，所述網狀結構與所述本體相連接，所述網狀結構位於所述穿孔中，所述網狀結構將所述穿孔區隔為多個網孔，所述網狀結構用以承載所述樣品。
  10. 如請求項9所述的樣品製備方法，其中，在所述取得步驟之前，還包含一前置步驟：將所述樣品設置於所述樣品承載構件的所述網狀結構上，並將已經設置有所述樣品的所述樣品承載構件設置於所述存放盒的其中一個所述容置槽中；於所述標示及置放步驟中，是由所述存放盒的其中一個所述容置槽中取出已經設置有所述樣品的所述樣品承載構件，並利用一輸入裝置，將所述存放盒於所述容置槽旁的一標示結構所呈現的內容輸入至所述輸入裝置，以形成所述識別資訊。
  11. 如請求項10所述的樣品製備方法，其中，於所述前置步驟前，還包含一標示及切割步驟： 利用所述標示設備，於一大尺寸基材形成多個組合標示結構； 利用一切割設備，對所述大尺寸基材進行至少一次切割作業，以將所述大尺寸基材切割為多個小尺寸基材；各個所述小尺寸基材包含一個所述組合標示結構； 利用一取樣設備，切割其中一個所述小尺寸基材，以取得一個所述樣品； 其中，於所述分析步驟後，還包含一組合步驟：依據各個所述小尺寸基材的所述組合標示結構，將多個所述小尺寸基材拼接為所述大尺寸基材。
  12. 如請求項9所述的樣品製備方法，其中，所述識別結構凹陷地形成於所述本體的一側，或者，所述識別結構為貫穿所述本體的穿孔結構；所述識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。
  13. 如請求項9所述的樣品製備方法，其中，於所述標示及置放步驟中，是利用所述標示設備於所述樣品承載構件上形成兩個所述識別結構，各個所述識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現，其中一個所述識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件設置於所述存放盒中的一縱向位置，另一個所述識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件設置於所述存放盒中的一橫向位置。
  14. 如請求項9所述的樣品製備方法，其中，於所述標示及置放步驟中，還利用所述標示設備於所述樣品承載構件形成至少一個位置識別結構、一方向識別結構及至少一樣品識別結構中的至少一個，所述樣品承載構件與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接，各個所述位置識別結構用以提供使用者辨識所述樣品承載構件所承載的所述樣品相對於所述樣品承載構件的中心位置的位置；所述位置識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現；所述方向識別結構與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接；所述方向識別結構設置於所述本體的一側，或者，所述方向識別結構設置於所述網狀結構的中心位置；所述方向識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現；所述樣品識別結構與所述本體、所述網狀結構中的至少一個相連接；所述樣品識別結構以文字、數字、符號、圖樣中的至少一個方式呈現。
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