TWI744415B - 氣溶膠蒸發器 - Google Patents

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TWI744415B TW106139707A TW106139707A TWI744415B TW I744415 B TWI744415 B TW I744415B TW 106139707 A TW106139707 A TW 106139707A TW 106139707 A TW106139707 A TW 106139707A TW I744415 B TWI744415 B TW I744415B
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威廉 約瑟夫 湯瑪斯 克呂肯
麥克 朗
德 海登 里克 汎
亞曼 內爾 艾爾
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德商愛思強歐洲公司
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Abstract

本發明係有關於一種裝置，其用於提供在載氣流中運輸之透過將特別是氣溶膠或懸浮液之液態或固態的粒子蒸發所產生之蒸汽，該裝置具有在殼體(1)中以具有經加熱的傳熱面之蒸發元件(17)的端側(17')前的距離(a)連通的至少一個輸送管(2)，該輸送管用於將氣溶膠流或懸浮液流沿輸送管(2)之出口(5)的軸線(A)方向輸送至端側(17')上。為提高效率，設有佈置在出口(5)與端側(17')之間的具有一或數個衝擊面(11、12、24)的衝擊元件(10)，其中，旋轉對稱的衝擊面(11、12、24)以大於10度且小於80度的角(α、β)傾斜於軸線(A)。

Description

氣溶膠蒸發器
本發明係有關於一種裝置，其用於提供在載氣流中運輸之蒸汽，其中，透過將氣溶膠之液態或固態的粒子蒸發來產生該蒸汽。在殼體中設有具有經加熱的傳熱面之蒸發元件。用於運輸氣溶膠流之輸送管與該殼體連通。該輸送管之出口與該蒸發元件之端側存在距離。穿過該出口之軸線實質上垂直於該端側。作為氣溶膠之替代方案，亦可將懸浮液穿過該輸送管送入該蒸發元件。
DE 10 2014 109 194 A1描述一種同類型的裝置，其具有橫截面實質上呈正方形的殼體。用於將氣溶膠饋送入殼體之輸送管與此殼體之頂部連通，其中，輸送管之出口插在可電加熱的預熱元件中。在此預熱元件上游的分配腔中連通沖洗氣流，沖洗氣流穿過多孔的預熱元件流入佈置在此預熱元件下游的間隙。一或數個輸送管同樣與此間隙連通。與預熱元件之出流面間隔一定距離地設有蒸發元件，將蒸發元件之傳熱面電加熱至蒸發溫度。自輸送管之出口輸出的氣溶膠形成粒子束，粒子束在錐束中遇到蒸發元件，錐束之基面遠小於蒸發元件之端側的面積。因此，實質上僅在錐束之區域內將氣溶膠粒子蒸發。在該處不再為蒸發元件提供蒸發熱，從而使得蒸發元件在該處大幅冷卻。設有數個沿流動方向相繼佈置的蒸發元件。
由先前技術、特別是由DE 10 2010 000 388 A1已知在進氣機構中使用衝擊元件，以便均勻分配氣體。
WO 2012/175124 A1同樣描述一種同類型的裝置，其中輸送氣溶膠之載氣噴流朝向蒸發元件之端面。
由US 2002/0020767 A1已知一種氣體分配器，其中借助饋送管將氣體饋送入氣體分配腔。管道之出口前設有衝擊板。衝擊板與具有數個呈網狀佈置之開口的分隔板相互間隔。
DE 10 2011 051 261 A1描述一種用於將有機層沉積在基板上之裝置。
DE 196 54 321 A1描述一種氣溶膠產生器，其中氣溶膠朝衝擊板裝置流動。
本發明之目的在於，改良同類型的裝置以利其使用，特別是增大該裝置之蒸發功率。
該目的透過申請專利範圍所給出之發明而達成，其中，附屬項不僅為獨立項所給出之發明的有利改良方案，亦為該目的之獨創解決方案。
本發明首先且實質上提出一種衝擊元件，其佈置在該輸送管之出口與該蒸發元件之端側之間的軸線中。該蒸發元件具有一或數個衝擊面，該等衝擊面位於該氣溶膠流之錐束、即該出口之軸線中。典型直徑在10μm至500μm範圍內、例如為50μm之氣溶膠粒子以脈衝從輸送管之出口排出，該輸送管實質上平行於該軸線。除氣溶膠外，懸浮液亦可從輸送管之出口排出，以便在沿流動方向佈置在下游之蒸發元件中被蒸發。在載氣遵循流體動力學定律 地以形成特別是渦旋之方式分佈在出口與端側之間的間隙中期間，氣溶膠粒子實質上在彈道運動軌跡上運動並且擊中衝擊面。氣溶膠粒子在衝擊面上反射，其中，反射出射角約相當於反射入射角。衝擊面特別是以一角度傾斜於軸線，其中，以不同角度傾斜於軸線之數個衝擊面可沿徑向並排佈置及/或沿軸線方向相繼佈置。衝擊面較佳係佈置並選擇其與軸線所成角度，從而透過反射且特別是以一速度分量或運動分量背離端側之反射，將粒子分佈在整個端側上。經反射的粒子較佳在弧軌上運動，該弧軌受到穿過出口與端側之間的間隙之載氣流的至少共同影響，其中，該載氣流較佳為圍繞至少一個輸送管之至少一個出口的均勻流。衝擊元件較佳具有旋轉對稱設計，其中，該衝擊元件較佳係佈置在間隙中，使其旋轉軸位於輸送管出口之軸線中。該衝擊元件可以放置在該蒸發元件之端側上。該衝擊元件亦可與該端側有所間隔。該一或數個衝擊面之形狀可呈錐面或截錐面。衝擊元件之輪廓面較佳大於出口之輪廓面。衝擊元件之輪廓面在橫向於軸線之平面內的大小為輸送管之出口的橫向於軸線之輪廓面的至少兩倍，較佳至少五倍。在一種尤佳設計方案中，該衝擊元件由在軸向上相繼佈置的兩個同軸的錐面或截錐面構成。第一衝擊面沿錐側面延伸，其中，該錐側面與軸線成角度在20度至30度範圍內之角。第二衝擊面以形成環形界線或邊界區之方式連接第一衝擊面，該第二衝擊面在第一衝擊面之外部徑向延伸且與軸線成60度至85度之角。該裝置可具有末端位於同一平面內之數個輸送管。在供一或數個輸送管之一或數個出口延伸之平面內可佈置有由固態發泡體構成之預熱元件，載氣可穿過該預熱元件。以通電之方式將該導電的固態發泡體加熱，使得穿過該固態發 泡體之載氣的溫度升高，載氣以該溫度在輸送管之出口的外圍流入間隙。自出口沿軸線方向流入間隙之粒子擊中該二衝擊面並且被以不同的出射角反射，其中，被第一衝擊面反射之粒子亦可被第二衝擊面二次反射。衝擊元件之佈置方案和衝擊面之走向係選擇而使得在衝擊面上反射之氣溶膠粒子實質上以均勻的面分佈擊中蒸發元件之端側，從而透過傳熱面不僅在錐束區域內，還實質上在蒸發元件之整個橫截面上進行熱傳遞。此外，衝擊元件之至少靠近軸線的中心部分係成型成使得氣溶膠粒子無法被反射回輸送管中。為將待蒸發的粒子優選均勻地實質上分佈在蒸發元件之整個表面上，根據本發明之措施，防止集束地自出口排出之粒子、特別是高速粒子在未被蒸發的情況下便穿過蒸發元件或穿過數個沿流動方向相繼佈置之蒸發元件。根據本發明一種改良方案，該衝擊元件被主動或被動地加熱。該方案防止蒸汽冷凝在衝擊面上。因此，後一方案中之溫度高於懸浮液或氣溶膠之粒子的蒸發溫度。
該間隙可界定該輸送管之出口或該預熱元件之排氣面與該蒸發元件之端側間的10mm至30mm的距離。輸送管之出口或包圍該出口之預熱元件的出口與蒸發元件之端側的距離大於衝擊元件之直徑。但該距離較佳小於衝擊元件之直徑的兩倍。輸送管之出口末端可佈置在一絕緣套筒中，該絕緣套筒插在預熱元件之開口中。輸送管之出口開口可與預熱元件之指向蒸發元件的端面齊平。但該出口亦可突出於該端面或有所縮進，從而形成凹部。
在一種替代設計方案中，以上述方案使用及佈置之該衝擊元件具有非旋轉對稱設計。同樣為本發明之標的的旋轉對稱的衝擊元件具有沿圖形軸之軸線方向相繼佈置的衝擊面，其中，該等 衝擊面可相互鄰接，但亦在軸向上相互間隔。為使得兩個衝擊面軸向間隔，衝擊元件可具有包含圓柱側面的圓柱形區段。特別是可與第二衝擊面具有相同傾角的第三衝擊面與該第二衝擊面在軸向上相互間隔。傾斜的第三衝擊面可直接鄰接至蒸發元件之端側。但一圓柱形支座同樣鄰接至蒸發元件之端側，該支座以形成彎折部或倒圓之方式過渡至第二或第三衝擊面，該衝擊面同樣可以形成彎折部或倒圓之方式連接有其他衝擊面或圓柱側面。非旋轉對稱的衝擊元件原則上可具有同樣的結構。但錐面或截錐面在此不具任何圓形基面，而是具有橢圓形、橄欖形或多邊形基面。衝擊元件之圖形軸可與該基面垂直地相交，但同樣地，衝擊元件之圖形軸以一角度與渾圓的、橢圓的、橄欖形的或多邊形的基面相交。在衝擊元件採用此種設計方案的情況下，衝擊元件之圖形軸與輸送管之出口的軸線成一角度。根據本發明，該衝擊元件之圖形軸與該輸送管之出口的中心軸重合。除衝擊元件相對輸送管之該中心佈置方案外，衝擊元件亦可相對輸送管偏心佈置。衝擊元件之圖形軸便與出口之中心軸錯開。在本發明的一種改良方案中，一用於氣溶膠之輸送管的數個出口朝蒸發元件之端側方向與間隙連通，其中，每個出口對應一衝擊元件，該衝擊元件以衝擊面使得自出口排出之氣溶膠運動轉向。衝擊元件在此就出口之中心軸而言亦可採用中心或偏心佈置方案。衝擊元件在此亦可具有旋轉對稱或非旋轉對稱設計。在本發明的一種改良方案中，該蒸發元件之端面形成數個、特別是四個大小相同且設計相同的分區，其中，每個分區對應一輸送管。衝擊元件較佳與分區之各中心軸向錯開。但該等衝擊元件亦可與出口軸向錯開。就端側之中心點而言，該軸向錯開既可沿背離中心點之方向，又可沿 朝向中心點之方向。較佳所有衝擊元件皆採用就端側之中心點而言的對稱錯開設計方案或佈置方案。
1‧‧‧殼體
2‧‧‧輸送管，氣溶膠
3‧‧‧輸送管，沖洗氣體
4‧‧‧前室
5‧‧‧出口
6‧‧‧套筒
7‧‧‧凹部
8‧‧‧預熱元件
9‧‧‧間隙
10‧‧‧衝擊元件
11‧‧‧第一衝擊面
12‧‧‧第二衝擊面
12'‧‧‧中間衝擊面
13‧‧‧頂端
14‧‧‧基底
15‧‧‧軌跡
15'‧‧‧軌跡
16‧‧‧軌跡
16'‧‧‧運動軌跡
17‧‧‧蒸發元件
17'‧‧‧端側
18‧‧‧蒸發元件
19‧‧‧蒸發元件
20‧‧‧圓柱面
20'‧‧‧圓柱面
21‧‧‧氣溶膠流
22‧‧‧沖洗氣體
23‧‧‧蒸汽流
24‧‧‧第三衝擊面
a‧‧‧距離
A‧‧‧軸線
B‧‧‧軸線
D0‧‧‧直徑
D1‧‧‧直徑
D2‧‧‧直徑
D3‧‧‧直徑
H1‧‧‧高度
H2‧‧‧高度
H3‧‧‧高度
H4‧‧‧高度
H5‧‧‧高度
t‧‧‧分區
u‧‧‧分區
v‧‧‧分區
w‧‧‧分區
α‧‧‧傾角
β‧‧‧角
γ‧‧‧角
下面結合實施例詳細闡述本發明。其中：圖1為用於提供在載氣流中運輸、透過將氣溶膠之液態或固態的粒子蒸發所產生之蒸汽之氣體源裝置的橫截面示意圖，圖2為佈置在該氣體源裝置之殼體中之衝擊元件的橫截面的放大圖，圖3為圖2中之視圖的第二實施例，圖4為圖2中之視圖的第三實施例，圖5為衝擊元件10相對輸送管2而言之偏心佈置方案的示意圖，圖6為衝擊元件10之佈置方案的示意圖，該衝擊元件具有傾斜於該輸送管之軸線A的軸線B，圖7為根據圖6中之箭頭7的俯視圖，以及圖8為蒸發元件17之端側17'的俯視圖，該蒸發元件具有四個佈置在大小相同且設計相同的分區t、u、v、w上之衝擊元件10，該等衝擊元件分別沿該氣溶膠之流向佈置在輸送管2內。
本發明之氣體源裝置用於塗佈裝置，該氣體源裝置用來塗佈基板、特別是具有有機分子之玻璃基板，以便製造OLED顯示器。在附圖未示出之氣溶膠產生器中由液態或固態起始材料製成穿過輸送管2之氣溶膠流21。氣溶膠粒子之平均直徑為約50μm，在逐漸減小的壓力下將該等氣溶膠粒子穿過輸送管，其中，該壓力可為1mbar至10mbar。
該氣體源裝置之殼體1圍繞約呈柱形之空腔，其中，該空腔較佳具有矩形橫截面。輸送管2在殼體1之上區域內進入該殼體並且形成空心槍，該槍以其末端插在充填該殼體之腔體之整個橫截面的預熱元件8的開口中。在該實施例中僅示出一輸送管2。但亦可設有數個相互平行的輸送管。
透過沖洗氣體輸送管3將沖洗氣體22饋送入預熱元件8上游之前室4。預熱元件8由導電的發泡體構成，該發泡體例如在WO 2012/175124 A1中有所描述。以通電之方式將預熱元件8加熱，從而將穿過預熱元件8之沖洗氣體22加熱。輸送管2之出口端插在電絕緣的套筒6中。
在實施例中，輸送管2之內徑D0為5mm。輸送管2之出口端相對於預熱元件8之下游平面端面有所縮進，使得供氣溶膠流21穿過並流入間隙9之出口5佈置在凹部7中。
軸線A垂直於出口5之排氣面延伸，該軸線穿過輸送管2之中心並且在間隙9延伸之距離a為約22mm。
沿流動方向或沿軸線A方向相對預熱元件8之下游端側或出口5佈置有第一蒸發元件17之端側17'。蒸發元件17正如沿流動方向佈置在該第一蒸發元件17下游之其他蒸發元件18、19那般由導電的多孔透氣材料、例如發泡體製成，該發泡體在WO 2012/175124中有所描述。蒸發元件17、18、19之發泡體的氣室壁構成可將蒸發熱傳遞至氣溶膠粒子之傳熱面，蒸發熱用來將氣溶膠粒子蒸發為蒸汽形式。為此，將亦可沿軸線A方向小幅地相互間隔之蒸發元件17、18、19電加熱。可在不同的蒸發元件中獨立地對電加熱進行調節。
在指向出口5之端側17'上佈置有衝擊元件10，該端側較佳在橫向於軸線A之平面內延伸。衝擊元件具有圖形軸。衝擊元件被設計為旋轉對稱的。圖形軸位於軸線A中。在該裝置具有數個各具一出口5之輸送管2的情況下，根據本發明，在每個出口5下游皆佈置有一如附圖所示之衝擊元件10。
衝擊元件具有在錐面上延伸之第一衝擊面11。定義錐面之錐體的頂端13位於軸線A中。錐面11與軸線成角度在20度至30度範圍內之角α。角α較佳為約25度至27度。
第一衝擊面11構成徑向內衝擊面，該衝擊面以形成環形區之方式過渡至第二衝擊面12。徑向外第二衝擊面12在截錐側面上延伸，該第二衝擊面與出口5之距離大於第一衝擊面11與該出口之距離。定義該截錐側面之截錐具有中心線，該中心線與軸線A重合。截錐側面12與軸線A成角度在60度至85度範圍內、較佳約在78度至79度範圍內之角β。徑向內第一衝擊面11與軸線A所成傾角α有益地小於徑向外第二衝擊面12與該軸線所成角。在未示出的實施例中，角α可為銳角，以及/或者角β可為鈍角。角α特別是大於零且小於等於45度。角β特別是大於等於45度且小於90度。
定義第一衝擊面之錐體的高度H1為6mm。錐形基面之直徑D1為6mm。定義第二衝擊面12之截錐的截錐高度H2為1.5mm。第二衝擊面12之截錐的基面的直徑D2為約15mm。
第一衝擊面11之基面的直徑D1有益地約相當於出口5之直徑D0。直徑D1尤佳略大於直徑D0。
該裝置之技術原理如下：
透過輸送管2沿軸線A方向運輸具有惰性氣體之氣溶膠。輸送管2穿過被沖洗氣體22徹底沖洗之前室4。氣溶膠流21穿過出口5進入間隙9。沖洗氣體22在被預熱元件8預加熱的情況下進入間隙9且形成包圍該氣溶膠流之沖洗氣流，其中，該沖洗氣體與該載氣可為相同氣體。載氣所運輸之氣溶膠粒子在大約呈直線的軌跡15、15'上實質上沿軸線A方向穿過間隙9並且衝擊至衝擊元件10之第一及第二衝擊面11、12，該等氣溶膠粒子在該處被反射，其中，出射角大約相當於入射角。端側17'將在軌跡15上擊中與軸線成角β之傾斜程度很大的第二衝擊面12的粒子反射，粒子形成在徑向上背離軸線A之弧軌16，以便與衝擊元件10徑向間隔地擊中端側17'、在該端側上被沖洗氣流輸送並被運入蒸發元件17且在該蒸發元件中蒸發。
沿軌跡15'運動之粒子首先擊中以較陡的程度傾斜於軸線A之第一衝擊面11並在該處被偏轉。在衝擊面11上被偏轉之粒子隨後要麼直接擊中蒸發元件17之端側17'，要麼在擊中第二衝擊面12的情況下被二次反射。被二次反射的粒子之弧形運動軌跡16'與僅在第一衝擊面上被反射一次之粒子的軌跡16相比更加平緩。
衝擊面之傾斜程度使得無法將粒子反射入輸送管。此外，採取措施將衝擊面加熱至使得蒸汽不會在衝擊面上冷凝之溫度。
根據本發明，還以某種方式在衝擊面11、12上反射粒子，使得該等粒子擊中殼體1之殼體壁。
附圖中用虛線繪示之軌跡僅象徵性地示出粒子之物理運動軌跡。根據粒子之直徑及間隙9中之總壓力，粒子之運動視情況很大程度上取決於沖洗氣體或載氣之流動剖面。
圖3所示實施例示出衝擊元件10，其具有圍繞衝擊元件10之圖形軸B旋轉對稱的衝擊面11、12、24。第一衝擊面11在錐面上以錐角α延伸且具有頂端13。第一衝擊面11以形成倒圓或摺線之方式過渡至與第三衝擊面24有所間隔之第二衝擊面12。第二衝擊面12與圖形軸B之傾角β約相當於第三衝擊面24與圖形軸B之傾角γ。佈置在第二衝擊面12與第三衝擊面24之間的圓柱面20之高度H3大於第二衝擊面12之高度H2及第三衝擊面24之高度H4。供衝擊元件10靜置在蒸發元件17之端側17'上的基面在此由另一圓柱形區段之基面構成，該圓柱形區段之圓柱面20'連接第三衝擊面24。圓柱面20'之高度H5大於第三衝擊面24之高度H4。衝擊元件10之對應於第三衝擊面24之基面的基面的直徑D3大於圓柱面20之直徑D2。
圖4所示實施例與圖2所示實施例實質上僅以如下方式有所偏差：第二衝擊面12並非直接鄰接至蒸發元件17之端側17'，而是圓柱形區段以圓柱面20連接第二衝擊面12，使得如圖3所示實施例，直徑最大的衝擊面就軸線B或軸線A而言與端側17'錯開。
圖5示出一實施例，其與圖1所示實施例不同之處在於，衝擊元件10之圖形軸B並非位於出口5之中心軸A中。平行於軸線A之圖形軸B在徑向上與軸線A錯開。
圖6示出另一實施例，其中衝擊元件10不具任何旋 轉對稱設計。就傾斜於穿過出口5之軸線A且穿過第一衝擊面11之頂端13的設計軸B而言，第一衝擊面11可具有旋轉對稱性。就未在圖6中繪示之平行於軸線A的軸線而言，第一衝擊面11並非為旋轉對稱的。第一衝擊面11之基面可為橢圓或橄欖形面。在該基面上，第一衝擊面11以形成摺線或倒圓之方式過渡至中間衝擊面12'，該中間衝擊面正如第一衝擊面11那般在錐面或類似於錐形之面上延伸。同樣並非旋轉對稱的第二衝擊面12連接中間衝擊面12'。該等衝擊面可由圓柱側面或錐側面構成，其中，錐體或圓柱體之軸線相互傾斜。
圖8示出蒸發元件17之端側17'的俯視圖。端側17'之端面為正方形且可分為四個大小相同且設計相同的分區t、u、v、w。分區t、u、v、w間以虛線繪示之界線相交於端側17'之中心點。就該中心點而言，在四重對稱中佈置有輸送管2之四個出口5，其中，每個出口5對應一衝擊元件10。衝擊元件10可具有非對稱設計且並非對稱於特別是偏心於出口5佈置。較佳係指設計相同的衝擊元件10，其就端側17'之中心點而言以對稱方式佈置。
前述實施方案係用於說明本申請整體所包含之發明，該等發明至少透過以下特徵組合分別獨立構成相對於先前技術之改良方案：
一種裝置，其特徵在於：佈置在出口5與端側17'之間的衝擊元件10，該衝擊元件具有一或數個衝擊面11、12、24。
一種裝置，其特徵在於：該等衝擊面11、12、24以特別是大於10度且小於80度的角α、β傾斜於該軸線A。
一種裝置，其特徵在於：該一或數個衝擊面11、12、 24與該軸線A旋轉對稱。
一種裝置，其特徵在於：該衝擊元件10具有兩個或兩個以上的衝擊面11、12，該等衝擊面以互不相同的角α、β傾斜於該軸線A。
一種裝置，其特徵在於：該等衝擊面11、12、24沿錐面或截錐側面延伸，其中，該錐形基面為圓面、橄欖形面或橢圓面。
一種裝置，其特徵在於：該衝擊元件10之橫向於該軸線A之輪廓面的大小為該出口5之橫向於該軸線A之面的至少兩倍，較佳至少五倍。
一種裝置，其特徵在於：該衝擊元件10具有徑向內第一衝擊面11，該衝擊面在錐面上延伸，其中，該錐體之頂端13位於該軸線A中且該錐面以20度至30度之角α傾斜於該軸線A，且該衝擊元件具有徑向外第二衝擊面12，該衝擊面以形成橄欖形或圓形摺線之方式連接該第一衝擊面11並且在截錐側面上延伸，該截錐側面與該軸線A成60度至85度之角β。
一種裝置，其特徵在於：該輸送管2之具有該出口5的末端插在經加熱的預熱元件8之開口中，該預熱元件8可被沖洗氣體22徹底沖洗，該沖洗氣體進入預熱元件8與蒸發元件17之間的間隙9。
一種裝置，其特徵在於：該出口(5)之距離(a)為該衝擊元件(10)之直徑(D2)的一倍至兩倍。
一種裝置，其特徵在於：該衝擊元件10之設計軸或圖形軸B與穿過該出口5之中心的該軸線A徑向錯開。
一種裝置，其特徵在於：該衝擊元件10之設計軸或圖形軸B與該軸線A錯開一定角度。
一種裝置，其特徵在於：兩個衝擊面12、24被圓柱面20隔開。
一種裝置，其特徵在於：設有特別是相互平行的數個輸送管2，該等輸送管與該蒸發元件17之端側17'的分區t、u、v、w的中心z錯開，其中，每個出口5對應一衝擊元件10，其中，該衝擊元件10相對該輸送管2之出口5的中心軸A特別是具有非旋轉對稱的設計及/或偏心佈置方案。
所有已揭露特徵(作為單項特徵或特徵組合)皆為發明本質所在。故本申請之揭露內容亦包含相關/所附優先權檔案(在先申請副本)所揭露之全部內容，該等檔案所述特徵亦一併納入本申請之申請專利範圍。附屬項以其特徵對本發明針對先前技術之改良方案的特徵予以說明，其目的主要在於在該等請求項基礎上進行分案申請。
1‧‧‧殼體
2‧‧‧輸送管，氣溶膠
3‧‧‧輸送管，沖洗氣體
4‧‧‧前室
5‧‧‧出口
6‧‧‧套筒
7‧‧‧凹部
8‧‧‧預熱元件
9‧‧‧間隙
10‧‧‧衝擊元件
11‧‧‧第一衝擊面
12‧‧‧第二衝擊面
13‧‧‧頂端
14‧‧‧基底
15‧‧‧軌跡
16‧‧‧軌跡
17‧‧‧蒸發元件
17'‧‧‧端側
18‧‧‧蒸發元件
19‧‧‧蒸發元件
20‧‧‧圓柱面
21‧‧‧氣溶膠流
22‧‧‧沖洗氣體
23‧‧‧蒸汽流
a‧‧‧距離
A‧‧‧軸線
D0‧‧‧直徑

Claims (14)

  1. 一種用於產生蒸汽之裝置，其具有用於產生具有液態或固態粒子之氣溶膠的氣溶膠產生器、佈置在殼體(1)中之具有經加熱的傳熱面及載氣可透過的蒸發元件(17)，及用於以載氣流將該等粒子自該氣溶膠產生器運輸至該蒸發元件(17)之輸送管(2)，其中，該輸送管(2)之出口(5)與該蒸發元件(17)之端側(17')有所間隔且產生沿該出口(5)之軸線(A)方向朝向該端側(17')之粒子流，其特徵在於沿該軸線方向佈置在出口(5)與端側(17')之間的衝擊元件(10)，該衝擊元件具有一或數個衝擊面(11、12、24)。
  2. 如請求項1之裝置，其中，至少一個衝擊面(11、12、24)以不同於零的大於10度且小於80度的角(α、β)傾斜於該軸線(A)。
  3. 如請求項2之裝置，其中，至少一個衝擊面(11、12、24)與該軸線(A)旋轉對稱。
  4. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)具有兩個或兩個以上的衝擊面(11、12)，該等衝擊面以互不相同的角(α、β)傾斜於該軸線(A)。
  5. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)具有一錐形基面，該一或數個衝擊面(11、12、24)沿錐面或截錐側面延伸，其中，該錐形基面為圓面、橄欖形面或橢圓面。
  6. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)之橫向於該軸線(A)之輪廓面的大小為該出口(5)之橫向於該軸線(A)之面的至少兩倍。
  7. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)具有徑向內第一衝擊面(11)，該衝擊面在錐面上延伸，其中，該衝擊元件(10)之頂端(13)位於該軸線(A)中且該錐面以20度至30度之角(α)傾斜於該軸線 (A)，且該衝擊元件具有徑向外第二衝擊面(12)，該衝擊面以形成橄欖形或圓形摺線之方式連接該第一衝擊面(11)並且在截錐側面上延伸，該截錐側面與該軸線(A)成60度至85度之角(β)。
  8. 如請求項1之裝置，其中，該輸送管(2)之具有該出口(5)的末端插在經加熱的預熱元件(8)之開口中，該預熱元件(8)可被沖洗氣體(22)徹底沖洗，該沖洗氣體進入預熱元件(8)與蒸發元件(17)之間的間隙(9)。
  9. 如請求項1之裝置，其中，該出口(5)與該蒸發元件(17)之端側(17')之一距離(a)為該衝擊元件(10)之直徑(D2、D3)的一倍至兩倍。
  10. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)之設計軸或圖形軸(B)與穿過該出口(5)之中心的該軸線(A)徑向錯開。
  11. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)之設計軸或圖形軸(B)與該軸線(A)錯開一定角度。
  12. 如請求項1之裝置，其中，兩個衝擊面(12、24)被圓柱面(20)隔開。
  13. 如請求項1之裝置，其中，設有數個輸送管(2)，該等輸送管與該蒸發元件(17)之端側(17')的分區(t、u、v、w)的中心(z)錯開，其中，每個出口(5)對應一衝擊元件(10)，其中，該衝擊元件(10)相對該輸送管(2)之出口(5)的中心軸(A)具有非旋轉對稱的設計及/或偏心佈置方案。
  14. 如請求項1之裝置，其中，該衝擊元件(10)放置在該蒸發元件(17)之端側(17')上。
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