TWI730108B - 在分離可撓性玻璃帶時管理裂縫尖端的機械應力 - Google Patents

Abstract

一種在分離可撓性玻璃帶時管理裂縫尖端上的機械應力的方法，包含將可撓性玻璃帶引導至包含切割裝置的邊緣修整設備。可撓性玻璃帶包含在第一邊緣與第二邊緣之間橫向延伸的第一寬廣表面與第二寬廣表面。隨著可撓性玻璃帶移動，由切割裝置分離可撓性玻璃帶的第一邊緣，以形成連續邊緣修整條，連續邊緣修整條在裂縫尖端處連接至可撓性玻璃帶的中央部分。使用縫隙量測裝置偵測第一邊緣與中央部分之間的縫隙寬度。供應指示縫隙寬度的訊號至控制器。使用縫隙調整裝置基於此訊號，調整第一邊緣與中央部分之間的縫隙寬度。

Description

在分離可撓性玻璃帶時管理裂縫尖端的機械應力

對於相關申請案的交互參照：本申請案依專利法第28條主張對於申請於2016年6月3日的美國專利臨時申請案第62/345146號的優先權，在此仰賴且併入此臨時申請案全文以作為參照。

本說明書一般而言相關於在分離可撓性玻璃帶時管理裂縫尖端上的應力之方法和設備。

玻璃製造設備常被用於形成各種玻璃製品，例如LCD玻璃片。可撓性式電子應用中的玻璃基板越來越薄且越來越輕。對於某些顯示應用而言（特別是對於可攜式電子裝置，例如膝上型電腦、手持式裝置等等），可期望具有低於0.5毫米（例如小於0.3毫米，例如0.1毫米或甚至更薄）的厚度的玻璃基板。為了達成這些較小的厚度，已知藉由使熔融玻璃向下流到成形楔(forming wedge)上，並使用邊緣輥(edge rollers)接合形成在玻璃帶相對邊緣部分的球狀物(beads)，來製造玻璃帶。在可用部分(quality portion)達到最終所需玻璃帶厚度之後，藉由在縱向方向中切開(slit)玻璃帶以移除球狀物。切開玻璃帶的方式，影響玻璃帶的可用部分上的邊緣的強度，而相應地影響了玻璃帶用於所需目的的能力。因此期望改良切開玻璃帶的方式以獲得強健的可用部分上的邊緣，以使玻璃帶可被用於所需的應用，例如可攜式電子裝置、膝上型電腦、手持式裝置等等。

本概念涉及於在邊緣修整部分(edge trim)移除製程期間內分離可撓性玻璃帶時，管理裂縫尖端上的機械應力。可由邊緣修整設備以連續的方式，將邊緣修整部分自可撓性玻璃帶的中央部分移除。隨後在邊緣修整部分連續條保持連接至可撓性玻璃帶的中央部分的同時，收集邊緣修整部分連續條，並可消除對於移動相當小片的可撓性薄玻璃邊緣修整部分的任何需要。

在邊緣修整部分移除期間內（特別是在雷射切割製程期間內），可期望控制切割位置處裂縫尖端上的機械應力，使得機械應力不會過度影響裂縫尖端的成形，從而改良了邊緣品質。換言之，熱應力（例如由雷射光束與冷卻噴流引入的熱應力），應為維持裂縫尖端傳遞與穩定度的主要驅動應力，而非由實體邊緣分離所引入的機械應力。然而，邊緣修整部分與可撓性玻璃帶中央可用部分的邊緣分離，被期望抑制邊緣品質的降低，藉由（例如）邊緣之間接觸所造成的裂縫成形與傳遞。此外，邊緣分離被期望避免邊緣彼此摩擦而產生粒子，因為此等粒子可非期望地累積在玻璃帶的主表面上，且可因此抑制在玻璃帶上產生所需的結構。

根據第一態樣，一種管理裂縫尖端上的機械應力的方法，包含以下步驟： 引導步驟，將可撓性玻璃帶引導至包含切割裝置的邊緣修整設備，可撓性玻璃帶包含第一寬廣表面與第二寬廣表面，第一寬廣表面與第二寬廣表面橫向延伸於第一邊緣與第二邊緣之間； 分離步驟，隨著可撓性玻璃帶移動，由切割裝置分離可撓性玻璃帶的第一邊緣，以形成邊緣修整部分條，邊緣修整部分條在裂縫尖端處連接至可撓性玻璃帶的中央部分； 偵測步驟，偵測第一邊緣與中央部分之間的縫隙的寬度；以及 控制步驟，控制縫隙的寬度。

根據第二態樣，提供如態樣1所述之方法，其中分離步驟進一步包含以下步驟：將雷射光束引導至第一寬廣表面與第二寬廣表面之至少一者上。

根據第三態樣，提供如態樣2所述之方法，方法進一步包含以下步驟：將冷卻噴流引導至第一寬廣表面與第二寬廣表面的該至少一者上，從而在接近雷射光束的位置處冷卻可撓性玻璃帶。

根據第四態樣，提供如態樣1-3之任一者所述之方法，其中偵測縫隙的寬度的偵測步驟，包含以下步驟：在裂縫尖端下游的預定距離處偵測縫隙的寬度。

根據第五態樣，提供如態樣4所述之方法，其中預定距離為裂縫尖端下游約30公分。

根據第六態樣，提供如態樣5所述之方法，其中預定距離處的縫隙的寬度被維持為低於約0.11毫米。

根據第七態樣，提供如態樣1-6之任一者所述之方法，其中偵測縫隙的寬度的偵測步驟包含以下步驟：使用雷射位移感測器。

根據第八態樣，提供如態樣1-7之任一者所述之方法，其中控制縫隙的寬度的控制步驟包含以下步驟：將裂縫尖端處的機械應力維持為低於30 MPa。

根據第九態樣，一種管理裂縫尖端上的機械應力的設備包含： 輸送組件，輸送組件將可撓性玻璃帶引導於輸送方向中； 邊緣修整設備，邊緣修整設備包含切割裝置，切割裝置接收可撓性玻璃帶並分離可撓性玻璃帶的第一邊緣以形成連續邊緣修整部分條，連續邊緣修整部分條在裂縫尖端處連接至可撓性玻璃帶的中央部分； 縫隙量測裝置，縫隙量測裝置提供訊號，訊號指示第一邊緣以及可撓性玻璃帶的中央部分之間的縫隙的寬度；以及 縫隙調整裝置，縫隙調整裝置基於訊號，調整邊緣修整部分條與中央部分之間的縫隙的寬度。

根據第十態樣，提供如態樣9所述之設備，其中切割裝置包含雷射。

根據第十一態樣，提供如態樣10所述之設備，設備進一步包含接近雷射的冷卻流體噴流。

根據第十二態樣，提供如態樣9-11之任一者所述之設備，其中縫隙調整裝置偵測裂縫尖端下游預定距離處的縫隙的寬度。

根據第十三態樣，提供態樣9-12之任一者所述之設備，其中預定距離為裂縫尖端下游約30公分。

根據第十四態樣，提供如態樣13所述之設備，其中預定距離處的縫隙的寬度被維持為低於約0.11毫米。

根據第十五態樣，提供如態樣9-14之任一者所述之設備，其中縫隙量測裝置包含雷射位移感測器。

根據第十六態樣，提供如態樣9-15之任一者所述之設備，其中裂縫尖端處的機械應力被維持為低於30 MPa。

根據第十七態樣，一種可撓性玻璃結構，可撓性玻璃結構的厚度為至多約0.3毫米，可撓性玻璃結構具有由雷射切割裝置在連續雷射切割製程中形成的切割邊緣，根據粒子密度測試#1判定可撓性玻璃結構的切割後粒子密度不大於約每平方公分0.0015個粒子數。

根據第十八態樣，提供如態樣17所述之設備，根據粒子密度測試#1判定設備的切割後粒子密度不大於約每平方公分0.001個粒子數。

根據第十九態樣，提供如態樣17所述之設備，根據粒子密度測試#1判定設備的切割後粒子密度不大於約每平方公分0.0005個粒子數。

下面的詳細說明將闡述額外的特徵與優點，在相關技術領域中具有通常知識者根據說明將可顯然得知這些特徵與優點的部分，或者，在相關技術領域中具有通常知識者藉由實作本說明書與附加圖式所示例的（以及由附加申請專利範圍所界定的）具體實施例將可理解到這些特徵與優點的部分。應瞭解到，上文的一般性說明與下文的詳細說明僅為示例性的，且意為提供概觀或框架以期瞭解申請專利範圍的本質與特性。

包含附加圖式以期進一步瞭解本揭示內容的原理，這些圖式被併入本說明書且構成本說明書的一部分。圖式說明一或更多個具體實施例，並與說明一起示例解釋本文所述之具體實施例的原理與操作。應瞭解到，本說明書與圖式中所揭示的各種特徵，可由任何的（與所有的）結合方式來使用。

本文所述具體實施例一般而言，相關於用於在雷射切割製程中藉由控制從可撓性玻璃帶中央可用部分移除的可撓性玻璃邊緣條的橫向動作時，管理裂縫尖端上的機械應力的設備與方法。如本文所述，可使用數值模型與分析模型，界定邊緣條的邊緣與可撓性玻璃帶可用部分的邊緣之間的縫隙或「外張」，以及縫隙與裂縫尖端處機械應力相關程度之間的關係。使用此模型資料提供量測系統，此量測系統能夠在穩態執行條件下連續量測縫隙。此量測可又用於緊密調整控制迴路，此控制迴路界定在裂縫尖端且一般而言在雷射分離下游處的，邊緣帶相對於中央可用部分的橫向位置（亦即外張或縫隙的量）。

參照第1圖，圖示說明將可撓性玻璃帶10輸送通過玻璃處理設備12，第1圖僅圖示說明玻璃處理設備12的一部分。可從玻璃帶源14（第3圖）以連續方式輸送可撓性玻璃帶10通過玻璃處理設備12。玻璃帶源14可為成形製程或可為一捲玻璃。可撓性玻璃帶10包含一對相對的第一邊緣16與第二邊緣18以及中央部分20，第一邊緣16與第二邊緣18沿著可撓性玻璃帶10的長度延伸，中央部分20跨越在第一邊緣16與第二邊緣18之間。在一些具體實施例中，第一邊緣16與第二邊緣18可被黏著帶25覆蓋，黏著帶25用以保護並屏蔽第一邊緣16與第二邊緣18以不被接觸。可隨著可撓性玻璃帶10移動通過設備12，而將黏著帶25施加至第一邊緣16與第二邊緣18之一者或兩者。第一寬廣表面22與相對的第二寬廣表面24亦跨越在第一邊緣16與第二邊緣18之間，形成中央部分20的一部分。通常來說，黏著帶25將被施加至已經被切割（亦即在球狀物26、28已被移除之後）的玻璃帶10的邊緣。然而，黏著帶25亦可被施加至具有球狀物26、28（如圖示）的玻璃帶10。

在其中使用下拉熔融製程(down draw fusion process)成形可撓性玻璃帶10的具體實施例中（第3圖圖示此具體實施例之部分），第一與第二邊緣16與18可包含球狀物26與28，球狀物26與28的厚度T1大於中央部分20內的厚度T₂ 。可為「超薄(ultra-thin)」的中央部分20的厚度T₂ 可為約0.3毫米或更少，或可上至0.5毫米，包含但不限於（例如）從約0.01至約0.5、從約0.01至約0.4、從約0.01至約0.3毫米、從約0.01 至約 0.275毫米、從約 0.01 至約 0.25毫米、從約 0.01 至約 .225毫米、從約 0.01 至約 0.2毫米、從約 0.01 至約 .175毫米、從約 0.01 至約 .15毫米、從約 0.01 至約 .125毫米、從約 0.01 至約 .1毫米、從約 0.01 至約 .075毫米、從約 0.01 至約 .05毫米、從約 0.01 至約 .025毫米、從約 0.025 至約 0.5毫米、從約 0.05 至約 0.5毫米、從約 0.075 至約 0.5毫米、從約 0.1 至約 0.5毫米、從約 0.125 至約 0.5毫米、從約 0.15 至約 0.5毫米、從約 0.175 至約 0.5毫米、從約 0.2 至約 0.5毫米、從約 0.225 至約 0.5毫米、從約 0.25 至約 0.5毫米、從約 0.275 至約 0.5毫米、從約 0.025 至約 0.275毫米、從約 0.5 至約 0.25毫米、從約 0.75 至約 0.225毫米、從約 0.1 至約 0.2毫米、從約 0.125 至約 0.175毫米，雖然在其他範例中可成形具有其他厚度的可撓性玻璃帶10。

使用輸送帶系統30（第1圖）輸送可撓性玻璃帶10通過設備12。可提供橫向引導件32與34以將可撓性玻璃帶10定向於正確的橫向位置中（相對於可撓性玻璃帶10的機器或行進方向36）。例如所示意圖示的，橫向引導件32與34可包含接合第一與第二邊緣16與18的輥38。可使用橫向引導件32與34施加相對的力40與42至第一與第二邊緣16與18，相對的力40與42幫助在行進方向36中將可撓性玻璃帶10移位並對準在所需的橫向定向中。

如進一步圖示說明的，橫向引導件32與34可接合黏合帶25上的第一與第二邊緣16與18，而不接合可撓性玻璃帶10的中央部分20。因此，可維持可撓性玻璃帶10的中央部分20的相對的第一與第二寬廣表面22與24的質樸（或可用）的表面，同時避免在橫向引導件32與34接合中央部分20的第一與第二寬廣表面22與24之任一者時可發生的非期望的刮傷或其他表面污染物。再者，橫向引導件32與34可接合可撓性玻璃帶10，同時可撓性玻璃帶10被沿著橫向於可撓性玻璃帶10行進方向36的一軸46折彎。折彎可撓性玻璃帶10，可在折彎過程中提升玻璃帶10的剛性。因此，橫向引導件32與34可在折彎條件下接合玻璃帶10。由橫向引導件32與34施加的力40與42，因此在橫向對準可撓性玻璃帶10時較不會彎曲或者擾亂玻璃帶輪廓的穩定度。

設備12可進一步包含在軸46下游的切割區50。在一個範例中，設備12可包含切割支撐構件52，切割支撐構件52經配置以在切割區50中折彎可撓性玻璃帶10，以提供具有折彎定向的折彎目標區段54。折彎切割區50內的目標區段54，可幫助在切割處理程序期間內穩定可撓性玻璃帶10。在將第一與第二邊緣16與18之至少一者與可撓性玻璃帶10中央部分20分離的處理程序期間內，這種穩定可幫助防止彎曲或擾亂可撓性玻璃帶輪廓。

切割支撐構件52可包含非接觸式支撐構件，非接觸式支撐構件經設計以支撐玻璃帶10而不碰觸可撓性玻璃帶10的第一與第二寬廣表面22與24。例如參照第2圖，非接觸式切割支撐構件52可包含一或更多個曲線氣棒(curved air bar)，曲線氣棒經配置以提供氣墊(cushion of air)以在可撓性玻璃帶10與切割支撐構件52之間形成間隔，以防止可撓性玻璃帶10的中央部分20接觸切割支撐構件52。

快速參照第2圖，可對切割支撐構件52提供複數個通道58，通道58經配置以提供正壓埠60，以迫使氣流62通過正壓埠60朝向折彎目標區段54以產生氣墊66，以提供折彎目標區段54的非接觸式支撐。視情況，複數個通道58可包含負壓埠68，使得氣流71可被吸離折彎目標區段54以產生吸力，以部分地抵消來自正壓埠64產生之氣墊66的力。正壓埠與負壓埠的結合，可幫助在切割處理程序中穩定折彎目標區段54。當然，正壓埠64可幫助在可撓性玻璃帶10中央部分20與切割支撐構件52之間，維持所需的氣墊66高度。同時，負壓埠68可幫助將可撓性玻璃帶10拉向切割支撐構件52，以於在行進方向36中橫越過切割支撐構件52時，防止可撓性玻璃帶10波動或使折彎目標區段54的部分漂浮離目標區段54的其他部分。

在切割區50中提供折彎目標區段54，亦可在切割區50中提升可撓性玻璃帶10的剛性。因此如第1圖圖示，隨著可撓性玻璃帶10通過切割區50內的切割支撐構件52上方，可選的橫向引導件70、72可接合在折彎情況中的可撓性玻璃帶10。由橫向引導件70與72施加的力74與76因此在隨著可撓性玻璃帶10通過切割支撐構件52上方進行橫向對準時，較不會彎曲或者擾亂玻璃帶輪廓的穩定度。因此可提供可選的橫向引導件70與72，以沿著橫向於可撓性玻璃帶10行進方向36的軸46的一方向，將折彎目標區段54微調於適當的橫向定向。

如上文所闡述的，在切割區50內以折彎定向提供折彎目標區段54，可幫助在切割處理程序期間內穩定可撓性玻璃帶10。在將第一與第二邊緣16與18之至少一者分離的處理程序期間內，這種穩定可幫助防止彎曲或擾亂可撓性玻璃帶輪廓。再者，折彎目標區段54的折彎定向，可提升折彎目標區段54的剛性，而允許可選地微調對於折彎目標區段54的橫向定向的調整。因此，在將第一與第二邊緣16與18之至少一者分離的處理程序期間內，可撓性玻璃帶10可被有效地穩定且適當地橫向定向，而不會接觸中央部分20的第一與第二寬廣表面22與24。

藉由沿著軸46方向折彎目標區段54以包含向上凸起表面及（或）向上凹下(upwardly concave)表面，可提升可撓性玻璃帶10的折彎目標區段54的穩定度與剛性。例如第2圖圖示，折彎目標區段54包含具有面朝上的凸起表面80的折彎定向。本揭示內容的範例，可涉及由切割支撐構件52的面朝上的凸起支撐表面82（例如所圖示說明的氣棒）支撐折彎目標區段54。提供具有面朝上的凸起支撐表面82的切割支撐構件52，可類似地在切割區50中折彎可撓性玻璃帶10，以達成所圖示說明的折彎定向。

設備12可進一步包含寬廣範圍的邊緣修整設備，邊緣修整設備經配置以將第一與第二邊緣16與18與玻璃帶10的中央部分20分離。在如第3圖圖示的一個範例中，邊緣修整設備100可包含光學遞送設備102，光學遞送設備102用於照射（且因此加熱）折彎目標區段54的面朝上的表面的部分。在一個範例中，光學遞送設備102可包含切割裝置，例如所圖示說明的雷射104，但是也可在進一步的範例中提供其他的輻射源。光學遞送設備102可進一步包含圓形偏振器106、光束擴大器108、以及光束成形設備110。

光學遞送設備102可進一步包含光學元件（例如鏡114、116與118），以再導向來自輻射源（例如雷射104）的輻射光束（例如雷射光束112）。輻射源可包含所圖示說明的雷射104，雷射104經配置以發射雷射光束，雷射光束的波長與功率適合用於在光束投射在可撓性玻璃帶10上的位置加熱可撓性玻璃帶10。在一個具體實施例中，雷射104可包含CO₂ 雷射，雖然在進一步的範例中可使用其他的雷射類型。

雷射104可初始地發射具有實質上圓形截面的雷射光束112（亦即雷射光束的截面與雷射光束的縱軸成直角）。光學遞送設備102轉換雷射光束112，使得光束112在投射在玻璃帶10上時具有顯著拉長的形狀。如第1圖圖示，拉長的形狀可產生拉長的輻射區120，輻射區120可包含所圖示說明的橢圓形佔用面積，雖然在進一步的範例中可提供其他的配置。橢圓形佔用面積可被放置在折彎目標區段的面朝上的（凸起或凹下的）表面上。

橢圓形佔用面積的邊界可被判定為光束強度減少至光束強度峰值的1/e² 的點。雷射光束112傳輸通過圓形偏振器106，且隨後藉由傳輸通過光束擴大器108而擴大。擴大的雷射光束112隨後傳輸通過光束成形設備110，以形成在折彎目標區段54的表面上產生橢圓形佔用面積的光束。光束成形設備110可例如包含一或更多個圓柱形鏡。然而應瞭解到，可使用能夠將雷射104發射的光束成形，以在折彎目標區段54上產生橢圓形佔用面積的任何光學元件。

橢圓形佔用面積可包含一長軸，此長軸實質長於一短軸。例如在一些具體實施例中，長軸至少比短軸長約十倍。然而，長形輻射區的長度與寬度係取決於所需的分離速度、所需的初始裂縫尺寸、玻璃帶的厚度、雷射功率等等，且輻射區的長度與寬度可依所需而改變。

如第3圖進一步圖示，範例邊緣修整設備100亦可包含冷卻流體遞送設備122，以冷卻折彎目標區段54的面朝上的表面的加熱部分。冷卻流體遞送設備122可包含冷卻液噴嘴124、冷卻液源126以及相關聯的導管128，導管128可將冷卻液傳輸至冷卻液噴嘴124。

參照第1圖至第3圖，冷卻液噴嘴124可經配置以將冷卻流體的冷卻噴流130，傳遞至折彎目標區段54的面朝上的表面。冷卻液噴嘴124可具有各種內部直徑，以形成具有所需尺寸的冷卻區132。與長形輻射區120一樣，冷卻液噴嘴124以及隨後的冷卻噴流130直徑，可依所需改變以配合特定的製程條件。在一些具體實施例中，冷卻液所立即衝擊的玻璃帶區域（冷卻區132），可具有短於輻射區120短軸的直徑。然而在某些其他的具體實施例中，基於例如玻璃帶行進速度、玻璃厚度、雷射功率等等的製程條件，冷卻區132的直徑可大於長形輻射區120的短軸。當然，冷卻噴流的（截面）形狀可為除了圓形以外的形狀，並可例如具有扇形而在玻璃帶表面上使冷卻區形成線，而非圓點。線形冷卻區可例如被定向為正交於長形輻射區120的長軸。在某些情況中其他形狀可為有益的。

在一個範例中，冷卻噴流130包含水，但可為不會弄髒或傷害可撓性玻璃帶10的折彎目標區段54的面朝上的表面的任何適合的冷卻流體（例如液體噴流、氣體噴流或以上之結合）。冷卻噴流130可被遞送至可撓性玻璃帶10的表面，以形成冷卻區132。如圖所示，冷卻區132可跟隨在長形輻射區120之後，以傳播初始裂縫或裂縫尖端180，初始裂縫或裂縫尖端180由將於下文更完整敘述的揭示內容的態樣來形成。

光學遞送設備102以及冷卻流體遞送設備122加熱與冷卻的結合，可有效地引發熱應力而使第一與第二邊緣16與18與中央部分20分離，同時最小化或消除非期望的可由其他分離技術形成的中央部分20相對邊緣140、142中的殘留應力、微裂縫或其他不規則性。再者，由於切割區50內的折彎目標區段54的折彎定向，玻璃帶10可被適當放置並穩定，以在分離製程期間內協助精確地將第一與第二邊緣16與18各自與第一與第二邊緣140、142分離。再者，由於面朝上凸起的支撐表面的凸面拓樸，邊緣修整部分176與178的連續條可行進遠離中央部分20（由平面外方向，及（或）在平面內方向(in-plane direction)橫向遠離），從而減少了第一與第二邊緣16與18隨後將接合（且因此傷害）中央部分20的第一與第二寬廣表面22與24及（或）高品質的可用相對邊緣140、142的可能性。

參照第1圖與第4圖，玻璃處理設備12進一步包含縫隙量測與調整設備160，縫隙量測與調整設備160包含縫隙量測裝置162與縫隙調整裝置164。縫隙量測裝置162可由支撐組件166支撐，支撐組件166包含支撐臂168，支撐臂168將縫隙量測裝置162放置在縫隙170上方，縫隙170在邊緣修整部分176與中央部分20各自的切割邊緣172與140之間。在其他具體實施例中，可由支撐臂168將縫隙量測裝置162放置在縫隙170下方。不論在縫隙170上方或下方，縫隙量測裝置經配置以間歇地或連續地量測邊緣修整部分176與中央部分20的邊緣之間的縫隙170的寬度（在跨越機器的方向中，亦即在軸46的方向中（亦即在橫向、平面內方向中））。適合的縫隙量測裝置162，可包含Keyence Corporation所公開販售的LJ系列雷射位移感測器。應注意到，雖然可主要結合切割邊緣172與140以及邊緣修整部分176來說明縫隙量測裝置162與縫隙調整裝置，但他們的說明與作業可均等應用於切割邊緣182與142以及邊緣修整部分178。

在發生裂縫尖端成形的切割區50下游處的位置，量測縫隙170的寬度，此係較清楚地圖示於第4圖。在裂縫尖端180下游預定距離處進行量測（例如約12公分（5吋）或更多、例如約20公分（8吋）或更多、例如約30.4公分（12吋）或更多、例如從約12至約38公分（約5吋至約15吋）），可提供更可量測到的在邊緣修整部分176與中央部分20的切割邊緣172與140之間的縫隙170，因為縫隙170可在裂縫尖端180下游處的位置變寬。在一些具體實施例中，可期望在較接近裂縫尖端180的位置處量測縫隙170寬度。

再次參照第1圖，縫隙量測與調整設備160進一步包含控制器184（例如比例積分微分(PID)控制器），控制器184接收來自縫隙量測裝置162的指示預定位置處的縫隙170寬度的訊號或輸入。隨後，控制器184調整縫隙調整裝置164的位置，藉以調整在跨越機器的方向中邊緣修整部分176相對於中央部分20的位置。此邊緣修整部分176相對於中央部分20的調整，造成縫隙量測裝置162量測到的縫隙170寬度改變，而相應地調整裂縫尖端180的外張量。可間歇或連續地重複此過程，以調整裂縫尖端預定距離處的縫隙170的寬度，其中此調整移動縫隙量達到控制器184記憶體中所儲存的預定縫隙寬度。預定縫隙量可基於玻璃厚度、中央部分寬度及（或）其他處理參數而改變。替代或額外地，記憶體可儲存查找表，查找表具有預定縫隙，預定縫隙對應於特定的所需機械應力位準，此將於下文進一步解釋。

簡短參照第5圖，縫隙調整裝置164可包含馬達190，馬達190控制輥192繞樞軸A的角位置（例如一組夾送輥的上輥（此組夾送輥亦包含下輥194））。輥192可被橡膠化(rubberized)或者被由柔軟的材料形成，以透過回應於來自控制器184的指令而繞樞軸A旋轉輥192，以抓持球狀物26並改變邊緣修整部分176的橫向定向。改變邊緣修整部分176相對於可撓性玻璃帶18中央部分20的橫向位置，亦影響縫隙量測裝置162處的縫隙170寬度，以及裂縫尖端180處的外張程度。在一些具體實施例中，上輥192被驅動，而下輥194為僅靠接觸玻璃帶18而旋轉的閒置輥。雖然第5圖圖示輥192、194為接合邊緣修整部分176，但在其他具體實施例中可使用類似的輥來接合中央部分20的邊緣，以更精確地控制縫隙170的寬度。此外，雖然第5圖圖示對於玻璃帶的一個邊緣部分（包含16、26、140、176）的輥192、194，但可在玻璃帶的另一邊緣部分（包含18、28、142、178）上使用類似的輥設置。

藉由控制縫隙170，可在玻璃帶的中央部分20上產生高品質的邊緣。在多個具體實施例中，藉由控制縫隙170，可減少機械應力在裂縫尖端處的影響，從而允許熱應力傳播裂縫尖端，而產生較高品質的邊緣。替代或額外的，藉由控制縫隙170，可減少邊緣修整部分176、178摩擦中央部分20邊緣140、142所產生的非期望效應，亦即因接觸而對邊緣140、142產生的實體傷害，及（或）產生非期望地黏合至中央部分寬廣表面22、24的粒子。

首先，藉由控制縫隙170，可減少機械應力在裂縫尖端處的影響。不希望受理論所限制，裂縫尖端180處的縫隙或外張的寬度，可指示因玻璃帶分離所導致的機械應力。裂縫尖端180處的玻璃帶分離可幾乎全為平面內分離，因為邊緣修整部分176可維持在中央部分20的相同平面中，直到遠離至裂縫尖端180下游為止。在一些具體實施例中，縫隙量測裝置162的位置約在裂縫尖端180下游12吋（約30.4公分）處，並量測平面內分離。在其他具體實施例中，邊緣修整部分176幾乎一進入裂縫尖端180位置的下游（例如在裂縫尖端180下游約25毫米處）即被移出中央部分20平面；在這種情況中，控制外張或縫隙對於管理裂縫尖端處的機械應力而言仍是有益的，特別是使機械應力不會負面地影響邊緣品質及（或）有益地分離玻璃帶（並產生高邊緣品質）的熱應力。

參照第6圖，圖示說明一圖表，此圖表顯示裂縫尖端180下游預定位置處的縫隙寬度（沿X軸，單位為mm）以及因裂縫尖端180處外張所產生的機械應力（沿左手邊Y軸，單位為MPa）之間的示例性相關性。

在此範例中，圖示說明對於玻璃帶的相對兩側上（上（或第一）寬廣表面22，亦即雷射光束112與冷卻噴流130衝擊的表面，以及下（或第二）寬廣表面24，亦即氣流62衝擊的表面）的機械應力的兩條曲線，因為至少取決於所使用的製程，機械應力在這些位置可為不同。曲線200圖示說明在於裂縫尖端下游12吋（約30.4公分）處量測到卷料分離（縫隙170，圖示於X軸，單位為mm）時，可撓性玻璃帶10下側裂縫尖端處的機械應力（在左手邊Y軸，單位為MPa）。曲線202圖示說明在於裂縫尖端下游12吋（約30.4公分）處量測到卷料分離（縫隙170，圖示於X軸，單位為mm）時，可撓性玻璃帶10上側裂縫尖端處的機械應力（在左手邊Y軸，單位為MPa）。在此範例中，一般而言沿著曲線200的機械應力要大於沿著曲線202的曲線應力，這說明了在裂縫尖端下游相同位置處，可撓性玻璃帶10下部的機械裂縫尖端應力大於可撓性玻璃帶10上部的機械裂縫尖端應力。因此，可對特定的機械應力，識別在預定位置的目標縫隙寬度。例如，為了維持約30 MPa的目標應力，可見應使用縫隙量測與調整設備160維持約100 µm（約0.100毫米，如在裂縫尖端下游12吋（30.4公分）處量測到的）的縫隙。可選擇任何適合的目標應力，例如小於約100 MPa，例如小於約70 MPa，例如小於約50 MPa，例如小於約30 MPa，例如小於約25 MPa。對於100微米厚的玻璃，已發現將機械應力維持低於約30 MPa，可由雷射分離產生高品質的邊緣。換言之，約30 MPa或更小的機械應力允許熱應力（來自雷射與冷卻噴流）開啟裂縫尖端180，從而在中央部分20（可用卷料，或所需卷料）上產生高品質的邊緣140、142。在機械應力超過30 MPa時，邊緣140、142的品質下降，因為在裂縫尖端處機械應力開始蓋過熱應力。

再者，第6圖圖示說明裂縫尖端下游各種距離之間的相關性。換言之，雖然在裂縫尖端下游12吋（約30.4公分）的點處量測縫隙170寬度，但這是基於所使用設備（用於量測縫隙寬度與用於裁玻璃的設備）的實體設置的方便性來完成的，而並非為唯一的方式。相對的，在下游特定點處量測到的縫隙寬度可被相關聯(correlated)（例如基於畢達哥拉斯定理或有限元素分析(FEA)）。如第6圖圖示，可例如使用FEA，以預測裂縫尖端下游各種距離處的縫隙寬度以及裂縫尖端處的機械應力之間的關係。曲線204圖示說明裂縫尖端下游15毫米位置處的卷料分離（縫隙170寬度，右手邊Y軸），相對於裂縫尖端下游12吋處的卷料分離（X軸）。換言之，在裂縫尖端下游12吋（30.4公分）點處量測到的0.064毫米的縫隙寬度所產生的機械應力（約20 MPa），均等於在裂縫尖端下游15毫米點處量測到的0.003毫米的縫隙寬度所產生的機械應力。如第6圖所示，在裂縫尖端附近(15毫米)量測到的縫隙距離，顯著地小於在距離裂縫尖端較遠處(12吋)量測到的縫隙距離，但兩者在裂縫尖端引發相同的機械應力。作為進一步的範例，在裂縫尖端下游12吋（約30.4公分）點處量測到的約100微米(0.1毫米)的縫隙，根據曲線200產生約30 MPa的應力，但在裂縫尖端下游15毫米處量測到的縫隙僅為約0.004毫米（見垂直虛線交會曲線200與204每一者的點）。因為維持裂縫尖端附近的適當分離（以減少粒子產生，如下述）與裂縫尖端處應力的增加平衡，所以對於縫隙分離量的主要興趣在於裂縫尖端附近。因此，感興趣的是裂縫尖端下游15毫米點處的縫隙寬度，但再次說明，由於實體機械限制，量測此點的縫隙寬度是不實際的。因此，吾人可量測裂縫尖端下游不同距離處的縫隙寬度，並將此縫隙寬度相關聯於在較接近裂縫尖端處（例如裂縫尖端下游15毫米處）量測到的特定縫隙寬度。

第二，藉由控制縫隙170，可減少邊緣修整部分176、178摩擦中央部分20邊緣140、142所產生的非期望效應。如前述，橫向地將邊緣修整部分176與中央部分20分離，具有減少缺陷（例如在中央（或可用）部分的邊緣中）以及減少由於雷射分離後切割邊緣之間接觸所產生的玻璃粒子（例如將不利地黏至中央（或可用）部分的寬廣表面）的優點。

對於電子顯示產業而言，感興趣的是尺寸為20微米等級的粒子。換言之，顯示像素的尺寸，會使得20微米等級的粒子以非期望的方式不容忽視地影響像素的效能。因此，對於玻璃基板，通常量測20微米等級粒子的密度。可使用任何適合的平面顯示玻璃檢查系統（例如Dr. Schenk GmbH所販售的系統），來判定每單位面積的粒子密度。鄰接中央部分20切割邊緣處的粒子密度是最大的，然而此部分應不會被使用在最終使用者裝置中。因此，直接在邊緣處量測粒子密度不一定有益。相對的，參照第1圖，並根據本文所描述的粒子密度測試#1(Particle Density TEST #1)，在於箭頭36方向中延伸於玻璃帶18長度上、並由虛線195與197所定界的區域198中量測粒子密度更有用。線195平行於中央部分20的第二邊緣142，並在朝向玻璃帶中央的箭頭199的方向與第二邊緣142偏差20毫米的距離。類似地，線197平行於第二邊緣142，並在箭頭199的方向與第二邊緣142偏差70毫米的距離。因此，區域198為沿著玻璃帶長度延伸的50毫米寬的條，並在此區域中對粒子計數。計數尺寸為20微米等級的粒子，且計數值被根據所取樣的區域正規化(normalized)，以給出每單位面積的粒子密度。根據粒子密度測試#1，藉由在沿著玻璃帶長度的數公分的窗口長度上，對區域198中的粒子數（尺寸為20微米等級）計數，而量測每平方公分的粒子數量。粒子（尺寸為20微米等級）的數量隨後被除以所取樣的區域（以公分表示），以提供每平方公分的粒子數。亦如，若在線197、198（間隔5公分或50毫米，如前述）與沿著卷料長度的1000公分長度所定界的區域中計數到1000個粒子（尺寸為20微米等級），則粒子密度將為每平方公分0.2個粒子。亦可在鄰接中央部分20第一邊緣140的類似區域中量測粒子密度。在此，係由來自Dr. Schenk GmbH的具有粒子計數能力的GlassInspect系統，來量測粒子密度。攝影機解析度為20微米方塊像素，定向為使得方塊像素的側邊大抵被定向於跨越卷料以及卷料方向長度的方向中。

藉由如前述控制縫隙170，在將玻璃帶裁成中央部分與邊緣修整部分條時，發明人（在裁邊緣修整部分之後立即（亦即在清洗之前））根據粒子密度測試#1，獲得區域198中粒子密度為每平方公分小於約0.0015個粒子、在一些具體實施例中每平方公分小於約0.001個粒子、且在其他具體實施例中每平方公分小於約0.0005個粒子，其中量測的是尺寸為20微米（或更大）的粒子。玻璃帶的厚度為100微米，且中央部分的寬度（亦即從第二邊緣142至第一邊緣140的箭頭199方向中的距離）為2600毫米。

鑑於以上，控制縫隙170量達到了精美的平衡。亦即，期望足夠的縫隙量以防止邊緣修整部分摩擦中央部分邊邊緣，而產生不想要的粒子及（或）因實體接觸而傷害邊緣。然而，若縫隙170的量太大，則裂縫尖端處的機械應力可不利地擾亂熱應力，而在中央部分上產生不良的邊緣品質。在一些具體實施例中，期望由最小量的縫隙操作裁整作業，亦即縫隙量剛好足夠最小化不想要的粒子的產生，從而將裂縫尖端處的機械應力量最小化。

在前述實施方式中，為了解釋的目的且不為限制，闡述了揭示特定細節的範例具體實施例，以期通透瞭解本說明的各種原理。然而，在本發明技術領域中具有通常知識者將顯然明瞭到，在瞭解本揭示內容的益處之下，本文所述之具體實施例可被實作於不同於本文所揭示之特定細節的其他變異中。再者，可省略對習知裝置、方法與材料的說明，以避免模糊各種原理的說明。最後，儘可能以類似的元件符號代表類似的元件。

本文可將範圍表示為始於「約」一個特定值，及（或）終於「約」另一特定值。在表示此種範圍時，另一具體實施例包含從一個特定值及（或）至另一特定值。類似地，在值被表示為估計值時，藉由使用前綴詞「約」，將瞭解到特定值形成另一具體實施例。將進一步瞭解到，每個範圍的端點對於另一端點而言都是重要的，並且獨立於另一端點。

本文所使用的方向性用詞，例如上、下、右、左、前、後、頂、底，僅為參照所繪製的圖式，且不意為隱含絕對定向。

除非另外明確說明，否則本文所闡述的任何方法都不應被解譯為要求其步驟被由特定次序執行。因此，若方法請求項實際上沒有記載其步驟要遵循的次序，或者在請求項或說明書中沒有明確說明步驟被限制為特定次序，則並未意圖在任何方面推斷出次序。這適用於任何可能的非明確的解釋基礎，包括：有關設置步驟或操作流程的邏輯問題；從語法組織或標點符號導出的平凡含義；說明書中描述的具體實施例的數量或類型。

本文所使用的單數形式「一(a)」、「一(an)」以及「該」，包含複數的參照物，除非背景內容清楚表示並非如此。因此，例如，對於「部件」的參照，包含具有兩個或更多個此種部件的態樣，除非背景內容清楚表示並非如此。

應注意到，前述本說明書具體實施例（特定而言為任何「較佳的」具體實施例）僅為可能的範例實施例，僅被闡述以期通透瞭解說明書的各種原理。可對前述具體實施例進行許多變異與修改，而不實質脫離本說明書的精神與各種原理。本文意圖包含位於本揭示內容以及下列申請專利範圍的範圍內的所有此種修改與變異。

例如，雖然在將邊緣（可包含球狀物）部分與中央部分分離的背景內容下說明了用於管理裂縫尖端處機械應力的方法與設備，但這種方法與設備可用於在裁切作業中分離可用區域自身的不同部分。例如，裁切作業可將一或更多個具有較小寬度的可用部分，與具有較寬可用部分的玻璃帶中央部分分離。換言之，從玻璃帶中央區域修整出的「邊緣」可或可不包含球狀物，且因此，邊緣修整部分條可為玻璃帶自身所需用於製造其他裝置的部分，例如消費性電子裝置、光伏打(photovoltaic)裝置、或電化學能源儲存裝置。

10‧‧‧可撓性玻璃帶12‧‧‧玻璃處理設備14‧‧‧玻璃帶源16‧‧‧第一邊緣18‧‧‧第二邊緣20‧‧‧中央部分22‧‧‧第一寬廣表面24‧‧‧第二寬廣表面25‧‧‧黏著帶26‧‧‧球狀物28‧‧‧球狀物30‧‧‧輸送帶系統32‧‧‧橫向引導件34‧‧‧橫向引導件36‧‧‧行進方向38‧‧‧輥40‧‧‧力42‧‧‧力46‧‧‧軸50‧‧‧切割區52‧‧‧切割支撐構件54‧‧‧目標區段58‧‧‧通道60‧‧‧正壓埠62‧‧‧氣流66‧‧‧氣墊68‧‧‧負壓埠70‧‧‧橫向引導件71‧‧‧氣流72‧‧‧橫向引導件74‧‧‧力76‧‧‧力80‧‧‧凸起表面82‧‧‧凸起支撐表面100‧‧‧邊緣修整設備102‧‧‧光學遞送設備104‧‧‧雷射106‧‧‧圓形偏振器108‧‧‧光束擴大器110‧‧‧光束成形設備112‧‧‧雷射光束114‧‧‧鏡116‧‧‧鏡118‧‧‧鏡120‧‧‧輻射區122‧‧‧冷卻流體遞送設備124‧‧‧冷卻液噴嘴126‧‧‧冷卻液源128‧‧‧導管130‧‧‧冷卻噴流132‧‧‧冷卻區140‧‧‧相對邊緣142‧‧‧相對邊緣160‧‧‧縫隙量測與調整設備162‧‧‧縫隙量測裝置164‧‧‧縫隙調整裝置166‧‧‧支撐組件168‧‧‧支撐臂170‧‧‧縫隙172‧‧‧切割邊緣176‧‧‧邊緣修整部分178‧‧‧邊緣修整部分180‧‧‧裂縫尖端182‧‧‧切割邊緣184‧‧‧控制器190‧‧‧馬達192‧‧‧控制輥194‧‧‧下輥195‧‧‧虛線197‧‧‧虛線198‧‧‧區域199‧‧‧箭頭200‧‧‧曲線202‧‧‧曲線204‧‧‧曲線

第1圖為根據一些具體實施例的用於處理可撓性玻璃帶的設備的部分視圖；

第2圖為沿著第1圖中線2-2的截面圖，圖示說明根據一些具體實施例的切割支撐構件，切割支撐構件具有向上延伸凸起的支撐表面；

第3圖為根據一些具體實施例的用於處理可撓性玻璃帶的設備的示意圖；

第4圖圖示說明縫隙量測裝置，此縫隙量測裝置使用在一些具體實施例中（包含第1圖的設備）；

第5圖圖示說明縫隙調整裝置的示意圖，此縫隙調整裝置用於一些具體實施例（包含第1圖的設備）；且

第6圖圖示說明圖表，此圖表顯示裂縫尖端下游預定位置處的縫隙寬度以及裂縫尖端外張(toe out)所產生的對應機械應力之間的示例性相關性，以及裂縫尖端下游兩個不同距離處的縫隙寬度之間的示例性相關性。

國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無

國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

10‧‧‧可撓性玻璃帶

12‧‧‧玻璃處理設備

14‧‧‧玻璃帶源

16‧‧‧第一邊緣

50‧‧‧切割區

54‧‧‧目標區段

100‧‧‧邊緣修整設備

102‧‧‧光學遞送設備

104‧‧‧雷射

106‧‧‧圓形偏振器

108‧‧‧光束擴大器

110‧‧‧光束成形設備

112‧‧‧雷射光束

114‧‧‧鏡

116‧‧‧鏡

118‧‧‧鏡

122‧‧‧冷卻流體遞送設備

124‧‧‧冷卻液噴嘴

126‧‧‧冷卻液源

128‧‧‧導管

130‧‧‧冷卻噴流

132‧‧‧冷卻區

162‧‧‧縫隙量測裝置

164‧‧‧縫隙調整裝置

Claims (16)

1. 一種管理一裂縫尖端上的機械應力的方法，包含以下步驟：引導步驟，將一可撓性玻璃帶引導至包含一切割裝置的一邊緣修整設備，該可撓性玻璃帶包含一第一寬廣表面與一第二寬廣表面，該第一寬廣表面與該第二寬廣表面橫向延伸於一第一邊緣與一第二邊緣之間；分離步驟，隨著該可撓性玻璃帶移動，由該切割裝置分離該可撓性玻璃帶的該第一邊緣，以形成一邊緣修整部分條，該邊緣修整部分條在一裂縫尖端處連接至該可撓性玻璃帶的一中央部分；偵測步驟，偵測第一邊緣與該中央部分之間的縫隙的寬度；以及控制步驟，控制該縫隙的寬度。
2. 如請求項1所述之方法，其中該分離步驟進一步包含以下步驟：將一雷射光束引導至該第一寬廣表面與該第二寬廣表面之至少一者上。
3. 如請求項2所述之方法，該方法進一步包含以下步驟：將一冷卻噴流引導至該第一寬廣表面與該第二寬廣表面的該至少一者上，從而在接近該雷射光束的一位置處冷卻該可撓性玻璃帶。
4. 如請求項1所述之方法，其中偵測該縫隙的 該寬度的該偵測步驟，包含以下步驟：在該裂縫尖端下游的一預定距離處偵測該縫隙的該寬度。
5. 如請求項4所述之方法，其中該預定距離為該裂縫尖端下游約30公分。
6. 如請求項5所述之方法，其中該預定距離處的該縫隙的該寬度被維持為低於約0.11毫米。
7. 如請求項1所述之方法，其中偵測該縫隙的該寬度的該偵測步驟包含以下步驟：使用一雷射位移感測器。
8. 如請求項1所述之方法，其中控制該縫隙的該寬度的該控制步驟包含以下步驟：將該裂縫尖端處的機械應力維持為低於30MPa。
9. 一種管理一裂縫尖端上的機械應力的設備，包含：一輸送組件，該輸送組件將一可撓性玻璃帶引導於一輸送方向中；一邊緣修整設備，該邊緣修整設備包含一切割裝置，該切割裝置接收該可撓性玻璃帶並分離可撓性玻璃帶的一第一邊緣以形成連續邊緣修整部分條，該連續邊緣修整部分條在裂縫尖端處連接至可撓性玻璃帶的一中央部分；一縫隙量測裝置，該縫隙量測裝置提供一訊號，訊 號指示該第一邊緣以及可撓性玻璃帶的該中央部分之間的一縫隙的一寬度；以及一縫隙調整裝置，該縫隙調整裝置基於訊號，調整該邊緣修整部分條與該中央部分之間的該縫隙的寬度。
10. 如請求項9所述之設備，其中該切割裝置包含一雷射。
11. 如請求項10所述之設備，該設備進一步包含接近該雷射的一冷卻流體噴流。
12. 如請求項9所述之設備，其中該縫隙調整裝置偵測該裂縫尖端下游一預定距離處的該縫隙的該寬度。
13. 如請求項12所述之設備，其中該預定距離為該裂縫尖端下游約30公分。
14. 如請求項13所述之設備，其中該預定距離處的該縫隙的該寬度被維持為低於約0.11毫米。
15. 如請求項9所述之設備，其中該縫隙量測裝置包含一雷射位移感測器。
16. 如請求項9所述之設備，其中該裂縫尖端處的機械應力被維持為低於30MPa。

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