TWI708958B

TWI708958B - 放射線檢測器之製造方法

Info

Publication number: TWI708958B
Application number: TW106104486A
Authority: TW
Inventors: 上西秀典; 楠山泰; 大澤弘武
Original assignee: 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司
Priority date: 2016-03-30
Filing date: 2017-02-10
Publication date: 2020-11-01
Also published as: EP3438704B1; JP6725288B2; WO2017169048A1; JP2017181296A; US20190113634A1; US10983225B2; KR20180124028A; CN108885274A; EP3438704A4; EP3438704A1; TW201738583A

Abstract

放射線檢測器之製造方法，係包含有：第1工程，藉由氣相沈積法，在包含有複數個光電轉換元件之感測器面板的主面上形成包含有複數個柱狀結晶的閃爍體層；第2工程，以包圍閃爍體層的方式，在主面上形成樹脂框，並且以沿著樹脂框之外周而接觸於樹脂框的方式，配置由無機固體材料所構成的框構件；第3工程，藉由將保護板接著於樹脂框的方式，密封閃爍體層；及第4工程，使樹脂框硬化。

Description

放射線檢測器之製造方法

本發明之一態樣，係關於放射線檢測器之製造方法。

在專利文獻1，係記載有X射線成像系統所使用的檢測器陣列。該檢測器陣列，係具有：檢測器元件，設置於玻璃基板上；閃爍體，由形成於檢測器元件上的柱狀結晶所構成；及薄板，反射配置於閃爍體上的可見光。閃爍體及薄板，係藉由固定於玻璃基板的蓋體而密封。例如，蓋體與玻璃基板，係藉由使用環氧密封劑所接著的金屬框架而密封。金屬框架，係從閃爍體分離而包圍閃爍體。

〔先前技術文獻〕〔專利文獻〕

〔專利文獻1〕日本特開2003-279656號公報

一般，由藉由CsI等而形成之柱狀結晶所構成的閃爍體層，係具有潮解性。因此，具有由框體包圍了閃爍體層之構成的放射線檢測器，係期望能夠有將框體內側之區域的防濕性保持得較高。

本發明之一態樣，係以提供可提高閃爍體層的防濕性之放射線檢測器之製造方法為目的。

一形態之放射線檢測器之製造方法，係包含有：第1工程，藉由氣相沈積法，在包含有複數個光電轉換元件之感測器面板的主面上形成包含有複數個柱狀結晶的閃爍體層；第2工程，以包圍閃爍體層的方式，在主面上形成樹脂框，並且以沿著樹脂框之外周而接觸於樹脂框的方式，配置由無機固體材料所構成的框構件；第3工程，藉由將保護板接著於樹脂框的方式，密封閃爍體層；及第4工程，使樹脂框硬化。

根據像這樣之放射線檢測器之製造方法，以包圍閃爍體層的方式，在內側配置有樹脂框，且在樹脂框的外側配置有由無機固體材料所構成的框構件。由於無機固體材料，係具有防濕性，因此，不會產生經由框構件之透濕。因此，由無機固體材料所構成之框構件會接觸於樹脂框的外周，藉此，可抑制經由樹脂框之透濕。因此，可提高閃爍體層之防濕性。

又，在一形態中，樹脂框，係包含有第1樹脂框與第2樹脂框，第2工程，係亦可以包圍閃爍體層的方式，形成第1樹脂框，以沿著第1樹脂框之外周而接觸於第1樹脂框的方式，配置框構件，以包圍閃爍體層的方式，在第1樹脂框上形成第2樹脂框。第2工程後所進行的第3工程，係必需使樹脂框形成為高於框構件。在配置了框構件後，形成第2樹脂框，藉此，便容易確認第2樹脂框的高度形成為高於框構件。

又，在一形態中，第2工程，係亦可在配置了框構件後且形成第2樹脂框之前，使第1樹脂框硬化。根據該構成，在形成第2樹脂框之際，可抑制框構件的位置偏移。

又，在一形態中，係亦可在第1工程與第2工程之間，更包含有藉由中間層來被覆閃爍體層之表面及側面的第5工程。根據該構成，可抑制樹脂框直接接觸於閃爍體層之周邊部分而溶劑滲透至閃爍體層之周邊部分。

又，在一形態中，第2工程，係亦可以與中間層相接的方式，形成樹脂框。根據該構成，可增大樹脂框內的區域中之閃爍體層的有效區域。另外，所謂有效區域，係指主面中之形成有閃爍體層的區域。

又，在一形態中，樹脂框，係亦可包含有紫外線硬化樹脂。由於紫外線硬化樹脂，係硬化所需的時間較短，因此，可實現製造時間的縮短。

又，在一形態中，框構件，係亦可為玻璃棒。藉由使用玻璃棒的方式，可簡單地將框構件配置於樹脂框的外側。

根據一形態之放射線檢測器之製造方法，可提高形成有閃爍體層之區域的防濕性。

1A‧‧‧放射線檢測器

2‧‧‧感測器面板

3‧‧‧閃爍體層

5‧‧‧中間層

6‧‧‧樹脂框

6a‧‧‧第1樹脂框

6b‧‧‧第2樹脂框

7‧‧‧框構件

7a‧‧‧玻璃棒

8‧‧‧保護板

〔圖1〕圖1，係一實施形態之放射線檢測器的剖面圖。

〔圖2〕圖2，係圖1所示之放射線檢測器的平面圖。

〔圖3〕圖3，係圖1所示之放射線檢測器之製造工程的圖。

〔圖4〕圖4，係圖1所示之放射線檢測器之製造工程的圖。

〔圖5〕圖5，係用以說明變形例之放射線檢測器的示意圖。

〔圖6〕圖6，係用以說明變形例之放射線檢測器的示意圖。

〔圖7〕圖7，係用以說明變形例之放射線檢測器的示意圖。

〔圖8〕圖8，係用以說明變形例之放射線檢測器的示意圖。

〔圖9〕圖9，係用以說明變形例之放射線檢測器的示意圖。

〔圖10〕圖10，係表示比較例之放射線檢測器的剖面圖。

以下，參閱圖面，具體地說明關於一實施形態之實施形態。為了方便起見，有時對實質上相同的元件賦予相同的符號，並省略其說明。以下所說明的放射線檢測器，係將X射線等之放射線轉換成可見光等的閃爍光而進行檢測。像這樣的放射線檢測器，係例如可在乳房攝影裝置、胸部檢查裝置、CT裝置、齒科口內攝影裝置、放射線攝像機等中，使用作為放射線成像用之元件。

圖1，係本實施形態之放射線檢測器的剖面圖。圖2，係圖1所示之放射線檢測器的平面圖。另外，圖2，係省略保護板。如圖1，2所示，放射線檢測器1A，係具備有感測器面板2、閃爍體層3、中間層5、樹脂框6、框構件7及保護板8。

感測器面板2，係例如為矩形板狀，具有主面2s與形成於主面2s上的複數個光電轉換元件10。更具體而言，感測器面板2，係具有包含有主面2s之板狀的基部2p。又，光電轉換元件10，係沿著主面2s，配列成2維狀。在主面2s及光電轉換元件10上，係形成有鈍化膜或平坦化膜等的膜部11。

閃爍體層3，係因應X射線等之放射線的入射角，產生可見光等的閃爍光。閃爍體層3，係經由膜部11，設置於主面2s及光電轉換元件10上。閃爍體層3，係與光電轉換元件10光學性的結合。因此，光電轉換元件10，係輸出在閃爍體層3所發生的閃爍光，且輸出因應於閃爍光的電信號。電信號，係藉由未圖示的配線等，被取出至外部。藉此，放射線檢測器1，係檢測放射線。

閃爍體層3，係例如從與主面2s交叉(例如正交)的方向觀之，形成於主面2s之矩形狀的區域。在閃爍體層3的外緣部，係設置有傾斜部。在傾斜部中，閃爍體層3的厚度H1沿著從閃爍體層3之中心朝向邊緣的方向減少。因此，作為閃爍體層3之全體的剖面形狀，係例如為梯形狀。亦即，閃爍體層3，係具有沿著主面2s而形成的表面(上面)3a與形成於表面3a之周圍之傾斜的側面3b。

閃爍體層3的厚度H1(除了上述之傾斜部以外的厚度)，係例如為600μm左右。閃爍體層3，係包含有閃爍體材料的複數個柱狀結晶。閃爍體材料，係例如以CsI：Tl這樣的CsI作為主成分之材料。

中間層5，係被覆閃爍體層3之表面3a的整個面，並且被覆側面3b的整個面。亦即，中間層5的周緣部，係接觸於感測器面板2的主面2s，在中間層5的周緣與主面2s之間，係未產生間隙。中間層5，係抑制例如紫外線硬化樹脂等所含有的溶劑滲透至閃爍體層3。又，中間層5，係例如具有相對於閃爍光之反射或吸收等的光學機能。亦即，中間層5，係指相對於在閃爍體層3所發生之閃爍光的光反射層或光吸收層。

樹脂框6，係從與感測器面板2之主面2s交叉的方向觀之，以包圍閃爍體層3的方式，設置於主面2s上。樹脂框6，係例如為矩形環狀。從主面2s之樹脂框6的高度H2，係大於從主面2s量起之閃爍體層3的高度H1。樹脂框6，係介設於主面2s與保護板8之間，相互地接合主面2s與保護板8。在本實施形態中，樹脂框6，係接觸於被覆閃爍體層3的中間層5。更具體而言，中間層5之外周緣與樹脂框6之內周緣接觸。換言之，閃爍體層3，係經由中間層5，沿著樹脂框6以接觸的方式延伸。樹脂框6，係指由例如具有紫外線硬化性之環氧樹脂等所構成之透濕性較低的樹脂。

另外，如圖1所示，樹脂框6，係藉由第1樹脂框6a及第2樹脂框6b而形成。本實施形態，係藉由紫外線硬化樹脂，形成第1樹脂框6a及第2樹脂框6b。因此，在圖面中，雖係示意地分開描繪第1樹脂框6a與第2樹脂框6b，但硬化後，第1樹脂框6a與第2樹脂框6b便成為一體。

框構件7，係在沿著樹脂框6之外周而接觸於樹脂框6的狀態下，載置於主面2s上。框構件7，係藉由無機固體材料而形成。在本實施形態中，框構件7，係藉由以玻璃作為原材料的4根玻璃棒7a而構成。4根玻璃棒7a，係皆形成相同之直徑D的圓柱狀，且相互為相同形狀。玻璃棒7a的直徑D，係大於從主面2s量起之閃爍體層3的高度H1，例如1mm左右。4根玻璃棒7a，係藉由相互之端部彼此接觸的方式，構成形成矩形環狀的框構件7(參閱圖2)。框構件7之內緣側，係沿著樹脂框6的外周，接觸於樹脂框6。另一方面，框構件7之外緣側，係從樹脂框6露出。亦即，框構件7之內緣側的一部分，係埋設於樹脂框6，框構件7之外緣側的剩餘部分，係從樹脂框6露出。

保護板8，係例如為沿著主面2s而延伸的矩形平板狀。作為一例，關於沿著主面2s的方向，保護板8的尺寸，係大於框構件7的尺寸，且小於感測器面板2的尺寸。另外，框構件7的尺寸，係指沿著框構件7中之主面2s而相互對向之部分之外緣彼此的間隔。保護板8的厚度，係例如0.5mm以上2.0mm以下左右。保護板8，係例如藉由包含有玻璃、金屬或碳的材料而形成，以玻璃板、鋁板、CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics)板等作為一例。保護板8，係穿透放射線。

保護板8，係在與藉由中間層5所被覆之閃爍體層3之表面3a對向的狀態下，接著於樹脂框6。從感測器面板2之主面2s至保護板8的距離(高度H2)，係形成為與玻璃棒的直徑D大致相同。保護板8，係從與主面2s交叉的方向觀之，配置成覆蓋閃爍體層3、中間層 5、樹脂框6及框構件7。保護板8、主面2s及樹脂框6，係形成配置有閃爍體層3及中間層5之密封的空間。又，閃爍體層3及中間層5與保護板8，係分離配置。亦即，閃爍體層3及中間層5與保護板8之間，係形成有空間S。

其次，說明關於放射線檢測器1A的製造工程。圖3及圖4，係表示放射線檢測器之製造工程的圖。

首先，準備一在主面2s上形成有複數個光電轉換元件10的感測器面板2(圖3(a))。接著，如圖3(b)所示，藉由氣相沈積法，在感測器面板2的主面2s上，形成包含有複數個柱狀結晶的閃爍體層3(第1工程)。該工程，係例如在感測器面板2的主面2s上對螢光體材料(例如CsI：Tl、CsBr：Eu等)進行真空蒸鍍，藉此，在主面2s上使螢光體之柱狀結晶成長而形成閃爍體層3。藉此，在觀察剖面時，形成有構成具有表面3a及側面3b之梯形狀的閃爍體層3。

接著，如圖3(c)所示，藉由中間層5，被覆閃爍體層3的表面3a及側面3b(第5工程)。具體而言，係例如準備一由具有相對於閃爍光之反射或吸收等之光學機能的顏料與黏合劑樹脂所構成的塗佈劑。作為反射閃爍光的顏料，係可列舉出例如二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅、氧化鋁等的白色顏料。又，作為吸收閃爍光的顏料，係可列舉出例如碳黑、磁鐵礦等的黑色顏料。又，作為黏合劑樹脂，係可列舉出丙烯酸系有機樹脂、胺甲酸乙酯、環氧、氟、酚類、聚醯亞胺、聚乙烯醇、聚乙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚氨酯系有機樹脂等。而且，對閃爍體層3之表面3a及側面3b的整體塗佈塗佈劑而形成樹脂層。其次，使該樹脂層乾燥而硬化，藉此，可製作中間層5。亦可在製成中間層5後，藉由燒成等，使閃爍體層3活性化。

接著，如圖3(d)所示，以包圍閃爍體層3的方式，在主面2s上形成第1樹脂框6a(第2工程)。第1樹脂框6a，係指例如環氧樹脂、丙烯酸樹脂、胺基甲酸酯樹脂等的紫外線硬化樹脂。在該工程中，係為了使第1樹脂框6a的形成位置靠近閃爍體層3，而以與中間層5接觸的方式，形成第1樹脂框6a。例如如圖示例般，以中間層5之外周緣與第1樹脂框6a之內周緣接觸的方式，可配置第1樹脂框6a。所形成之第1樹脂框6a的高度H3，係可藉由所使用之樹脂的黏度而決定。例如，可使第1樹脂框6a的高度H3高於閃爍體層3之高度H1的一半。

接著，如圖4(a)所示，以沿著第1樹脂框6a之外周而接觸於第1樹脂框6a的方式，配置框構件7(第2工程)。在該工程中，係例如使配置於主面2s上的玻璃棒7a從第1樹脂框6a的外側朝向第1樹脂框6a移動，藉此，使玻璃棒7a接觸於第1樹脂框6a。將4根玻璃棒7a配置為相互之端部彼此接觸，藉此，形成構成矩形環狀的框構件7(參閱圖2)。接著，在形成了框構件7後，使第1樹脂框6a硬化(第4工程)。本實施形態，係對硬化前之第1樹脂框6a照射紫外線，藉此，使第1樹脂框6a硬化。藉此，玻璃棒7a被固定於第1樹脂框6a。

接著，如圖4(b)所示，以包圍閃爍體層3的方式，在第1樹脂框6a上形成第2樹脂框6b(第2工程)。在該工程中，係例如可使用與第1樹脂框6a之形成所使用之紫外線硬化樹脂相同的紫外線硬化樹脂。在第1樹脂框6a上，與第1樹脂框6a相同地以包圍閃爍體層3的方式，形成第2樹脂框6b。此時，與第2樹脂框6b中之主面2s相反側的端部，係成為高於框構件7的位置。如圖示例般，亦可在第1樹脂框6a上形成第2樹脂框6b，並且在玻璃棒7a上形成第2樹脂框6b。又，在該工程中，係使從主面2s量起之第2樹脂框6b的高度H4形成為高於中間層5的高度H5。框構件7的內周面，係藉由第1樹脂框6a及第2樹脂枠6b而覆蓋。另一方面，框構件7的外周面，係從第1樹脂框6a及第2樹脂枠6b露出。

接著，如圖4(c)所示，將保護板8接著於樹脂框6，藉此，密封閃爍體層3及中間層5(第3工程)。在該工程中，係以接觸於硬化前之第2樹脂框6b之全周的方式，配置保護板8。此時，第2樹脂框6b會因將保護板8推壓至感測器面板2側或保護板8的本身重量而變形。藉此，從感測器面板2之主面2s至保護板8 的距離(高度H2)，係形成為與框構件的高度(玻璃棒之直徑D)大致相同。藉由接著第2樹脂框6b與保護板8的方式，形成有由主面2s、樹脂框6及保護板8所密封的空間。

接著，使第2樹脂框6b硬化(第4工程)。本實施形態，係對硬化前之第2樹脂框6b照射紫外線，藉此，使第2樹脂框6b硬化。藉此，玻璃棒8被固定於第2樹脂框6b。亦即，保護板8經由樹脂框6而固定於主面2s上，放射線檢測器1A便完成。

根據以上說明之放射線檢測器之製造方法，以包圍閃爍體層3的方式，在內側配置有樹脂框6，且在樹脂框6的外側配置有由無機固體材料所構成的框構件7。由於無機固體材料，係具有防濕性，因此，不會產生經由框構件7之透濕。因此，由無機固體材料所構成之框構件7會接觸於樹脂框6的外周，藉此，可抑制經由樹脂框6之透濕。因此，可提高閃爍體層3之防濕性。

又，在配置樹脂框6及框構件7的工程中，係以包圍閃爍體層3的方式，形成第1樹脂框6a，且以沿著第1樹脂框6a之外周而接觸於第1樹脂框6a的方式，配置框構件7。而且，以包圍閃爍體層3的方式，在第1樹脂框6a上形成第2樹脂框6b。在接著保護板8的工程中，係必需使樹脂框6形成為高於框構件7。在配置了框構件7後，形成第2樹脂框6b，藉此，便容易確認第2樹脂框6b的高度形成為高於框構件7。

又，在配置樹脂框6及框構件7的工程中，係在配置了框構件7後且形成第2樹脂框6b之前，使第1樹脂框6a硬化。根據該構成，在形成第2樹脂框6b之際，可抑制框構件7的位置偏移。

又，在形成樹脂框6之前，藉由中間層5，被覆閃爍體層3的表面3a及側面3b。根據該構成，可防止樹脂框6所含有的溶劑滲透至閃爍體層3。

又，在配置樹脂框6及框構件7的工程中，係以與中間層5接觸的方式，形成樹脂框6。根據該構成，可增大樹脂框6內的區域中之閃爍體層3的有效區域。

又，作為形成樹脂框6的材料，包含有紫外線硬化樹脂。由於紫外線硬化樹脂，係硬化所需的時間較短，因此，可實現製造時間的縮短。又，本實施形態，係使用玻璃棒7a作為框構件7。在該情況下，可藉由紫外線穿透玻璃棒7a的方式，對形成樹脂框6的紫外線硬化樹脂有效率地照射紫外線。又，藉由使用玻璃棒7a的方式，可簡單地將框構件7配置於樹脂框6的外側。

以上，雖參閱圖面詳述了關於一實施形態，但具體之構成，係不限於該實施形態。例如，實施形態中之各要素的配置、形狀等，係一例，並不限定於此。以下，關於本發明的一形態中之各變形例，針對主要與上述實施形態不同的點進行說明，且針對相同之要素或構件賦予相同符號而省略詳細的說明。另外，在以下之說明中所參閱的圖5~圖7，係即便為藉由第1樹脂框6a及第2樹脂框6b形成樹脂框6的情況，亦描繪成第1樹脂框6a及第2樹脂框6b形成為一體的樹脂框6。

圖5(a)及(b)，係表示針對框構件之形狀之變形例的剖面圖。圖5，係僅表示樹脂框的附近，省略閃爍體層及中間層。如圖5(a)所示，亦可將構成框構件7之玻璃棒7b的形狀設成為四角柱狀。如圖5(b)所示，亦可將構成框構件7之玻璃棒7c的形狀設成為六角柱狀。由於角柱狀之玻璃棒7b，7c，係難以滾動，因此，容易進行玻璃棒7b，7c之定位。又，由於玻璃棒7b，7c的底面及上面可相對於感測器面板2及保護板8進行面接觸，因此，容易保持形狀的穩定性。

圖6(a)~(c)，係表示配置有樹脂框之位置不同之變形例的剖面圖。上述的各實施形態，雖係表示了以樹脂框6之內緣與中間層5之外緣接觸的方式而形成樹脂框6之例子，但並不限定於此。如圖6(a)所示，亦可從閃爍體層3及中間層5的外周緣分離而形成樹脂框6。又，如圖6(b)所示，亦可以接觸於閃爍體層3及中間層5之傾斜面的方式，形成樹脂框6。又，如圖6(c)所示，亦可以接觸於閃爍體層3及中間層5之上面的方式，形成樹脂框6。

圖7(a)~(c)，係表示保護板之尺寸不同之變形例的剖面圖。上述實施形態，雖係例示了大於框構件7且小於感測器面板2的保護板8，但並不限定於此。例如，如圖7(a)所示，亦可為於沿著主面2s的方向上，與感測器面板2之大小大致相同大小的保護板8。又，如圖7(b)所示，亦可為於沿著主面2s的方向上，小於框構件7之外緣且大於框構件7之內緣的保護板8。在該例中，保護板8延伸至比玻璃棒7a的中心更外側。又，如圖7(c)所示，亦可為於沿著主面2s的方向上，與框構件7之內緣大致相同大小的保護板8。在該情況下，樹脂框6延伸至比保護板8更外側。

圖8(a)~(c)，係表示針對中間層5之形狀之變形例的剖面圖。圖8，係省略樹脂框6、框構件7及保護板8。樹脂框6、框構件7及保護板8的配置等，係亦可採用各實施形態及各變形例的構成。如圖8(a)所示，不僅閃爍體層3之表面3a及側面3b，亦可使中間層5延伸至感測器面板2的主面2s上之閃爍體層3之周圍的部分。在該情況下，藉由中間層5，可更確實地被覆閃爍體層3。又，如圖8(b)所示，亦可使中間層5延伸至閃爍體層3的側面3b之上下方向的中間位置。在該情況下，中間層5，係從主面2s分離。又，如圖8(c)所示，亦可藉由中間層5，僅被覆閃爍體層3的表面3a。又，如圖8(d)所示，亦可藉由具有抑制溶劑之滲透之機能的薄板105來代替中間層5，被覆閃爍體層3。在該情況下，亦可藉由薄板105，僅被覆閃爍體層3的表面3a。如圖8(b)~(d)所示，在閃爍體層3的側面3b露出時，係亦可如圖6(a)所示，從閃爍體層3的外周緣分離而形成樹脂框6。

圖9(a)~(e)，係表示針對框構件之形態之變形例的平面圖。圖9，係省略保護板而表示。如圖9(a)所示，亦可藉由比玻璃棒7a短的玻璃棒7d來代替玻璃棒7a，形成框構件7。玻璃棒7d的長度，係指例如與沿著主面2s之中間層5之一邊相同程度的長度，且為與沿著主面2s之閃爍體層之一邊之長度相同程度的長度。該變形例，係4根玻璃棒7d相互分離地配置，藉此，形成無角部之矩形環狀的框構件7。如圖9(b)所示，亦可藉由比玻璃棒7d短的玻璃棒7e來代替玻璃棒7a，形成框構件7。玻璃棒7e的長度，係亦可為例如沿著主面2s之中間層5之一邊之1/3左右的長度。該變形例，係9根玻璃棒7e相互分離地配置成環狀，藉此，形成矩形環狀的框構件7。構成矩形環狀之框構件7的一邊，係藉由3根玻璃棒7e而形成。如圖9(a)及9(b)所示，構成框構件7之玻璃棒7d，7e，係亦可相互分離。

又，如圖9(c)所示，亦可使用形成為矩形框狀的單一玻璃棒7f來代替4根玻璃棒7a而作為框構件7。又，如圖9(d)所示，亦可藉由形成為L字形的一對玻璃棒7g來代替玻璃棒7a，形成框構件7。該變形例，係將2根玻璃棒7g配置成矩形框狀，藉此，形成框構件7。又，如圖9(e)所示，亦可使用形成為角部彎曲之矩形環狀的單一玻璃棒7h來代替4根玻璃棒7a而作為框構件7。

又，上述實施形態，雖係例示了平板狀的保護板，但亦可為例如具有撓曲的平板狀。在該情況下，亦可為撓曲成如下述之形狀：使從主面至保護板之中央部份的距離大於從主面至保護板之周邊部分的距離。又，亦可為撓曲成如下述之形狀：使從主面至保護板之中央部份的距離小於從主面至保護板之周邊部分的距離。

又，雖表示了藉由玻璃材料形成框構件的例子，但並不限定於此，例如亦可藉由鋁等的金屬材料而形成。

又，雖例示了紫外線硬化樹脂作為形成樹脂框的樹脂材料，但並不限定於此。例如，樹脂框，係亦可藉由熱硬化性樹脂而形成。又，第1樹脂框與第2樹脂框，係亦可藉由相互不同的材料而形成。

又，雖表示了在閃爍體層及中間層與保護板之間形成空間的例子，但例如在該空間，係亦可填充由彈性材料所構成的填充料。

又，在各實施形態及變形例中，可相互採用相互的構成。例如，在圖6、圖7等所示的變形例中，亦可採用玻璃棒7b、7c的構成來代替玻璃棒7a。

〔實施例〕

圖10，係表示比較例之放射線檢測器91的剖面圖。該放射線檢測器91，係具備有感測器面板2、閃爍體層 3、中間層5、樹脂框6及保護板8，僅就不具備有框構件7該點而言，與上述實施形態之放射線檢測器1A不同。本實施例，係將具有框構件7的放射線檢測器1A與不具有框構件7的放射線檢測器91設成為樣本，針對框構件7的有無所致之防濕性能的不同進行試驗。在試驗中，係在將溫度調整成50℃、相對濕度調整成90%的恆溫槽內配置各樣本，計測X射線特性(解析度、發光量)之推移。在表1中，表示解析度的計測結果。又，在表2中，表示發光量的計測結果。

表1，係表示將初期之CTF(解析度：Contrast Transfer Function)設成了100%時之經過各時間時之CTF的相對值。又，表2，係表示將初期之閃爍體層的發光量設成了100%時之經過各時間時之發光量的相對值。從任一結果均可知，與不具備有框構件的情況相比，具備有框構件的情況，係未發現放射線檢測器之性能的顯著降低。從像這樣的結果確認到，藉由具有框構件的方式，可提高放射線檢測器中之閃爍體層的防濕性。

〔產業上之可利用性〕