TWI706928B - 精密陶瓷工作台 - Google Patents

Abstract

一種精密陶瓷工作台，包含：一底座，具有多數個氣體流道及一貫通孔，各個氣體流道為空氣連通於貫通孔，貫通孔係貫通於底座；一抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置於底座的上表面，抗靜電多通孔精密陶瓷盤係為抗靜電材料且具有複數個通孔，各個通孔係貫通於抗靜電多通孔精密陶瓷盤，複數個通孔連通於氣體流道而空氣連通於一空氣泵浦，抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面為一工件吸附面，使得空氣泵浦經由貫通孔、氣體流道、抗靜電多通孔精密陶瓷盤的通孔而對工件產生吸力。

Description

精密陶瓷工作台

本發明相關於一種精密陶瓷工作盤，特別是相關於一種抗靜電的精密陶瓷工作台。

精密陶瓷工作盤是一種吸附工件以便於進行加工的器具。精密陶瓷工作盤利用空氣泵浦抽氣而在多通孔精密陶瓷盤的工件吸附面上產生吸附工件的吸力。藉此，使得工件的位置固定。空氣泵浦也可以對精密陶瓷工作盤提供空氣，而使得工件解除吸附甚至是懸浮在精密陶瓷工作盤上。

然而，習知的精密陶瓷工作盤與工件的多次碰觸所產生的靜電難以消散，使得靜電會逐漸累積而對工件造成靜電放電(electrostatic discharge，ESD)現象。靜電放電會減損或破壞工件的特性，使得產品的品質、良率下降。

因此，本發明的目的即在提供一種精密陶瓷工作台，能避免靜電逐漸累積，從而避免靜電放電。

本發明為解決習知技術之問題所採用之技術手段係提供一種精密陶瓷工作台，包含：一底座，具有多數個氣體流道及一貫通孔，各個該氣體流道為空氣連通於該貫通孔，該貫通孔係貫通於該底座的上表面及下表面之間；一抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置於該底座的上表面，該抗靜電多通孔精 密陶瓷盤係為抗靜電材料且具有複數個通孔，各個通孔係貫通於該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面及下表面之間，複數個該通孔連通於該氣體流道而空氣連通於一空氣泵浦，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的該上表面為一工件吸附面。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的阻抗值係為10⁵歐姆至10⁹歐姆之間。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該抗靜電材料包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁的其中一種。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該抗靜電材料包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁中的至少二種。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該底座於上表面形成有一槽體，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤設置於該槽體中。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該氣體流道為凹下於該底座的上表面。

在本發明的一實施例中係提供一種精密陶瓷工作台，該氣體流道為以左右對稱及上下對稱的方式而分布。

經由本發明的精密陶瓷工作台所採用之技術手段，抗靜電多通孔精密陶瓷盤為抗靜電材料。在抗靜電多通孔精密陶瓷盤因感應而產生的靜電時，或者在抗靜電多通孔精密陶瓷盤碰觸到工件而產生靜電時，靜電能逐漸消散而避免靜電的累積，從而避免靜電放電及靜電放電對產品造成的影響。

100:精密陶瓷工作台

100a:精密陶瓷工作台

1:底座

11:氣體流道

12:貫通孔

13:上表面

14:下表面

15:槽體

2:抗靜電多通孔精密陶瓷盤

21:上表面

〔第1圖〕為顯示根據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台的俯視示意圖； 〔第2圖〕為顯示根據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台的底座的俯視示意圖；〔第3圖〕為顯示根據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台的仰視示意圖；〔第4圖〕為顯示根據本發明的第二實施例的精密陶瓷工作台的俯視示意圖。

以下根據第1圖至第4圖，而說明本發明的實施方式。該說明並非為限制本發明的實施方式，而為本發明之實施例的一種。

如第1圖至第3圖所示，依據本發明的第一實施例的一精密陶瓷工作台100，包含：一底座1以及一抗靜電多通孔精密陶瓷盤2。

底座1具有多數個氣體流道11及一貫通孔12，各個氣體流道11為空氣連通於貫通孔12，貫通孔12係貫通於底座的上表面13及下表面14之間。

抗靜電多通孔精密陶瓷盤2設置於底座的上表面13，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2係為抗靜電材料且具有複數個通孔，各個通孔係貫通於抗靜電多通孔精密陶瓷盤2的上表面21及下表面之間，複數個通孔連通於氣體流道11而空氣連通於一空氣泵浦，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2的上表面21為一工件吸附面。

在本實施例中，底座1為金屬材料。詳細而言，底座1為不鏽鋼材料，耐鏽蝕而為耐長久的使用。當然，底座1也可以是其他硬質的材料。

如第2圖所示，依據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台100，底座1的上表面13的中間形成有一槽體15，供抗靜電多通孔精密陶瓷盤2設置。氣體流道11為槽體15內凹下的凹溝，供氣體流通。而在其他實施例中，氣體流道11也可以是位於底座1內部的通道，並在上表面13開設有複數個開口。

如第2圖所示，複數個氣體流道11為以左右對稱及前後對稱的方式而分布，貫通孔12位於複數個氣體流道11的中央，以使抽氣的效果於抗靜電 多通孔精密陶瓷盤2上為左右對稱及前後對稱。在本實施例中，複數個氣體流道11為縱橫排列而呈棋盤狀，以使抽氣的吸力於抗靜電多通孔精密陶瓷盤2上均勻分布。

如第3圖所示，依據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台100，貫通孔12於底座1的下表面14供空氣泵浦連接，使得空氣泵浦經由貫通孔12、氣體流道11、抗靜電多通孔精密陶瓷盤2的通孔而對工件吸附面上的工件產生吸力。

如第1圖所示，依據本發明的第一實施例的精密陶瓷工作台100，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2為方形板體。固定於底座1的上表面13的方形槽體15中。當然，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2不限於方形。

通孔的直徑一般是在數微米至數百微米之間。抗靜電多通孔精密陶瓷盤2藉由複數個通孔，使得氣體能夠穿過抗靜電多通孔精密陶瓷盤2，而具有良好的透氣性，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2整體為抗靜電材料。抗靜電多通孔精密陶瓷盤2的抗靜電材料主要包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁的其中一種。其中，氧化鋁可以是形成為剛玉的晶體結構。在部分的實施例中，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2的抗靜電材料包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁中的至少二種。

抗靜電多通孔精密陶瓷盤2整體為抗靜電材料，詳細而言，抗靜電多通孔精密陶瓷盤的表面阻抗的阻抗值係為10⁵歐姆至10⁹歐姆之間。藉此，在抗靜電多通孔精密陶瓷盤2因感應而產生的靜電時，或者在抗靜電多通孔精密陶瓷盤2碰觸到工件而產生靜電時，靜電能逐漸消散而避免靜電的累積造成靜電放電。較佳地，抗靜電多通孔精密陶瓷盤的阻抗值為10⁸歐姆。

如第4圖所示，依據本發明的第二實施例的精密陶瓷工作台100a，其結構與第一實施例的精密陶瓷工作台100大致相同，差別在於：抗靜電 多通孔精密陶瓷盤2為圓形板體，且底座1的槽體亦為對應之圓形。當然，抗靜電多通孔精密陶瓷盤2不限於圓形。

以上之敘述以及說明僅為本發明之較佳實施例之說明，對於此項技術具有通常知識者當可依據以下所界定申請專利範圍以及上述之說明而作其他之修改，惟此些修改仍應是為本發明之發明精神而在本發明之權利範圍中。

100:精密陶瓷工作台

1:底座

13:上表面

2:抗靜電多通孔精密陶瓷盤

21:上表面

Claims (5)

1. 一種精密陶瓷工作台，包含：一底座，具有一槽體及一貫通孔，該槽體經下凹而形成多數個氣體流道，該貫通孔係貫通於該所述至少一個該氣體流道及該底座的下表面之間，各個該氣體流道的上表面為全部不封閉且各個該氣體流道之間於該槽體係為相互地空氣連通，各個該氣體流道為空氣連通於該貫通孔；一抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置於該底座的上表面形成的該槽體中，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤係為抗靜電材料且具有複數個通孔，各個通孔係貫通於該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面及下表面之間，複數個該通孔連通於該氣體流道而空氣連通於一空氣泵浦，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的該上表面為一工件吸附面，以使該空氣泵浦透過該貫通孔、各個該氣體流道、及該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的複數個該通孔而在該工件吸附面形成一吸附力，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的阻抗值係為10⁵歐姆至10⁹歐姆之間。
2. 如請求項1之精密陶瓷工作台，其中該抗靜電材料包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁的其中一種。
3. 如請求項1之精密陶瓷工作台，其中該抗靜電材料包括碳化矽、磷酸鋁及氧化鋁中的至少二種。
4. 如請求項1之精密陶瓷工作台，其中該氣體流道為凹下於該底座的上表面。
5. 如請求項1之精密陶瓷工作台，其中該氣體流道為以左右對稱及前後對稱的方式而分布。

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