TWI675928B - 真空治具裝置 - Google Patents

Abstract

一種真空治具裝置用以使一待濺鍍件在一腔體的一腔室中以一縱軸線為中心轉動及以一橫軸線為中心轉動，以解決因該待濺鍍件的一表面至一電漿源距離不相同，而導致形成於該表面的一鍍膜厚度不均的問題。

Description

真空治具裝置

本發明是關於一種真空治具裝置，特別是用以使一待濺鍍件在一腔體的一腔室中以一縱軸線為中心轉動及以一橫軸線為中心轉動的真空治具裝置。

在習知的濺鍍製程中是將一待濺鍍件放置於一濺鍍裝置的一腔體中，以形成一鍍膜於該待濺鍍件的一表面，由於該表面具有複數個待濺鍍區域，且各該待濺鍍區域至該濺鍍裝置中的一電漿源的距離不相同，因此容易造成形成於該鍍膜的厚度不均勻，尤其是當該表面為一曲面或為不規則曲面時，所形成的該鍍膜的厚度，更容易發生厚度不均勻的問題。

本發明的主要目的是使一待濺鍍件在一腔體的一腔室中以一縱軸線為中心轉動及以一橫軸線為中心轉動，以解決因該待濺鍍件的一表面至一電漿源的距離不相同，而導致形成於該表面的一鍍膜厚度不均的問題。

本發明之一種真空治具裝置包含一腔體、一第一轉動軸、一驅動軸、一第二轉動軸及一第一驅動組，該腔體具有一腔室，該第一轉動軸轉動地設置於該腔室，該第一轉動軸以通過該第一轉動軸的一縱軸線為中心轉動，該第一轉動軸具有一通孔、一管壁及一第一讓位孔，該管壁環繞該通孔，該第一讓位孔設置於該管壁，且該第一讓位孔連通該通孔，該驅動軸沿著該縱軸線方向在該通孔中直線往復作動，該第二轉動軸具有一第一區段及一第二區段，該第一區段穿設於該第一孔讓位孔，且凸出於該管壁，該第二區段位於該通孔，該第二轉動軸以通過該第二轉動軸的一橫軸線為中心轉動，當該第一轉動軸轉動時，該第一轉動軸帶動該第二轉動軸以該縱軸線為中心轉動，該第一驅動組包含一連接該驅動軸的一輸入部及一與該輸入部耦接的輸出部，該輸出部固設於該第二轉動軸，該輸入部驅動該輸出部以帶動該第二轉動軸以該橫軸線為中心往復轉動。

本發明藉由該第一轉動軸帶動該第二轉動軸以該縱軸線為中心轉動及藉由該第二轉動軸以該橫軸線為中心往復轉動，使得設置於該第一區段的一待濺鍍件的複數個待濺鍍區至一電漿源的距離，隨著該第一轉動軸轉動及該第二轉動軸轉動而改變，以使各該待濺鍍區能接近或遠離該電漿源，以形成厚度均勻的一鍍膜在該待濺鍍件的表面。

請參閱第1及2圖，本發明的一種真空治具裝置100包含一腔體110、一第一轉動軸120、一驅動軸130、一第二轉動軸140及一第一驅動組150，該腔體110具有一腔室111，該腔室111設有一電漿源200，該電漿源200用以對一設置於該腔室111中的一待濺鍍件(圖未繪出)進行一濺鍍製程，以在該待濺鍍件的一表面形成一鍍膜。

請參閱第1及2圖，該第一轉動軸120轉動地穿設於該腔室111，一縱軸線Y通過該第一轉動軸120，該第一轉動軸120以該縱軸線Y為中心轉動，在本實施例中，該真空治具裝置100另包含一第一動力源A，該第一動力源A設置於該腔體110外，且該第一轉動軸120的一傳動端120a凸出於該腔體110外，但不以此為限，該第一動力源A用以帶動該第一轉動軸120以通過該第一轉動軸120的該縱軸線Y為中心轉動，該第一動力源A選自於馬達，在本實施例中，該第一動力源A以一皮帶A1帶動該第一轉動軸120轉動。

請參閱第1及2圖，該第一轉動軸120具有一通孔121、一管壁122及一第一讓位孔123，該管壁122環繞該通孔121，該第一讓位孔123設置於該管壁122，且該第一讓位孔123連通該通孔121，較佳地，該第一轉動軸120末端具有一固定部124。

請參閱第1及2圖，該驅動軸130活動地設置於該第一轉動軸120的該通孔121，沿著該縱軸線Y方向，該驅動軸130在該通孔121中往復作動，在本實施例中，該真空治具裝置100另包含一第二動力源B，該第二動力源B設置於該腔體110外，但不以此為限，該第二動力源B用以帶動該驅動軸130沿著該縱軸線Y方向在該通孔121中往復作動，該第二動力源B選自於油壓缸、氣壓缸。

請參閱第1及2圖，該真空治具裝置100另包含一軸承170及一固定座180，該固定座180及該軸承170設置於該通孔121中，該固定座180用以將該軸承170固定於該第一轉動軸120的該通孔121中，該固定座180結合於該第一轉動軸120的該管壁122。惟本發明之實施並不以此為限，該固定座180和該軸承170亦可設置於該第一轉動軸120的外部。

請參閱第1及2圖，該第二轉動軸140用以設置一待濺鍍件(圖未繪出)，該第二轉動軸140具有一第一區段141及一第二區段142，該第二轉動軸140轉動地穿設於第一轉動軸120，該第一區段141穿設於該第一孔讓位孔123，且該第一區段141凸出於該管壁122，該第一區段141用以設置該待濺鍍件，該第二區段142位於該通孔121，且該第二區段142結合該軸承170，該軸承170用以支撐該第二轉動軸140，當該第一轉動軸120轉動時，該第一轉動軸120帶動該第二轉動軸140以該縱軸線Y為中心轉動。

請參閱第1及2圖，該第二轉動軸140以通過該第二轉動軸140的一橫軸線X為中心轉動，該第一驅動組150包含一連接該驅動軸130的一輸入部150A及一與該輸入部150A耦接的輸出部150B，該輸出部150B固設於該第二轉動軸140，該輸入部150A驅動該輸出部150B以帶動該第二轉動軸140以該橫軸線X為中心往復轉動。在本實施例中，該第一驅動組150設置於該通孔121中，該輸入部150A包含一彈性件152、一第一連動件153及一第二連動件154，該輸出部150B包含一輪盤151，該輪盤151與該第二轉動軸140結合成一體，較佳地，該輪盤151轉動地結合於該固定座180。

請參閱第2圖，該第一連動件153及該第二連動件154分別繞設於該輪盤151，該第一連動件153及該第二連動件154選自於纜繩，該彈性件152的一固定端152a結合於該固定部124，該第一連動153件的一第一端153a連接該彈性件152的一自由端152b，繞設於該輪盤151的該第一連動件153以一第二端153b連接該輪盤151，該第二連動件154的一第三端154a連接該驅動軸130，繞設於該輪盤151的該第二連動件154以一第四端154b連接該輪盤151，當該驅動軸130沿著該縱軸線Y方向在該通孔121中往復作動時，該驅動軸130提供一第一縱軸向拉力Y1於該第二連動件154，該彈性件152提供一第二縱軸向拉力Y2於該第一連動件153，且該第一縱軸向拉力Y1與該第二縱軸向拉力Y2為方向相反的拉力，由於該第一連動件153及該第二連動件154分別繞設於該輪盤151，因此當該驅動軸130拉動該第二連動件154時，該輪盤151會往一第一方向轉動，相反地當該彈性件152拉動第一連動件153時，該輪盤151會往相反該第一方向的一第二方向轉動，藉由該第一縱軸向拉力Y1與該第二縱軸向拉力Y2驅動該輪盤151往復轉動，以帶動該第二轉動軸140以該橫軸線X為中心往復轉動。

請參閱第1及2圖，當該第一轉動軸120以通過該第一轉動軸120的該縱軸線Y為中心轉動及該第二轉動軸140以通過該第二轉動軸140的該橫軸線X為中心轉動時，設置於該第一區段141設置一待濺鍍件(圖未繪出)，藉由該第一轉動軸120帶動該第二轉動軸140以該縱軸線Y為中心轉動及藉由該第二轉動軸140以該橫軸線X為中心往復轉動，使得該待濺鍍件的複數個待濺鍍區至該電漿源200的距離，隨著該第一轉動軸120轉動及該第二轉動軸140轉動而改變，以使各該待濺鍍區能接近或遠離該電漿源200，以形成厚度均勻的一鍍膜在該待濺鍍件的表面。

請參閱第1、2及3圖，較佳地，該真空治具裝置100另包含一第二驅動組160，該第二驅動組160用以帶動該第二轉動軸140於橫軸線X與縱軸線Y所形成的平面往復擺動，該第二驅動組160具有一驅動桿161及一驅動件162，該驅動件162具有一穿孔162a，在本實施例中，該驅動件162選自於滑塊，該驅動桿161的一第五端161a結合於該驅動軸130，該驅動件162樞接於該驅動桿161的一第六端161b，該第二轉動軸140的該第一區段141活動地穿設於該驅動件162的該穿孔162a，且該軸承170選自於球窩軸承，在本實施例中，該第一轉動軸120具有一第二讓位孔125，其中該驅動桿161貫穿該第二讓位孔125，該第一孔讓位孔123及該第二讓位孔125分別為一長穿孔，當該驅動軸130在該通孔121中往復作動並驅動該第二驅動組160帶動該第二轉動軸140於橫軸線X與縱軸線Y所形成的平面往復擺動時，該第一讓位孔123提供一讓位空間供該第二轉動軸140往復擺動，且該第二讓位孔125提供一讓位空間供該驅動桿161直線往復移動。

請參閱第1及2圖，藉由該第一轉動軸120帶動該第二轉動軸140以該縱軸線Y為中心轉動、該第二轉動軸140以該橫軸線X為中心往復轉動以及該第二轉動軸140於橫軸線X與縱軸線Y所形成的平面往復擺動，使得該待濺鍍件的各該待濺鍍區至該電漿源200的距離，隨著該第一轉動軸120轉動、該第二轉動軸140往復轉動及該第二轉動軸140往復擺動而改變，以使各該待濺鍍區能接近或遠離該電漿源200，以形成厚度均勻的一鍍膜在該待濺鍍件的表面。

此外，第4圖揭示本案第一驅動組的另一實施態樣，該第一驅動組的該輸入部150A包含一齒條155，該齒條155的一端結合於該驅動軸130，該輸出部150B包含一固設於該第二轉動軸140的齒輪156，該齒條155的另一端與該齒輪156相嚙合。當該驅動軸130沿著該縱軸線Y方向在該通孔121中往復作動時，該驅動軸130連動該齒條155直線往復作動，與該齒條155嚙合的該齒輪155在該齒條155之驅動下隨之往復轉動，以帶動該第二轉動軸140以該橫軸線X為中心往復轉動。

本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準，任何熟知此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內所作之任何變化與修改，均屬於本發明之保護範圍。

100‧‧‧真空治具裝置

110‧‧‧腔體

111‧‧‧腔室

120‧‧‧第一轉動軸

120a‧‧‧傳動端

121‧‧‧通孔

122‧‧‧管壁

123‧‧‧第一讓位孔

124‧‧‧固定部

125‧‧‧第二讓位孔

130‧‧‧驅動軸

140‧‧‧第二轉動軸

141‧‧‧第一區段

142‧‧‧第二區段

150‧‧‧第一驅動組

150A‧‧‧輸入部

150B‧‧‧輸出部

151‧‧‧輪盤

152‧‧‧彈性件

152a‧‧‧固定端

152b‧‧‧自由端

153‧‧‧第一連動件

153a‧‧‧第一端

153b‧‧‧第二端

154‧‧‧第二連動件

154a‧‧‧第三端

154b‧‧‧第四端

155‧‧‧齒條

156‧‧‧齒輪

160‧‧‧第二驅動組

161‧‧‧驅動桿

161a‧‧‧第五端

161b‧‧‧第六端

162‧‧‧驅動件

162a‧‧‧穿孔

170‧‧‧軸承

180‧‧‧固定座

200‧‧‧電漿源

A‧‧‧第一動力源

A1‧‧‧皮帶

B‧‧‧第二動力源

X‧‧‧橫軸線

Y‧‧‧縱軸線

Y1‧‧‧第一縱軸向拉力

Y2‧‧‧第二縱軸向拉力

第1圖：本發明之真空治具裝置的剖視圖。 第2圖：本發明之真空治具裝置的局部剖視圖。 第3圖：本發明之真空治具裝置的局部立體圖。 第4圖：本發明之真空治具裝置的另一實施態樣的局部剖視圖。

Claims (10)

1. 一種真空治具裝置，包含： 一腔體，具有一腔室； 一第一轉動軸，轉動地設置於該腔室，該第一轉動軸以通過該第一轉動軸的一縱軸線為中心轉動，該第一轉動軸具有一通孔、一管壁及一第一讓位孔，該管壁環繞該通孔，該第一讓位孔設置於該管壁，且該第一讓位孔連通該通孔； 一驅動軸，沿著該縱軸線方向在該通孔中直線往復作動； 一第二轉動軸，具有一第一區段及一第二區段，該第一區段穿設於該第一孔讓位孔，且凸出於該管壁，該第二區段位於該通孔，該第二轉動軸以通過該第二轉動軸的一橫軸線為中心轉動，當該第一轉動軸轉動時，該第一轉動軸帶動該第二轉動軸以該縱軸線為中心轉動；以及 一第一驅動組，包含一連接該驅動軸的一輸入部及一與該輸入部耦接的輸出部，該輸出部固設於該第二轉動軸，該輸入部驅動該輸出部以帶動該第二轉動軸以該橫軸線為中心往復轉動。
2. 如申請專利範圍第1項所述之真空治具裝置，其中，該第一驅動組的該輸入部包含一齒條，該齒條的一端結合於該驅動軸，該輸出部包含一固設於該第二轉動軸的齒輪，該齒條的另一端與該齒輪相嚙合。
3. 如申請專利範圍第1項所述之真空治具裝置，其中，該第一驅動組設置於該通孔中，該輸入部包含一彈性件、一第一連動件及一第二連動件，該輸出部包含一輪盤，該輪盤與該第二轉動軸結合成一體，該第一連動件及該第二連動件分別繞設於該輪盤，該第一連動件的一第一端連接該彈性件，該第一連動件以一第二端連接該輪盤，該第二連動件的一第三端連接該驅動軸，該第二連動件以一第四端連接該輪盤。
4. 如申請專利範圍第3項所述之真空治具裝置，另包含一第二驅動組，該第二驅動組具有一驅動桿及一驅動件，該驅動桿的一第五端結合於該驅動軸，該驅動件樞接於該驅動桿的一第六端，該第二轉動軸的該第一區段活動地穿設於該驅動件的一穿孔，藉由該驅動軸在該通孔中往復作動，以驅動該第二驅動組帶動該第二轉動軸往復擺動。
5. 如申請專利範圍第3項所述之真空治具裝置，其中該第一連動件及該第二連動件選自於纜繩。
6. 如申請專利範圍第3項所述之真空治具裝置，其中該第一轉動軸末端具有一固定部，該彈性件的一固定端結合於該固定部，該彈性件的一自由端連接該第一連動件的該第一端。
7. 如申請專利範圍第4項所述之真空治具裝置，其中該第一轉動軸具有一第二讓位孔，其中該驅動桿貫穿該第二讓位孔，該第一孔讓位孔及該第二讓位孔分別為一長穿孔，當該驅動軸驅動該第二驅動組帶動該第二轉動軸擺動時，該第一讓位孔提供一讓位空間供該第二轉動軸往復擺動，且該第二讓位孔提供一讓位空間供該驅動桿往復移動。
8. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之真空治具裝置，另包含一固定座，該固定座結合於該第一轉動軸的管壁，該固定座用以容置一軸承，該第二轉動軸的該第二區段結合該軸承，該軸承用以支撐該第二轉動軸。
9. 如申請專利範圍第8項所述之真空治具裝置，其中該軸承選自於球窩軸承。
10. 如申請專利範圍第1項所述之真空治具裝置，另包含一第一動力源和一第二動力源，該第一動力源用以帶動該第一轉動軸轉動，該第二動力源用以帶動該驅動軸在該通孔中往復作動。