TWI647387B - 微型流體控制裝置與壓電致動器 - Google Patents

Abstract

一種微型流體控制裝置包含一壓電致動器及一殼體，其中壓電致動器包含：懸浮板、外框、支架及防溢結構；其中支架連接於懸浮板與外框之間，且懸浮板、外框及支架的第一表面共平面，而防溢結構構成於外框與支架的第二表面之間，以令該外框與該支架保持一高度差。藉由本案之防溢結構可抑制膠層塗佈於外框時溢出於外框。

Description

微型流體控制裝置與壓電致動器

本案係關於一種流體控制裝置，尤指一種微型超薄且靜音之微型流體控制裝置。

目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、列印、能源等工業，產品均朝精緻化及微小化方向發展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印裝置等產品所包含之流體輸送結構為其關鍵技術，是以，如何藉創新結構突破其技術瓶頸，為發展之重要內容。

舉例來說，於醫藥產業中，許多需要採用氣壓動力驅動之儀器或設備，通常採以傳統馬達及氣壓閥來達成其流體輸送之目的。然而，受限於此等傳統馬達以及流體閥之體積限制，使得此類的儀器設備難以縮小其整體裝置的體積，即難以實現薄型化之目標，更無法使之達成可攜式之目的。此外，該等傳統馬達及流體閥於作動時亦會產生噪音之問題，導致使用上的不便利及不舒適。

又如第1圖所示，為一種流體控制裝置，包括一殼體1及一壓電致動器2、兩絕緣片3a、3b及一導電片4。該殼體1包含一出口板11及一底座12，該出口板11為周緣具有側壁111及底部具有一板件112之框體結構，且 由該側壁111與板件112共同定義出一容置空間113，用以供該壓電致動器2設置於該容置空間113中，又該板件112於一表面凹陷以形成一暫存腔室114，以及該板件112上設有至少一排出孔115貫穿連通至該暫存腔室114；而底座12則包含入口板121及共振片122，該入口板121具有至少一進入孔1211、至少一匯流排槽1212及一匯流腔室1213，該進入孔1211對應連通該匯流排槽1212，而該至少一匯流排槽1212的另一端則連通於該匯流腔室1213，該匯流腔室1213處構成一匯流流體的腔室，以供流體暫存，此所構成腔室之深度與該匯流排槽1212之深度相同，而該共振片122為一可撓性材質，具有一中空孔洞1223，對應於該入口板121之匯流腔室1213而設置，以使該匯流腔室1213之流體可經該中空孔洞1223流通至該共振片122下方。如此由一出口板11、一絕緣片3b、一導電片4、一絕緣片3a、壓電致動器2及底座12依序向上堆疊黏固，最後將該出口板11之側壁111兩側容置空間113予以塗布封膠6提供防漏密封而設置形成一種流體控制裝置，如此流體控制裝置的結構簡單，因此能構成為薄型。

又該壓電致動器2對應於共振片122而設置，由懸浮板21、壓電元件22、外框23以及至少一支架24所構成，而共振片122對應於匯流腔室1213為一可動部1221，而固定黏接於底座12部分為固定部1222。

上述組裝之流體控制裝置所應用的設備始終處於呈小型化的趨勢。因此，要求在不使上述流體控制裝置的輸出能力(排出流量和排出壓力)降低的前提下，使上述流體控制裝置進一步小型化。然而，上述流體控制裝置越是小型化，則上述流體控制裝置的輸出能力就越是降低。因此，若欲維持控制輸出能力並將其小型化，則在現有結構的上述控制中存在界限。因此，本發明對以下所示的結構的控制進行了研究。

第1圖是表示上述流體控制裝置的主要部分的結構的剖視圖。流體控制裝置是由一出口板11、一絕緣片3b、一導電片4、一絕緣片3a、壓電致動器2及底座12依序向上堆疊黏固的結構。

然而在懸浮板21之外框23及共振片122之間設置膠層5，在膠層5塗布施作時，因膠層5塗在壓電致動之外框23受到外框23之毛細作用的關係，使膠層5沿著外框23而朝向支架24流動，如此流動容易溢出於外框23而沾黏到支架24上，導致支架24與共振片122之間沾黏到膠層5，進而影響到共振片122及支架24之共振作用，故影響到流體控制裝置之工作效率，或者膠層5流到微型流體控制裝置內也會影響其它部件之運作，實有必要予以改善。

因此，如何發展一種可改善上述習知技術缺失，可使傳統採用流體控制裝置的儀器或設備達到體積小、微型化且靜音，進而達成輕便舒適之可攜式目的之微型氣壓流體裝置及其壓電致動器，實為目前迫切需要解決之問題。

本案之主要目的在於提供一種微型流體控制裝置，藉由在外框之第二表面靠近支架之第二表面處設置一防溢結構，以令該外框與該支架保持一高度差去抑制膠層溢膠問題。

為達上述目的，本案之一較廣義實施態樣為提供了一種微型流體控制裝置，包含一壓電致動器及一殼體，該壓電致動器包括：一懸浮板，具有一第一表面及相對應之一第二表面，且該第二表面上具有一凸部；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該懸浮板之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，且具有一第一表面 及相對應之一第二表面，該支架之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一防溢結構，構成於該外框與該支架之間，以令該外框與該支架保持一高度差；以及一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板之該第一表面上；而該殼體包括：一出口板，該出口板為周緣具有一側壁以構成一容置空間之一框體結構，使該壓電致動器設置於該容置空間中；以及一底座，由一入口板及一共振片相接合而成，並結合於該出口板之該容置空間中，以封閉該壓電致動器，該入口板具有至少一進氣孔及與之相連通之至少一匯流排孔，以構成一匯流腔室，該共振片設置固定於該入口板上，並具有一中空孔洞，相對於該入口板之該匯流腔室，且對應於該懸浮板之該凸部；其中，該壓電致動器之外框之該第二表面與該底座之該共振片之間設置一膠層，使該壓電致動器與該底座之該共振片之間維持一深度以構成一壓縮腔室，該防溢結構之高度差可供填充溢出之該膠層，以抑制該膠層溢出於該外框。

本案之一較廣義實施態樣為提供了一種壓電致動器，包含：一懸浮板，具有一第一表面及相對應之一第二表面，且該第二表面上具有一凸部；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該懸浮板之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該支架之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一防溢結構，構成於該外框之該第二表面與該支架之該第二表面之間，以令該外框與該支架保持一高度差；以及一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板之該第一表面上。

1‧‧‧殼體

11‧‧‧出口板

111‧‧‧側壁

112‧‧‧板件

113‧‧‧容置空間

114‧‧‧暫存腔室

115‧‧‧排出孔

116‧‧‧壓縮腔室

12‧‧‧底座

121‧‧‧入口板

1211‧‧‧進入孔

1212‧‧‧匯流排槽

1213‧‧‧匯流腔室

122‧‧‧共振片

1221‧‧‧可動部

1222‧‧‧固定部

1223‧‧‧中空孔洞

2‧‧‧壓電致動器

21‧‧‧懸浮板

21a‧‧‧懸浮板之第一表面

21b‧‧‧懸浮板之第二表面

22‧‧‧壓電元件

23‧‧‧外框

23a‧‧‧外框之第一表面

23b‧‧‧外框之第二表面

231‧‧‧導電接腳

24‧‧‧支架

24a‧‧‧支架之第一表面

24b‧‧‧支架之第二表面

25‧‧‧空隙

26‧‧‧凸部

27‧‧‧防溢結構

27a‧‧‧防溢凹部

27b‧‧‧防溢凸部

28a‧‧‧第一段差面

28b‧‧‧第二段差面

28c‧‧‧第三段差面

28d‧‧‧第四段差面

3a、3b‧‧‧絕緣片

4‧‧‧導電片

41‧‧‧導電接腳

5‧‧‧膠層

6‧‧‧封膠

h‧‧‧間隙

s1‧‧‧第一防溢深度

s2‧‧‧第二防溢深度

s3‧‧‧第三防溢深度

s4‧‧‧第四防溢深度

s5‧‧‧第五防溢深度

s6‧‧‧第六防溢深度

第1圖所示為流體控制裝置之剖面結構示意圖。

第2A圖所示為流體控制裝置相關構件之分解正面視得示意圖。

第2B圖所示為流體控制裝置相關構件之分解背面視得示意圖。

第3圖所示為壓電致動器組裝於底座上之剖面示意圖。

第4A圖所示為壓電致動器正面視得之立體外觀示意圖。

第4B圖所示為壓電致動器背面視得之立體外觀示意圖。

第5圖為流體控制裝置之防溢結構第一實施例之剖面示意圖。

第6圖為流體控制裝置之防溢結構第二實施例之剖面示意圖。

第7圖為流體控制裝置之防溢結構第三實施例之剖面示意圖。

第8A圖為流體控制裝置之防溢結構第四實施例之立體外觀示意圖。

第8B圖為流體控制裝置之防溢結構第四實施例之剖面示意圖。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上係當作說明之用，而非架構於限制本案。

如第1圖、第2A圖、第2B圖及第3圖所示，本案之流體控制裝置包含一殼體1、一壓電致動器2、兩絕緣片3a、3b及一導電片4。其中，殼體1包含出口板11及底座12，底座12則包含一入口板121及一共振片122，但不以此為限。壓電致動器2係對應於共振片122而設置，並使出口板11、壓電致動器2以及底座12之共振片122、入口板121等依序向上堆疊設置，且壓電致動器2由懸浮板21、壓電元件22、外框23以及至少一支架24組裝而成。

於本實施例中，殼體1之出口板11為周緣具有側壁111及底部具有一板件112之框體結構，且由側壁111與板件112共同定義出一容置空間 113，用以供該壓電致動器2設置於該容置空間113中，又板件112於一表面凹陷以形成一暫存腔室114，以及板件112上設有至少一排出孔115貫穿連通該暫存腔室114，且由該側壁111與板件112共同定義出一容置空間113，用以供壓電致動器2設置於容置空間113中。而底座12包含一入口板121及一共振片122，其中，入口板121具有至少一進入孔1211，於本實施例中，進入孔1211之數量為4個，但不以此為限，其貫穿入口板121之上下表面，主要用以供流體自裝置外順應大氣壓力之作用而自該至少一進入孔1211流入流體控制裝置內；又入口板121上具有至少一匯流排槽1212，每一匯流排槽1212對應連通一進入孔1211而設置，於該匯流排槽1212的中心交流處具有一匯流腔室1213，且匯流腔室1213係與匯流排槽1212相連通，藉此可將自該至少一進入孔1211進入匯流排槽1212之流體引導並匯流集中至匯流腔室1213。

於本實施例中，入口板121具有一體成型的進入孔1211、匯流排槽1212及匯流腔室1213，且當入口板121與共振片122對應組裝後，於此匯流腔室1213處構成一匯流流體的腔室，以供流體暫存。

於一些實施例中，入口板121之材質為一不鏽鋼材質，但不以此為限。於另一些實施例中，由該匯流腔室1213處所構成腔室之深度與該等匯流排槽1212之深度相同，但不以此為限。

又上述之壓電致動器2對應於共振片122而設置，由懸浮板21、壓電元件22、外框23以及至少一支架24所構成，而共振片122對應於匯流腔室1213為一可動部1221，而固定黏接於底座12部分為固定部1222，且於共振片122上具有一中空孔洞1223，對應於入口板121之匯流腔室1213而設置，以使流體可流通。於本實施例中，共振片122為一可撓性材質， 但不以此為限。於另一些實施例中，共振片122為一銅材質，但不以此為限。

上述之壓電元件22為方形板狀結構，且其邊長不大於懸浮板21之邊長，並可貼附於懸浮板21之上。於本實施例中，懸浮板21為可撓之正方形板狀結構，懸浮板21之外側環繞設置外框23，外框23之型態亦大致對應於懸浮板21之型態。於本實施例中，外框23亦為正方形之鏤空框型結構；而懸浮板21與外框23之間以四支架24連接並提供彈性支撐。請同時參閱第2圖A圖及第2圖B，懸浮板21、外框23以及四支架24係為一體成型之結構，且可由一金屬板所構成，例如可由不鏽鋼材質所構成，但不以此為限，是以，本案之流體控制裝置之壓電致動器2即為由壓電元件22與金屬板黏合而成，但不以此為限。外框23係環繞設置於懸浮板21之外側，且具有一向外凸設之導電接腳231，用以供電連接之用，但不以此為限；以及該四支架24連接於懸浮板21以及外框23之間，以提供彈性支撐。於本實施例中，每一該支架24之一端連接於懸浮板21之側邊，另一端則連接於外框23之內側邊，且於支架24、懸浮板21及外框23之間更具有至少一空隙25，用以供流體流通，且該懸浮板21、外框23以及支架24之型態及數量係具有多種變化。透過此跨設於懸浮板21與外框23之間之支架24，以減少懸浮板21於運作時不均一的偏移角度，有助於增加懸浮板21於Z軸上的振幅，使懸浮板21在上下振動時可有更好的位移狀態，即該懸浮板21作動時更為穩定、一致，俾利於提升壓電致動器2作動之穩定性及效能。又於本實施例中，懸浮板21係為一正方形且具有階梯面之結構，即於懸浮板21之一表面上更具有一凸部26，凸部26可為一圓形凸起結構，但不以此為限。

以及，上述之兩絕緣片3a、3b為上下夾設導電片4而設置。此外，於一些實施例中，絕緣片3a、3b為一絕緣之材質，例如：塑膠，但不以此為限，以進行絕緣之用；於另一些實施例中，導電片4為一導電之材質，例如：金屬，但不以此為限，以進行電導通之用。以及，於本實施例中，導電片4上亦可設置一導電接腳41，以進行電導通之用。

當本案之流體控制裝置組裝時，依序將出口板11、一絕緣片3b、一導電片4、一絕緣片3a、一壓電致動器2以及一底座12等結構向上堆疊組裝黏固，並容設於出口板11之容置空間113內，最後將該出口板11之側壁111兩側容置空間113予以塗布封膠6提供防漏密封而設置形成一種流體積小、及微型化外形之流體控制裝置。在上述結構中，一旦對壓電元件22施加驅動電壓，則因壓電元件22的伸縮而使懸浮板21彎曲振動，伴隨著懸浮板21的振動，使共振片122的可動部1221振動，藉此，流體控制裝置從底座12之至少一進入孔1211吸入流體，將該流體進入該至少一匯流排槽1212中再流入該匯流腔室1213經中空孔洞1223導入暫存腔室114中，受該壓電致動器2之懸浮板21振動及共振片122之共振效應而壓縮暫存腔室114之體積，由該出口板11之至少一排出孔115排出，構成一流體控制裝置傳輸流體之操作。

又如第1圖、第3圖所示，共振片122與壓電致動器2之間具有一間隙h，於共振片122及壓電致動器2之外框23之間的間隙h中填充設置一膠層5，例如：導電膠，但不以此為限，以使共振片122與壓電致動器2之懸浮板21之間可維持該間隙h之深度，進而可導引氣流更迅速地流動；以及，因應此間隙h之深度而可使共振片122與壓電致動器2之間形成壓縮腔室116，進而可透過共振片122之中空孔洞1223導引流體於腔室間更 迅速地流動，且因懸浮板21與共振片122保持適當距離使彼此接觸干涉減少，促使噪音產生可被降低。

又本案為了改善在懸浮板21之外框23及共振片122之間設置膠層5在塗布施作時，膠層5塗在壓電致動之外框23受到外框23之毛細作用的關係，使膠層5沿著外框23而朝向支架24流動，如此流動容易溢出於外框23而沾黏到支架24等問題，如此本案進一步改良壓電致動器2之外框23結構，在外框23之第二表面23b靠近支架24之第二表面24b處設置一防溢結構27(如第4A圖所示)，此防溢結構27為利用蝕刻技術達成一個缺口或防堵凸部，讓膠層5之溢膠能利用此防溢結構27去抑制膠層5溢膠問題。

如第4A圖及第5圖所示，於本案壓電致動器2包括：一懸浮板21，具有一第一表面21a及一與第一表面21a相對應之第二表面21b，且第二表面21b上具有一凸部26；一外框23，環繞設置於該懸浮板21之外側，亦具有一第一表面23a及一與第一表面23a相對應之第二表面23b，懸浮板21之第一表面21a與該外框之第一表面23a共平面；至少一支架24，連接於懸浮板21與外框23之間，亦具有一第一表面24a及一與第一表面24a相對應之第二表面24b，支架之第一表面24a與外框之第一表面23a共平面；至少一防溢結構27，構成於外框23與支架24之間，以令外框23與支架24保持一高度差；以及一壓電陶瓷板22，貼附於懸浮板之該第一表面上21a。

如第4A圖、第4B圖及第5圖所示，本案於第一實施例中，防溢結構27為於外框23邊緣連接支架24處且往外框23之第二表面24b方向延伸形成一第一段差面28a，第一段差面28a與外框之第二表面23b保持一第一防溢深度s1，且第一段差面28a與支架24之第二表面24b形成共平面鄰 接，如此設置之防溢結構27能利用邊緣連接該支架24處且往第二表面24b延伸形成一第一段差面28a及第一防溢深度s1之空間來填補膠層5之溢膠，進而抑制膠層5溢膠問題。

如第6圖所示，本案於第二實施例，防溢結構27為於外框23邊緣連接支架24處且往外框23之第二表面24b方向延伸形成一第二段差面28b，第二段差面28b與該外框23之第二表面23b保持一第二防溢深度s2，第二段差面28b與支架23之第二表面23b保持一第三防溢深度s3，且第二防溢深度s2大於第三防溢深度s3，如此第二段差面28b及第二防溢深度s2之空間來填補膠層5之溢膠，且第三防溢深度s3提供了更進一步的防溢效果，阻擋膠層5之溢膠沿著支架24方向流動，同樣能抑制膠層5溢膠問題。

如第7圖所示，本案於第三實施例，防溢結構27為於外框23邊緣連接支架24處且往外框23之第二表面24b方向延伸設置一防溢凹部27a及一防溢凸部27b，防溢凹部27a鄰接外框23，且防溢凸部27b鄰接防溢凹部27a，防溢凹部27a具有一第三段差面28c與外框23之第二表面23b保持一第四防溢深度s4，而防溢凸部27b之頂面與外框23之第二表面23b共平面，且與支架24保持一第五防溢深度s5。本實例之防溢凹部23a所構成之第三段差面28c及第四防溢深度s4之空間來填補膠層5之溢膠，且防溢凸部27b之第五防溢深度s5提供了更佳的防溢效果，阻擋膠層5之溢膠沿著支架24方向流動，同樣能抑制膠層5溢膠問題。

除了上述實施例之防溢結構27外，於第四實施例，亦可將防溢結構27在於外框23邊緣連接支架24處且往外框23之第二表面24b方向延伸設置環圈型態之段差面，詳而言之，如第8A圖及8B圖所示，防溢結構27為於該外框23邊緣連接該支架24處且往外框23之第二表面24b延伸一 環圈型態形成一第四段差面28d，該第四段差面28d與該外框23之該第二表面23b保持一第六防溢深度s6，且該第四段差面28d與該支架24之該第二表面24b形成共平面鄰接。如此設置之防溢結構27能利用邊緣連接該支架24處且往第二表面24b延伸一環圈型態形成一第四段差面28d及第六防溢深度s6之空間來填補膠層5之溢膠，進而抑制膠層5溢膠問題。

綜上所述，本案所提供一種微型流體控制裝置，藉由在外框之第二表面靠近支架之第二表面處設置一防溢結構去抑制膠層溢膠問題，且此微型化之壓電致動器更可使微型流體控制裝置之整體體積減小及薄型化，以達到輕便舒適之可攜式目的；因此，本案微型流體控制裝置極具產業利用價值，爰依法提出申請。

縱使本發明已由上述實施例詳細敘述而可由熟悉本技藝人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

Claims (10)

1. 一種微型流體控制裝置，包含：壓電致動器，包括：一懸浮板，具有一第一表面及相對應之一第二表面，且該第二表面上具有一凸部；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該懸浮板之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該支架之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一防溢結構，構成於該外框之該第二表面與該支架之該第二表面之間，以令該外框與該支架保持一高度差；以及一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板之該第一表面上；以及一殼體，包括：一出口板，該出口板為周緣具有一側壁及底部具有一板件以構成一容置空間之一框體結構，使該壓電致動器設置於該容置空間中；以及一底座，由一入口板及一共振片相接合而成，並結合於該出口板之該容置空間中，以封閉該壓電致動器，該入口板具有至少一進氣孔及與之相連通之至少一匯流排孔，以構成一匯流腔室，該共振片設置固定於該入口板上，並具有一中空孔洞，相對於該入口板之該匯流腔室，且對應於該懸浮板之該凸部； 其中，該壓電致動器之該外框之該第二表面與該底座之該共振片之間設置一膠層，使該壓電致動器與該底座之該共振片之間維持一深度以構成一壓縮腔室，該防溢結構之高度差可供填充溢出之該膠層，以抑制該膠層溢出於該外框。
2. 如申請專利範圍第1項所述微型流體控制裝置，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸形成一第一段差面，該第一段差面與該外框之該第二表面保持一第一防溢深度，且該第一段差面與該支架之該第二表面形成共平面鄰接。
3. 如申請專利範圍第1項所述微型流體控制裝置，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸形成一第二段差面，該第二段差面與該外框之該第二表面保持一第二防溢深度，該第二段差面與該支架之該第二表面保持一第三防溢深度，且該第二防溢深度大於該第三防溢深度。
4. 如申請專利範圍第1項所述微型流體控制裝置，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸設置一防溢凹部及一防溢凸部，該防溢凹部鄰接該外框，且該防溢凸部鄰接該防溢凹部，該防溢凹部具有一第三段差面與該外框之該第二表面保持一第四防溢深度，而該防溢凸部之頂面與該外框之該第二表面共平面，且與該支架保持一第五防溢深度。
5. 如申請專利範圍第1項所述微型流體控制裝置，該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸一環圈型態形成一第四段差面，該第四段差面與該外框之該第二表面保持一第六防溢深度，且該第四段差面與該支架之該第二表面形成共平面鄰接。
6. 一種壓電致動器，包含：一懸浮板，具有一第一表面及相對應之一第二表面，且該第二表面上具有一凸部；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該懸浮板之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，且具有一第一表面及相對應之一第二表面，該支架之該第一表面與該外框之該第一表面共平面；至少一防溢結構，構成於該外框之該第二表面與該支架之該第二表面之間，以令該外框與該支架保持一高度差；以及一壓電陶瓷板，貼附於該懸浮板之該第一表面上。
7. 如申請專利範圍第6項所述壓電致動器，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸形成一第一段差面，該第一段差面與該外框之該第二表面保持一第一防溢深度，且該第一段差面與該支架之該第二表面形成共平面鄰接。
8. 如申請專利範圍第6項所述壓電致動器，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸形成一第二段差面，該第二段差面與該外框之該第二表面保持一第二防溢深度，該第二段差面與該支架之該第二表面保持一第三防溢深度，且該第二防溢深度大於該第三防溢深度。
9. 如申請專利範圍第6項所述壓電致動器，其中該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸設置一防溢凹部及一防溢凸部，該防溢凹部鄰接該外框，且該防溢凸部鄰接該防 溢凹部，該防溢凹部具有一第三段差面與該外框之該第二表面保持一第四防溢深度，而該防溢凸部之頂面與該外框之該第二表面共平面，且與該支架保持一第五防溢深度。
10. 如申請專利範圍第6項所述壓電致動器，該防溢結構為於該外框邊緣連接該支架處且往該外框之該第二表面方向延伸一環圈型態形成一第四段差面，該第四段差面與該外框之該第二表面保持一第六防溢深度，且該第四段差面與該支架之該第二表面形成共平面鄰接。