TWI627998B - 溶劑混合器 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種溶劑混合器，包括：儲液槽；將多種液體導入所述儲液槽的多路進液口；位於所述儲液槽之下的初級導流圈；位於所述初級導流圈之下的次級錐形圈；其中，所述儲液槽的下端設有開口，所述初級導流圈的上端設有進口，所述進口與所述開口對接，所述初級導流圈的下端設有多個錐形孔；所述次級錐形圈的上端與所述初級導流圈對接，所述次級錐形圈下端設有出液口。本發明的溶劑混合器可實現多種液體的有效、快速混合，裝置成本低，操作簡單，佔用空間小，結合控制模組可實現精確配比和自動控制，有很強的實用性。

Description

溶劑混合器

本發明係關於半導體製造技術，尤其是關於一種溶劑混合器。

在半導體製造技術中，常常需要將大量的不同溶劑配比混合後使用。例如，在磊晶技術中，矽片放置于石英腔體的內部進行磊晶生長，磊晶的薄膜不僅沉積於矽片表面，同時還會沉積于石英腔體的內壁上，因此需要對石英腔體等部件進行清洗，清洗液需按比例配製和混合。混合方式一般為攪拌或自迴圈。通常清洗時，在清洗槽內提前放置需要清洗的部件，利用外接容器，即預混合槽，預先配比和混合清洗液，然後再將預混合槽中混合好的清洗液導入清洗槽中對部件進行清洗。在預混合槽中通常是用電機帶動葉輪方式進行攪拌或利用自迴圈泵進行不同溶劑的混合。

圖1為習知技術中電機帶動葉輪方式進行攪拌實現溶劑混合的示意圖，其中，多路進液口分別導入多種不同的配比液至預混合槽，通過攪拌電機帶動葉輪攪拌預混合液，混合後通過泵送入清洗槽，清洗內部零件。

圖2為習知技術中利用自迴圈泵實現溶劑混合的示意圖，其中，多路進液口分別導入多種不同的配比液至預混合槽，通過關閉閥1打開閥2啟動泵迴圈預混合液，混合均勻後，打開閥1關閉閥2將清洗液送入清洗 槽，清洗內部零件。

然而，利用電機帶動葉輪攪拌或利用自迴圈泵混合等方式，費用都較高，而且當清洗液的需求量較大時，需要大容積的預混合槽，或需要在較小容積的預混合槽內進行多次配比和混合，前者增加成本佔用空間大，後者操作繁瑣。因此，實有必要改進現有的溶劑混合方式，避免上述問題。

鑒於以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在於提供一種溶劑混合器，用於解決現有技術中溶劑混合時成本較高，操作繁瑣等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種溶劑混合器，包括：儲液槽；將多種液體導入所述儲液槽的多路進液口；位於所述儲液槽之下的初級導流圈；位於所述初級導流圈之下的次級錐形圈；其中，所述儲液槽的下端設有開口，所述初級導流圈的上端設有進口，所述進口與所述開口對接，所述初級導流圈的下端設有多個錐形孔；所述次級錐形圈的上端與所述初級導流圈對接，所述次級錐形圈下端設有出液口。

較佳地，所述初級導流圈為圓環狀，所述進口為一個或多個，集中設置在所述初級導流圈上端的一側，所述錐形孔為上大下小的錐形，分散設置在所述初級導流圈的下端。

較佳地，所述錐形孔的上端向所述初級導流圈中心傾斜，使所述錐形孔的中心線與所述初級導流圈所在平面成小於90度的傾角。

較佳地，所述次級錐形圈為上大下小的圓錐形。

較佳地，所述多路進液口包括第一進液口和第二進液口；所述第二進液口集中設置於儲液槽中部且管口伸入所述儲液槽內，所述第一進液口設置於所述第二進液口的周圍且管口高於所述第二進液口的管口。

較佳地，所述多路進液口均設有流量電磁閥，分別控制所述多路進液口的液體流量。

較佳地，所述儲液槽下端開口處設有儲液槽電磁閥。

較佳地，所述儲液槽設有液位感測器，檢測儲液槽中液位。

較佳地，所述溶劑混合器還包括控制模組，所述控制模組與所述液位感測器、所述流量電磁閥和所述儲液槽電磁閥連接，根據所需混合液的配置比例通過所述流量電磁閥控制多路進液口的流量，並根據所述液位感測器發送的液位信號控制所述儲液槽電磁閥和所述流量電磁閥的開啟和關閉。

進一步較佳地，當所述儲液槽中液位低於預設的工作液位時，所述液位感測器不向所述控制模組發送信號，所述控制模組保持所述儲液槽電磁閥關閉；當所述儲液槽中液位到達預設的工作液位時，所述液位感測器向所述控制模組發送液位到達工作液位的信號，所述控制模組打開所述儲液槽電磁閥；當所述儲液槽中液位到達預設的警戒液位時，所述液位感測器向所述控制模組發送液位到達警戒液位的信號，所述控制模組強制關閉所有流量電磁閥。

較佳地，所述儲液槽、初級導流圈和次級錐形圈的材料為聚四氟乙烯。

如上所述，本發明的溶劑混合器，具有以下有益效果：本發明的溶劑混合器通過依次對接的儲液槽、初級導流圈和次級錐形圈，可實現多種液體的有效、快速混合，裝置成本低，操作簡單，佔用空間小。結合控制模組可實現精確配比和自動控制，有很強的實用性。

1‧‧‧儲液槽

2‧‧‧初級導流圈

3‧‧‧次級錐形圈

401‧‧‧第一進液口

402‧‧‧第二進液口

403‧‧‧流量電磁閥

101‧‧‧儲液槽電磁閥

102‧‧‧液位感測器

201‧‧‧進口

202‧‧‧錐形孔

301‧‧‧出液口

圖1顯示為習知技術中電機帶動葉輪方式進行攪拌實現溶劑混合的示意圖。

圖2顯示為習知技術中利用自迴圈泵實現溶劑混合的示意圖。

圖3顯示為本發明實施例提供溶劑混合器結構的示意圖。

圖4顯示為本發明實施例提供初級導流圈截面示意圖。

圖5顯示為本發明實施例提供初級導流圈頂面示意圖。

圖6顯示為本發明實施例提供初級導流圈底面示意圖。

以下結合圖式和具體實施例對本發明進一步詳細說明。根據本案說明書及申請專利範圍，本發明的優點及特徵將更清楚。需說明的是，圖式均採用非常簡化的形式，且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

請參閱圖3，本實施例提供一種溶劑混合器，包括：儲液槽1；將多種液體導入所述儲液槽1的多路進液口；位於所述儲液槽1之下的 初級導流圈2；位於所述初級導流圈2之下的次級錐形圈3；其中，所述儲液槽1的下端設有開口，所述初級導流圈2的上端設有進口201，所述進口201與所述開口對接將所述儲液槽1中的液體導入所述初級導流圈2中，所述初級導流圈2的下端設有多個錐形孔202，所述初級導流圈2中的液體通過所述錐形孔202流出；所述次級錐形圈3的上端與所述初級導流圈2對接使通過所述錐形孔202的液體流入所述次級錐形圈3中，所述次級錐形圈3下端設有出液口301。

所述初級導流圈2本實施例較佳為圓環狀，所述進口201為一個或多個，本實施例為多個，集中設置在所述初級導流圈2上端的一側，所述錐形孔202為上大下小的錐形，分散設置在所述初級導流圈2的下端。作為本發明的較佳方案，所述錐形孔202的上端向所述初級導流圈2的中心傾斜，使所述錐形孔202的中心線與所述初級導流圈2所在平面成小於90度的傾角。

圖4為本實施例提供的初級導流圈截面示意圖，所述儲液槽1中按比例配置的多種不同液體，即預混合液，通過多個進口201進入到初級導流圈2內部，然後再通過分散的錐形孔202將預混合液撒開並旋轉混合。圖5和圖6分別是該初級導流圈的頂面和底面示意圖，其中頂面可見在環形的導流圈的一側設有多個進口201，底面可見向內傾斜的沿環形旋轉分散佈置的錐形孔202。通過這種初級導流圈的特殊設計，可將預混合液進行充分的打散混合。

所述次級錐形圈3較佳為上大下小的圓錐形。上口大下口小的形狀可擴大預混合液接觸面積，使通過初級導流圈旋轉打散的預混合液 再次進行充分混合，預混合液經過多次混合後，可以直接通過出液口301送入清洗槽等需要使用的地方。

作為本發明的較佳方案，所述多路進液口可以包括第一進液口401和第二進液口402如圖3所示，所述第二進液口402可以集中設置于儲液槽1的中部且管口伸入所述儲液槽1內，所述第一進液口401設置於所述第二進液口402的周圍且管口高於所述第二進液口402的管口。

其中，第一進液口401可用於導入大流量的液體，第二進液口402可用於導入常規流量的液體，進液口的選用可根據實際情況而定，例如，在所要混合的化學液體中，需要量大的可以通過大流量進液口導入，需要的量較少的就從常規進液口導入。通過設置不同流量範圍的多路進液口，可以縮短配比時間，提高配比效率。

另外，所述多路進液口，較佳地，均設有流量電磁閥403，分別控制多路進液口的液體流量。通過流量電磁閥403，液體流量可以得到精確控制，多組一起使用可以達到混合液的精確配比，精度高，配比操作簡單。

作為本發明的較佳方案，本實施例的儲液槽1下端開口處設有儲液槽電磁閥101，可以控制通過所述開口的液體流量。當所述儲液槽電磁閥101打開時，所述儲液槽1中的液體通過所述開口流入所述初級導流圈2中，當所述儲液槽電磁閥101完全關閉時，所述儲液槽1中的液體不能通過所述開口流出，從而可讓儲液槽1進行有效儲液，形成有效壓力。

作為本發明的較佳方案，本實施例的儲液槽1還設有液位感測器102，可以檢測儲液槽1中的液位。

作為本發明的較佳方案，本實施例的溶劑混合器還包括控制模組，用於實現液體混合的自動控制。其中，所述控制模組與所述液位感測器102、所述流量電磁閥403和所述儲液槽電磁閥101連接，可以根據所需混合液的配置比例進行設置，通過所述流量電磁閥403控制多路進液口的流量，實現精確配比；並可以根據所述液位感測器102發送的液位信號控制所述儲液槽電磁閥101和所述流量電磁閥403的開啟和關閉。

其中，根據所述液位感測器102發送的液位信號控制所述儲液槽電磁閥101和所述流量電磁閥403的開關時，所述控制模組可以實現三級控制：第一級，當所述儲液槽1中液位低於預設的工作液位時，所述液位感測器102不向所述控制模組發送信號，所述控制模組保持所述儲液槽電磁閥101關閉，讓所述儲液槽1進行有效儲液；第二級，當所述儲液槽1中液位到達預設的工作液位時，所述液位感測器102向所述控制模組發送液位到達工作液位的信號，所述控制模組打開所述儲液槽電磁閥101，使液體依次進入所述初級導流圈2和次級錐形圈3，實現有效混合；第三級，當所述儲液槽1中液位到達預設的警戒液位時，所述液位感測器102向所述控制模組發送液位元到達警戒液位元的信號，所述控制模組強制關閉所有流量電磁閥403，以免造成液位溢出儲液槽1。

此外，所述儲液槽1、初級導流圈2和次級錐形圈3等可以採用聚四氟乙烯耐酸鹼的材料。

綜上所述，本發明的溶劑混合器通過依次對接的儲液槽、初級導流圈和次級錐形圈，可實現多種液體的有效、快速混合，裝置成本低，操作簡單，佔用空間小。結合控制模組可實現精確配比和自動控制，有很 強的實用性。所以，本發明有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。

上述特定實施例之內容係為了詳細說明本發明，然而，該等實施例係僅用於說明，並非意欲限制本發明。熟習本領域之技藝者可理解，在不悖離後附申請專利範圍所界定之範疇下針對本發明所進行之各種變化或修改係落入本發明之一部分。

Claims (10)

1. 一種溶劑混合器，包括：儲液槽；將多種液體導入所述儲液槽的多路進液口；位於所述儲液槽之下的初級導流圈；位於所述初級導流圈之下的次級錐形圈，所述次級錐形圈為上大下小的圓錐形；其中，所述儲液槽的下端設有開口，所述初級導流圈的上端設有進口，所述進口與所述開口對接，所述初級導流圈的下端分散設有多個錐形孔，所述錐形孔為上大下小的錐形；所述次級錐形圈的上端與所述初級導流圈對接，所述次級錐形圈下端設有出液口。
2. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述初級導流圈為圓環狀，所述進口為一個或多個，集中設置在所述初級導流圈上端的一側。
3. 如申請專利範圍第2項所述的溶劑混合器，其中所述錐形孔的上端向所述初級導流圈中心傾斜，使所述錐形孔的中心線與所述初級導流圈所在平面成小於90度的傾角。
4. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述多路進液口包括第一進液口和第二進液口；所述第二進液口集中設置于儲液槽中部且管口伸入所述儲液槽內；所述第一進液口設置於所述第二進液口的周圍且管口高於所述第二進液口的管口。
5. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述多路進液口均設有流量電磁閥，分別控制所述多路進液口的液體流量。
6. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述儲液槽下端開口處設有儲液槽電磁閥。
7. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述儲液槽設有液位感測器，檢測儲液槽中液位。
8. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述多路進液口均設有流量電磁閥，分別控制所述多路進液口的液體流量；所述儲液槽下端開口處設有儲液槽電磁閥；所述儲液槽設有液位感測器，檢測儲液槽中液位；所述溶劑混合器還包括控制模組，所述控制模組與所述液位感測器、所述流量電磁閥和所述儲液槽電磁閥連接，根據所需混合液的配置比例通過所述流量電磁閥控制多路進液口的流量，並根據所述液位感測器發送的液位信號控制所述儲液槽電磁閥和所述流量電磁閥的開啟和關閉。
9. 如申請專利範圍第8項所述的溶劑混合器，其中當所述儲液槽中液位低於預設的工作液位時，所述液位感測器不向所述控制模組發送信號，所述控制模組保持所述儲液槽電磁閥關閉；當所述儲液槽中液位到達預設的工作液位時，所述液位感測器向所述控制模組發送液位到達工作液位的信號，所述控制模組打開所述儲液槽電磁閥；當所述儲液槽中液位到達預設的警戒液位時，所述液位感測器向所述控制模組發送液位到達警戒液位的信號，所述控制模組強制關閉所有流量電磁閥。
10. 如申請專利範圍第1項所述的溶劑混合器，其中所述儲液槽、初級導流圈和次級錐形圈的材料為聚四氟乙烯。