TWI627573B - 感測器以及其製作方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種感測器及其製作方法。首先提供一檢測結構，包括複數個電極群、複數條第一連接線段以及複數條第二連接線段。各電極群包括兩電極組，且各電極組包括複數條電極條。各電極群中的一電極組的電極條透過至少一第二連接線段以串聯方式電性連接成第一電極串，且各電極群中的另一電極組的電極條透過至少一第一連接線段以串聯方式電性連接成一第二電極串。然後，進行檢測步驟，判斷各第一電極串與各第二電極串是否斷路或各第一電極串與對應的第二電極串之間是否發生短路。

Description

感測器以及其製作方法
本發明係關於一種感測器以及其製作方法，尤指一種經過短路與斷路檢測的感測器及其製作方法。
隨著科技日新月異，可攜式電子裝置，例如：智慧型手機(smart phone)、平板電腦(tablet PC)或是筆記型電腦(laptop PC)等，已成為了人們生活中必備之工具。隨著其功能越來越多元，其中通常儲存有個人資料，例如電話簿、相片、個人資訊，具有一定的隱密性。雖然目前已有利用密碼保護的方式來避免電子裝置為他人所使用，但密碼容易泄露或遭到破解，安全性較低。並且，使用者需記住密碼才能使用電子裝置，帶給使用者許多不便。因此，目前另發展出利用辨識個人指紋的方式來達到身份認證的目的。
傳統電容式指紋感測器透過複數條驅動電極以及複數條感應電極所形成的格子狀結構偵測指紋上的波峰與波谷，藉此辨識出指紋的圖案。然而，為了辨識出指紋的波峰與波谷，兩相鄰驅動電極的中央之間的間距以及兩相鄰感應電極的中央之間的間距需至少小於兩相鄰指紋上的波峰與波谷之間的間距，如此一來在形成驅動電極與感應電極時容易發生斷線或短路的問題。有鑑於此，提出可檢測斷線或短路的指紋感測器以及其檢測方法實為業界努力的目標。
在特定的情況下，指紋感測器的結構以及製作方法亦可適用於觸控面板，指紋感測器與觸控面板間的差異在於主要在於任兩相鄰的感應電極條之間的間距。
本發明的目的之一在於提供一種感測器及其製作方法，以在將晶片設置在晶片區的步驟之前，對感測器進行檢測步驟，進而避免浪費晶片，並節省製作成本。
為達上述的目的，本發明提供一種感測器，包括一基板、至少一第一電極群、複數條第一浮接線段、一絕緣層、複數個第二電極群以及複數條第二浮接線段。第一電極群設置於基板上，且第一電極群包括一第一電極組與一第二電極組，第一電極組與第二電極組分別包括複數條第一電極條。第一浮接線段與第一電極群由同一第一導電層所形成，且第一浮接線段與第一電極群絕緣並分隔開。絕緣層設置於第一導電層上。第二電極群設置於絕緣層上，且第二電極群沿著一第二方向依序排列並與第一電極群交錯，各第二電極群包括一第三電極組與一第四電極組，第三電極組與第四電極組分別包括複數條第二電極條。第二浮接線段與第二電極群由同一第二導電層所形成，且第二浮接線段與第二電極群絕緣並分隔開，其中各第二浮接線段的兩端點分別對應各第三電極組中兩相鄰之第二電極條的端點，且各第一浮接線段的兩端點分別對應各第四電極組中兩相鄰之第二電極條的端點。
為達上述的目的，本發明另提供一種感測器的製作方法，包括下列步驟。首先，提供一檢測結構，其中檢測結構包括至少一第一電極群、複數條第一連接線段、一絕緣層、複數個第二電極群以及複數條第二連接線段。第一電極群包括一第一電極組與一第二電極組，其中第一電極組與第二電極組分別包括複數條第一電極條。第一連接線段與至少一第一電極群由同一第一導電層所形成，且第一連接線段與第一電極群絕緣並分隔開。絕緣層設置於第一導電層上。第二電極群設置於絕緣層上，第二電極群沿著一第二方向依序排列並與第一電極群絕緣交錯，其中各第二電極群包括一第三電極組與一第四電極組，且第三電極組與第四電極組分別包括複數條第二電極條。第二連接線段與第二電極群由同一第二導電層所形成，各第二電極群中的第三電極組的第二電極條透過第二連接線段以串聯方式電性連接成一第一電極串，且各第二電極群中的第四電極組的第二電極條透過第一連接線段以串聯方式電性連接成一第二電極串。然後，進行一檢測步驟，分別於各第一電極串的一端以及各第二電極串的一端提供一第一電壓訊號，並分別從各第一電極串的另一端以及各第二電極串的另一端量測對應的一第二電壓訊號，以判斷各第一電極串與各第二電極串是否斷路或各第一電極串與對應的一第二電極串之間是否發生短路。
為達上述的目的，本發明又提供一種感測器，包括一基板、複數條第一電極條、複數條第一線段、複數條第二電極條以及一防護環。第一電極條設置於基板上，且第一電極條沿著一第一方向依序排列。第一線段分別電連接對應的一第一電極條。第二電極條沿著一第二方向依序排列，並與第一電極條絕緣並交錯。防護環設置於該等第一電極條與該等第二電極條的外側，並與第一電極條以及第二電極條絕緣，其中各第一線段在基板的俯視方向上與防護環重疊。
透過本發明感測器的製作方法，可在將晶片黏著於晶片區的接墊上之前檢測出是否有無斷線或短路的問題，藉此可避免因感測器的不良而浪費晶片，進而節省製作成本。
第1圖至第10圖繪示了本發明第一實施例的指紋感測器的製作方法示意圖，其中第1圖繪示了本發明第一實施例定義於基板中的各區域。如第1圖所示，首先提供一基板Sub，其上定義有複數個單元區UC。各單元區UC可包括一元件區DR以及至少一檢測區IR。各元件區DR內可用以設置一指紋感測器，對應的檢測區IR可用以設置檢測指紋感測器的訊號傳送與接收端。元件區DR中還可包括指紋感測區FR、晶片區CR以及周邊區PR，其中指紋感測區FR可用於設置辨識指紋的感測元件，晶片區CR用於設置驅動感測元件的控制晶片，而周邊區PR用於設置周邊線路。基板Sub可為透明基板。舉例來說，透明基板可為玻璃基板、強化玻璃基板、石英基板、藍寶石基板、塑膠基板或印刷電路板(printed circuit board，PCB)，但不限於此。
請參考第2圖，其繪示了本發明第一實施例的檢測結構的俯視示意圖。為清楚顯示各元件區DR中的結構，第2圖與下面圖式僅顯示單一元件區DR中的檢測結構100，但本發明不以此為限。如第2圖所示，基板Sub上形成有一檢測結構100，其包括至少一第一電極群G1以及複數個第二電極群G2。第一電極群G1與第二電極群G2可設置於指紋感測區FR中。第一電極群G1可電連接至複數個第一訊號輸入端SI1以及複數個第一訊號輸出端SO1，以進行檢測。舉例而言，電連接至第一電極群G1的第一訊號輸入端SI1與第一訊號輸出端SO1的數量可分別為兩個，但不限於此。於另一實施例中，檢測結構100也可包括複數個第一電極群G1，以將不同的第一電極群G1分開來進行檢測。第二電極群G2沿著一第二方向D2依序排列並與第一電極群G1交錯且絕緣。各第二電極群G2可分別電連接至複數個第二訊號輸入端SI2以及複數個第二訊號輸出端SO2，以將不同的第二電極群G2分開進行檢測。電連接至各第二電極群G2的第二訊號輸入端SI2與第二訊號輸出端SO2的數量可分別為兩個，但不限於此，亦可為三個以上。
以下將進一步詳述檢測結構100。請參考第3圖，其繪示了本發明第一實施例的第二電極群與對應的導線以及連接線段的俯視示意圖。如第3圖所示，各第二電極群G2可由一第二導電層CL2所形成。各第二電極群G2包括一第三電極組S3與一第四電極組S4，於檢測過程中，可用以傳送不同的訊號，以判別短路與斷路。第三電極組S3與第四電極組S4可分別包括彼此分隔的複數條第二電極條E2。於本實施例中，各第二電極群G2中的第三電極組S3之各第二電極條E2與第四電極組S4之各第二電極條E2係沿著第二方向D2依序交替排列，但不限於此。
此外，檢測結構100可另包括複數條第一連接線段CS1以及複數條第二連接線段CS2。各第一連接線段CS1電性連接各第四電極組S4中兩相鄰之第二電極條E2，且各第二連接線段CS2電性連接各第三電極組S3中兩相鄰之第二電極條E2。於本實施例中，對應同一第二電極群G2的第一連接線段CS1與第二連接線段CS2係位於對應的第二電極群G2的同一側。並且，由於第三電極組S3之各第二電極條E2與第四電極組S4之各第二電極條E2係沿著第二方向D2依序交替排列，因此各第二連接線段CS2會橫跨對應的一條第一連接線段CS1。為了避免第一連接線段CS1與第二連接線段CS2彼此電性連接，第一連接線段CS1係由一第一導電層CL1所形成，而第二連接線段CS2由一第二導電層CL2所形成，但不以此為限。於另一實施例中，第一連接線段CS1與第二連接線段CS2亦可分別由第二導電層CL2與第一導電層CL1所形成。此外，各第二電極群G2中的第三電極組S3的各第二電極條E2可至少透過一第二連接線段CS2以串聯方式電性連接成一第一電極串ES1，且各第二電極群G2中的第四電極組S4的各第二電極條E2可至少透過一第一連接線段CS1以串聯方式電性連接成一第二電極串ES2。舉例而言，當各第一電極串ES1中的第二電極條E2與第二電極串ES1中的第二電極條E2的數量分別為兩條時，各第一電極串ES1可僅透過一條第二連接線段CS2電性連接兩第二電極條E2而成，同理各第二電極串ES2可僅由透過一條第一連接線段CS1電性連接兩第二電極條E2而成。當各第一電極串ES1中的第二電極條E2與各第二電極串ES1中的第二電極條E2的數量分別大於兩條，例如為四條時，對應各第二電極群G2的檢測結構100還可包括至少一條第五連接線段CS5以及至少一條第六連接線段CS6。以第三電極組S3的第二電極條E21、E22、E23與E24為例，除了各第二連接線段CS2可分別連接兩相鄰的第二電極條E21與E22以及兩相鄰的第二電極條E23與E24之外，於第二電極條E21、E22、E23、E24之另一側可更包含電性連接於第二電極條E22與E23之間的第五連接線段CS5，也就是第五連接線段CS5電性連接於不同第二連接線段CS2所連接的兩條第二電極條E22與E23之間，使得第二電極條E21、E22、E23、E24可透過各第二連接線段CS2與第五連接線段CS5串聯，以形成第一電極串ES1。同理，以第四電極組S4的第二電極條E25、E26、E27與E28為例，可更包含電性連接於第二電極條E26與E27之間的第六連接線段CS6，也就是第六連接線段CS6電性連接於不同第一連接線段CS1所連接的兩條第二電極條E26與E27之間，且第六連接線段CS6與第一連接線段CS1分別設置於第二電極條E25、E26、E27與E28的兩相對側。
檢測結構100可另包括複數條第一導線104以及複數條第二導線106。各第一導線104分別與各第三電極組S3中對應的一第二電極條E2電連接，分別用以將各第三電極組S3的各第二電極條E2電連接至對應的接墊P1(圖中未示)。並且，各第二導線106分別與各第四電極組S4中對應的一第二電極條E2電連接，分別用以將各第四電極組S4的各第二電極條E2電連接至對應的接墊P2(圖中未示)。於本實施例中，對應同一第二電極群G2的第一導線104與第二導線106係從所對應的第二電極群G2的同一側延伸出，且為避免對應同一第二電極群G2的第一導線104以及第二導線106在配置上與第一連接線段CS1以及第二連接線段CS2相互影響，因此對應同一第二電極群G2的第一導線104與第二導線106以及第一連接線段CS1與第二連接線段CS2分別位於對應的第二電極群G2的兩相對側。值得一提的是，本實施例中第一導線104與第二導線106可分別由第二導電層CL2與第一導電層CL1所形成，因此相鄰的第一導線104與第二導線106之間的間距可不受圖案化製程的限制，進而可縮減相鄰第一導線104與第二導線106之間的間距，以縮小指紋感測區FR左右兩側的周邊區PR寬度。此外，分別電連接至相鄰第二電極群G2的第一導線104與第二導線106可分別設置於第二電極條的兩側，以將第一導線104與第二導線106均勻分散在指紋感測區FR左右兩側的周邊區PR內。藉此，對應相鄰第二電極群G2的第一連接線段CS1與第二連接線段CS2分別設置於第二電極群CS2的兩側。再者，第五連接線段CS5可連接於兩對應的第一導線104之間，也就是兩條分別連接第二電極條E22與E23的第一導線104之間，並橫跨此兩第一導線104之間的第二導線106。第六連接線段CS6可連接於兩對應的第二導線106之間，也就是兩條分別連接第二電極條E26與E27的第二導線106之間，並橫跨此兩第二導線106之間的第一導線104。於本實施例中，各第五連接線段CS5可與第一導線104由相同的第二導電層CL2所形成，使各第五連接線段CS5可直接橫跨對應的第二導線106而無需額外的橋接線段。各第六連接線段CS6可與第二導線106由相同的第一導電層CL1所形成，使各第六連接線段CS5可直接橫跨對應的第一導線104而無需額外的橋接線段。
請進一步參考第4圖，其繪示了本發明第一實施例的第一電極群與對應的導線以及連接線段的俯視示意圖。如第4圖所示，第一電極群G1可由第一導電層CL1所形成，且第一電極群G1可包括一第一電極組S1與一第二電極組S2，於檢測過程中，可用以傳送不同的訊號，以判別短路與斷路。第一電極組S1與第二電極組S2可分別包括彼此分隔的複數條第一電極條E1。於本實施例中，第一電極組S1之各第一電極條E1與第二電極組S2之各第一電極條E1係沿著第一方向D1依序交替排列，但不以此為限。請同時參考第2圖、第3圖以及第4圖。如第2圖所示，第一電極群G1與各第二電極群G2交錯。如第3圖和第4圖所示，第二電極群G2包含彼此分隔的複數條第二電極條E2，第一電極群G1則包含彼此分隔的複數條第一電極條E1。因此，第一電極條E1與第二電極條E2交錯，使得各第一電極條E1可與各第二電極條E2產生電容耦合。並且，任兩相鄰之第一電極條E1的中心點之間的間距以及任兩相鄰之第二電極條E2的中心點之間的間距可例如為50微米，使各第一電極條E1與各第二電極條E2所形成的耦合電容可偵測出指紋的波峰與波谷的電容值差異，進而達到指紋感測的目的。
檢測結構100可另包括複數條第三連接線段CS3，且各第三連接線段CS3連接第一電極組S1中兩相鄰的第一電極條E1，使得第一電極群G1中第一電極組S1的第一電極條E1可透過第三連接線段CS3以串連方式電性連接成一第三電極串ES3。具體而言，檢測結構100可另包括複數條第七連接線段CS7，分別電連接於任兩相鄰之第三連接線段CS3之間，也就是用以電性連接兩條與不同第三連接線段CS3連接的第一電極條E1，因此第一電極條E1位於第三連接線段CS3與第七連接線段CS7之間。藉此，第一電極組S1的第一電極條E1可透過各第三連接線段CS3與各第七連接線段CS7串聯，以形成第三電極串ES3。
此外，檢測結構100可另包括複數條第四連接線段CS4，且各第四連接線段CS4連接第二電極組S2中兩相鄰的第一電極條E1，使第一電極群G1中的第二電極組S2的第一電極條E1可透過第四連接線段CS4以串連方式電性連接成一第四電極串ES4。第四連接線段CS4與第三連接線段CS3設置於第一電極群G1的同一側，且由於第一電極組S1之各第一電極條E1與第二電極組S2之各第一電極條E1係沿著第一方向D1依序交替排列，因此各第三連接線段CS3分別會橫跨對應的一條第四連接線段CS4。透過將第三連接線段CS3與第四連接線段CS4分別由第一導電層CL1與第二導線層CL2所形成，可將第三連接線段CS3與第四連接線段CS4絕緣，以避免第三連接線段CS3與第四連接線段CS4短路。於另一實施例中，第三連接線段CS3與第四連接線段CS4亦可分別由第二導電層CL2與第一導電層CL1所形成。
檢測結構100還可包括複數條第八連接線段CS8，分別電連接於任兩相鄰之第四連接線段CS4之間，也就是用以電性連接兩條與不同第四連接線段CS4連接的兩第一電極條E1，因此第一電極條E1位於第四連接線段CS4與第八連接線段CS8之間。藉此，第二電極組S2的第一電極條E1可透過各第四連接線段CS4與各第八連接線段CS8串聯，以形成第三電極串ES3。
於本實施例中，檢測結構100可另包括複數條第三導線112，分別電性連接至對應的一第一電極條E1，且沿著第二方向D2將對應的第一電極條E1電連接至對應的接墊P。第三導線112係從第一電極群G1的同一側延伸出，且為避免第三導線112在配置上與第三連接線段CS3以及第四連接線段CS4相互影響，因此第三導線112以及第三連接線段CS3與第四連接線段CS4分別位於第一電極群G1的兩相對側。於本實施例中，第三導線112與第一電極條E1由相同的第一導電層CL1所形成。此外，第七連接線段CS7可連接於兩對應的第三導線112之間，也就是連接於分別連接第一電極組S1中兩相鄰第一電極條E11與E12的兩條第三導線112之間，並橫跨此兩第三導線112之間的第三導線112。第八連接線段CS8可連接於兩對應的第三導線112之間，也就是連接於分別連接第二電極條E13與E14的兩條第三導線112之間，並橫跨此兩第三導線112之間的第三導線112。由於第七連接線段CS7以及第八連接線段CS8與第三導線112位於第一電極群G1的相同側，因此為避免第七連接線段CS7及第八連接線段CS8電連接兩相鄰的第三導線112，第七連接線段CS7與第八連接線段CS8可由相同的第二導電層CL2所形成，使得第七連接線段CS7與第八連接線段CS8可分別直接橫跨對應的第三導線112，而無需額外的橋接線段。於本實施例中，各第七連接線段CS7與各第八連接線段CS8可透過穿孔與對應的第三導線112電性連接。
請參考第5圖與第6圖，第5圖繪示了本發明第一實施例的指紋感測區與部分周邊區內的檢測結構的俯視示意圖，第6圖為沿著第5圖剖線A-A’的剖視示意圖。如第5圖與第6圖所示，第一導電層CL1與第二導電層CL2之間設置有第一絕緣層IN1，因此由第一導電層CL1所形成的第一電極條E1與由第二導電層CL2所形成的第二電極條E2可透過第一絕緣層IN1彼此絕緣。同樣地，由第一導電層CL1所形成的第一連接線段CS1可透過第一絕緣層IN1與由第二導電層CL2所形成的第二連接線段CS2電性絕緣。由第一導電層CL1所形成的第三連接線段CS3可透過第一絕緣層IN1與由第二導電層CL2所形成的第四連接線段CS4電性絕緣。並且，第五連接線段CS5與第六連接線段CS6可分別透過第一絕緣層IN1與所橫跨的第二導線106以及第一導線104電性絕緣。第七連接線段CS7與第八連接線段CS8可分別透過第一絕緣層IN1與所橫跨的第三導線112電性絕緣。此外，由第二導電層CL2所形成的第二電極條E2與由第一導電層CL1所形成的第二導線106可透過第一絕緣層IN1的穿孔彼此相接觸，進而彼此電性連接。同理，上述由第一導電層CL1或第二導電層CL2所形成的連接線段亦可透過第一絕緣層IN1的其他穿孔與對應的電極條或導線電性連接，在此不多贅述。
於本實施例中，檢測結構100可另包括一第二絕緣層IN2以及一覆蓋層102，依序設置於第二導電層CL2上。舉例而言，第一導電層CL1與第二導電層CL2可分別包括金屬、石墨烯或其他導電材料，本發明不以此為限。第一絕緣層IN1、第二絕緣層IN2與覆蓋層102可包括氧化矽、氮化矽或其他絕緣材料，本發明不限於此。
為了將第一電極串ES1與第二電極串ES2分別電連接至第二訊號輸入端SI2與第二訊號輸出端SO2，檢測結構100可另包括複數條第一橋接線BL1、複數條第二橋接線BL2、複數條第三橋接線BL3以及複數條第四橋接線BL4，其中各第一橋接線BL1可分別將各第二電極群G2中的第一電極串ES1的一端電連接至對應的一第二訊號輸入端SI2，各第二橋接線BL2可分別將各第二電極群G2中的第二電極串ES2的一端電連接至對應的一第二訊號輸入端SI2，各第三橋接線BL3可分別將各第二電極群G2中的第一電極串ES1的另一端電連接至對應的一第二訊號輸出端SO2，且各第四橋接線BL4可分別將各第二電極群G2中的第二電極串ES2的另一端電連接至對應的一第二訊號輸出端SO2。須注意的是，除了分別連接至最鄰近檢測區IR的第一導線104與第二導線106的第一橋接線BL1與第二橋接線BL2之外，也就是連接至最遠離晶片區CR的兩個第二電極群G2的第一電極串ES1與第二電極串ES2的第一橋接線BL1與第二橋接線BL2，其餘第一橋接線BL1、第二橋接線BL2、第三橋接線BL3與第四橋接線BL4均會至少橫跨一條第一導線104或一條第二導線106，因此均包括至少一跨接部，可與所橫跨的第一導線104或第二導線106由不同的導電層所形成。舉例來說，連接第二電極群G2的第三橋接線BL3可包括三個第一跨接部108以及三個第二跨接部110，其中第一跨接部108由第一導電層CL1所形成，且第二跨接部110由第二導電層CL2所形成。各第一跨接部108與各第二跨接部110依序交替連接，且各第一跨接部108橫跨對應一第一導線104，各第二跨接部110橫跨對應的一第二導線106。第三橋接線BL3最鄰近檢測區IR的第一跨接部108可延伸至檢測區IR中與第二訊號輸出端SO2連接，且最鄰近指紋感測區FR的第二跨接部110可與第二導線106連接。並且，連接第二電極群G2的第四橋接線BL4可包括四個第一跨接部108以及三個第二跨接部110，且各第二跨接部110設置於任兩相鄰的第一跨接部108之間。本發明並不以此為限。並且，各第一橋接線BL1、各第二橋接線BL2、各第三橋接線BL3與各第四橋接線BL4的第一跨接部108與第二跨接部110的數量可取決於所橫跨的第一導線104與第二導線106的數量，且橫跨的第一導線104與第二導線106的數量可取決於第二電極群G2的位置與第一電極串ES1以及第二電極串ES2中的第二電極條E2的數量。其他第二電極群G2的橋接線可應用上述相同的方式設計，因此在此不多贅述。
此外，檢測結構100可包括至少一條第五橋接線BL5、至少一條第六橋接線BL6、至少一條第七橋接線BL7與至少一條第八橋接線BL8，其中第五橋接線BL5可將第三電極串ES3的一端電連接至一第一訊號輸入端SI1，第六橋接線BL6可將第四電極串ES4的一端電連接至另一第一訊號輸入端SI1，第七橋接線BL7可將第三電極串ES3的另一端電連接至一第二訊號輸出端SO2，且各第八橋接線BL8可分別將第四電極串ES4的另一端電連接至另一第二訊號輸出端SO2。第五橋接線BL5、第六橋接線BL6、第七橋接線BL7與第八橋接線BL8需橫跨第一導線104與第二導線106，因此亦分別包括複數個跨接部。舉例來說，第五橋接線BL5包括五個第一跨接部108以及四個第二跨接部110，各第二跨接部110設置於任兩相鄰的第一跨接部108之間，各第二跨接部110橫跨對應的第二導線106，且位於任兩相鄰之第二跨接部110之間的第一跨接部108橫跨對應一第一導線104。第六橋接線BL6包括四個第一跨接部108以及四個第二跨接部110，各第一跨接部108與各第二跨接部110依序交替連接，各第一跨接部108橫跨對應的一第一導線104，且位於任兩相鄰之第一跨接部108之間的第二跨接部110橫跨對應一第二導線106。第五橋接線BL5、第六橋接線BL6、第七橋接線BL7與第八橋接線BL8的第一跨接部108與第二跨接部110的數量可取決於所橫跨的第一導線104與第二導線106的數量，且橫跨的第一導線104與第二導線106的數量可取決於第二電極群G2的位置與第一電極串ES1以及第二電極串ES2中的第二電極條E2的數量。
檢測結構100還可包括一防護環GR，設置於第一電極條E1、第二電極條E2的外側，且第一連接線段CS1、第二連接線段CS2、第五連接線段CS5、第六連接線段CS6、第一導線104以及第二導線106設置於防護環GR與第一電極條E1以及第二電極條E2之間。
請參考第7圖至第9圖。第7圖繪示了本發明第一實施例的晶片區與部分周邊區內的檢測結構的俯視示意圖，第8圖與第9圖分別為沿著第7圖的剖線B-B’與C-C’的剖視示意圖。如第7圖至第9圖所示，各第一導線104可分別電連接至對應的一接墊P1，且各第二導線106以及各第三導線112可分別電連接至對應的一接墊P2。於本實施例中，各第一導線104、各第二導線106以及各第三導線112可分別延伸至晶片區CR中。第一絕緣層IN1可具有複數個第一穿孔TH1，分別暴露出由第一導電層CL1所形成的第二導線106與第三導線112。第二絕緣層IN2可具有複數個第二穿孔TH2以及複數個第三穿孔TH3。各第二穿孔TH2分別對應第一穿孔TH1設置，以暴露出對應的第二導線106與第三導線112，各第三穿孔TH3分別暴露出由第二導電層CL2所形成第一導線104。並且，接墊P1、P2可包括複數個透明導電墊TC，分別設置於暴露出的第一導線104、第二導線106與第三導線112上，以避免第一導線104、第二導線106與第三導線112受到氧化。透明導電墊TC可由同一透明導電層所形成，且透明導電層可包括例如氧化銦鋅或氧化銦錫等透明導電材料。
於形成檢測結構100之後，進行一檢測步驟，分別於各第一電極串ES1的一端以及各第二電極串ES2的一端提供一第一電壓訊號，也就是分別於各第二訊號輸入端SI2輸入對應的第一電壓訊號，例如5伏特的電壓或具有特定檢測碼的訊號。並且，檢測步驟還分別從各第一電極串ES1的另一端以及各第二電極串ES2的另一端量測對應的一第二電壓訊號，也就是分別從各第二訊號輸出端SO2接收第二電壓訊號。透過量測對應同一條第一電極串ES1以及對應同一條第二電極串ES2的第一電壓訊號與第二電壓訊號可判斷各第一電極串ES1與各第二電極串ES2是否斷路以及各第一電極串ES1與各第二電極串ES2之間是否發生短路。
另外，檢測步驟還包括提供一第三電壓訊號至各第三電極串ES3的一端以及各第四電極串ES4的一端，也就是從各第一訊號輸入端SI1分別提供對應的第三電壓訊號，例如5伏特的電壓或具有特定檢測碼的訊號，並分別從各第三電極串ES3的另一端以及各第四電極串ES4的另一端量測對應的一第四電壓訊號，也就是從各第一訊號輸出端SO1接收對應的第四電壓訊號。透過量測對應同一條第三電極串ES3以及對應同一條第四電極串ES4的第三電壓訊號與第四電壓訊號可判斷各第三電極串ES3與各第四電極串ES4是否斷路以及各第三電極串ES3與各第四電極串ES4之間是否發生短路。值得說明的是，在進行檢測步驟時，晶片區CR的接墊P1、P2上尚未設置有晶片，以避免因檢測出檢測結構100為不良品而造成晶片的浪費。
請參考第10圖，其繪示了本發明第一實施例的指紋感測器的俯視示意圖。如第10圖所示，在檢測步驟完成之後，若各第一電極串ES1、各第二電極串ES2、各第三電極串ES3或各第四電極串ES4有斷路，各第一電極串ES1與各第二電極串ES2之間有短路，或各第一電極串ES1與各第二電極串ES2之間有短路的情況時，判斷此檢測結構100為不良品。於各第一電極串ES1與各第二電極串ES2沒有斷路，且各第一電極串ES1與各第二電極串ES2之間沒有短路時，進行一雷射切割製程，將各第二電極條E2電性絕緣，進而形成本實施例的指紋感測器114。具體而言，雷射切割製程會將各第一連接線段CS1切斷成一第一浮接線段FS1，且將各第二連接線段CS2切斷成一第二浮接線段FS2。並且，當各第一電極串ES1還包括有第五連接線段CS5，且各第二電極串ES2還包括有第六連接線段CS6時，雷射切割製程會再將各第五連接線段CS5切斷成兩第一線段SE1，並將各第六連接線段CS6切斷成兩第二線段SE2。藉此，各第一電極串ES1中的各第二電極條E2以及各第二電極串ES2中的各第二電極條E2可彼此電性絕緣。於本實施例中，各第一浮接線段FS1與各第二浮接線段FS2可與各第二電極條E2電性絕緣並分隔開。各第一線段SE1可分別電連接各第三電極組S3中對應的一第二電極條E2，即各第三電極組S3中非最外側的第二電極條E2。各第二線段SE2可分別電連接各第四電極組S4中對應的一第二電極條E2，即各第三電極組S3中非最外側的第二電極條E2。舉例而言，雷射切割製程可沿著如第5圖所示的切割線CU進行切割，但不以此為限。請同時參考第5圖，由於第一連接線段CS1與第二連接線段CS2是直接透過雷射沿著切割線CU切斷，因此各第二浮接線段FS2的兩端點可分別對應各第三電極組S3中兩相鄰之第二電極條E2的端點，且各第一浮接線段FS1的兩端點可分別對應各第四電極組S4中兩相鄰之第二電極條E2的端點。由於雷射切割製程的切割線CU的寬度可例如為8微米，因此各連接線段從各電極條的端點延伸出的距離可大於雷射切割線CU的寬度。
此外，於第三電極串ES3與第四電極串ES4沒有斷路，且第三電極串ES3與第四電極串ES4之間沒有短路時，雷射切割製程另將各第一電極條E2電性絕緣。具體而言，雷射切割製程會將各第三連接線段CS3切斷成一第三浮接線段FS3，且將各第四連接線段CS4切斷成一第四浮接線段FS4。同時，雷射切割製程還會將各第七連接線段CS7切斷成兩第三線段SE3，並將各第八連接線段CS8切斷成兩第四線段SE4。藉此，第三電極串ES3中的各第一電極條E1以及第四電極串ES4中的各第一電極條E1可彼此電性絕緣。於本實施例中，各第三浮接線段FS3與各第四浮接線段FS4可與各第一電極條E1電性絕緣並分隔開。各第三線段SE3可分別電連接第一電極組S1中對應的一第一電極條E1，即第一電極組S1中非最外側的第一電極條E1。各第四線段SE4可分別電連接第二電極組S2中對應的一第一電極條E1，即第二電極組S2中非最外側的第一電極條E1。由於各第三連接線段CS3與各第四連接線段CS4是直接透過雷射沿著切割線CU切斷，因此各第三浮接線段FS3的兩端點可分別對應第一電極組S1中兩相鄰之第一電極條E1的端點，且各第四浮接線段FS4的兩端點可分別對應第二電極組S2中兩相鄰之第一電極條E1的端點。
再者，雷射切割製程還可選擇性包括對第一橋接線BL1、第二橋接線BL2、第三橋接線BL3、第四橋接線BL4、第五橋接線BL5、第六橋接線BL6、第七橋接線BL7與第八橋接線BL8進行切割，以電性絕緣各第二電極條E2與各第二訊號輸入端SI2以及各第二訊號輸出端SO2。具體而言，第一橋接線BL1可被切割成兩第五線段SE5，其中一第五線段SE5電性連接對應的第一導線104，即與第三電極組S3中最外側的第二電極條E2電性連接的第一導線104。第二橋接線BL2可被切割成兩第六線段SE6，其中一第六線段SE6電性連接對應的第二導線106，即與第四電極組S4中最外側的第二電極條E2電性連接的第二導線106。第三橋接線BL3最鄰近檢測區IR的第一跨接部108可被切割成兩第七線段SE7，其中一第七線段SE7電性連接對應的第一導線104，即與第三電極組S3中最鄰近另一第二電極群G2的第二電極條E2電性連接的第一導線104。第四橋接線BL4最鄰近檢測區IR的第一跨接部108可被切割成兩第八線段SE8，其中一第八線段SE8電性連接對應的第二導線106，即與第四電極組S4中最鄰近另一第二電極群G2的第二電極條E2電性連接的第二導線106。同理，第五橋接線BL5與第八橋接線BL8最鄰近檢測區IR的第一跨接部108可被分別切割成第九線段SE9，且第六橋接線BL6與第七橋接線BL7中最鄰近檢測區IR的第一跨接部108可被分別切割成第十線段SE10。
由於本實施例檢測結構100的檢測步驟是在將晶片設置在晶片區CR的步驟之前，因此透過本實施例製作的指紋感測器114，可在將晶片黏著於晶片區CR的接墊P1、P2上之前檢測出是否有無斷線或短路的問題，藉此可避免因指紋感測器114的不良而浪費晶片，進而節省製作成本。
本發明之指紋感測器以及其製作方法並不以上述實施例為限。為了便於比較第一實施例與其他實施例或變化實施例之間的相異處並簡化說明，在下文之其他實施例或變化實施例中使用相同的符號標注相同的元件，且主要針對各實施例之間之相異處進行說明，而不再對重覆部分進行贅述。
請參考第11圖，第11圖繪示本發明第一實施例的另一變化實施例的指紋感測器的俯視示意圖。如第11圖所示，相較於上述第一實施例，本變化實施例的指紋感測器114’與上述第一實施例的差異在於，各第二電極群G2中的第三電極組S3與第四電極組S4沿著第二方向D2依序排列。換句話說，第三電極組S3的第二電極條E2係為連續排列的第二電極條E2，且第四電極組S4的第二電極條E2亦為連續排列的第二電極條E2，因此第三電極組S3中的任兩相鄰的第二電極條E2之間並未設置有第四電極組S4的第二電極條E2，且第四電極組S4中的任兩相鄰的第二電極條E2之間並未設置有第三電極組S3的第二電極條E2。
請參考第12圖與第13圖，第12圖與第13圖繪示本發明第二實施例的指紋感測器的製作方法示意圖，其中第13圖繪示本發明第二實施例的指紋感測器的俯視示意圖。如第12圖所示，首先提供一基板Sub以及一檢測結構200。於本實施例中，檢測結構200包括複數條第一電極條E1、複數條奇數檢測線段202、複數條偶數檢測線段204與複數條第二電極條E2，設置於基板Sub上。第一電極條E1可包括複數條奇數電極條OE與複數條偶數電極條EE，且各奇數電極條OE與各偶數電極條EE可沿著第一方向D1依序交替排列於指紋感測區FR中。第二電極條E2可沿著第二方向D2排列於指紋感測區FR中，並與第一電極條E1絕緣交錯。第一電極條E1可由第一導電層CL1所形成，第二電極條E2可由第二導電層CL2所形成，且第一導電層CL1與第二導電層CL2之間可設置有第一絕緣層IN1，用以電性絕緣第一電極條E1與第二電極條E2，使各第一電極條E1與各第二電極條E2可形成耦合電容，以偵測出指紋的波峰與波谷的電容值差異，並達到指紋感測的目的。本實施例的第一導電層CL1、第二導電層CL2以及第一絕緣層IN1的配置可與第一實施例相同，如第6圖所示，因此在此不多贅述。並且，各奇數檢測線段202可分別電連接對應的一奇數電極條OE，且奇數檢測線段202電性連接至同一第一訊號端SN1。各偶數檢測線段204分別電連接對應的一偶數電極條EE，且偶數檢測線段204電性連接至同一第二訊號端SN2。因此，各奇數檢測線段202與各偶數檢測線段204可沿著第一方向D1依序交替排列。
檢測結構200還可包括防護環GR，設置於第一電極條E1與第二電極條E2的外側，並與第一電極條E1以及第二電極條E2絕緣，用以作為靜電防護的功用。為了將各奇數檢測線段202電連接至相同的第一訊號端SN1以及將各偶數檢測線段204電連接至相同的第二訊號端SN2，各奇數檢測線段202與各偶數檢測線段204會從指紋感測區FR經過周邊區PR延伸至檢測區IR，因此會橫跨防護環GR，而在基板Sub的俯視方向D3上與防護環GR重疊。於本實施例中，防護環GR可與第二電極條E2由相同的第二導電層CL2所形成，且奇數檢測線段202與偶數檢測線段204可與第一電極條E1由相同的第一導電層CL1所形成，使得奇數檢測線段202以及偶數檢測線段204可透過第一絕緣層IN1與防護環GR電性絕緣，但本發明不限於此。於另一實施例中，奇數檢測線段202、偶數檢測線段204與防護環GR亦可分別由不同的導電層所形成。
於本實施例中，檢測結構200還可包括一第一檢測線210與一第二檢測線212，設置於檢測區IR中的基板Sub上，第一檢測線210將各奇數檢測線段202電性連接至第一訊號端SN1，且第二檢測線212將各偶數檢測線段204電性連接至第二訊號端SN2。第二檢測線212設置於第一檢測線210與防護環GR之間，因此為將各偶數檢測線段204電性連接至第二訊號端SN2，第二檢測線212會橫跨各奇數檢測線段202，但不限於此。於另一實施例中，第一檢測線210亦可設置於第二檢測線212與防護環GR之間，因此為第一檢測線210則會橫跨各偶數檢測線段204。於本實施例中，第二檢測線212與奇數檢測線段202可由不同導電層所形成，以將第二檢測線212與奇數檢測線段202電性絕緣。舉例而言，奇數檢測線段202可由第一導電層CL1所形成，且第二檢測線212可由第二導電層CL2所形成。第一檢測線210可由第一導電層CL1或第二導電層CL2所形成。
於本實施例中，檢測結構200還可包括複數條第三導線214，分別與對應的一第一電極條E1，用以將各第一電極條E1電連接至接墊。第三導線214例如可由第一導電層CL1所形成。
此外，檢測結構200可另包括複數條第一導線216以及複數條第二導線218。第二電極條E2可包括複數條第一子電極條E2a以及複數條第二子電極條E2b。各第一子電極條E2a可分別電連接對應的一第一導線216，且各第二子電極條E2b可分別電連接對應的第二導線218。於本實施例中，每兩第一子電極條E2a與每兩第二子電極條E2b沿著第二方向D2依序交替排列。並且，分別電連接兩相鄰之第一子電極條E2a的兩第一導線216分別設置於第一子電極條E2a的兩側，且分別電連接兩相鄰之第二子電極條E2b的兩第二導線218分別設置於第二子電極條E2b的兩側。透過此配置方式，位於第二電極條E2任一側的各第一導線216與各第二導線218可依序交替排列。透過第一導線216由第二導電層CL2所形成，且第二導線218由第一導電層CL1所形成，相鄰的第一導線216與第二導線218之間的間距可不受圖案化製程的限制，進而可縮減相鄰第一導線216與第二導線218之間的間距，以縮小指紋感測區FR左右兩側的周邊區PR寬度。
再者，檢測結構200可另包括四條第一檢測線段220。各第一檢測線段220分別與位於最外側的兩條第一子電極條E2a與最外側的兩條第二子電極條E2b連接，並從指紋感測區FR經過周邊區PR延伸至檢測區IR。因此，各第一檢測線段220會橫跨防護環GR，而在基板Sub的俯視方向D3上與防護環GR重疊。為與防護環GR絕緣，第一檢測線段220可例如由第一導電層CL1所形成。各第一檢測線段220可將對應的第一子電極條E2a或對應的第二子電極條E2b電連接至對應的一第三訊號輸出端SO3。最外側的第一子電極E2a設置於對應的第一檢測線段220與對應的第一導線216之間，且最外側的第二子電極E2b設置於對應的第一檢測線段220與對應的第二導線218之間。由於分別電連接兩相鄰之第一子電極條E2a的兩第一導線216分別設置於第一子電極條E2a的兩側，因此連接兩相鄰之第一子電極條E2a的第一檢測線段220亦分別設置於第一子電極條E2a的兩側。同樣地，分別電連接兩相鄰之第二子電極條E2b的兩第一檢測線段220亦分別設置於第二子電極條E2b的兩側。
檢測結構200另包括兩條第二檢測線段222以及兩條第三檢測線段224。第二檢測線段222分別與對應最外側兩條第一子電極條E2a的兩條第一導線216連接，並從周邊區PR延伸至檢測區IR，用以將對應的第一子電極條E2a電連接至對應的一第三訊號輸入端SI3。第三檢測線段224分別與對應最外側兩條第二子電極條E2b的兩條第二導線218連接，並從周邊區PR延伸至檢測區IR，用以將對應的第二子電極條E2b電連接至對應的一第三訊號輸入端SI3。舉例而言，第二檢測線段222可由第二導電層CL2所形成，且第三檢測線段224可由第一導電層CL1所形成，因此第三檢測線段224可在不與第一導線216電連接的情況下橫跨最外側的第一導線216。
於完成檢測結構200之後，進行檢測步驟，於第一訊號端SN1提供一第一電壓訊號，並從第二訊號端SN2量測對應的一第二電壓訊號，以判斷各奇數電極條OE與各偶數電極條EE之間是否發生短路。於本實施例中，檢測步驟還會於各第二檢測線段222與各第三檢測線段224提供一第三電壓訊號，並從各第一檢測線段220量測對應的一第四電壓訊號，以判斷各第一子電極條E2a與各第二子電極條E2b是否斷路或各第一子電極條E2a與各第二子電極條E2b之間是否發生短路。
如第13圖所示，於檢測步驟完成之後，若各奇數電極條OE與各偶數電極條EE之間短路，各第一子電極條E2a與各第二子電極條E2b斷路或各第一子電極條E2a與各第二子電極條E2b之間短路的情況時，判斷此檢測結構200為不良品。若上述情況沒有發生時，進行切割製程，將各奇數檢測線段202以及各偶數檢測線段204切斷，以電性絕緣各奇數電極條OE以及各偶數電極條EE，進而形成複數條第一線段226。其中，第一線段226可包括複數條奇數線段與複數條偶數線段，各奇數線段連接各奇數電極條OE，且各偶數線段連接各偶數電極條EE。藉此，可形成本實施例的指紋感測器232。舉例來說，此切割製程可為將檢測區IR的基板Sub與元件區DR的基板Sub切割開的製程或為雷射切割製程。於本實施例中，第一線段226分別電連接對應的一第一電極條E1，且各第一線段226在基板Sub的俯視方向D3上與防護環GR重疊。
此外，切割製程還可將各第一檢測線段220、各第二檢測線段222以及各第三檢測線段224切斷，以形成四條第二線段228以及四條第三線段230。各第二線段228分別與位於最外側的兩條第一子電極條E2a與最外側的兩條第二子電極條E2b連接，且各第三線段230分別與電連接第二線段228的第一導線216以及第二導線218連接。最外側的第一子電極條E2a設置於對應的第二線段228與對應的第一導線216之間，最外側的第二子電極條E2b設置於對應的第二線段228與對應的第二導線218之間。並且，各第二線段228在基板Sub的俯視方向D3上與防護環GR重疊。
請參考第14圖至第16圖，第14圖繪示本發明第三實施例的指紋感測器的俯視示意圖，其中第15圖與第16圖分別為沿著第14圖的剖線D-D’與E-E’的剖視示意圖。如第14圖至第16圖所示，本實施例的指紋感測器300與上述實施例的檢測結構之間的差異在於，各第一電極條E1的兩端與各第二電極條E2的一端以及其對應的第一導線302或第二導線304分別被穿孔暴露出，藉此可直接利用探針PB偵測各第一電極條E1以及各第二電極條E2是否斷路以及第一電極條E1與各第二電極條E2之間是否短路。具體而言，如第15圖所示，第一絕緣層IN1與第二絕緣層IN2可分別具有一穿孔TH4、TH5，且第二絕緣層IN2的穿孔TH4對應第一絕緣層IN1的穿孔TH5，藉此可暴露出由第一導電層CL1所形成的各第一電極條E1的一端。同樣地，對應各第一電極條E1的另一端以及第二導線304的第一絕緣層IN1與第二絕緣層IN2亦可具有相同的結構。第二導線304係於遠離第二電極條E2的一端被暴露出。
如第16圖所示，位於第二導電層CL2上的第二絕緣層IN2可具有另一穿孔TH6，暴露出由第二導電層CL2所形成的第二電極條E2。具體地，各第二電極條E2遠離與對應第一導線302或第二導線304連接的一端會被穿孔TH6暴露出。同樣地，對應各第一導線302的第二絕緣層IN2亦可具有相同的結構。第一導線302係於遠離第二電極條E2的一端被暴露出。
透過於各第一電極條E1的兩端與各第二電極條E2的兩端形成穿孔TH4、TH5、TH6，可直接利用晶圓級的探針PB檢測各第一電極條E1以及各第二電極條E2是否斷路以及各第一電極條E1與各第二電極條E2之間是否短路，因此本實施例的指紋感測器300在檢測後並不需額外的雷射切割製程。由於相鄰第一電極條E1的中心點的間距僅50微米，因此此檢測方式需在具有晶圓級檢測設備的晶圓代工廠內才能進行。
於另一實施例中，上述任一實施例的指紋感測器的結構以及製作方法亦可適用於觸控面板，且與上述實施例的差異在於任兩相鄰的第一電極條E1的中心點之間的間距以及任兩相鄰的第二電極條E2的中心點之間的間距大於指紋感測器的任兩相鄰之第一電極條E1的中心點之間的間距以及任兩相鄰之第二電極條E2的中心點之間的間距。
綜上所述，由於檢測結構或感測器的檢測步驟是在將晶片設置在晶片區的步驟之前，因此透過本發明製作的指紋感測器，可在將晶片黏著於晶片區的接墊上之前檢測出是否有無斷線或短路的問題，藉此可避免因感測器的不良而浪費晶片，進而節省製作成本。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。
100、200‧‧‧檢測結構
102‧‧‧覆蓋層
104、216、302‧‧‧第一導線
106、218、304‧‧‧第二導線
108‧‧‧第一跨接部
110‧‧‧第二跨接部
112、214‧‧‧第三導線
114、114’、232、300‧‧‧指紋感測器
202‧‧‧奇數檢測線段
204‧‧‧偶數檢測線段
210‧‧‧第一檢測線
212‧‧‧第二檢測線
220‧‧‧第一檢測線段
222‧‧‧第二檢測線段
224‧‧‧第三檢測線段
226、SE1‧‧‧第一線段
228、SE2‧‧‧第二線段
230、SE3‧‧‧第三線段
Sub‧‧‧基板
UC‧‧‧單元區
DR‧‧‧元件區
1R‧‧‧檢測區
FR‧‧‧指紋感測區
CR‧‧‧晶片區
PR‧‧‧周邊區
G1‧‧‧第一電極群
G2‧‧‧第二電極群
SI1‧‧‧第一訊號輸入端
SO1‧‧‧第一訊號輸出端
SI2‧‧‧第二訊號輸入端
SO2‧‧‧第二訊號輸出端
D1‧‧‧第一方向
D2‧‧‧第二方向
D3‧‧‧俯視方向
S1‧‧‧第一電極組
S2‧‧‧第二電極組
S3‧‧‧第三電極組
S4‧‧‧第四電極組
E1、E11、E12、E13、E14‧‧‧第一電極條
E2、E21、E22、E23、E24、E25、E26、E27、E28‧‧‧第二電極條
CS1‧‧‧第一連接線段
CS2‧‧‧第二連接線段
CS3‧‧‧第三連接線段
CS4‧‧‧第四連接線段
CS5‧‧‧第五連接線段
CS6‧‧‧第六連接線段
CS7‧‧‧第七連接線段
CS8‧‧‧第八連接線段
ES1‧‧‧第一電極串
ES2‧‧‧第二電極串
ES3‧‧‧第三電極串
ES4‧‧‧第四電極串
P1、P2‧‧‧接墊
CL1‧‧‧第一導電層
CL2‧‧‧第二導電層
IN1‧‧‧第一絕緣層
IN2‧‧‧第二絕緣層
BL1‧‧‧第一橋接線
BL2‧‧‧第二橋接線
BL3‧‧‧第三橋接線
BL4‧‧‧第四橋接線
BL5‧‧‧第五橋接線
BL6‧‧‧第六橋接線
BL7‧‧‧第七橋接線
BL8‧‧‧第八橋接線
GR‧‧‧防護環
TH1‧‧‧第一穿孔
TH2‧‧‧第二穿孔
TH3‧‧‧第三穿孔
TC‧‧‧透明導電墊
FS1‧‧‧第一浮接線段
FS2‧‧‧第二浮接線段
FS3‧‧‧第三浮接線段
FS4‧‧‧第四浮接線段
SE4‧‧‧第四線段
SE5‧‧‧第五線段
SE6‧‧‧第六線段
SE7‧‧‧第七線段
SE8‧‧‧第八線段
SE9‧‧‧第九線段
SE10‧‧‧第十線段
CU‧‧‧切割線
OE‧‧‧奇數電極條
EE‧‧‧偶數電極條
E2a‧‧‧第一子電極條
E2b‧‧‧第二子電極條
TH4、TH5、TH6‧‧‧穿孔
SN1‧‧‧第一訊號端
SN2‧‧‧第二訊號端
SI3‧‧‧第三訊號輸入端
SO3‧‧‧第三訊號輸出端
PB‧‧‧探針
第1圖繪示了本發明第一實施例定義於基板中的各區域。 第2圖繪示了本發明第一實施例的檢測結構的俯視示意圖。 第3圖繪示了本發明第一實施例的第二電極群與對應的導線以及連接線段的俯視示意圖。 第4圖繪示了本發明第一實施例的第一電極群與對應的導線以及連接線段的俯視示意圖。 第5圖繪示了本發明第一實施例的指紋感測區與部分周邊區內的檢測結構的俯視示意圖。 第6圖為沿著第5圖剖線A-A’的剖視示意圖。 第7圖繪示了本發明第一實施例的晶片區與部分周邊區內的檢測結構的俯視示意圖。 第8圖與第9圖分別為沿著第7圖的剖線B-B’與C-C’的剖視示意圖。 第10圖繪示了本發明第一實施例的指紋感測器的俯視示意圖。 第11圖繪示本發明第一實施例的另一變化實施例的指紋感測器的俯視示意圖。 第12圖與第13圖繪示本發明第二實施例的指紋感測器的製作方法示意圖。 第14圖繪示本發明第三實施例的指紋感測器的俯視示意圖。 第15圖與第16圖分別為沿著第14圖的剖線D-D’與E-E’的剖視示意圖。

Claims (25)

  1. 一種感測器，包括：一基板；至少一第一電極群，設置於該基板上，且該至少一第一電極群包括一第一電極組與一第二電極組，該第一電極組與該第二電極組分別包括複數條第一電極條；複數條第一浮接線段，與該至少一第一電極群由同一第一導電層所形成，且該等第一浮接線段與該至少一第一電極群絕緣並分隔開；一絕緣層，設置於該第一導電層上；複數個第二電極群，設置於該絕緣層上，且該等第二電極群沿著一第二方向依序排列並與該至少一第一電極群交錯，各該第二電極群包括一第三電極組與一第四電極組，該第三電極組與該第四電極組分別包括複數條第二電極條；以及複數條第二浮接線段，與該等第二電極群由同一第二導電層所形成，且該等第二浮接線段與該等第二電極群絕緣並分隔開，其中各該第二浮接線段的兩端點分別對應各該第三電極組中兩相鄰之該等第二電極條的端點，且各該第一浮接線段的兩端點分別對應各該第四電極組中兩相鄰之該等第二電極條的端點。
  2. 如請求項1所述的感測器，其中該感測器為一指紋感測器。
  3. 如請求項1所述的感測器，其中該感測器為一觸控面板。
  4. 如請求項1所述的感測器，另包括複數條第一導線以及複數條第二導線，該等第一導線由該第二導電層所形成，且該等第二導線由該第一導電層所形成，其中各該第一導線分別與各該第三電極組中對應的一該第二電極條電連接，且各該第二導線分別與各該第四電極組中對應的一該第二電極條電連接。
  5. 如請求項1所述的感測器，其中各該第二電極群中的該第三電極組之各該第二電極條與該第四電極組之各該第二電極條沿著該第二方向依序交替排列。
  6. 如請求項1所述的感測器，其中各該第二電極群中的該第三電極組與該第四電極組沿著該第二方向依序排列。
  7. 如請求項1所述的感測器，其中該第一電極組之各該第一電極條與該第二電極組之各該第一電極條沿著一第一方向依序交替排列。
  8. 如請求項1所述的感測器，另包括複數個第一線段以及複數個第二線段，該等第一線段由該第一導電層所形成，且該等第二線段由該第二導電層所形成，其中各該第一線段分別電連接各該第三電極組中對應的一該第二電極條，且各該第二線段分別電連接各該第四電極組中對應的一該第二電極條。
  9. 如請求項1所述的感測器，另包括複數條第三浮接線段以及複數條第四浮接線段，該等第三浮接線段由該第一導電層所形成，且該等第四浮接線段由該第二導電層所形成，其中各該第三浮接線段的兩端點分別對應該第一電極組中兩相鄰之該等第一電極條的端點，且各該第四浮接線段的兩端點分別對應各該第二電極組中兩相鄰之該等第一電極條的端點。
  10. 如請求項1所述的感測器，另包括複數個第三線段以及複數個第四線段，該等第三線段由該第一導電層所形成，且該等第四線段由該第二導電層所形成，其中各該第三線段分別電連接該第一電極組中對應的一該第一電極條，且各該第四線段分別電連接該第二電極組中對應的一該第一電極條。
  11. 如請求項1所述的感測器，其中當該感測器在進行檢測時，各該第一浮接線段分別電連接各該第四電極組中兩相鄰之該等第二電極條，且各該第二浮接線段分別電連接各該第三電極組中兩相鄰之該等第二電極條。
  12. 一種感測器製作方法，包括：提供一檢測結構，其中該檢測結構包括：至少一第一電極群，包括一第一電極組與一第二電極組，其中該第一電極組與該第二電極組分別包括複數條第一電極條；以及複數條第一連接線段，與該至少一第一電極群由同一第一導電層所形成，且該等第一連接線段與該至少一第一電極群絕緣並分隔開；一絕緣層，設置於該第一導電層上；複數個第二電極群，設置於該絕緣層上，該等第二電極群沿著一第二方向依序排列並與該至少一第一電極群絕緣交錯，其中各該第二電極群包括一第三電極組與一第四電極組，且該第三電極組與該第四電極組分別包括複數條第二電極條；以及複數條第二連接線段，與該等第二電極群由同一第二導電層所形成，各該第二電極群中的該第三電極組的該等第二電極條透過至少一該第二連接線段以串聯方式電性連接成一第一電極串，且各該第二電極群中的該第四電極組的該等第二電極條透過至少一該第一連接線段以串聯方式電性連接成一第二電極串；以及進行一檢測步驟，分別於各該第一電極串的一端以及各該第二電極串的一端提供一第一電壓訊號，並分別從各該第一電極串的另一端以及各該第二電極串的另一端量測對應的一第二電壓訊號，以判斷各該第一電極串與各該第二電極串是否斷路或各該第一電極串與對應的一該第二電極串之間是否發生短路。
  13. 如請求項12所述的感測器製作方法，其中該感測器為一指紋感測器。
  14. 如請求項12所述的感測器製作方法，其中該感測器為一觸控面板。
  15. 如請求項12所述的感測器製作方法，另包括於各該第一電極串與各該第二電極串沒有斷路，且各該第一電極串與各該第二電極串之間沒有短路時，進行一雷射切割製程，將該等第二電極條電性絕緣。
  16. 如請求項12所述的感測器製作方法，其中該檢測結構另包括複數條第三連接線段以及複數條第四連接線段，該等第三連接線段由該第一導電層所形成，該等第四連接線段由該第二導電層所形成，該至少一第一電極群中的該第一電極組的該等第一電極條與該等第三連接線段以串連方式電性連接成一第三電極串，且該至少一第一電極群中的該第二電極組的該等第一電極條與該等第四連接線段以串連方式電性連接成一第四電極串，且其中該檢測步驟另包括提供一第三電壓訊號至各該第三電極串的一端以及各該第四電極串的一端，並分別從各該第三電極串的另一端以及各該第四電極串的另一端量測對應的一第四電壓訊號。
  17. 如請求項12所述的感測器製作方法，另包括於各該第三電極串與各該第四電極串沒有斷路，且各該第三電極串與各該第四電極串之間沒有短路時進行一雷射切割製程，將該等第一電極條電性絕緣。
  18. 一種感測器，包括：一基板；複數條第一電極條，設置於該基板上，且該等第一電極條沿著一第一方向依序排列；複數條第一線段，分別電連接對應的一該第一電極條；複數條第二電極條，沿著一第二方向依序排列，並與該等第一電極條絕緣並交錯；以及一防護環，設置於該等第一電極條與該等第二電極條的外側，並與該等第一電極條以及該等第二電極條絕緣，其中該等第一線段與該等第一電極條由同一第一導電層所形成，該等第二電極條與該防護環由一第二導電層所形成，且該感測器另包括一絕緣層設置於該第一導電層與該第二導電層之間。
  19. 如請求項18所述的感測器，其中該感測器為一指紋感測器。
  20. 如請求項18所述的感測器，其中該感測器為一觸控面板。
  21. 如請求項18所述的感測器，另包括複數條第一導線以及複數條第二導線，該等第一導線由該第二導電層所形成，且該等第二導線由該第一導電層所形成，其中該等第二電極條包括複數條第一子電極條以及複數條第二子電極條，各該第一子電極條分別電連接對應的一該第一導線，且各該第二子電極條分別電連接對應的一該第二導線。
  22. 如請求項18所述的感測器，其中分別電連接兩相鄰之該等第一子電極條的兩該等第一導線分別設置於該等第一子電極條的兩側，且分別電連接兩相鄰之該等第二子電極條的兩該等第二導線分別設置於該等第二子電極條的兩側。
  23. 如請求項18所述的感測器，另包括四條第二線段，由該第一導電層所形成，各該第二線段分別與位於最外側的兩條該等第一子電極條與最外側的兩條該等第二子電極條連接，最外側的一該第一子電極條設置於對應的一該第二線段與對應的一該第一導線之間，最外側的一該第二子電極條設置於對應的一該第二線段與對應的一該第二導線之間，且各該第二線段在該基板的俯視方向上與該防護環重疊。
  24. 如請求項23所述的感測器，另包括四條第三線段，分別與電連接該等第二線段的該等第一導線以及該等第二導線連接。
  25. 如請求項18所述的感測器，其中該等第一電極條包括複數條奇數電極條與複數條偶數電極條，各該奇數電極條與各該偶數電極條沿著該第一方向依序交替排列，該等第一線段包括複數條奇數線段與複數條偶數線段，當該感測器在進行檢測時，該等奇數線段將該等奇數電極條電性連接至同一第一訊號端，且該等偶數線段將該等偶數電極條電性連接至同一第二訊號端。
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