TWI621913B - 感光性樹脂組成物、其樹脂硬化物及彩色濾光片 - Google Patents

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Abstract

一種感光性樹脂組成物，其是含有顏料、分散劑、顯影樹脂的藍色的感光性樹脂組成物，所述顏料包含酞青顏料與喹吖啶酮顏料。

Description

感光性樹脂組成物、其樹脂硬化物及彩色濾光片
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物、其樹脂硬化物及彩色濾光片。
彩色濾光片一般是形成包含紅(R)、綠(G)、藍(B)此3種顏色的畫素部，以被稱為「拜耳(Bayer)圖案」的排列進行配置的薄板狀的結構。由此而空間地進行色彩分離。若為顯示裝置，則以將此種顏色的光放出至外部的方式而構成，若為攝影元件，則以此種顏色的入射光正確地到達至感測器的方式而構成。
特別是最近技術開發意欲不斷發展的固體攝影裝置是併入有多個微細構件的精密半導體製品。例如，於影像感測器中包含：將入射光轉換為電信號的多個畫素、選擇性讀出各畫素的互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)感測器、進一步通過矽基板內而對自各畫素讀出的信號電荷進行電荷轉移的電荷耦合元件(Charge Coupled Device，CCD)。為了藉由該感測器而適當且高感度地獲得光資訊，亦高度要求彩色濾光片的畫素的色相的調整。由此而存在提出如 下方法的例子：藉由特定的調配而將形成畫素部的著色材料加以混合(參照專利文獻1~專利文獻3)。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2005-181384號公報
[專利文獻2]日本專利特開2009-216952號公報
[專利文獻3]日本專利第4576890號說明書
對於藍色(B)的彩色濾光片畫素部的色相，關於其改善的提案並不多。另一方面，所要求的色相未必一樣。存在根據利用者的喜好而改變的部分。而且，亦根據利用內部的感測器或電路的資訊處理而變得不同。其中，存在如下的可能性：並非於透射藍色的波長區域(約500nm以上)中顯示銳利的透射的有色材料，倒是其透射率朝向長波長側緩緩減少的有色材料。特別是在考慮接近人類眼睛的色彩分離性時，顯示與此種綠色區域的連續吸收的有色材料可以變得有用。
因此，本發明的目的在於提供：於硬化膜的藍色的分光分佈曲線中，500nm附近的斜率顯示傾斜的特定分光分佈的感光性樹脂組成物、其樹脂硬化物及使用其而製作的彩色濾光片。而且，其目的在於提供：可視需要而抑制或防止製成硬化膜時的膜面粗糙的感光性樹脂組成物、其樹脂硬化物及使用其而製作的彩色濾 光片。
所述課題可藉由下述的手段來解決。
[1]一種感光性樹脂組成物，其是含有顏料、分散劑、顯影樹脂的藍色的感光性樹脂組成物，所述顏料包含酞青顏料與喹吖啶酮顏料。
[2]如[1]所述之感光性樹脂組成物，其進一步含有聚合性化合物。
[3]如[1]或[2]所述之感光性樹脂組成物，其中，塗膜的分光特性滿足以下(1)~(4)的全部，(1)波長450nm的透射率為75%以上、(2)波長475nm的透射率為75%以下、(3)波長525nm的透射率為20%以上、(4)波長600nm的透射率為5%以下。
[4]如[1]~[3]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，成為所述顯影樹脂的高分子化合物於分子內具有聚合性基。
[5]如[1]~[4]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，成為所述顯影樹脂的高分子化合物的重量平均分子量為23,000以下。
[6]如[1]~[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，含有所有固體成分中為30質量%以上、80質量%以下的所述顏料。
[7]如[1]~[6]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，相 對於所述酞青顏料100質量份而言，含有1質量份~60質量份的所述喹吖啶酮顏料。
[8]如[1]~[7]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，相對於顏料100質量份而言，含有1質量份~80質量份的所述分散劑。
[9]如[1]~[7]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，相對於顏料100質量份而言，含有1質量份~30質量份的所述顯影樹脂。
[10]如[1]~[9]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，所述酞青顏料為C.I.P.B.15：6。
[11]如[1]~[9]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，所述喹吖啶酮顏料為C.I.P.R.209或C.I.P.R.122。
[12]如[1]~[11]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其中，進一步含有二噁嗪顏料作為所述顏料。
[13]如[12]所述之感光性樹脂組成物，其中，所述二噁嗪顏料為C.I.P.V.23。
[14]如[1]~[13]中任一項所述之感光性樹脂組成物，其為彩色濾光片用。
[15]一種樹脂硬化物，其是塗佈如[1]~[14]中任一項所述之感光性樹脂組成物進行硬化而成。
[16]一種彩色濾光片，其包含如[15]所述之樹脂硬化物而成。
本發明的感光性樹脂組成物於硬化膜的藍色的分光分佈曲線中，500nm附近的斜率顯示更傾斜的特定分光分佈。而且，本發明的感光性樹脂組成物可視需要而抑制或防止製成硬化膜時的膜面粗糙。另外，使用所述感光性樹脂組成物而形成的藍色的樹脂硬化物及彩色濾光片的畫素部具有特有的色相，特別適合於固體攝影元件中。
本發明的所述及其他特徵及優點可由於下述的記載及附隨的圖式而變得更明確。
10‧‧‧固體攝影元件
11‧‧‧上部平坦化膜
12‧‧‧下部平坦化膜
15‧‧‧微透鏡
20‧‧‧彩色濾光片
20B、20G、20R‧‧‧彩色濾光片畫素部
g‧‧‧畫素部的寬度
圖1是本發明的較佳實施形態的固體攝影元件的一部分的剖面圖。
圖2是表示實施例及比較例中所製備的感光性樹脂組成物的硬化膜的分光分佈的圖表。
本發明的彩色濾光片用感光性樹脂組成物具有特有的分光特性，可於固體攝影元件中適宜地應用。而且，亦可抑制或防止根據情況而產生的畫素部的面粗糙的現象，提供高品質的彩色濾光片。關於本發明的感光性樹脂組成物，基於其較佳的實施形態而加以詳細說明，首先對其適宜的應用形態的固體攝影元件加以說明。
[固體攝影元件]
圖1是本發明的較佳實施形態的固體攝影元件的一部分剖面圖。於圖1中僅僅圖示固體攝影元件10的下部平坦化膜12的上側(光入射側)。於其下側包含電路或光接收元件等，但省略圖示。於本實施形態的固體攝影元件10中，包含矽基板(未圖示)上所設的光接收元件(光電二極體)(未圖示)、彩色濾光片20、上部平坦化膜11、微透鏡15等。上部平坦化膜11及下部平坦化膜12未必必須設置。另外，於圖1中，為了使各部分明確，無視相互的厚度或寬度的比率而一部分誇張地進行表示。
彩色濾光片20包含紅(R)、綠(G)、藍(B)的各彩色濾光片畫素部20R、20G、20B。另外，於本說明書中，如上所述地將彩色濾光片的各色的構成單元稱為「畫素部」，將由該畫素部所劃分的區域(圖中的g)稱為「畫素」，存在區別。
彩色濾光片20如上所述地包含2維排列的多個著色畫素部20G、著色畫素部20R、著色畫素部20B。於本實施形態中，於其間並不具有黑色矩陣。各著色畫素部20R、著色畫素部20G、著色畫素部20B分別形成於光接收元件的上方位置。綠色畫素部20G形成為拜耳(Bayer)圖案(棋盤格式樣)，且藍色畫素部20B及紅色畫素部20R形成於各綠色畫素部20G之間。另外，於圖1中，為了說明彩色濾光片20包含3色的畫素部，將各著色畫素部20R、著色畫素部20G、著色畫素部20B排列為1行而進行表示。
上部平坦化膜11以覆蓋彩色濾光片20的上表面的方式而形成，對彩色濾光片表面進行平坦化。微透鏡15是以凸面為上而配 置的聚光透鏡，設於上部平坦化膜11的上方且光接收元件的上方。亦即，沿著光的入射方向，微透鏡、彩色濾光片畫素部及光接收元件串列地排列配置，成為將來自外部的光效率良好地導至各光接收元件的結構。另外，關於光接收元件及微透鏡，省略了詳細的說明，但可適宜利用通常應用於此種製品中的光接收元件及微透鏡。
於本發明中，畫素部的寬度g並無特別限制，為了顯著地表現出其效果，較佳的是5μm以下，更佳的是3μm以下，進一步更佳的是2μm以下，特佳的是1μm以下。下限值並無特別之處，實際上是100nm以上。若言及拜耳圖案的矩形畫素，於俯視中較佳的是5μm□以下，更佳的是3μm□以下，進一步更佳的是2μm□以下，特佳的是1μm□以下。下限值並無特別之處，實際上是100nm□以上。而且，為了使本發明的較佳實施形態的效果顯著，較佳的是各畫素部鄰接。另外，「□(sq)」是指正方形的一邊的長度。
[分光特性]
藉由本發明的較佳實施形態的藍色的感光性樹脂組成物，於其硬化膜中中獲得如下的分光特性：於分光分佈的上升區域具有適度的吸收，峰值透射區域的吸收得到充分抑制。換而言之，可以說是如下的分光特性：於約500nm以上的區域顯示充分的透射，於500nm附近，分光分佈曲線變傾斜。若將該分光分佈進行數值化表示則如下所述。更具體的分光分佈曲線於附隨的圖2中 表示為目標值。
(1)波長450nm的透射率為75%以上
(2)波長475nm的透射率為75%以下
(3)波長525nm的透射率為20%以上
(4)波長600nm的透射率為5%以下
藉由顯示此種分光特性，存在帶來稍廣的入射光的色彩分離的可能性，例如可以理解為有助於具有接近人類眼睛的性能的固體攝影元件的新的設計。另外，分光特性的測定方法若無特別說明，則可利用後述實施例中進行測定的條件。
[樹脂硬化物(彩色濾光片)]
本發明的較佳實施形態的彩色濾光片的各畫素部較佳的是使下述感光性樹脂組成物硬化而成。本實施形態的感光性樹脂組成物含有：顏料(a)、分散劑(b)、顯影樹脂(c)。亦可進一步含有：聚合性化合物(d)、聚合起始劑(e)等。
(a)顏料
於本發明中，作為成為著色劑的顏料，使用酞青顏料與喹吖啶酮顏料。亦可進一步使用二噁嗪顏料。
酞青顏料較佳的是呈藍色者，較佳的是於藍色的感光性樹脂組成物中成為基底的著色劑。酞青顏料可列舉顏料綠7、顏料綠36、顏料綠37、顏料藍16、顏料藍75、或顏料藍15等。其中，較佳的是顏料藍15：6(C.I.P.B.15：6)。
喹吖啶酮顏料可列舉顏料紫19、顏料紫42、顏料紅122、顏 料紅192、顏料紅202、顏料紅207、或顏料紅209等。其中，較佳的是顏料紅122(C.I.P.R.122)或顏料紅209(C.I.P.R.209)。
二噁嗪顏料可列舉顏料紫23、顏料紫37。其中，較佳的是顏料紫23(C.I.P.V.23)。
顏料的平均一次粒徑實際上是10nm以上。作為上限，自獲得更良好的對比度的觀點考慮，較佳的是1μm以下，更佳的是500nm以下，進一步更佳的是200nm以下，進一步更佳的是100nm以下，特佳的是50nm以下。而且，作為表示粒子的單分散性的指標，於本發明中，若無特別說明，則使用體積平均粒徑(Mv)與數量平均粒徑(Mn)之比(Mv/Mn)。顏料微粒子(一次粒子)的單分散性(亦即Mv/Mn)較佳的是1.0~2.0，更佳的是1.0~1.8，特佳的是1.0~1.5。另外，於本發明中，粒子的平均一次粒徑及單分散性是根據由穿透式電子顯微鏡而觀察的影像求出等效圓直徑，設為其500個的評價值。
作為顏料粒子的製備方法，利用通常的方法即可，例如可藉由研磨加以粉碎而進行製備(破壞法)，亦可使用良溶劑與不良溶劑藉由析出而製備(增層法)。關於前者(破壞法)，可使用珠磨機等，藉由通用方法而對顏料粒子進行微細化。例如可參照「日本影像學會雜誌」，第45卷，第5號(2006)第12頁~第21頁的「機械壓碎」之項中所記載的說明。關於後者(增層法)，亦稱為「再沈澱法」等，例如可參照日本專利特開2011-026452號公報、日本專利特開2011-012214號公報、日本專利特開2011-001501 號公報、日本專利特開2010-235895號公報、日本專利特開2010-2091號公報、日本專利特開2010-209160號公報等。
作為感光性樹脂組成物中所含有的著色劑(顏料)的濃度，較佳的是於感光性樹脂組成物的所有固體成分中為10質量%以上，更佳的是20質量%以上，進一步更佳的是30質量%以上。關於上限，並無特別限定，較佳的是80質量%以下，更佳的是60質量%以下。
關於所述酞青顏料與喹吖啶酮顏料的關係而言，較佳的是相對於酞青顏料100質量份而言，含有1質量份以上的喹吖啶酮顏料，更佳的是含有5質量份以上，進一步更佳的是含有10質量份以上，特佳的是含有15質量份以上。作為對上限的規定，較佳的是含有60質量份以下，更佳的是含有40質量份以下，進一步更佳的是含有35質量份以下，進一步更佳的是含有30質量份以下，特佳的是含有25質量份以下。
關於所述酞青顏料與二噁嗪顏料的關係而言，較佳的是相對於酞青顏料100質量份而言，含有0質量份以上的二噁嗪顏料，更佳的是含有5質量份以上，進一步更佳的是10質量份以上，特佳的是含有15質量份以上。作為對上限的規定，較佳的是含有80質量份以下，更佳的是含有70質量份以下，進一步更佳的是含有60質量份以下，進一步更佳的是含有40質量份以下，進一步更佳的是含有30質量份以下，特佳的是含有20質量份以下。
本發明的著色組成物亦可適宜添加公知的無機顏料、有 機顏料、染料等著色劑。
作為無機顏料，可列舉金屬氧化物、金屬錯鹽等中所示的金屬化合物，具體而言可列舉鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等的金屬氧化物，及所述金屬的複合氧化物，碳黑、鈦黑等黑色顏料。
有機顏料例如可列舉：C.I.顏料黃11、C.I.顏料黃24、C.I.顏料黃31、C.I.顏料黃53、C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃93、C.I.顏料黃99、C.I.顏料黃108、C.I.顏料黃109、C.I.顏料黃110、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃147、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃151、C.I.顏料黃154、C.I.顏料黃155、C.I.顏料黃167、C.I.顏料黃180、C.I.顏料黃185、C.I.顏料黃199；C.I.顏料橙36、C.I.顏料橙38、C.I.顏料橙43、C.I.顏料橙71；C.I.顏料紅81、C.I.顏料紅105、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅149、C.I.顏料紅150、C.I.顏料紅155、C.I.顏料紅171、C.I.顏料紅175、C.I.顏料紅176、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅209、C.I.顏料紅220、C.I.顏料紅224、C.I.顏料紅242、C.I.顏料紅254、C.I.顏料紅255、C.I.顏料紅264、C.I.顏料紅270；C.I.顏料紫19、C.I.顏料紫23、C.I.顏料紫32、C.I.顏料紫39；C.I.顏料藍1、C.I.顏料藍2、C.I.顏料藍15、C.I.顏料藍15：1、C.I.顏料藍15：3、C.I.顏料藍15：6、C.I.顏料藍16、C.I.顏料藍22、C.I.顏料藍60、C.I.顏料藍66； C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料綠37、C.I.顏料綠58；C.I.顏料棕25、C.I.顏料棕28；C.I.顏料黑1等。
另外，包含與前文所列舉的顏料相同者是指使用此處所選定者不同的顏料。
公知的染料例如可使用日本專利特開昭64-90403號公報、日本專利特開昭64-91102號公報、日本專利特開平1-94301號公報、日本專利特開平6-11614號公報、日本專利特登2592207號、美國專利4808501號說明書、美國專利5667920號說明書、美國專利505950號說明書、日本專利特開平5-333207號公報、日本專利特開平6-35183號公報、日本專利特開平6-51115號公報、日本專利特開平6-194828號公報等中所揭示的色素。化學結構可使用吡唑偶氮系、吡咯亞甲基系、苯胺基偶氮系、三苯基甲烷系、蒽醌系、苯亞甲基系、氧雜菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、啡噻嗪系、吡咯并吡唑偶氮甲鹼系等染料。而且，染料亦可使用色素多聚體。色素多聚體可列舉日本專利特開2011-213925、日本專利特開2013-041097中所記載的化合物。
(b)分散劑
．高分子分散劑
分散劑可列舉高分子分散劑(例如聚醯胺胺與其鹽、多羧酸與其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質聚胺基甲酸酯、改質聚酯、 改質聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸福馬林縮合物)、及聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺、顏料衍生物等。
高分子分散劑可根據其結構進一步分類為直鏈狀高分子、末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。
高分子分散劑以吸附於顏料的表面，防止再凝聚的方式起作用。因此，可列舉於顏料表面具有增黏部位的末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子作為較佳的結構。另一方面，顏料衍生物具有如下的效果：藉由對顏料表面進行改質而促進高分子分散劑的吸附。
作為本實施形態中可使用的顏料分散劑的具體例，可列舉畢克化學(BYK Chemie)公司製造的「Disperbyk-101(聚醯胺胺磷酸鹽)、Disperbyk-107(羧酸酯)、Disperbyk-110(包含酸基的共聚物)、Disperbyk-130(聚醯胺)、Disperbyk-161、Disperbyk-162、Disperbyk-163、Disperbyk-164、Disperbyk-165、Disperbyk-166、Disperbyk-170(高分子共聚物)」、「BYK-P104、BYK-P105(高分子量不飽和多羧酸)、BYK2001」、埃夫卡(EFKA)公司製造的「EFKA4047、EFKA4050、EFKA4010、EFKA4165(聚胺基甲酸酯系)、EFKA4330、EFKA4340(嵌段共聚物)、EFKA4400、EFKA4402(改質聚丙烯酸酯)、EFKA5010(聚酯醯胺)、EFKA5765(高分子量多羧酸鹽)、EFKA6220(脂肪酸聚酯)、EFKA6745(酞青衍生物)、EFKA6750(偶氮顏料衍生物)」、味之 素精細化學公司製造的「Ajisper PB821、Ajisper PB822」、共榮社化學公司製造的「FLOWLEN TG-710(胺基甲酸酯寡聚物)」、「Polyflow No.50E、Polyflow No.300(丙烯酸系共聚物)」、楠本化成公司製造的「DISPARLON KS-860、DISPARLON 873SN、DISPARLON 874、DISPARLON #2150(脂肪族多元羧酸)、DISPARLON #7004(聚醚酯)、DISPARLON DA-703-50、DISPARLON DA-705、DISPARLON DA-725」、花王公司製造的「DEMOL RN、DEMOL N(萘磺酸福馬林縮聚物)、DEMOL MS、DEMOL C、DEMOL SN-B(芳香族磺酸福馬林縮聚物)」、「HOMOGENOL L-18(高分子多羧酸)」、「EMULGEN 920、EMULGEN 930、EMULGEN 935、EMULGEN 985(聚氧乙烯壬基苯基醚)」、「ACETAMIN 86(硬脂胺乙酸酯)」、路博潤(Lubrizol)公司製造的「Solsperse 5000(酞青衍生物)、Solsperse 22000(偶氮顏料衍生物)、Solsperse 13240(聚酯胺)、Solsperse 3000、Solsperse 17000、Solsperse 20000、Solsperse 27000(於末端部具有功能部的高分子)、Solsperse 24000、Solsperse 28000、Solsperse 32000、Solsperse 38500(接枝型高分子)」、日光化學公司製造的「Nikkol T106(聚氧乙烯山梨醇酐單油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)」等。
．磷酸酯分散劑
作為分散劑，亦較佳的是使用下述式(P1)所表示的磷酸酯化合物。
(式中，RP1表示數量平均分子量為500~10000的聚酯殘基，y表示1~2)
式(P1)所表示的磷酸酯可對於單末端具有羥基的聚酯殘基進行磷酸酯化而獲得。於單末端具有羥基的聚酯殘基可藉由將單醇作為起始劑，進行ε-己內酯等的開環加成而獲得。詳細而言，例如可參照日本專利特開2007-231106號公報的段落[0023]~段落[0040]。
作為分散劑，進一步而言，下述式(P2)所表示的磷酸酯化合物亦較佳。
式(P2)中，RP2及RP3分別獨立地表示氫原子或碳原子數為1~20的烴基，較佳的是碳原子數為1~20的烴基，更佳的是碳原子數為6~20的烴基。
m及1分別獨立地表示1以上、200以下的整數，較佳的是2以上、20以下的整數，更佳的是6以上、20以下的整數。
該些分散劑可單獨使用，亦可將2種以上組合使用。於本實施形態中，特佳的是將顏料衍生物與高分子分散劑組合而使用。
作為分散劑的濃度，較佳的是相對於顏料100質量份而言為1質量份~80質量份，更佳的是5質量份~70質量份，特佳的是10質量份~60質量份。
較佳的是相對於感光性樹脂組成物的所有固體成分而言，分散劑為5質量%以上，更佳的是10質量%以上。上限較佳的是40質量%以下，更佳的是30質量%以下。
藉由將分散劑的量設為所述範圍，感光性樹脂組成物的黏度穩定性良好，且可維持曝光圖案於基板上的密接性而較佳。
另外，於本說明書中，所謂「固形成分(固體成分)」是指在100℃下進行乾燥處理時，並不揮發或並不蒸發而消失的成分。典型而言是指溶劑或分散介質以外的成分。
(c)顯影樹脂
關於本發明的感光性樹脂組成物，較佳的是使用具有聚合性基的高分子化合物作為顯影樹脂。
．含有聚合性基的部位
具有聚合性基的重複單元(含有聚合性基的部位)較佳的是具有丙烯酸基結構。作為成為含有聚合性基的部位的基部的丙烯 酸基結構，較佳的是具有(甲基)丙烯醯基，更佳的是具有(甲基)丙烯醯氧基(CH2=C(R)COO-)或(甲基)丙烯醯基胺基(CH2=C(R)CONRN-)。此處的R是氫原子或甲基。RN依照後述的定義，其中較佳的是氫原子或碳數為1~6的烷基。
聚合性基可列舉乙烯性不飽和鍵基(乙烯基、烯丙基等)、環氧基、氧雜環丁烷基、異氰酸酯基。
作為聚合性基的比例，較佳的是以莫耳共聚比率計而言，於分子中(將總量設為100)為5以上，更佳的是10以上。上限較佳的是50以下，更佳的是40以下。藉由設為此種範圍，可更有效地達成後述的防止膜面粗糙與顯影性的兼顧。
．不含聚合性基的部位
作為不具聚合性基的重複單元(不含聚合性基的部位)，可應用任意的結構，較佳的是以下述式(ED)所表示的化合物(以下有時稱為「醚二聚物」)為單體成分進行聚合而成的重複單元。
式(ED)中，R1及R2分別獨立地表示氫原子或亦可具有取代基的碳數為1~25的烴基。作為R1及R2所表示的亦可具有取代基的碳數為1~25的烴基，並無特別限制，例如可列舉直鏈 狀或分支狀的烷基(較佳的是碳數為1~12，更佳的是1~6，特佳的是1~3)；芳基(較佳的是碳數為6~22，更佳的是6~14)；環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異冰片基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基(較佳的是碳數為3~12，更佳的是3~6)；經烷氧基取代的烷基(較佳的是碳數為2~12，更佳的是2~6，特佳的是2~3)；苄基等經芳基取代的烷基(較佳的是碳數為7~23，更佳的是7~15)等。該些中，特別是如甲基、乙基、環己基、苄基等這樣的難以由於酸或熱而脫離的1級或2級碳的取代基於耐熱性的方面而言較佳。
作為醚二聚物的具體例，可列舉日本專利特開2012-208494號的段落[0565](對應的美國專利申請公開第2012/235099號說明書的[0694])中所記載的醚二聚物的具體例，該些內容併入至本申請案說明書中。
醚二聚物的具體例較佳的是二甲基-2,2'-[氧雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二乙基-2,2'-[氧雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二環己基-2,2'-[氧雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二苄基-2,2'-[氧雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯。
作為使所述醚二聚物聚合而成的重複單元，可列舉如下所述的結構。Me是甲基。*是結合鍵。
[化4]
作為並不具有聚合性基的重複單元(不含聚合性基的部位)，較佳的是將具有2個以上、6個以下羥基的聚合性單體成分聚合而成的重複單元。具體而言，較佳的是將具有下述式(AE)的聚合性單體成分聚合而成的重複單元。
式中，R1及R4分別獨立地表示氫原子、碳數為1~5的亦可經取代的烷基，R2表示碳數為1~4的伸烷基，R3表示碳數為1~40的伸烷基、或單鍵，n表示2以上、6以下的整數。
作為所述式(AE)所表示的單體，可列舉具有乙烯性不飽和雙鍵的多元醇的單酯等，較佳的是丙三醇單(甲基)丙烯酸酯。
於所述式(AE)中，作為其他形態，R2的伸烷基的碳數較佳的是2~3。而且，R3的伸烷基的碳數是1~20，更佳的是1~10。較佳的是R3的伸烷基包含苯環。作為R3所表示的包含苯環的伸烷基，可列舉苄基、2-苯基(異)丙基等。
於本發明中，作為顯影樹脂，亦較佳的是使用下述式 (A1)所表示的化合物共聚而成的高分子化合物。
RA1表示氫原子或甲基。n表示1~15的整數。在n為2以上的情況下，多個RA2可相同亦可不同。m表示0~5的整數。
RA2表示碳數為2或3的伸烷基，在n為2以上的情況下，多個RA2可相同亦可不同。
RA3表示亦可包含芳香族環(苯環)的碳數為1~20的烷基。烷基較佳的是碳數為1~10的烷基。可列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基等。作為包含芳香族環(苯環)的烷基，可列舉1-苯基乙基、1-苯基丙基、1-苯基丁基、1-苯基戊基、1-苯基己基、1-苯基庚基、1-苯基辛基、1-苯基壬基、1-苯基癸基、苄基、2-苯基(異)丙基等。該些中較佳的是苄基、2-苯基(異)丙基。
作為式(A1)所表示的化合物，可列舉苯酚的環氧乙烷(EO)改質(甲基)丙烯酸酯、對枯基苯酚的EO或環氧丙烷(PO)改質(甲基)丙烯酸酯、壬酚的EO改質(甲基)丙烯酸酯、壬酚的PO改質(甲基)丙烯酸酯等。
在將式(A1)所表示的化合物用作顯影樹脂的共聚成分 的情況下，其共聚比例以莫耳共聚比率計，較佳是於分子中(將總量設為100)為5以上，更佳的是10以上。上限較佳的是30以下，更佳的是20以下。
於顯影樹脂的製造中，例如可應用利用公知的自由基聚合法的方法。藉由自由基聚合法製造樹脂時的溫度、壓力、自由基起始劑的種類及其量、溶劑的種類等等聚合條件可由本領域之技術人員容易地設定，亦可實驗性地決定條件。
不含聚合性基的部位的比例，以莫耳共聚比率計，較佳的是於分子中(將總量設為100)為10以上，更佳的是20以上。上限較佳的是80以下，更佳的是70以下。藉由設為此種範圍，可更有效地達成於溶劑中的溶解性。
．鹼可溶性結構部
於顯影樹脂中，較佳的是考慮其鹼可溶性而具有鹼可溶性結構部。作為促進鹼可溶性的基(以下亦稱為「酸基」)，例如可列舉羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羥基等。其中特佳的是(甲基)丙烯酸。
亦可使用可於所述聚合後賦予酸基的單體。在這種情況下，例如較佳的是將具有羥基或環氧基、異氰酸酯基的重複單元併入至樹脂中，將該些基轉換為酸基。作為於聚合後賦予酸基的單體，例如可列舉(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯等具有羥基的單體、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等具有環氧基的單體、(甲基)丙烯酸-2-異氰酸酯基乙酯等具有異氰酸酯基的單體等。
另外，在將可於聚合後賦予酸基的單體作為單體成分而導入酸基的情況下，根據通用方法，需要用以在聚合後賦予酸基的處理。
作為鹼可溶性結構部的比例，以莫耳共聚比率計，較佳的是於分子中(將總量設為100)為10以上，更佳的是20以上。上限較佳的是50以下，更佳的是40以下。藉由設為此種範圍，可使鹼性顯影性提高，更有效地達成矩形圖案的形成性。
於顯影樹脂的製造中，例如可應用利用公知的自由基聚合法的方法。藉由自由基聚合法製造樹脂時的溫度、壓力、自由基起始劑的種類及其量、溶劑的種類等等聚合條件可由本領域之技術人員容易地設定，亦可實驗性地決定條件。
．顯影樹脂的參數
顯影樹脂較佳的是於感光性樹脂組成物中為1質量%以上，更佳的是5質量%以上。作為對上限的規定，較佳的是40質量%以下，更佳的是30質量%以下，進一步更佳的是14質量%以下。
顯影樹脂成分較佳的是所有固體成分的10質量%以上，更佳的是20質量%以上。作為對上限的規定，較佳的是50質量%以下，更佳的是40質量%以下。
較佳的是相對於顏料100質量份而言，含有1質量份以上的顯影樹脂，更佳的是含有3質量份以上，特佳的是含有5質量份以上。作為對上限的規定，較佳的是含有30質量份以下，更佳的是含有25質量份以下，特佳的是含有20質量份以下。
藉由將顯影樹脂設為所述範圍，於使其硬化而形成著色層時難以產生膜收縮，可形成圖案形成性優異、表面粗糙少的著色層。
顯影樹脂的酸值較佳的是10mgKOH/g~200mgKOH/g，更佳的是20mgKOH/g~150mgKOH/g。藉由設為該範圍，變得可減少顯影後的未曝光部的殘渣。
顯影樹脂的重量平均分子量較佳的是23,000以下，更佳的是21,000以下，特佳的是20,000以下。作為對下限的規定，較佳的是3,000以上，特佳的是5,000以上。
於本發明中，所謂「分子量」，若無特別說明，則是指重量平均分子量(Mw)。其測定可藉由凝膠滲透層析法(Gel Permeation Chromatography，GPC)而採用聚苯乙烯換算值。管柱或載體亦可考慮溶解性等而適宜選定。
分子量的測定若無特別說明，則可藉由使用HLC-8220(東曹股份有限公司製造)，使用TSKgel Super AWM-H(東曹股份有限公司製造、6.0mmID×15.0cm)作為管柱，使用10mmol/L溴化鋰NMP(N-甲基吡咯啶酮)溶液作為溶離液，將管柱溫度設為40℃而求出。
於本發明中，較佳的是於顯影樹脂中使用所述具有聚合性基的高分子化合物。其是如下所述的理由。本申請案發明者等人可知如下者作為徹底查明的現象：若併用酞青顏料與喹吖啶酮顏料作為構成1個畫素部的材料，則硬化膜的膜面粗糙。認為該現象是由於酞青顏料與喹吖啶酮顏料等任意者的平面性均高的顏 料共存於膜中，藉由配方，於例如恆溫恆濕下，於酞青顏料彼此之間或喹吖啶酮顏料彼此之間進行締合，引起膜面粗糙。相對於此，根據本發明的較佳實施形態，可藉由使用於分子內具有聚合性基，較佳的是重量平均分子量進一步為23000以下者作為顯影樹脂而解決。該現象可以解釋為藉由如下者而帶來的效果：顯影樹脂在分子內具有聚合性基，因此於膜中形成交聯結構，抑制顏料彼此之間的移動。而且，認為若使其重量平均分子量變低，則均一地分佈於膜中，因此更有效地起作用。
(d)聚合性化合物
聚合性化合物較佳的是具有乙烯性不飽和雙鍵的單體。具有乙烯性不飽和雙鍵的單體(以下有時稱為「多官能單體」)可並無特別限定地使用該些化合物。多官能單體可單獨使用一種，亦可併用2種以上。多官能單體較佳的是(甲基)丙烯酸酯單體。作為該些具體的化合物，可於本實施形態中適宜地使用日本專利特開2009-288705號公報的段落編號0095~段落編號0108中所記載的化合物。
所述多官能單體較佳的是於分子內具有下述反應性基RA者。
(反應性基RA：乙烯基、(甲基)丙烯醯基、或(甲基)丙烯醯氧基)
所述單體進一步可適宜使用下述式(MO-1)~式(MO-7)的任意者所表示的自由基聚合性單體。另外，於式中，在T為氧基 伸烷基的情況下，碳原子側的末端鍵結於R上。
式中，R是於末端具有羥基或乙烯基的基。其中，於分子內具有1個以上乙烯基，乙烯基較佳的是2個以上，更佳的是3個以上。R較佳的是下述R1~R5的任意者的取代基。T為連結基，較佳的是下述T1~T5的任意者或其組合的連結基。Z是連結基，較佳的是下述Z1。Z2是連結基，較佳的是下述式Z2。另外，T1~T5的朝向亦可與式相反。
[化8]
式中，n為整數，較佳的是分別為0~14，更佳的是0~5，特佳的是1~3。m分別為1~8，更佳的是1~5，特佳的是1~3。於一分子內多個存在的R、T及Z可分別相同亦可不同。在T為氧基伸烷基的情況下，碳原子側的末端鍵結於R上。較佳的是R中的至少2個為聚合性基，更佳的是3個為聚合性基。Z3較佳的是碳數為1~12的伸烷基，更佳的是碳數為1~6的伸烷基。其中，特佳的是2,2-丙二基。
作為所述自由基聚合性單體的具體例，可於本實施形態中適宜地使用日本專利特開2007-269779號公報的段落編號0248~段落編號0251中所記載的化合物。
其中，聚合性單體等較佳的是二季戊四醇三丙烯酸酯(市售品是KAYARAD D-330；日本化藥股份有限公司製造)、二季戊四醇四丙烯酸酯(市售品是KAYARAD D-320；日本化藥股份有限公司製造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(市售品是KAYARAD D-310；日本化藥股份有限公司製造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(市售品是KAYARAD DPHA；日本化藥股份有限公 司製造)、及該些的(甲基)丙烯醯基介隔乙二醇、丙二醇殘基的結構，或二甘油EO(環氧乙烷)改質(甲基)丙烯酸酯(市售品是M-460；東亞合成公司製造)。亦可使用該些的寡聚物型。
多官能單體特佳的是選自下述式(i)所表示的化合物及式(ii)所表示的化合物的至少1種。
所述式中，E分別表示-((CH2)yCH2O)-、或-((CH2)yCH(CH3)O)-，較佳的是-((CH2)yCH2O)-。
y分別表示1~10的整數，較佳的是1~5的整數，更佳的是1~3的整數。
X分別表示氫原子、丙烯醯基、甲基丙烯醯基、或羧基。
式(i)中，丙烯醯基及甲基丙烯醯基的合計較佳的是3個或4個，更佳的是4個。
m分別表示0~10的整數，較佳的是1~5的整數。各個m的合計是1~40的整數，較佳的是4~20的整數。
式(ii)中，丙烯醯基及甲基丙烯醯基的合計較佳的是5個或6個，更佳的是6個。
n分別表示0~10的整數，較佳的是1~5的整數。各個n的合計為1~60的整數，較佳的是4~30的整數。
多官能單體亦可具有羧基、磺酸基、磷酸基等酸基。因此，乙烯性化合物在如上所述那樣為混合物的情況下，較佳的是具有未反應的羧基，可直接利用該乙烯性化合物，亦可視需要使上述的乙烯性化合物的羥基與非芳香族羧酸酐反應而導入酸基。在這種情況下，作為所使用的非芳香族羧酸酐的具體例，可列舉四氫鄰苯二甲酸酐、烷基化四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、烷基化六氫鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐、馬來酸酐。
作為具有酸基的單體，是脂肪族多羥基化合物與不飽和羧酸的酯，較佳的是使脂肪族多羥基化合物的未反應的羥基與非芳香族羧酸酐反應而具有酸基的多官能單體，特佳的是於該酯中，脂肪族多羥基化合物為季戊四醇及/或二季戊四醇。作為市售品，例如東亞合成股份有限公司製造的多元酸改質丙烯酸酯寡聚物可列舉ARONIX系列的M-305、M-510、M-520等。
具有酸基的多官能單體的較佳的酸值是0.1mgKOH/g~40mgKOH/g，特佳的是5mgKOH/g~30mgKOH/g。
關於該些多官能單體，其結構、單獨使用還是併用、添加量等使用方法的詳細可根據組成物的最終的性能設計而任意地設定。於本實施形態中，藉由併用官能數不同及/或聚合性基不同 (例如丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯系化合物、乙烯醚系化合物)者而調節感度與強度之兩者的方法亦有效。另外，於可調節組成物的顯影性、獲得優異的圖案形成性的方面而言，較佳的是併用3官能以上、8官能以下且環氧乙烷鏈長不同的多官能單體。而且，對於與組成物中所含有的其他成分(例如聚合起始劑、著色劑(顏料)、樹脂等)的相容性、分散性而言，多官能單體的選擇、使用法是重要的因素，例如有時可藉由使用低純度化合物或併用2種以上而使相容性提高。而且，於可使與基板等的硬質表面的密接性提高的觀點而言，亦可選擇特定的結構。
聚合性化合物的濃度(調配率)較佳的是於感光性樹脂組成物中的所有固體成分中為1質量%以上，較佳的是5質量%以上。關於上限並無特別限制，較佳的是50質量%以下，更佳的是40質量%以下。
(e)聚合起始劑
作為聚合起始劑，只要具有引發所述多官能單體的聚合的能力，則並無特別的限制，可自公知的聚合起始劑中適宜地選擇，例如較佳的是對活性能量線具有感光性者。可為與受到光激發的增感劑產生某些作用，生成活性自由基的活性劑，亦可為如根據單體的種類而引發陽離子聚合般的起始劑。所述聚合起始劑較佳的是含有至少1種於約300nm~800nm(更佳的是330nm~500nm)的範圍內具有至少約50的分子吸光係數的成分。
作為所述聚合起始劑，例如可列舉鹵化烴衍生物(例如 具有三嗪骨架者、具有噁二唑骨架者等)、醯基氧化膦等醯基膦化合物、六芳基聯咪唑、肟衍生物等肟化合物、有機過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮等。
作為所述具有三嗪骨架的鹵化烴化合物，例如可列舉若林等人著、「日本化學學會通報(Bull.Chem.Soc.Japan)」、42、2924(1969)中所記載的化合物、英國專利第1388492號說明書中所記載的化合物、日本專利特開昭53-133428號公報中所記載的化合物、德國專利3337024號說明書中所記載的化合物、F.C.Schaefer等人的「有機化學期刊(J.Org.Chem.)」、29、1527(1964)中所記載的化合物、日本專利特開昭62-58241號公報中所記載的化合物、日本專利特開平5-281728號公報中所記載的化合物、日本專利特開平5-34920號公報中所記載的化合物、美國專利第4212976號說明書中所記載的化合物等。
作為所述美國專利第4212976號說明書中所記載的化合物，例如可列舉具有噁二唑骨架的化合物，日本專利特開昭53-133428號公報、日本專利特公昭57-1819號公報、日本專利特公昭57-6096號公報、及美國專利第3615455號說明書中所記載的化合物等。
作為聚合起始劑，亦可適宜使用羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物、及醯基膦化合物。更具體而言，例如亦可使用日本專利特開平10-291969號公報中所記載的胺基苯乙酮系起始 劑、日本專利第4225898號公報中所記載的醯基氧化膦系起始劑。
羥基苯乙酮系起始劑可使用豔佳固(IRGACURE)-184、德牢固(DAROCUR)-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(商品名；均由巴斯夫公司製造)。胺基苯乙酮系起始劑可使用作為市售品的IRGACURE-907、IRGACURE-369、及IRGACURE-379(商品名；均由巴斯夫公司製造)。胺基苯乙酮系起始劑亦可使用吸收波長與365nm或405nm等長波光源匹配的日本專利特開2009-191179公報中所記載的化合物。而且，醯基膦系起始劑可使用作為市售品的IRGACURE-819或DAROCUR-TPO(商品名；均由巴斯夫公司製造)。
聚合起始劑更佳的是列舉肟系化合物。作為肟系化合物的具體例，可使用日本專利特開2001-233842號中所記載的化合物、日本專利特開2000-80068號中所記載的化合物、日本專利特開2006-342166號中所記載的化合物。
於本實施形態中作為聚合起始劑而適宜使用的肟衍生物等肟化合物例如可列舉3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮、及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。
具體而言，肟系聚合起始劑較佳的是下述式所表示的化合物。另外，可為肟的N-O鍵為(E)體的肟化合物，亦可為(Z) 體的肟化合物，亦可為(E)體與(Z)體的混合物。
成為聚合起始劑的肟化合物較佳的是下述式(OX)所表示者，更佳的是式(OX-1)所表示者。
．A1
A1較佳的是式(OX-1)的-A-C或烷基。烷基較佳的是碳數為1~12，更佳的是1~6。烷基亦可具有後述的取代基O。而且，取代基O亦可介隔後述的連結基L而進行取代。
．R
R表示一價的取代基，較佳的是一價的非金屬原子團。所述一價的非金屬原子團可列舉烷基(較佳的是碳數為1~12、更佳的是1~6、特佳的是1~3)、芳基(較佳的是碳數為6~14、更佳的是6~10)、醯基(較佳的是碳數為2~12、更佳的是2~6、特佳的是2~3)、芳醯基(較佳的是碳數為7~15、更佳的是7~11)、烷氧基羰基(較佳的是碳數為2~12、更佳的是2~6、特佳的是2~3)、芳氧基羰基(較佳的是碳數為7~15、更佳的是7~11)、雜環基(較佳的是碳數為2~12、更佳的是2~6)、烷基硫基羰基(較佳的是碳數為2~12、更佳的是2~6、特佳的是2~3)、芳基硫基羰基(較佳的是碳數為7~15、更佳的是7~11)等。而且， 該些基亦可具有1個以上取代基。而且，前述取代基亦可進一步被其他取代基O取代。取代基O可列舉鹵素原子、烷基(較佳的是碳數為1~12、更佳的是1~6、特佳的是1~3)、芳基(較佳的是碳數為6~14、更佳的是6~10)等。取代基O亦可經由任意的連結基L(碳數為1~6的伸烷基、O、S、CO、NRN、或該些的組合；RN是氫原子或碳數為1~6的烷基)而進行取代。
．B
B表示一價的取代基，表示烷基(較佳的是碳數為1~12)、芳基(較佳的是碳數為6~14、更佳的是碳數為6~10)、雜環基(較佳的是碳數為2~18、更佳的是碳數為2~12)。該些基亦可經由連結基L而進行鍵結。而且，該些基亦可具有1個以上的取代基O。取代基O亦可經由任意的連結基L而進行取代。B的具體的基可列舉下述者。*表示鍵結位置，亦可於不同的位置進行鍵結。而且，該些基亦可進一步連結取代基O。具體而言可列舉苯甲醯基、苯硫基、苯氧基。
．A
A是單鍵或連結基。連結基的較佳例是所述連結基L或伸芳基(較佳的是碳數為6~14、更佳的是碳數為6~10)或雜環連結 基(較佳的是芳香族雜環連結基)(較佳的是碳數為2~18、更佳的是碳數為2~12)。
．C
C表示SAr或COAr。
．Ar
Ar是芳基或雜芳基(芳香族雜環基)。芳基較佳的是碳數為6~14，更佳的是碳數為6~10，較佳的是苯基、萘基。雜芳基較佳的是碳數為2~18，更佳的是碳數為2~12，較佳的是亦可於N位具有烷基等取代基的咔唑基。
肟起始劑可參考日本專利特開2012-208494號公報的段落0513(對應的美國專利申請公開第2012/235099號說明書的[0632])以後的式(OX-1)、式(OX-2)或式(OX-3)所表示的化合物的說明，該些內容併入至本申請案說明書中。
以下表示所適宜使用的肟化合物的具體例(PIox-1)~具體例(PIox-13)，但本發明並不限定於該些具體例。
[化12]
肟化合物具有作為由於熱而分解，引發聚合、促進聚合的熱聚合起始劑的功能。於本發明中，作為其帶來良好的結果的理由，認為是由於自由基產生效率良好，因此即使是少的添加量 亦可良好地進行光聚合。
肟化合物較佳的是於350nm~500nm的波長區域具有極大吸收波長，更佳的是於360nm~480nm的波長區域具有吸收波長，特佳的是365nm及455nm的吸光度高。
自感度的觀點考慮，肟化合物於365nm或405nm的莫耳吸光係數較佳的是1,000~300,000，更佳的是2,000~300,000，特佳的是5,000~200,000。化合物的莫耳吸光係數可使用公知的方法，具體而言例如較佳的是藉由紫外可見分光光度計(瓦里安(Varian)公司製造的Carry-5 spectrophotometer)，使用乙酸乙酯溶劑，於0.01g/L的濃度下進行測定。
肟化合物亦可適宜使用IRGACURE OXE01、及IRGACURE OXE02等市售品(均為巴斯夫公司製造)。
聚合起始劑亦可視需要組合使用2種以上。作為聚合起始劑於感光性樹脂組成物中的濃度(在2種以上的情況下為總濃度)，較佳的是相對於感光性樹脂組成物的所有固體成分而言為0.1質量%~20質量%的範圍，更佳的是0.5質量%~10質量%的範圍，特佳的是1質量%~8質量%的範圍。若為該範圍內，則獲得良好的感度與圖案形成性。
亦可以聚合起始劑的自由基產生效率的提高、感光波長的長波長化的目的而含有增感劑。作為可於本實施形態中使用的增感劑，較佳的是相對於聚合起始劑而言，以電子移動機構或能量移動機構使其增感者。
作為增感劑，例如可列舉日本專利特開2008-32803號公報的段落編號0101~段落編號0154中所記載的化合物。
作為所述組成物中的增感劑的濃度，在調配的情況下，自於深部的光吸收效率與引發分解效率的觀點考慮，以固體成分換算計，較佳的是0.1質量%~20質量%，更佳的是0.5質量%~15質量%。
增感劑可單獨使用1種，亦可併用2種以上。
(f)顏料衍生物
亦較佳的是感光性樹脂組成物含有顏料衍生物。顏料衍生物較佳的是下述式Q1或式Q2所表示者。
式中，Q表示有機色素殘基。XQ1表示氫原子、羧基、或磺酸基。RQ1及RQ2分別獨立地表示亦可具有取代基的烷基(較佳的是碳數為1~12，更佳的是1~6，特佳的是1~3)。i、j、n分別獨立地表示1~4的整數。ZQ1表示羥基、烷氧基、或下述式Q3所表示的取代基。XQ2表示單鍵、SO2、CO、或CH2。
[化14]
RQ1、RQ2、n、XQ2與式Q1同義。
有機色素殘基Q例如可列舉二酮基吡咯并吡咯色素，偶氮、雙偶氮、多偶氮等偶氮色素，酞青色素，二胺基二蒽醌、蒽嘧啶、黃士酮、蒽嵌蒽醌、陰丹酮、皮蒽酮、紫蒽酮等蒽醌色素，二噁嗪色素、紫環酮色素、苝色素、硫代靛藍色素、異吲哚啉色素、異吲哚啉酮色素、喹酞酮色素、士林色素、金屬錯合物色素的各殘基。
(g)其他
感光性樹脂組成物亦可含有其他成分。其他成分可列舉溶劑、界面活性劑、UV吸收劑、聚合抑制劑、密接促進劑等。
．溶劑
感光性樹脂組成物一般可使用溶劑而構成。溶劑若滿足各成分的溶解性或感光性樹脂組成物的塗佈性則基本上並無特別限制，特佳的是考慮紫外線吸收劑、黏合樹脂的溶解性、塗佈性、安全性而選擇。而且，於製備感光性樹脂組成物時，較佳的是包含至少2種溶劑。
作為溶劑，酯類例如可適宜列舉乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、 氧基乙酸烷基酯(例如：氧基乙酸甲酯、氧基乙酸乙酯、氧基乙酸丁酯(例如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-氧基丙酸烷基酯類(例如：3-氧基丙酸甲酯、3-氧基丙酸乙酯等(例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-氧基丙酸烷基酯類(例如：2-氧基丙酸甲酯、2-氧基丙酸乙酯、2-氧基丙酸丙酯等(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧基丁酸甲酯、2-側氧基丁酸乙酯等，以及醚類例如可適宜列舉二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚乙酸酯、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯等，以及酮類例如可適宜列舉甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等，以及芳香族烴類例如可適宜列舉二甲苯等。
自塗佈性的觀點考慮，溶劑於感光性樹脂組成物中的濃度較佳的是使組成物的所有固體成分濃度成為5質量%~80質量%的量，更佳的是5質量%~60質量%，特佳的是10質量%~50質量%。
．界面活性劑
自使塗佈性進一步提高的觀點考慮，亦可於所述組成物中添加各種界面活性劑。界面活性劑可使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽酮系界面活性劑等各種界面活性劑。作為界面活性劑的添加量，在調配的情況下，較佳的是相對於組成物的總質量而言為0.001質量%~2質量%，更佳的是0.005質量%~1質量%。
．聚合抑制劑
為了於組成物的製造中或保存中阻止多官能單體的不必要的熱聚合，理想的是添加少量的聚合抑制劑。聚合抑制劑可列舉對苯二酚、對甲氧基苯酚、鄰甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、鄰苯三酚、第三丁基兒茶酚、苯醌、4,4'-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥胺三價鈰鹽等。另外，感光性樹脂組成物亦可以使增感色素或起始劑對活性放射線的感度進一步提高、或者抑制由於氧所造成的多官能單體的聚合阻礙等目的而含有共增感劑。而且，為了改良硬化皮膜的物性，亦可視需要加入稀釋劑、塑化劑、感脂化劑等公知的添加劑。作為使用聚合抑制劑的情況下的添加量，較佳的是於著色感光性樹脂組成物中的所有固體成分中為0.001質量%~0.015質量%的範圍，更佳的是0.03質量%~0.09質量%。
．密接促進劑
作為使用密接促進劑的情況下的添加量，較佳的是於著色感 光性樹脂組成物中的所有固體成分中為0.1質量%~5質量%的範圍，更佳的是0.2質量%~3質量%。
．紫外線吸收劑
感光性樹脂組成物亦可含有紫外線吸收劑。紫外線吸收劑可使用水楊酸酯系、二苯甲酮系、苯并三唑系、經取代的丙烯腈系、三嗪系的紫外線吸收劑。在包含紫外線吸收劑的情況下，紫外線吸收劑的濃度較佳的是相對於所有固體成分的質量而言為0.001質量%以上、1質量%以下，更佳的是0.01質量%以上、0.1質量%以下。
另外，於本說明書中，關於化合物的表示(例如附於化合物與末尾稱呼時)，使用如下的含義：除了該化合物之外，包含其鹽、其離子。而且，是如下的含義：包含在起到所期望的效果的範圍內，導入取代基等使一部分變化的衍生物。
於本說明書中，關於未記明經取代、未經取代的取代基(關於連結基亦同樣)，是於其基中亦可具有任意取代基的含義。關於未記明經取代、未經取代的化合物，亦與其同義。較佳的取代基可列舉下述取代基T。
取代基T可列舉下述者。
烷基(較佳的是碳原子數為1~20的烷基，例如甲基、乙基、異丙基、第三丁基、戊基、庚基、1-乙基戊基、苄基、2-乙氧基乙基、1-羧基甲基等)、烯基(較佳的是碳原子數為2~20的烯基，例如乙烯基、烯丙基、油烯基等)、炔基(較佳的是碳原子數為2 ~20的炔基，例如乙炔基、丁二炔基、苯基乙炔基等)、環烷基(較佳的是碳原子數為3~20的環烷基，例如環丙基、環戊基、環己基、4-甲基環己基等)、芳基(較佳的是碳原子數為6~26的芳基，例如苯基、1-萘基、4-甲氧基苯基、2-氯苯基、3-甲基苯基等)、雜環基(較佳的是碳原子數為2~20的雜環基，更佳的是具有至少1個氧原子、硫原子、氮原子的5員環或6員環的雜環基，例如四氫吡喃、四氫呋喃、2-吡啶基、4-吡啶基、2-咪唑基、2-苯并咪唑基、2-噻唑基、2-噁唑基等)、烷氧基(較佳的是碳原子數為1~20的烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、異丙氧基、苄氧基等)、芳氧基(較佳的是碳原子數為6~26的芳氧基，例如苯氧基、1-萘氧基、3-甲基苯氧基、4-甲氧基苯氧基等)、烷氧基羰基(較佳的是碳原子數為2~20的烷氧基羰基，例如乙氧基羰基、2-乙基己氧基羰基等)、芳氧基羰基(較佳的是碳原子數為6~26的芳氧基羰基，例如苯氧基羰基、1-萘氧基羰基、3-甲基苯氧基羰基、4-甲氧基苯氧基羰基等)、胺基(較佳的是碳原子數為0~20的胺基，包含烷基胺基、芳基胺基，例如胺基、N,N-二甲基胺基、N,N-二乙基胺基、N-乙基胺基、苯胺基等)、胺磺醯基(較佳的是碳原子數為0~20的胺磺醯基，例如N,N-二甲基胺磺醯基、N-苯基胺磺醯基等)、醯基(較佳的是碳原子數為1~20的醯基，例如乙醯基、丙醯基、丁醯基等)、芳醯基(較佳的是碳原子數為7~23的芳醯基，例如苯甲醯基等)、醯氧基(較佳的是碳原子數為1~20的醯氧基，例如乙醯氧基等)、芳醯基氧基(較佳的 是碳原子數為7~23的芳醯基氧基，例如苯甲醯氧基等)、胺甲醯基(較佳的是碳原子數為1~20的胺甲醯基，例如N,N-二甲基胺甲醯基、N-苯基胺甲醯基等)、醯基胺基(較佳的是碳原子數為1~20的醯基胺基，例如乙醯基胺基、苯甲醯基胺基等)、烷硫基(較佳的是碳原子數為1~20的烷硫基，例如甲硫基、乙硫基、異丙硫基、苄硫基等)、芳硫基(較佳的是碳原子數為6~26的芳硫基，例如苯硫基、1-萘硫基、3-甲基苯硫基、4-甲氧基苯硫基等)、烷基磺醯基(較佳的是碳原子數為1~20的烷基磺醯基，例如甲基磺醯基、乙基磺醯基等)、芳基磺醯基(較佳的是碳原子數為6~22的芳基磺醯基，例如苯磺醯基等)、烷基矽烷基(較佳的是碳原子數為1~20的烷基矽烷基，例如單甲基矽烷基、二甲基矽烷基、三甲基矽烷基、三乙基矽烷基等)、芳基矽烷基(較佳的是碳原子數為6~42的芳基矽烷基，例如三苯基矽烷基等)、磷酸基(較佳的是碳原子數為0~20的磷酸基，例如-OP(=O)(RP)2)、膦醯基(較佳的是碳原子數為0~20的膦醯基，例如-P(=O)(RP)2)、氧膦基(較佳的是碳原子數為0~20的氧膦基，例如-P(RP)2)、(甲基)丙烯醯基、(甲基)丙烯醯氧基、羥基、氰基、鹵素原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等)。
而且，該些取代基T中所列舉的各基亦可進一步經所述取代基T取代。
化合物或取代基、連結基等包含烷基、伸烷基、烯基、伸烯基、炔基、伸炔基等時，該些可為環狀亦可為鏈狀，而且可為直 鏈亦可分支，可如上所述地經取代亦可未經取代。
本說明書中所規定的各取代基亦可在起到本發明的效果的範圍內插入下述連結基L而進行取代。例如，烷基、伸烷基、烯基、伸烯基等亦可進一步在結構中插入下述雜連結基。
連結基L較佳的是烴連結基[碳數為1~10的伸烷基(更佳的是碳數為1~6、進一步更佳的是1~3)、碳數為2~10的伸烯基(更佳的是碳數為2~6、進一步更佳的是2~4)、碳數為2~10的伸炔基(更佳的是碳數為2~6、進一步更佳的是2~4)、碳數為6~22的伸芳基(更佳的是碳數為6~10)]、雜連結基[羰基(-CO-)、硫羰基(-CS-)、醚基(-O-)、硫醚基(-S-)、亞胺基(-NRN-)、亞胺連結基(RN-N=C<、-N=C(RN)-)]、或該些組合而成的連結基。另外，在縮合而形成環的情況下，所述烴連結基亦可適宜形成雙鍵或三鍵而進行連結。所形成的環較佳的是5員環或6員環。5員環較佳的是含氮的5員環，作為成為該環的化合物，若加以例示，則可列舉吡咯、咪唑、吡唑、吲唑、吲哚、苯并咪唑、吡咯啶、咪唑啶、吡唑啶、吲哚啉、咔唑、或該些的衍生物等。6員環可列舉哌啶、嗎啉、哌嗪、或該些的衍生物等。而且在包含芳基、雜環基等時，該些可為單環亦可為縮環，同樣地亦可經取代亦可未經取代。
RN是氫原子或取代基。取代基較佳的是烷基(較佳的是碳數為1~24，更佳的是1~12，進一步更佳的是1~6，特佳的是1~3)、烯基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳 的是2~6，特佳的是2~3)、炔基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳的是2~6，特佳的是2~3)、芳烷基(較佳的是碳數為7~22，更佳的是7~14，特佳的是7~10)、芳基(較佳的是碳數為6~22，更佳的是6~14，特佳的是6~10)。
RP是氫原子、羥基、或取代基。取代基較佳的是烷基(較佳的是碳數為1~24，更佳的是1~12，進一步更佳的是1~6，特佳的是1~3)、烯基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳的是2~6，特佳的是2~3)、炔基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳的是2~6，特佳的是2~3)、芳烷基(較佳的是碳數為7~22，更佳的是7~14，特佳的是7~10)、芳基(較佳的是碳數為6~22，更佳的是6~14，特佳的是6~10)、烷氧基(較佳的是碳數為1~24，更佳的是1~12，進一步更佳的是1~6，特佳的是1~3)、烯氧基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳的是2~6，特佳的是2~3)、炔氧基(較佳的是碳數為2~24，更佳的是2~12，進一步更佳的是2~6，特佳的是2~3)、芳烷氧基(較佳的是碳數為7~22，更佳的是7~14，特佳的是7~10)、芳氧基(較佳的是碳數為6~22，更佳的是6~14，特佳的是6~10)。
於本說明書中，構成連結基的原子的數量較佳的是1~36，更佳的是1~24，進一步更佳的是1~12，特佳的是1~6。連結基的連結原子數較佳的是10以下，更佳的是8以下。下限是1以上。所述「連結原子數」是指連結規定的結構部間的路徑，參與連結 的最少的原子數。例如，在-CH2-C(=O)-O-的情況下，構成連結基的原子的數量成為6，連結原子數成為3。
具體而言，連結基的組合可列舉以下者。氧基羰基(-OCO-)、碳酸酯基(-OCOO-)、醯胺基(-CONH-)、胺基甲酸酯基(-NHCOO-)、脲基(-NHCONH-)、(聚)伸烷基氧基(-(Lr-O)x-)、羰基(聚)氧基伸烷基(-CO-(O-Lr)x-、羰基(聚)伸烷基氧基(-CO-(Lr-O)x-)、羰氧基(聚)伸烷基氧基(-COO-(Lr-O)x-)、(聚)伸烷基亞胺基(-(Lr-NRN)x-)、伸烷基(聚)亞胺基伸烷基(-Lr-(NRN-Lr)x-)、羰基(聚)亞胺基伸烷基(-CO-(NRN-Lr)x-)、羰基(聚)伸烷基亞胺基(-CO-(Lr-NRN)x-)、(聚)酯基(-(CO-O-Lr)x-、-(O-CO-Lr)x-、-(O-Lr-CO)x-、-(Lr-CO-O)x-、-(Lr-O-CO)x-)、(聚)醯胺基(-(CO-NRN-Lr)x-、-(NRN-CO-Lr)x-、-(NRN-Lr-CO)x-、-(Lr-CO-NRN)x-、-(Lr-NRN-CO)x-)等。x是1以上的整數，較佳的是1~500，更佳的是1~100。
Lr較佳的是伸烷基、伸烯基、伸炔基。Lr的碳數較佳的是1~12，更佳的是1~6，特佳的是1~3。多個Lr或RN、RP、x等無需相同。連結基的朝向並不由所述記載而受到限定，可理解為適宜地根據規定的化學式的朝向。
(感光性樹脂組成物的製備)
關於感光性樹脂組成物的製備態樣，並無特別限制，例如可將必須成分、及視需要而併用的各種添加劑加以混合而製備。
(硬化膜及其製造方法)
組成物硬化而成的硬化膜的色純度高，以薄層獲得高的吸光係數，堅牢性(特別是耐熱性及耐光性)良好。由於此種優點，較佳的是於固體攝影元件或液晶顯示裝置用彩色濾光片的著色畫素的形成中使用。
硬化膜的製造方法包含將感光性樹脂組成物應用於基板上的步驟、對所述感光性樹脂組成物進行曝光的步驟。具體而言，於任意的基板或基材上形成硬化膜時，可塗佈感光性樹脂組成物、或將基板等浸漬於感光性樹脂組成物中而形成感光性樹脂組成物層，使其硬化。而且，在形成圖案狀的硬化膜的情況下，可藉由噴墨記錄方法而應用於基板上，亦可應用印花或平板印刷等公知的印刷法，自可形成高精細的圖案的觀點考慮，較佳的是後述的於基板上形成感光性樹脂組成物層，曝光為圖案狀之後，進行顯影而將感光性樹脂組成物層的未曝光部除去的方法。
樹脂硬化膜的膜厚例如較佳的是0.2μm以上，更佳的是0.3μm以上，特佳的是0.5μm以上。上限較佳的是2μm以下，更佳的是1.55μm以下，特佳的是1μm以下。
於本說明書中，膜的厚度若無特別說明，則為使用接觸式膜厚測定器(Dektak150；布魯克公司製造)而測定的值。其中，取樣是測定5點的值的平均。
彩色濾光片及其製造方法：
彩色濾光片的製造方法於其一例中包含：將感光性樹脂組成物應用於基板上的步驟、對所述感光性樹脂組成物進行圖案曝光 的步驟。具體而言包含：於支撐體上應用已述的感光性樹脂組成物而形成感光性樹脂組成物層的步驟(以下亦稱為「感光性樹脂組成物層形成步驟」)、介隔遮罩對所述感光性樹脂組成物層進行圖案曝光的步驟(以下亦稱為「曝光步驟」)、對曝光後的感光性樹脂組成物層進行顯影而形成著色圖案(以下亦稱為「著色畫素」)的步驟(以下亦稱為「顯影步驟」)。
．曝光步驟
於本發明的製造方法的較佳實施形態中，對所述感光性樹脂組成物照射曝光能量，對其曝光部分進行顯影而形成樹脂硬化物的圖案。於本實施形態中，於所述曝光之前，於支撐體等之上賦予感光性樹脂組成物而形成感光性樹脂組成物層。支撐體例如可使用於基板(例如矽基板)上設有電荷耦合元件(Charge Coupled Device，CCD)或互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal-Oxide Semiconductor，CMOS)等的攝影元件(光接收元件)的固體攝影元件用基板。著色圖案可形成於固體攝影元件用基板的攝影元件形成面側(表面)，亦可形成於攝影元件未形成面側(背面)。於固體攝影元件用基板中的各攝影元件之間、或固體攝影元件用基板之背面亦可設有遮光膜。而且，為了改良與上部的層的密接、防止物質擴散或使基板表面平坦化，亦可視需要於支撐體上設置下塗層。
作為於支撐體上應用感光性樹脂組成物的方法，可應用狹縫塗佈、噴墨法、旋轉塗佈、流延塗佈、輥塗、絲網印刷法等 各種塗佈方法。支撐體上所塗佈的感光性樹脂組成物層的乾燥(預烘烤)可藉由加熱板、烘箱等在50℃~140℃的溫度下進行10秒~300秒。
於曝光步驟中，使用例如步進機等曝光裝置，介隔具有規定的遮罩圖案的遮罩而對感光性樹脂組成物層進行圖案曝光。所述曝光能量的照射較佳的是藉由照射選自g射線、h射線、i射線、KrF射線(準分子雷射線)、及ArF射線(準分子雷射線)的活性能量線而進行。所述曝光能量的照度較佳的是5000W/m2以上，更佳的是7000W/m2以上，特佳的是8000W/m2以上。作為對上限的規定，較佳的是18000W/m2以下，更佳的是15000W/m2以下，特佳的是10000W/m2以下。藉由設為該範圍的照射能量，可獲得良好的圖案的解析度。
曝光裝置等若適宜利用通常的曝光裝置即可，例如可使用縮小投影曝光裝置。於投影曝光裝置中，例如自特定光源所發出的活性能量線經由聚光透鏡(condenser lens)而入射至投影透鏡(projection lens)。於本投影光學系統中，於聚光透鏡之前或之後設置附有規定圖案的遮罩，成為規定圖案的活性能量線到達投影透鏡。此時，較佳的是將聚光透鏡側的數值孔徑(NA1)、投影透鏡側的數值孔徑(NA2)等條件適宜地設定為所期望的範圍。透過縮小投影光學系統的活性能量線自其相反側射出，照射至曝光基板(工件(work))。藉由該活性能量線的照射，該基板上的感光性樹脂組成物層受到曝光，較佳的是負型(曝光硬化性)者， 其曝光部分硬化。關於投影透鏡的出射側的數值孔徑(NA3)，亦較佳的是適宜設定為所期望的範圍。
．顯影步驟
其次，藉由進行鹼性顯影處理等顯影，曝光步驟中的光未照射部分的感光性樹脂組成物層溶出至鹼性水溶液中，僅僅殘留光硬化的部分。作為顯影液，理想的是並不對基底的攝影元件或電路等產生損傷的有機鹼性顯影液。顯影溫度通常為20℃~30℃，顯影時間例如為20秒~90秒。為了進一步除去殘渣，近年來亦存在實施120秒~180秒的情況。另外，為了進一步提高殘渣除去性，亦存在反覆進行數次如下步驟的情況：每隔60秒甩去顯影液，進一步重新供給顯影液的步驟。
作為鹼性水溶液，適宜的是以濃度成為0.001質量%~10質量%、較佳的是0.01質量%~5質量%的方式溶解鹼性化合物而製備的鹼性水溶液。
鹼性化合物例如可列舉氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、苄基三甲基氫氧化銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯等(其中較佳的是有機鹼)。
另外，在使用鹼性水溶液作為顯影液的情況下，一般於顯影後藉由水實施清洗處理。
．後烘烤
其次，較佳的是於實施乾燥後進行加熱處理(後烘烤)。較佳的是形成多種顏色的著色圖案，可按照每種顏色順次反覆進行所述步驟而製造硬化皮膜。藉此而獲得彩色濾光片。後烘烤是用以使硬化的進行完全的顯影後的加熱處理。自抑制有機光電轉換部的損傷的觀點考慮，該加熱溫度較佳的是240℃以下，更佳的是220℃以下，進一步更佳的是200℃以下，特佳的是190℃以下。下限並無特別之處，但若考慮有效率且有效果的處理，則較佳的是進行50℃以上的熱硬化處理，更佳的是100℃以上。
該後烘烤處理可對顯影後的塗佈膜，以成為所述條件的方式使用加熱板或對流烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱機等加熱機構，藉由連續式或分批式而進行。
亦可藉由紫外線(ultraviolet，UV)照射使彩色濾光片的畫素硬化而代替所述利用加熱進行的後烘烤。此時，UV硬化劑較佳的是可藉由比曝光波長365nm(即為了進行通常的利用i射線曝光的微影步驟而添加的起始劑的曝光波長)更短波的波長而硬化者。UV硬化劑例如可列舉汽巴豔佳固(Ciba Irgacure)2959(商品名)。作為UV照射光的具體波長，較佳的是340nm以下。波長的下限值並無特別之處，一般為220nm以上。而且，UV照射的曝光量較佳的是100mJ~5000mJ，更佳的是300mJ~4000mJ，進一步更佳的是800mJ~3500mJ。為了更有效地進行低溫硬化，較佳的是於微影步驟之後進行該UV硬化步驟。曝光光源較佳的是使用無臭氧水銀燈。
較佳的是於低氧濃度的環境下進行所述感光性樹脂組成物的後烘烤。該氧濃度較佳的是19%(體積基準)以下，更佳的是15%(體積基準)以下，進一步更佳的是10%(體積基準)以下，進一步更佳的是7%(體積基準)以下，特佳的是3%(體積基準)以下。下限並無特別之處，實際上是10ppm(體積基準)以上。
．應用形態
本發明的較佳實施形態的彩色濾光片可於液晶顯示裝置或固體攝影元件或有機EL裝置中使用，特別適於固體攝影用途。本發明的較佳實施形態的固體攝影元件已經基於圖1而進行了敍述，例如可列舉如下所述的構成。於支撐體上具有構成固體攝影元件(CCD影像感測器、CMOS影像感測器等)的光接收區域的多個光電二極體及包含多晶矽等的傳送電極，於所述光電二極體及所述傳送電極上具有僅僅對光電二極體的光接收部開口的包含鎢等的遮光膜，於遮光膜上具有以覆蓋遮光膜整個面及光電二極體光接收部的方式所形成的包含氮化矽等的元件保護膜，於所述元件保護膜上具有固體攝影元件用彩色濾光片的構成。另外，亦可為於所述元件保護層上、且彩色濾光片之下(接近支撐體之側)具有聚光機構(例如微透鏡等；下同)的構成，或於彩色濾光片上具有聚光機構的構成等。
[實施例]
以下，藉由實施例對本發明加以進一步具體的說明，但 本發明並不限定於此而進行解釋。另外，若無特別說明，則「份」、「%」是質量基準。
(實施例1)
<使用(A1)酞青系藍色顏料的分散液P1的製備>
將包含C.I.顏料藍15：6 11.8份、下述顏料衍生物1 1.2份、作為分散劑的Solsperse 20000(固體成分為100%)5.2份、作為溶劑的丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)81.8份的混合物加以均一攪拌混合後，使用直徑為0.5mm的氧化鋯顆粒，藉由珠磨機(附有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE股份有限公司製造))而進行5小時分散，製備顏料分散液P1。
<使用(A2)喹吖啶酮系洋紅色顏料的分散液P2的製備>
將包含C.I.顏料紅209 11.8份、下述的顏料衍生物2 1.2份、作為分散劑的Solsperse 20000(固體成分為100%)5.2份、作為 溶劑的PGMEA 81.8份的混合物加以均一攪拌混合後，使用直徑為0.5mm的氧化鋯顆粒，藉由珠磨機(附有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE股份有限公司製造))而進行5小時分散，製備顏料分散液P2。
<使用其他顏料的分散液P3的製備>
將包含C.I.顏料紫23 11.8份、下述的顏料衍生物3 1.2份、作為分散劑的Solsperse 20000(固體成分為100%)5.2份、作為溶劑的PGMEA 81.8份的混合物加以均一攪拌混合後，使用直徑為0.5mm的氧化鋯顆粒，藉由珠磨機(附有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE股份有限公司製造))而進行5小時分散，製備顏料分散液P3。
[化17] 顏料衍生物3
<藍色著色感光性組成物的製備>
取分散液P1 46.8份、分散液P2 7.5份、分散液P3 3.0份、作為顯影樹脂的下述的樹脂A(40%PGMEA溶液)5.5份、A-DPH-12E(新中村化學工業股份有限公司製造)3.6份、IRGACURE OXE 01(1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)-,2-(O-苯甲醯肟)]、巴斯夫日本股份有限公司製造)1.7份、對甲氧基苯酚0.01份、美佳法(Megafac)F781(迪愛生(DIC)股份有限公司製造)的1.0% PGMEA溶液4.2份、PGMEA 27.7份，將該些加以混合、攪拌後，藉由孔徑為0.45μm的尼龍製過濾器(日本頗爾股份有限公司製造)進行過濾，製備著色組成物。
樹脂A：利用將東洋凸版的「對枯基苯酚環氧乙烷改質 丙烯酸酯(ARONIX M110)」與karenz MOI加成的下述合成法而 得的五元系聚合物
於反應容器中加入環己酮570份，一面於容器中注入氮氣一面加熱至80℃，於同溫度下以1小時滴加甲基丙烯酸23.0份、甲基丙烯酸甲酯23.0份、甲基丙烯酸苄酯35.0份、對枯基苯酚環氧乙烷改質丙烯酸酯(東亞合成股份有限公司製造的「ARONIX M110」)22.0份、甘油單甲基丙烯酸酯48.0份、2,2'-偶氮雙異丁腈3.0份的混合物而進行聚合反應。於滴加結束後，進一步於80℃下進行3小時的反應，然後添加於環己酮50份中溶解有偶氮雙異丁腈1.0份者，進一步於80℃下繼續1小時的反應，獲得透明樹脂共聚物溶液。其次，對於所得的透明樹脂共聚物溶液336份，於70℃下以3小時滴加2-甲基丙烯醯基乙基異氰酸酯(karenz MOI)33.0份、十二酸二丁基錫0.4份、環己酮130.0份的混合物而獲得感光性透明樹脂溶液。冷卻至室溫後，對感光性透明樹脂溶液取樣約2g而於180℃下進行20分鐘的加熱乾燥，測定不揮發成分，於先前所合成的感光性透明樹脂溶液中，以不揮發成分成為20質量%的方式添加環己酮而製備感光性樹脂溶液。所得的樹脂A的重量平均分子量Mw為21000，雙鍵當量為470。
另外，所謂「雙鍵當量」，是成為樹脂中所含的乙烯性雙鍵量的尺度的值。表示每1mol乙烯性雙鍵的樹脂的重量(單位為g/mol)，雙鍵當量的值越小，則樹脂中的乙烯性雙鍵的濃度越高。雙鍵當量可藉由合成時的各單體的調配量而求出。
[化19]
關於所得的組成物，進行以下的評價。
<分光特性的評價>
藉由旋塗機，以成為膜厚0.8μm的塗佈膜的方式將上述組成物塗佈於7.5cm×7.5cm的玻璃基板上之後，使用加熱板，於100℃下進行2分鐘的加熱乾燥，其次於200℃下進行5分鐘的加熱，進行塗佈膜的硬化而形成著色層。
藉由MCPD-3000(大塚電子公司製造)對所得的著色層形成基板進行分光測定，評價波長450nm、475nm、525nm、600nm的透射率。測定溫度為25℃。對各試樣測定5個樣品，採用其平均值。
如下所述地進行該判定。
判定點的第一點可藉由是否為各波長的透射率的目標上限值及下限值的範圍內而進行區分。藉此而判斷是C還是B以上。C 於實用上變得不適當。
判定點的第二點可藉由成為透射率降低的區域的傾斜的程度而進行區分。關於B以上者，對T475(波長475nm的透射率)與T525(波長525nm的透射率)相對於上限值及下限值而言離開何種程度進行數值化而判定。具體而言，使用下述式所定義的值而判定。
△T=(T475-75)+(20-T525)…數學式A
AA：△T≦15%
A：15%<△T≦20%
B：20%<△T
<表的註釋>
試驗No.：以c開頭者為比較例
顏料A：酞青系藍色顏料
顏料B：喹吖啶酮系洋紅色顏料
Txxx：波長xxx nm的透射率
[化20]
各實施例的調配量是以在顏料的總量中變得與試驗101相同的方式進行設定，顏料A、顏料B、其他顏料的比率亦與試驗101一致。其中，試驗c103、試驗c104在顏料濃度中成為表中( )的調配比率(質量份)。
分散劑1：Solsperse 20000
分散劑2：磷酸酯系分散劑
<合成方法>
於在三口圓底燒瓶上安裝有冷凝管、氮氣導入管、攪拌機的 反應容器中，裝入十二醇18.6g(Nacalai Tesque股份有限公司製造)、ε-己內酯單體57.1g(和光純藥股份有限公司製造)、鈦酸四丁酯0.06g(東京化成股份有限公司製造)，藉由氮氣對反應容器內進行置換後，於120℃下進行3小時的加熱攪拌。藉由1H-NMR確認內酯單體消失。將反應溶液冷卻至室溫後，與正磷酸換算含量為116%的多磷酸8.45g加以混合，緩緩進行升溫，於80℃下進行6小時的加熱攪拌，獲得R3的數量平均分子量為760、y=1與y=2的存在比為100：12的磷酸酯系分散劑2。所得的磷酸酯系分散劑的酸值為166。
分散劑3：下述結構
根據所述結果可知：藉由本發明的感光性樹脂組成物，關於其硬化膜，顯示分光分佈曲線的500nm附近的斜率更緩和的特有的分光特性。另外，於圖2中將實施例、比較例的一部分與設計目標的關係製成圖表而進行表示。
(實施例2)
其次，為了確認顏料的比率的影響，改變其比率而進行同樣的試驗。將結果表示於表2中。
<表的註釋>
與表1同義
(實施例3)
其次，為了確認顯影樹脂的影響，改變該樹脂的種類進行同樣的試驗。其中，關於本實施例，追加膜面粗糙的試驗，評價其改善效果。將結果表示於表3中。
<膜面粗糙評價>
繼而，使用高加速度壽命試驗裝置(愛斯佩克(ESPEC)公司製造的EHS-221)，於溫度85℃、濕度85%的條件下對著色層形成基板實施100小時的高溫高濕試驗。
對於高溫高濕試驗後的玻璃基板，使用光學顯微鏡(奧林巴司公司製造的MX-50)，在反射200倍的條件下目視評價凝聚異物。對各試樣測定5個樣品，採用其平均值。將結果表示於以下 的表中。
-評價基準-
AA：完全無凝聚異物的產生。
A：產生極其少數(於5個視野區域內為5個以上、不足25個)的凝聚異物。
B：產生少數(於5個視野區域內為25個以上、不足100個)的凝聚異物。
C：產生大量(於5個視野區域內為100個以上)的凝聚異物。
樹脂1：所述樹脂A
樹脂2
<合成方法>
於單體的滴加用容器中，準備加入有二甲基-2,2'-[氧雙(亞甲 基)]雙-2-丙烯酸酯13g、甲基丙烯酸苄酯63g、甲基丙烯酸甲酯15g、甲基丙烯酸38g、過氧-2-乙基己酸第三丁酯2g、二乙二醇二甲醚32g的溶液，於鏈轉移劑的滴加用容器中，準備加入有正十二烷基硫醇6g、二乙二醇二甲醚20g的溶液。於反應容器中加入二乙二醇二甲醚188g，進行氮氣置換後，進行加熱而使反應容器的溫度升至90℃。確認溫度穩定後，自單體滴加容器與鏈轉移劑滴加容器開始滴加，在保持為90℃的溫度的狀態下以140分鐘結束單體及鏈轉移劑的滴加。自滴加結束後60分鐘後，進一步進行升溫，使反應容器的溫度升至110℃，於該狀態下以110℃維持180分鐘。其後，藉由空氣對反應容器內進行置換。其次，於反應容器中加入甲基丙烯酸縮水甘油酯41g、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)0.2g、三乙胺0.4g，於110℃的溫度下使其反應9小時。於反應結束後加入二乙二醇二甲醚27份，於室溫下進行冷卻而獲得樹脂2。樹脂2的重量平均分子量為12000。雙鍵當量為440。
樹脂3
<合成方法>
於反應容器中加入環己酮370g，一面於容器中裝入氮氣一面加熱至80℃，於同溫度下加入甲基丙烯酸20.0g、甲基丙烯酸甲酯10.0g、甲基丙烯酸正丁酯55.0g、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯15.0g、2,2'-偶氮雙異丁腈4.0g之後，於80℃下進行3小時的反應。其後，添加於環己酮50g中溶解有偶氮雙異丁腈1.0g者，進一步於80℃下繼續1小時的反應。於冷卻至室溫後，以不揮發成分成 為20質量%的方式添加環己酮而獲得樹脂3。樹脂3的重量平均分子量為40000。
<表的註釋>
*( )是表1中的試驗編號
其他與表1同義
根據所述結果可知：於本發明的感光性樹脂組成物中，關於其中所調配的樹脂，藉由選定適宜的數值，即使在可產生膜面粗糙的情況下，亦可抑制或防止其產生。
基於該實施態樣對本發明加以說明，但我們認為只要沒有特別指定，則在說明的任何細節部分中都不對我們的發明作出限定，應並不違背附隨的申請專利範圍中所示之發明的精神與範圍地廣泛地進行解釋。
本申請案主張基於2013年9月3號於日本提出專利申請之日本專利特願2013-182286的優先權，該些內容於此進行參照而將其內容作為本說明書之記載的一部分而併入於本說明書。

Claims (15)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其是含有顏料、分散劑、顯影樹脂的藍色的感光性樹脂組成物，所述顏料包含酞青顏料與喹吖啶酮顏料，其中成為所述顯影樹脂的高分子化合物於分子內具有聚合性基，成為所述顯影樹脂的高分子化合物的重量平均分子量為23,000以下。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其進一步含有聚合性化合物。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，塗膜的分光特性滿足以下(1)~(4)的全部，(1)波長450nm的透射率為75%以上、(2)波長475nm的透射率為75%以下、(3)波長525nm的透射率為20%以上、(4)波長600nm的透射率為5%以下。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其進一步含有顏料衍生物，所述顏料衍生物是下述式Q1或式Q2所表示的化合物： 式中，Q表示有機色素殘基，XQ1表示氫原子、羧基、或磺酸基，RQ1及RQ2分別獨立地表示亦可具有取代基的烷基，i、j、n分別獨立地表示1~4的整數，ZQ1表示羥基、烷氧基、或下述式Q3所表示的取代基，XQ2表示單鍵、SO2、CO、或CH2； RQ1、RQ2、n、XQ2與式Q1同義。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，含有所有固體成分中為30質量%以上、80質量%以下的所述顏料。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，相對於所述酞青顏料100質量份而言，含有1質量份~60質量份的所述喹吖啶酮顏料。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，相對於顏料100質量份而言，含有1質量份~80質量份的所述分散劑。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，相對於顏料100質量份而言，含有1質量份~30質量份的所述顯影樹脂。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，所述酞青顏料為C.I.P.B.15：6。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，所述喹吖啶酮顏料為C.I.P.R.209或C.I.P.R.122。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中，進一步含有二噁嗪顏料作為所述顏料。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之感光性樹脂組成物，其中，所述二噁嗪顏料為C.I.P.V.23。
  13. 如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述之感光性樹脂組成物，其為彩色濾光片用。
  14. 一種樹脂硬化物，其是塗佈如申請專利範圍第1項至第13項中任一項所述之感光性樹脂組成物進行硬化而成。
  15. 一種彩色濾光片，其包含如申請專利範圍第14項所述之樹脂硬化物而成。
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