TWI606972B - 槽車與槽車儲存槽 - Google Patents
槽車與槽車儲存槽 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI606972B TWI606972B TW104120975A TW104120975A TWI606972B TW I606972 B TWI606972 B TW I606972B TW 104120975 A TW104120975 A TW 104120975A TW 104120975 A TW104120975 A TW 104120975A TW I606972 B TWI606972 B TW I606972B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- tank
- hole
- storage
- liquid
- storage tank
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P3/00—Vehicles adapted to transport, to carry or to comprise special loads or objects
- B60P3/22—Tank vehicles
- B60P3/224—Tank vehicles comprising auxiliary devices, e.g. for unloading or level indicating
- B60P3/226—Arrangements of access openings or covers therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P3/00—Vehicles adapted to transport, to carry or to comprise special loads or objects
- B60P3/22—Tank vehicles
- B60P3/224—Tank vehicles comprising auxiliary devices, e.g. for unloading or level indicating
- B60P3/225—Adaptations for pumps or valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P3/00—Vehicles adapted to transport, to carry or to comprise special loads or objects
- B60P3/22—Tank vehicles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Transportation (AREA)
- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Description
本發明是有關於一種儲存槽、槽車及槽車桶槽,且特別是有關於一種液體儲存槽與槽車。
隨著科技的進步,越來越多新穎的材料被創造出來。不論是這些新穎的材料或是原本就已經被廣泛使用的一些材料,在被製造出來後都需要運送至下游產線處以便於利用。然而,部分材料對於保存與運輸的條件要求極為嚴格,因此常使用槽車作為運輸工具。目前常見的槽車僅設置有人孔、氣孔與液孔,但是這樣的設計使得液態的材料在進出槽車的儲存槽時,都只能通過單一的液孔。如此一來,會使得儲存槽內的液態的材料無法產生良好的對流,易於累積雜質而導致材料受到污染或是變質。
本發明提供一種槽車儲存槽與槽車,可解決傳統槽車的儲存槽內容易累積雜質的問題。
本發明的槽車儲存槽包括一槽體以及一回流管。槽體具
有一人孔、一氣孔、一液孔與一循環孔,連通槽體內的一儲存空間。回流管的一端連接至循環孔,回流管的另一端延伸至儲存空間。
本發明的槽車包括一車頭與連結至車頭的儲存槽。儲存槽包括一槽體以及一回流管。槽體具有一個以上人孔、一個以上氣孔、一液孔與一循環孔,連通槽體內的一儲存空間。回流管的一端連接至循環孔,回流管的另一端延伸至儲存空間。
在本發明的一實施例中,儲存槽更包括一個以上人孔閥門、一個以上氣孔閥門、一液孔閥門與一循環孔閥門,分別安裝至人孔、氣孔、液孔與循環孔。
在本發明的一實施例中,儲存槽更包括一過濾裝置,連通至液孔與循環孔,用以過濾自液孔取出的儲存空間內的流體,並將過濾後的流體經由回流管送回儲存空間中。
在本發明的一實施例中,回流管的長度大於10公分。
在本發明的一實施例中,回流管的另一端與儲存空間的底部的距離大於5公分。
在本發明的一實施例中,回流管的材質為不鏽鋼管或表面覆蓋有鐵氟龍。
在本發明的一實施例中,人孔、氣孔、液孔與循環孔位於槽體的頂部。
在本發明的一實施例中,儲存槽更包括一抽取管,其一端連接至液孔,另一端延伸至槽體的底部。
在本發明的一實施例中,循環孔與液孔分別靠近槽體的前端與後端。
在本發明的一實施例中,儲存槽更包括一支架與一輪組,安裝於槽體的底部,且分別靠近槽體的前端與後端。儲存槽的前端可旋轉地連結至車頭。
基於上述,在本發明的槽車儲存槽與槽車中,設置了循環孔與回流管。因此,液孔與循環孔可分別作為液體的出入口,使得儲存槽內的液態材料可以產生良好的對流,避免雜質的累積。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
10‧‧‧液態材料
100、102‧‧‧槽車儲存槽
110‧‧‧槽體
112‧‧‧人孔
114‧‧‧氣孔
116‧‧‧液孔
118‧‧‧循環孔
120‧‧‧回流管
130‧‧‧過濾裝置
V12‧‧‧人孔閥門
V14‧‧‧氣孔閥門
V16‧‧‧液孔閥門
V18‧‧‧循環孔閥門
S12‧‧‧儲存空間
L12‧‧‧長度
L14‧‧‧距離
50、60‧‧‧槽車
52、62‧‧‧車頭
150‧‧‧支架
160‧‧‧輪組
圖1是本發明一實施例的槽車儲存槽的剖示圖。
圖2是本發明一實施例的槽車的示意圖。
圖3是本發明另一實施例的槽車的示意圖。
圖1是本發明一實施例的儲存槽的剖示圖。請參照圖1,本發明一實施例的槽車儲存槽100包括一槽體110以及一回流管120。槽體110具有一人孔112、一氣孔114、一液孔116與一循環孔118。人孔112、氣孔114、液孔116與循環孔118都連通槽
體110內的一儲存空間S12。回流管120的一端連接至循環孔118,而回流管120的另一端則延伸至儲存空間S12。
人孔112是指可供工作人員進入槽體110內的儲存空間S12的一個開口。人孔112的尺寸以可供工作人員通過為主,而本實施例的人孔112大約是直徑50公分的圓孔,但本發明不侷限於此。人孔112一般並不用於裝卸槽體110所欲儲存的流體。另外,人孔112的數量也可以更多。
氣孔114主要用於提供氣體進出槽體110內的儲存空間S12的路徑。在從液孔116將液態材料10輸入槽體110內的儲存空間S12時,氣孔114可供儲存空間S12內的氣體流出,以使得液態材料10能夠順暢地輸入儲存空間S12。另外,當液態材料10屬於較容易與空氣產生化學反應的材料時,還可從氣孔114注入例如氮氣之類的惰性氣體,提供液態材料10較佳的儲存環境。本實施例的氣孔114大約是直徑2公分的圓孔,但本發明不侷限於此。此外,氣孔114還可連通一氣壓計(未繪示),以便於掌握儲存空間S12內的氣壓狀態。另外,氣孔114的數量也可以更多。
液孔116與循環孔118主要用於提供液態材料10進出槽體110內的儲存空間S12的路徑。本實施例的液孔116與循環孔118大約是直徑10公分的圓孔,但本發明不侷限於此。本實施例的槽車儲存槽100與傳統的儲存槽的差異點之一即在於多了循環孔118,亦即本實施例的槽車儲存槽100具有兩個用於提供液態材料10進出的路徑。因此,液孔116與循環孔118可以分別作為液
態材料10進入槽體110內與輸出槽體110外的路徑,使得槽體110內的儲存空間S12內的液態材料10產生良好的對流,藉以改善液態材料10中的雜質可能沈積在槽體110的底部的問題。另外,藉由回流管120的設置,可避免液態材料10在回到儲存空間S12時直接由頂部撒下,降低產生泡沫或其他影響液態材料10的品質的情形發生的機會。
在本發明的一實施例中,槽車儲存槽100可更包括一人孔閥門V12、一氣孔閥門V14、一液孔閥門V16與一循環孔閥門V18,分別安裝至人孔112、氣孔114、液孔116與循環孔118。人孔閥門V12、氣孔閥門V14、液孔閥門V16與循環孔閥門V18用以將槽體110內的儲存空間S12與外界隔絕。槽車儲存槽100的內壁上可選擇性地塗佈一層鐵弗龍(Teflon)或其他不易沾黏液態材料10的材料。
在本發明的一實施例中,槽車儲存槽100更包括一過濾裝置130,連通至液孔116與循環孔118,用以過濾自液孔116取出的儲存空間S12內的液態材料10,並將過濾後的液態材料10經由回流管120送回儲存空間S10中。傳統的儲存槽由於不具有循環孔,僅有單一的液孔,因此無法對其中所儲存的流體進行過濾。本實施例的槽車儲存槽100因為具有液孔116與循環孔118,因此可以搭配過濾裝置130對於儲存空間S12內的液態材料10進行過濾,大幅提升了其中所儲存的液態材料10的品質。甚至,槽車儲存槽100也可以作為液態材料10在運輸前的中長期儲存空
間。
本實施例中,回流管120的長度L12以大於10公分為例,回流管120遠離循環孔118的一端與儲存空間S12的底部的距離L14例如是大於5公分,回流管120為不鏽鋼管,或者回流管120的表面覆蓋有鐵氟龍,但本發明不侷限於此。
本實施例中,人孔112、氣孔112、液孔116與循環孔118是以位於槽體110的頂部為例,但本發明不侷限於此。例如,當液孔116主要用於取出液態材料10的時候,液孔116可設置於槽體110的底部或是接近底部。本實施例的槽車儲存槽100還可包括一抽取管140,其一端連接至液孔116,另一端延伸至槽體110的底部。藉由抽取管140的設置,可從儲存空間S12的底部抽取液態材料10,避免底部的液態材料10長期缺乏流動而變質。本實施例中,循環孔118與液孔116分別靠近槽體110的前端與後端。換言之,循環孔118與液孔116分別靠近槽體110的兩端,而非彼此接近,如此可讓液態材料10產生較佳的對流效果。在此所述的槽體110的前端是指槽體110在運輸的過程中朝向前方的一端,但本發明也不侷限循環孔118與液孔116是何者靠近槽體110的前端。
圖2是本發明一實施例的槽車的示意圖。請參照圖2,本發明一實施例的槽車50包括一車頭52與連結至車頭52的槽車儲存槽100。槽車儲存槽100與圖1的槽車儲存槽100相同,因此不在贅述其細節部分。本實施例的槽車50是槽車以儲存槽100直接
固定在車頭52後方的車架上為例,這樣的設計較為適合小型的槽車儲存槽100,但本發明不侷限於此。本實施例中是以循環孔118較為靠近車頭52為例,並以液孔116較為遠離車頭52為例,但本發明不侷限於此。
圖3是本發明另一實施例的槽車的示意圖。請參照圖3,本實施例的槽車60與圖2的槽車50相似,在此僅說明兩者的差異處。本實施例的槽車儲存槽102與圖1的槽車儲存槽100相似,但本實施例的槽車儲存槽102更包括一支架150與一輪組160,兩者皆安裝於槽體110的底部。支架150靠近槽體110的前端,而輪組160靠近槽體110的後端。槽車儲存槽100的前端可旋轉地連結至車頭62。換言之,本實施例的槽車60的車頭62可以是常見的聯結車的車頭,且可以更換。這樣的設計較為適合大型的槽車儲存槽100,但本發明不侷限於此。
綜上所述,在本發明的槽車儲存槽與槽車中,設置了循環孔與回流管。因此,液孔與循環孔可分別作為液體的出入口,使得儲存槽內的液態材料可以產生良好的對流,避免雜質的累積。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
10‧‧‧液態材料
100‧‧‧儲存槽
110‧‧‧槽體
112‧‧‧人孔
114‧‧‧氣孔
116‧‧‧液孔
118‧‧‧循環孔
120‧‧‧回流管
130‧‧‧過濾裝置
V12‧‧‧人孔閥門
V14‧‧‧氣孔閥門
V16‧‧‧液孔閥門
V18‧‧‧循環孔閥門
S12‧‧‧儲存空間
L12‧‧‧長度
L14‧‧‧距離
Claims (18)
- 一種槽車儲存槽,包括:一槽體,具有一人孔、一氣孔、一液孔與一循環孔,連通該槽體內的一儲存空間,其中該循環孔與該液孔分別靠近該槽體的前端與後端;以及一回流管,其一端連接至該循環孔,另一端延伸至該儲存空間。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,更包括一人孔閥門、一氣孔閥門、一液孔閥門與一循環孔閥門,分別安裝至該人孔、該氣孔、該液孔與該循環孔。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,更包括一過濾裝置,連通至該液孔與該循環孔,用以過濾自該液孔取出的該儲存空間內的流體,並將過濾後的流體經由該回流管送回該儲存空間中。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,其中該回流管的長度大於10公分。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,其中該回流管的另一端與該儲存空間的底部的距離大於5公分。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,其中該回流管的材質為不鏽鋼管或表面覆蓋有鐵氟龍。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,其中該人孔、該氣孔、該液孔與該循環孔位於該槽體的頂部。
- 如申請專利範圍第7項所述的槽車儲存槽,更包括一抽取管,其一端連接至該液孔,另一端延伸至該槽體的底部。
- 如申請專利範圍第1項所述的槽車儲存槽,更包括一支架與一輪組,安裝於該槽體的底部,且分別靠近該槽體的前端與後端,用以共同將該槽體支撐於地面。
- 一種槽車,包括:一車頭;一儲存槽,連結至該車頭,其中該儲存槽包括:一槽體,具有一個以上人孔、一個以上氣孔、一液孔與一循環孔,連通該槽體內的一儲存空間,其中該循環孔與該液孔分別靠近該槽體的前端與後端;以及一回流管,其一端連接至該循環孔,另一端延伸至該儲存空間。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該儲存槽更包括一個以上人孔閥門、一個以上氣孔閥門、一液孔閥門與一循環孔閥門,分別安裝至該人孔、該氣孔、該液孔與該循環孔。
- 如申請專利範圍第11項所述的槽車,其中該儲存槽更包括一過濾裝置,連通至該液孔與該循環孔,用以過濾自該液孔取出的該儲存空間內的流體,並將過濾後的流體經由該回流管送回該儲存空間中。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該回流管的長度大於10公分。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該回流管的另一端與該儲存空間的底部的距離大於5公分。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該回流管的材質為不鏽鋼管或表面覆蓋有鐵氟龍。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該人孔、該氣孔、該液孔與該循環孔位於該槽體的頂部。
- 如申請專利範圍第16項所述的槽車,其中該儲存槽更包括一抽取管,其一端連接至該液孔,另一端延伸至該槽體的底部。
- 如申請專利範圍第10項所述的槽車,其中該儲存槽更包括一支架與一輪組,安裝於該槽體的底部,且分別靠近該槽體的前端與後端,該儲存槽的前端可旋轉地連結至該車頭。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104120975A TWI606972B (zh) | 2015-06-29 | 2015-06-29 | 槽車與槽車儲存槽 |
CN201510588801.9A CN106275903A (zh) | 2015-06-29 | 2015-09-16 | 槽车与槽车存储槽 |
JP2016128740A JP2017013900A (ja) | 2015-06-29 | 2016-06-29 | ローリーおよびローリータンク |
US15/196,060 US20160376095A1 (en) | 2015-06-29 | 2016-06-29 | Lorry and lorry tank |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104120975A TWI606972B (zh) | 2015-06-29 | 2015-06-29 | 槽車與槽車儲存槽 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201700389A TW201700389A (zh) | 2017-01-01 |
TWI606972B true TWI606972B (zh) | 2017-12-01 |
Family
ID=57601535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW104120975A TWI606972B (zh) | 2015-06-29 | 2015-06-29 | 槽車與槽車儲存槽 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160376095A1 (zh) |
JP (1) | JP2017013900A (zh) |
CN (1) | CN106275903A (zh) |
TW (1) | TWI606972B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11541335B2 (en) | 2019-05-29 | 2023-01-03 | FUJIFILM Electronic Materials Taiwan Co., Ltd. | Chemical liquid purification apparatus and purification method using the same |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107293344B (zh) * | 2017-08-04 | 2023-07-04 | 成都天翔环境股份有限公司 | 废树脂转运槽车管路系统的清洗方法 |
CN107458290A (zh) * | 2017-08-09 | 2017-12-12 | 成都天翔环境股份有限公司 | 一种乏燃料废树脂转运槽车及转运方法 |
US11772884B2 (en) | 2021-08-06 | 2023-10-03 | Ryan Peterkin | Pressure vessel device |
US11396419B1 (en) * | 2021-08-06 | 2022-07-26 | Magtech Alaska, LLC | Cold steel slurry box device |
US20230042517A1 (en) * | 2021-08-06 | 2023-02-09 | Ryan Peterkin | Transportable Slurry Box Method of Use |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5003830A (en) * | 1987-05-29 | 1991-04-02 | Spencer R Wilson | Sample extraction system |
CN1286704C (zh) * | 2003-07-16 | 2006-11-29 | 东信化学工业株式会社 | 架装式frp运输罐及其制造方法 |
WO2011035563A1 (zh) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 西安轨道交通装备有限责任公司 | 粘油罐车 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2235664A (en) * | 1938-04-20 | 1941-03-18 | Bachmann Frank | Oil burning apparatus |
US2302336A (en) * | 1939-11-07 | 1942-11-17 | Joseph R Macdonald | Method and apparatus for keeping live shellfish |
DE2245657A1 (de) * | 1972-09-16 | 1974-03-21 | Hans J Loeblich | Vorrichtung zur vermeidung von kraftstoffverlusten durch verdampfung in kraftstofftanks |
JPS5291519U (zh) * | 1975-12-29 | 1977-07-08 | ||
JPS5913393B2 (ja) * | 1979-10-12 | 1984-03-29 | 極東開発工業株式会社 | 高粘度液体運搬車におけるタンク内の凝固物除去装置 |
JPS6037352Y2 (ja) * | 1980-01-30 | 1985-11-07 | 昭和飛行機工業株式会社 | 地上操作用の底弁を備えたタンクトレ−ラ−のベ−パ−回収装置 |
JPS5934915B2 (ja) * | 1980-02-29 | 1984-08-25 | 昭和機器工業株式会社 | ガソリンタンク内浄化用ホ−ス |
US4470437A (en) * | 1982-04-23 | 1984-09-11 | Emco Wheaton, Inc. | Emergency drain device |
US5996827A (en) * | 1998-09-28 | 1999-12-07 | Splane; Benjamin R. | Environmental tank |
JP2002144948A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-22 | Nikkoo:Kk | アスファルトタンクローリー車の排出吸入用ステンレスジャバラホースの加熱装置 |
JP2002341482A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-27 | Konica Corp | 熱現像写真感光材料の製造装置 |
CN2913810Y (zh) * | 2006-06-21 | 2007-06-20 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 半流液体自动循环泵送系统 |
CN101367466B (zh) * | 2008-08-15 | 2011-11-23 | 李束为 | 储存运输油品装置 |
JP6106394B2 (ja) * | 2012-09-20 | 2017-03-29 | Hoya株式会社 | レジスト液供給装置、レジスト塗布装置、レジスト液の温度管理方法、レジスト液保管装置、及び、マスクブランクの製造方法 |
CN203061074U (zh) * | 2012-12-24 | 2013-07-17 | 云南云景林纸股份有限公司 | 回流循环搅拌储液罐 |
CN204237044U (zh) * | 2014-10-08 | 2015-04-01 | 安徽乐欢天生物科技有限公司 | 一种可自动搅拌的储液罐 |
-
2015
- 2015-06-29 TW TW104120975A patent/TWI606972B/zh active
- 2015-09-16 CN CN201510588801.9A patent/CN106275903A/zh active Pending
-
2016
- 2016-06-29 JP JP2016128740A patent/JP2017013900A/ja active Pending
- 2016-06-29 US US15/196,060 patent/US20160376095A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5003830A (en) * | 1987-05-29 | 1991-04-02 | Spencer R Wilson | Sample extraction system |
CN1286704C (zh) * | 2003-07-16 | 2006-11-29 | 东信化学工业株式会社 | 架装式frp运输罐及其制造方法 |
WO2011035563A1 (zh) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 西安轨道交通装备有限责任公司 | 粘油罐车 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11541335B2 (en) | 2019-05-29 | 2023-01-03 | FUJIFILM Electronic Materials Taiwan Co., Ltd. | Chemical liquid purification apparatus and purification method using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017013900A (ja) | 2017-01-19 |
CN106275903A (zh) | 2017-01-04 |
US20160376095A1 (en) | 2016-12-29 |
TW201700389A (zh) | 2017-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI606972B (zh) | 槽車與槽車儲存槽 | |
US10032660B2 (en) | Porous barrier for evenly distributed purge gas in a microenvironment | |
US7255094B2 (en) | Fuel vapor recovery canister | |
US20160074781A1 (en) | Valve Device with Dual Directional Strainer | |
WO2008045972A3 (en) | Precursor delivery system | |
CN101469724B (zh) | 用于输送物质的设备和方法 | |
US7409946B2 (en) | Fuel vapor recovery canister | |
TW201509541A (zh) | 特別係用於塗覆粉末之粉末進給裝置 | |
US11628456B2 (en) | Apparatus for increasing flux from an ampoule | |
JP2014531557A5 (zh) | ||
JP2006291941A (ja) | 圧縮空気量の増幅方法および増幅装置 | |
JP2005529340A5 (zh) | ||
GB2538707A (en) | Fuel tank system | |
US9914632B2 (en) | Methods and apparatus for liquid chemical delivery | |
JP2009543721A5 (zh) | ||
CN205014042U (zh) | 液化气体运输半挂车防冲蚀装置 | |
US20110101683A1 (en) | Vehicle exhaust decoupler | |
US10752990B2 (en) | Apparatus and methods to remove residual precursor inside gas lines post-deposition | |
CN106090497A (zh) | 一种高压管路多通接头 | |
JP2017523606A5 (zh) | ||
CN105984662A (zh) | 粉粒物料运输车及其储料罐 | |
CN105987028A (zh) | 具有流体动力学的流体处理和核化的流体存储容器 | |
JP2019161130A5 (zh) | ||
KR20190128265A (ko) | 증착 공정에서 화학 전구체를 버블링시키기 위한 무에어로졸 베셀 | |
CN211040461U (zh) | 一种卧式储气罐 |