TWI604189B - 用於抑制光學串擾之交錯聲光裝置掃描 - Google Patents

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Description

用於抑制光學串擾之交錯聲光裝置掃描
本發明闡述抑制光學串擾之聲光裝置掃描技術及系統。
在半導體製作期間，可在晶圓上形成隔離及/或系統缺陷。隔離缺陷(其在晶圓上以一低晶片百分比存在)可由隨機事件導致，諸如，一製造環境中之顆粒污染物之一增加或在製作晶片中使用之程序化學品中之污染之一增加。系統缺陷(其通常在晶圓上以一高晶片百分比存在)可由一光罩上之缺陷導致。一光罩用於使用光微影技術將一積體電路層之一圖案轉印至晶圓上。因此，光罩上之任何缺陷皆可與圖案一起轉印至晶圓之每一晶片。
已開發出自動化檢驗系統來檢驗一晶圓表面(未圖案化及經圖案化兩者)。一檢驗系統通常包含一照射系統及一偵測系統。該照射系統可包含用於產生一光束之一光源(例如，一雷射)及用於使該光束聚焦及掃描之一設備。存在於晶圓表面上之缺陷可散射由照射系統(亦稱為一照射器)提供之入射光。該偵測系統經組態以偵測經散射光並將經偵測光轉換成可量測、計數及顯示之電信號。經偵測信號可由一電腦程式分析以定位並識別晶圓上之缺陷。在以下專利中闡述例示性檢驗系統：1983年7月5日頒予Steigmeier等人之美國專利4,391,524、1984年4月3日頒予Heebner等人之美國專利4,441,124、1986年9月30日 頒予Koizumi等人之美國專利4,614,427、1989年12月26日頒予Hayano等人之美國專利4,889,998及1994年5月31日頒予Allemand之美國專利5,317,380，所有該等專利皆以引用之方式併入本文中。
在一目前技術水平照射系統中使用之一或多個組件可使用聲光裝置。舉例而言，圖1A圖解說明一聲光裝置(AOD)100之一經簡化組態。AOD 100包含一聲音換能器121、一石英板122及一聲吸收體123。一振盪電信號可驅動聲音換能器121並致使其振動。繼而，此振動在石英板122中形成聲波。聲吸收體123經組態以吸收到達石英板122之邊緣之任何聲波。由於該等聲波，至石英板122之傳入光124被繞射至複數個方向128、129及130中。
一經繞射光束自石英板122以取決於光之波長與聲音之波長之相對關係之一角度射出。藉由使頻率自高斜變至低，部分126可具有比部分127高之一頻率。由於部分126具有一較高頻率，因此其使入射光束之一部分繞射通過一較陡角度，如經繞射光束128所展示。由於部分127具有一相對較低頻率，因此其使入射光束之一部分繞射通過一較淺角度，如經繞射光束130所展示。由於部分126與127之間的一中間區段部分具有介於較高頻率與相對較低頻率之間的一頻率，因此其使入射光束之一部分繞射通過一中間角度，如經繞射光束129所展示。此係可如何使用一AOD來使一傳入光束124聚焦於位置125處之一實例。
值得注意地，AOD可比機械裝置(諸如鏡)顯著快地操作。具體而言，AOD可大致在聲波跨越傳入光束所花費之時間(例如，5ns至100ns)內繞射傳入光。因此，可以(舉例而言)6.32毫米/微秒之一速率執行對一樣本(例如，一晶圓或光罩)之一掃描。
圖1B圖解說明經組態以產生一光束並使該光束跨越一樣本109(諸如一晶圓)掃描之一例示性雙AOD照射系統110。一預掃描AOD 101用於使來自一光源100之入射光以一角度偏轉，其中該角度與射頻(RF)驅動源之頻率成比例。一望遠透鏡102用於將來自預掃描AOD 101之角度掃描轉換成一線性掃描。
一啁啾AOD 104用於使在聲傳播平面中之入射光束聚焦至一掃描平面105上。此藉由憑藉換能器104A使穿過所有RF頻率之斜變比彼等頻率可全部傳播穿過啁啾AOD 104更快而達成。此快速斜變形成一啁啾封包104B。啁啾封包104B然後以聲速傳播穿過啁啾AOD 104。圖1B展示啁啾封包104B在一光點掃掠之開始處之位置，而圖1C圖解說明啁啾封包104B在該光點掃掠之結束處之位置。應注意，在此傳播期間，預掃描AOD 101調整其RF頻率以追蹤AOD 104中之啁啾封包以使光束保持入射於啁啾封包104B上。
一圓柱透鏡103用於使光束聚焦於垂直於聲傳播平面之一平面中。一中繼透鏡106用於在一光瞳平面106A處產生一實光瞳。一放大率改變器107用於調整光點之大小及掃掠之長度。一物鏡108用於使光點聚焦至一樣本109(諸如一晶圓)上。
圖2圖解說明使用一單個AOD之另一例示性照射系統200。在系統200中，預掃描AOD由一擴束器201替換。因此，此類型之照射系統稱為一「泛光AOD」系統。在此組態中，在AOD 104中產生多個啁啾封包203A及203B。應注意，本文中具有相同元件符號之組件係實質上類似之組件且因此不重複其說明。每一啁啾封包203A及203B產生其自身之光點。因此，物鏡108使兩個光點同時聚焦至樣本109上。雖然在圖2中展示了兩個啁啾封包，但在其他實施例中，可以入射於樣本109上之光點之一對應數目產生額外啁啾封包。
應注意，樣本109通常置放於能夠進行雙向移動之一XY平移載台上。在此組態中，該載台可經移動以便可使射至樣本109上之經聚焦光點(由聚焦光學器件使用經繞射光束形成)沿著相等寬度之毗鄰連續 條帶(亦即，光柵掃描線)掃描。1990年3月27日頒予Porter等人且以引用方式併入本文中之美國專利4,912,487闡述包含經組態以提供光柵掃描之一平移載台之例示性照射系統。
圖3圖解說明提供用於多個光點之經散射光之隔離之一習知例示性AOD掃描技術。在此實施例中，在四個時間301、302、303及304期間使四個光點掃描(為易於圖3中之參考，每一光點具有一相同填充圖案)。此四個光點可由包含一AOD之一照射系統產生。在圖3中，該AOD提供一啁啾封包間隔306(其亦與光點間隔及掃描線段長度相關)。
圖4圖解說明用於圖3中所闡述之技術之一例示性檢驗系統400。在系統400中，一AOD光學路徑(例如，類似於圖2中所展示之光學路徑)可包含用於使由AOD產生之光點聚焦至一樣本401上之一物鏡404。系統400進一步包含一50/50分束器(或其他比率)405，其可將經散射光402之兩個複本自樣本401上之經掃描光點引導至兩個偵測器陣列408及409。一第一收集路徑與遮罩組406可經組態以將經散射光與一第一組光點隔離並將其輸出提供至偵測器陣列408，而一第二收集路徑與遮罩組407可經組態以將經散射光與一第二組光點隔離並將其輸出提供至偵測器陣列408。應注意，每一遮罩具有一組窗口，每一窗口具有針對一給定PMT(光電倍增管)或其他感測器之一預定寬度。
返回參考圖3，第一組光點由具有實線之方框指示，而一第二組光點由具有點線之方框指示。該等方框之長度對應於用於圖4中之遮罩之一窗口寬度305。因此，舉例而言，在時間301處，可將來自光點310及312之經散射光(使用收集路徑與遮罩組406)與光點311(使用收集路徑與遮罩組407)隔離。為確保完全涵蓋，提供一遮罩重疊307。
在圖3之掃描技術中，必須滿足兩個要求。第一，PMT窗口寬度305必須小於所要線段長度(其係AOD啁啾封包之間隔，如306所展 示)。第二，PMT窗口必須重疊，如重疊307所展示，但必須不能延伸超出所要段長度。此要求確保在任何時間處僅一個光點在一給定遮罩內。假定滿足兩個要求，則圖3之掃描技術可提供經散射光之適當隔離，此乃因在一單個方框中從不存在兩個光點。
然而，此遮罩重疊有時可導致兩個偵測器陣列自相同光點擷取經散射光，如在時間301處之光點313所展示。在時間304期間針對光點314發生一類似狀況。在分析期間必須辨識並考量此經複製資訊，藉此增加了收集系統複雜性。亦應注意，有時一光點不在針對一遮罩指定之區域內，如時間302之區域315及時間303之區域316所展示。在彼等情形中，即使不存在光點，仍必須擷取資訊，藉此浪費了資源。
此外，50/50分束器405不合意地將可用於偵測之光減少一半。為克服此缺點，將需要係2倍高功率之一雷射(光源)，藉此增加了檢驗系統之成本。假設已使用最大功率雷射，則使用一50/50分束器之一檢驗系統將需要一大的雷射。如圖2中所展示在AOD中同時具有多個啁啾封包將由於光點彼此相對緊密鄰近而具有高光點間串擾。此外，由於PMT窗口小於所要線段長度，因此需要較多PMT，藉此又進一步增加了檢驗系統成本。
圖5A圖解說明可在無泛光照射之情形下產生多個光點之另一例示性AOD照射系統500。在此實施例中，一繞射光學元件(DOE)501可安置於放大器改變器107之前以產生複數個光點。雖然圖5A展示產生了三個光點(不同線色彩指示與彼等光點相關聯之不同光束)，但其他實施例可產生不同數目個光點。圖5B針對照射系統500圖解說明改變放大器改變器107之放大率對樣本109上之光點大小、光點間隔及掃描長度之影響。應注意，不同填充色彩指示不同光點(且對應於圖5A之不同線色彩)。如圖5B中所展示，大光點520具有與三個位置1、3及5相關聯之間隔，而小光點521具有與三個位置2、3及4相關聯之間隔。 位置1中之大光點掃描至位置3，位置3中之大光點掃描至位置5，且位置5中之大光點掃描至位置7。相比而言，位置2中之小光點掃描至位置3，位置3中之小光點掃描至位置4，且位置4中之小光點掃描至位置5。
具有一較小光點大小(較高放大率)使得經散射光與多個光點之適當隔離較困難。舉例而言，圖6A及圖6B圖解說明三個小光點601、602及603(對應於圖5B中所展示之光點)在時間T1與T4之間的例示性掃掠。圖6B將光點601、602及603之掃描表示為相同色彩之方框，其中該等方框表示由於傳播穿過啁啾AOD所致的光點之路徑。圖6B展示存在不同光點之共線性掃描之一重疊(此將針對大光點及小光點兩者發生)。此重疊將導致不合意之光點串擾。
為提供光點之間的適當隔離，藉此最小化串擾，需要額外光學器件及技術。在圖7A及圖7B中所展示之一項實施例中，可在一照射系統中使用一稜鏡705來形成光點之間的適當間隔。2006年7月11日頒予Kvamme且以引用方式併入本文中之美國專利7,075,638闡述此一照射系統。在此系統中，稜鏡705及額外光學器件(諸如一球面像差校正透鏡及一透射透鏡)經定位以使得將來自樣本上之複數個光點之經散射光(例如，與光點701、702及703相關聯之光束)引導至稜鏡705之一特定琢面，如圖7A中所展示。繼而，稜鏡705將每一光束引導至一單獨偵測器。圖7B展示在相關聯檢驗系統之操作期間之光點701、702及703掃描掃掠。稜鏡705(其係收集器之部分)利用圖7A及圖7B中所展示之一偏移(該偏移由係照射系統之部分之一光柵產生)以合意地增加光點隔離。因此，返回參考圖6B，轉動一光柵將導致光點701、702及703(及其相關聯掃描)不再沿著x軸共線性(亦即，其將改為以在一水平平面中之偏移掃描形成一對角線)。遺憾地，稜鏡705係針對一特定放大率而設計的。因此，若改變放大率，則必須使用另一稜鏡， 藉此添加檢驗系統之成本及設計複雜性。
一樣本表面上之缺陷之準確偵測取決於掃描中之每一光點之正確量測及分析。因此，需要最佳化使用AOD之技術及系統，其確保此等光點之隔離，藉此最小化串擾，同時最小化系統複雜性及成本。
本發明闡述一種掃描一樣本之方法。在此方法中，同時形成複數個共線性掃描。每一掃描係藉由一聲光裝置(AOD)進行一光點之一掃掠而形成。該等共線性掃描藉由一預定間隔而分離。藉由在垂直於該複數個共線性掃描之一方向上重複該同時形成該等共線性掃描而形成第一複數個掃描帶。該第一複數個掃描帶具有與該預定間隔相同之一掃描帶間間隔。
在一項實施例中，該預定間隔係一掃描長度。在另一實施例中，該預定間隔係整數個掃描長度。在又一實施例中，可調整一AOD參數以提供整數個掃描長度作為該預定間隔。
該方法可進一步包含毗鄰於該第一複數個掃描帶形成第二複數個掃描帶。在一項實施例中，毗鄰於除該第一複數個掃描帶之一底半部之外的所有該第一複數個掃描帶形成該第二複數個掃描帶。可在與該第一複數個掃描帶之方向相反之一方向上或在與該第一複數個掃描帶之方向相同之一方向上執行形成該第二複數個掃描帶。
闡述另一種執行一樣本之一掃描之方法。在此方法中，使用一可調整放大率改變器提供一光點大小及一第一掃描長度，藉由一繞射光學元件(DOE)路徑提供一光點分離，且藉由一可程式化聲光裝置(AOD)基於該第一掃描長度提供一第二掃描長度。可使用該光點大小、該光點分離及該第二掃描長度來執行該掃描。
亦闡述一種檢驗系統。此檢驗系統包含第一及第二AOD、一透鏡、一放大率改變器、一第一繞射光學元件(DOE)路徑及一可移動平 台。該第一AOD經組態以自一雷射接收一光束且沿著一角度掃描以各種角度引導該光束。該透經組態以將該角度掃描轉換為一線性掃描。該第二AOD經組態以在該線性掃描中接收該光束且產生一掃描，該掃描係一光點之一掃掠，藉此產生複數個共線性光點。該放大率改變器經組態以調整該複數個共線性光點之放大率，藉此產生複數個經調整共線性光點。該第一DOE路徑經組態以複製該複數個經調整共線性光點，藉此產生其間具有一預定間隔之一組共線性掃描。該可移動平台系統經組態以固定一樣本且藉由在該第一DOE路徑產生複數個組之該等共線性掃描時在垂直於該等共線性掃描之一方向上移動來形成第一複數個掃描帶。此移動形成毗鄰組之該等共線性掃描。該第一複數個掃描帶具有等於該預定間隔之一掃描帶間間隔。
該移動平台系統進一步經組態以在平行於該等共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶。在一項實施例中，該第二複數個掃描帶毗鄰於該第一複數個掃描帶而形成。在另一實施例中，該第二複數個掃描帶毗鄰於除該第一複數個掃描帶之一底半部之外的該第一複數個掃描帶而形成。
該預定間隔可係一掃描長度、整數個掃描長度或非整數個掃描。在一項實施例中，該第二AOD係可程式化的以提供用於該第二複數個掃描帶之一可調整掃描長度。
該第二複數個掃描帶可係在與該第一複數個掃描帶之方向相反之一方向上或在與該第一複數個掃描帶之方向相同之一方向上形成的。
該第一DOE路徑係用於法向入射照射或傾斜入射照射。在一項實施例中，該檢驗系統進一步包含：一第二DOE路徑；及一切換組件，其經組態以將該複數個共線性光點引導至該第一DOE路徑及該第二DOE路徑中之一者。
該檢驗系統可進一步包含一歪像束腰中繼器，該歪像束腰中繼器經定位以自該雷射接收該光束且經組態以允許對兩個獨立軸做出調整。
當該雷射包含一個硼酸鋇雷射倍增晶體時，該檢驗系統可進一步包含具有一狹縫之一光束塑形器。該檢驗系統可進一步包含：一光瞳；及一或多個切趾板，其經置放而與該光瞳成操作關係且經組態以將一預定透射輪廓(例如，在x軸及y軸上)提供至該複數個共線性光點。在一項實施例中，該光瞳相對於該第一DOE路徑之物鏡偏心。該檢驗系統亦可包含定位於該放大率改變器與該第一DOE路徑之間的一入射角鏡。該入射角鏡可經組態以調整至該樣本之一入射角。
100‧‧‧聲光裝置(AOD)/光源
101‧‧‧預掃描聲光裝置
102‧‧‧望遠透鏡
103‧‧‧圓柱透鏡
104‧‧‧啁啾聲光裝置/聲光裝置
104A‧‧‧換能器
104B‧‧‧啁啾封包
105‧‧‧掃描平面
106‧‧‧中繼透鏡
106A‧‧‧光瞳平面
107‧‧‧放大率改變器/放大器改變器
108‧‧‧物鏡
109‧‧‧樣本
121‧‧‧聲音換能器
122‧‧‧石英板
123‧‧‧聲吸收體
124‧‧‧傳入光/傳入光束
125‧‧‧位置
126‧‧‧部分
127‧‧‧部分
128‧‧‧方向
129‧‧‧方向
130‧‧‧方向
200‧‧‧照射系統/系統
201‧‧‧擴束器
203A‧‧‧啁啾封包
203B‧‧‧啁啾封包
301‧‧‧時間
302‧‧‧時間
303‧‧‧時間
304‧‧‧時間
305‧‧‧窗口寬度
306‧‧‧啁啾封包間隔
307‧‧‧重疊
310‧‧‧光點
311‧‧‧光點
312‧‧‧光點
313‧‧‧光點
314‧‧‧光點
315‧‧‧區域
316‧‧‧區域
400‧‧‧檢驗系統/系統
401‧‧‧樣本
402‧‧‧經散射光
404‧‧‧物鏡
405‧‧‧50/50分束器
406‧‧‧第一收集路徑與遮罩組/收集路徑與遮罩組
407‧‧‧第二收集路徑與遮罩組/收集路徑與遮罩組
408‧‧‧偵測器陣列
409‧‧‧偵測器陣列
500‧‧‧聲光裝置照射系統/照射系統
501‧‧‧繞射光學元件(DOE)
520‧‧‧大光點
521‧‧‧小光點
601‧‧‧小光點/光點
602‧‧‧小光點/光點
603‧‧‧小光點/光點
701‧‧‧光點
702‧‧‧光點
703‧‧‧光點
705‧‧‧稜鏡
800‧‧‧經改良雙聲光裝置照射系統/照射系統/光源
801‧‧‧預掃描聲光裝置
802‧‧‧望遠透鏡
803‧‧‧圓柱透鏡
804‧‧‧啁啾聲光裝置
804A‧‧‧換能器/可程式化聲光裝置
804B‧‧‧啁啾封包
805‧‧‧掃描平面
806‧‧‧中繼透鏡
806A‧‧‧光瞳平面
807‧‧‧放大率改變器/放大器改變器
808‧‧‧繞射光學元件(DOE)
809‧‧‧物鏡
810‧‧‧樣本
820‧‧‧大光點/光點
821‧‧‧小光點/光點
901‧‧‧大光點/光點
902‧‧‧大光點/光點
903‧‧‧大光點/光點
911‧‧‧方框/掃描
912‧‧‧方框/掃描
913‧‧‧方框/掃描
921‧‧‧小光點/光點
922‧‧‧小光點/光點
923‧‧‧小光點/光點
931‧‧‧方框/掃描
932‧‧‧方框/掃描
933‧‧‧方框/掃描
1101‧‧‧掃描/掃描帶
1102‧‧‧掃描/掃描帶
1111‧‧‧掃描帶
1112‧‧‧掃描帶
1120‧‧‧掃描帶
1121‧‧‧掃描帶
1201‧‧‧小光點/光點
1202‧‧‧小光點/光點
1203‧‧‧小光點/光點
1210‧‧‧掃描
1211‧‧‧掃描
1212‧‧‧掃描
1301‧‧‧掃描
1302‧‧‧掃描
1303‧‧‧掃描
1310‧‧‧掃描帶
1311‧‧‧掃描帶
1312‧‧‧掃描帶
1320‧‧‧掃描帶
1321‧‧‧掃描帶
1322‧‧‧掃描帶
1350‧‧‧箭頭
1400‧‧‧檢驗系統/系統
1401‧‧‧雷射
1402‧‧‧歪像束腰中繼器(AWR)
1403‧‧‧準直透鏡
1405‧‧‧光束塑形器
1406‧‧‧預掃描聲光裝置/預掃描
1407‧‧‧望遠透鏡/透鏡/望遠鏡
1408‧‧‧歪像擴束器
1409‧‧‧啁啾聲光裝置
1410‧‧‧組件
1413‧‧‧組件/切趾板
1414‧‧‧組件/零階過濾狹縫/零階狹縫
1415‧‧‧放大率改變器
1416‧‧‧入射角鏡
1417‧‧‧光束分流器
1418‧‧‧繞射光學元件
1419‧‧‧傾斜固定放大鏡
1420‧‧‧物鏡
1421‧‧‧樣本
1422‧‧‧物鏡/法向入射物鏡
1425‧‧‧轉向鏡
1426‧‧‧歪像擴束器
1427‧‧‧法向入射繞射光學元件/繞射光學元件
1428‧‧‧法向入射固定放大鏡
1429‧‧‧NI(法向入射)光束塑形器改變器
1430A‧‧‧收集器/收集通道
1430B‧‧‧收集器/收集通道
1430C‧‧‧收集器/收集通道
1431‧‧‧可移動平台
1432‧‧‧中央控制與資料獲取電腦
1433‧‧‧馬達控制線纜
1501‧‧‧入射角調整器/調整器
1502A‧‧‧低數值孔徑
1502B‧‧‧高數值孔徑
1503‧‧‧物鏡
1504‧‧‧基板
圖1A圖解說明一聲光裝置(AOD)之一經簡化組態。
圖1B圖解說明經組態以產生一光束並使該光束跨越一樣本(諸如一晶圓)掃描之一例示性雙AOD照射系統。
圖1C圖解說明一啁啾封包在圖1B中所展示之雙AOD照射系統之一光點掃掠之結束處之位置。
圖2圖解說明使用一單個AOD之另一例示性照射系統。
圖3圖解說明提供用於多個光點之經散射光之隔離之一習知例示性AOD掃描技術。
圖4圖解說明用於圖3中所闡述之技術之一例示性檢驗系統。
圖5A圖解說明可在無泛光照射之情形下產生多個光點之另一例示性AOD照射系統。
圖5B針對圖5A中所展示之照射系統圖解說明改變放大器改變器之放大率對一樣本上之光點大小、光點間隔及掃描長度之影響。
圖6A及圖6B圖解說明三個小光點之例示性掃掠。
圖7A及圖7B圖解說明可如何連同一照射系統一起使用一稜鏡來 在收集器光學器件形成光點之一適當隔離。
圖8A圖解說明經組態以產生多個光點並使其跨越一樣本掃描之一經改良雙AOD照射系統。
圖8B針對圖8A中所展示之照射系統圖解說明改變放大器改變器之放大率對樣本上之光點大小及光點間隔之影響。
圖9A及圖9B圖解說明由圖8A中所展示之照射系統產生之三個大光點及三個小光點之例示性掃描。圖9C圖解說明圖9A及圖9B中所展示之大光點及小光點之掃描之疊加。
圖10A及圖10B圖解說明在一照射系統中之各種點處針對大光點與小光點之一光點大小及掃描大小比較。
圖11A至圖11D圖解說明用於使用圖10B之小光點進行掃描之一技術。
圖12A、圖12B及圖12C圖解說明在另一照射系統中之各種點處針對大光點與小光點之一光點大小及掃描大小比較。
圖13A至圖13D圖解說明用於使用圖12B之小光點進行掃描之一技術。
圖14圖解說明可將經散射光與多個光點隔離之一例示性檢驗系統。
圖15A及圖15B圖解說明可如何在一傾斜照射系統中改變入射角。
圖8A圖解說明經組態以產生多個光點並使其跨越一樣本810(諸如一晶圓)掃描之一經改良雙AOD照射系統800。一預掃描AOD 801用於使來自一光源800之入射光以一角度偏轉，其中該角度與射頻(RF)驅動源之頻率成比例。一望遠透鏡802用於將來自預掃描AOD 801之角度掃描轉換成一線性掃描。
一啁啾AOD 804用於使聲傳播平面中之入射光束聚焦至一掃描平面805上。此藉由憑藉換能器804A使穿過所有RF頻率之斜變比彼等頻率可全部傳播穿過啁啾AOD 804更快而達成。此快速斜變形成一啁啾封包804B。啁啾封包804B然後以聲速傳播穿過啁啾AOD 804。啁啾封包804B之位置在光點掃掠期間跨越啁啾AOD 804傳播(例如，參見圖1B及圖1C之一類似移動)。應注意，在此傳播期間，預掃描AOD 801調整其RF頻率以追蹤AOD 804中之啁啾封包以使光束保持入射於啁啾封包804B上。
一圓柱透鏡803用於使光束聚焦於垂直於聲傳播平面之一平面中。一中繼透鏡806用於在一光瞳平面806A處產生一實光瞳。一放大率改變器807用於調整光點之大小及掃掠之長度。值得注意地，一繞射光學元件(DOE)808定位於放大率改變器807之後及一物鏡809之前。DOE 808藉由放大率改變器807形成光點輸出之兩個複本，而不改變光點間隔，如下文所闡述。雖然圖8A展示由DOE 808產生三個光點，但其他實施例可具有不同數目個光點。物鏡809用於使多個光點同時聚焦至樣本810上。
圖8B針對照射系統800圖解說明改變放大器改變器807之放大率對樣本810上之光點大小及光點間隔之影響。應注意，不同填充色彩指示不同光點(且對應於圖8A之不同線色彩)。如圖8B中所展示，大光點820及小光點821兩者可具有與三個位置1、3及5相關聯之等同間隔。
圖9A圖解說明三個大光點901、902及903(對應於圖8B中所展示之光點820)在時間T1與T4之間的例示性掃描。圖9A將光點901、902及903之掃掠分別表示為方框911、912及913。圖9B圖解說明三個小光點921、922及923(對應於圖8B中所展示之光點821)在時間T1與T4之間的例示性掃描。圖9B將光點921、922及923之掃描分別表示為方框 931、932及933。圖9C展示位置1中之大光點901掃描至位置5，位置9中之大光點902掃描至位置13，且位置17中之大光點903掃描至位置21。相比而言，位置2中之小光點921掃描至位置4，位置10中之小光點922掃描至位置12，且位置18中之小光點923掃描至位置20。因此，三個小光點之掃描可「嵌套」於三個大光點之掃描中。亦即，掃描931、932、933可分別嵌套於掃描911、912及913中。如圖9C中所展示，當收集光學器件經設計以自低放大率組態(大光點)收集光時，其將預設地自高放大率組態(小光點)收集光。
圖10A及圖10B圖解說明在一照射系統中之各種點處針對大光點與小光點之一光點大小及掃描大小比較。如所展示，晶片AOD 804(參見圖8)產生具有相同光點大小及掃描大小之光點；然而，放大率改變器807改變光點大小及掃描大小兩者。在一項實施例中，大光點及小光點兩者之大小減小；然而，放大率改變器807在此載台處形成大光點與小光點之間的一大小差。應注意，放大率亦改變影像定向(由在掃描中自一側至另一側之光點位置切換展示)，此對於一放大器係典型的。DOE 808形成光點之複本，其中如上所述，大光點與小光點之間的掃描位置係相同的，但針對大光點與小光點，掃描之間的間隔不同。具體而言，小光點掃描之間的間隔大於大光點掃描之間的間隔。
圖11A至圖11D圖解說明用於使用圖10B之小光點進行掃描之一技術。值得注意地，此技術可用於法向入射照射以及傾斜入射照射兩者。在此實施例中，完成之掃描(為簡單起見展示兩個光點)形成一共線性虛線。亦即，參考圖11A，掃描1101及1102(在此情形中自底部至頂部形成)在其間具有一間隔S1。因此，確保了光束之一大空間分離。在一項實施例中，垂直地形成掃描(如所展示)且水平地形成掃描帶。舉例而言，參考圖11B，可藉由以一自左向右移動分別重複掃描 1101及1102來形成掃描帶1111及1112。在形成掃描帶(其間具有對應空間S，本文中亦稱為空白區)之後，可在與用於形成先前組掃描帶之方向相反之一方向上以該等空間/空白區形成另一組掃描帶。舉例而言，可自右向左形成掃描帶1120及1121(為清晰起見僅展示為部分掃描帶)，而自左向右形成掃描帶1101及1102(參見圖11A之箭頭及圖11B中之所得掃描帶)。在一項實施例中，可使定位晶圓之一載台步進(例如)一個掃描光束以形成每一新掃描(亦即，光點行)。在掃描帶交錯完成之後，可以類似於圖11A至圖11C中所闡述之方式之一方式形成額外交錯掃描帶以提供一樣本之一完整掃描，如圖11D(其採取一3光點DOE)中所展示。
應注意，間隔S1可經設計以適合整數個掃描，藉此確保在無複製資訊之情形下對晶圓之一完整掃描。在一項實施例中，可使用下文參考圖14所闡述之一可程式化AOD之一啁啾參數來調整此掃描帶間間隔。由於間隔S1大於一個掃描長度，因此可在做出一個大垂直調整之前做出幾個小垂直調整(例如，一個掃描長度)以形成必要填補掃描帶。
圖12A及圖12B圖解說明在另一照射系統中之各種點處針對大光點與小光點之一光點大小及掃描大小比較。在此實施例中，可使用具有軟體控制之一可程式化AOD 804A。若期望，則此軟體控制允許選擇性地產生一較長掃描。然而，放大率改變器807及DOE 808之功能與上文所闡述之功能相同。亦即，晶片AOD 804(參見圖8)產生具有相同光點大小及掃描大小之光點；然而，放大率改變器807改變光點大小及掃描大小兩者。DOE 808形成光點之複本。值得注意地，藉由使用可程式化AOD 804A，可增加掃描大小(而非光點大小)。因此，DOE 808可產生其間具有較小間隔之掃描。圖12C展示位置1中之小光點1201掃描至位置5，位置9中之小光點1202掃描至位置13，且位置17 中之小光點1203掃描至位置21。值得注意地，掃描1210(包含光點1201)、1211(包含光點1202)及1212(包含光點1203)在其間具有准許確切地一個掃描長度之一間隔。可利用此間隔，如下文所闡述。
應注意，當比較圖10B與圖12B時，包含圖12B之組態之一檢驗系統之處理量將較大。具體而言，實際掃描速率將係相同的。掃描速率與掃描光點之大小及掃描光點之速度成比例。在圖10B及圖12B中，光點之大小及速度係相同的。然而，針對圖12B之組態XY載台將係較慢的，亦即，該設置必定較長，此乃因其仍必須等待較長掃描完成。另外，針對圖12B，掃描帶之高度係較大的，如圖10A、圖10B、圖12A及圖12B中所展示之每段之像素數目所指示，在此實施例中其係每掃描皆650個像素，惟圖12B之組態外，其係每掃描1950個像素。應注意，當提供一較大光點大小時，產生一對應較快速度，且一較小光點大小對應於一較慢速度。因此，在圖10A及圖10B中，大光點行進其掃描所花費之時間量與小光點行進其掃描所花費之時間量相同。然而，參考圖12A及圖12B，由於掃描大小較大(亦即，掃描長度較長)，則與大光點行進其掃描所花費之時間相比，小光點行進其掃描所花費之時間較長(1950個像素對650個像素)。處理量基於可多快地掃描晶圓之一特定區域，此將由掃描之速度及光點大小決定。使XY載台開始及停止以形成掃描帶係附加項，此乃因光點掃描並非係在彼等時期期間進行的。因此，藉由減少掃描帶之數目且因此減少必須使XY載台停止及開始之次數來減少附加項改良檢驗系統之處理量，如圖12B所圖解說明。此外，在掃描之間設置預掃描AOD及其他各種電子器件亦花費時間。因此，可藉由延長掃描來避免甚至更多附加項，例如，如圖12B中所展示。峰值資料速率始終係在光點正移動時數位化像素之速率。因此，針對圖10A、圖10B、圖12A及圖12B中所展示之組態中之任一者，峰值資料速率係相同的。然而，平均資料速率 (其始終低於峰值資料速率)將基於附加項而變化。因此，圖12B中所展示之組態提供圖10A、圖10B、圖12A及12B中所展示之組態中之最快平均資料速率(且最接近於峰值資料速率)。
圖13A至圖13D圖解說明用於使用圖12B之小光點進行掃描之一技術。在此實施例中，完成之掃描(為簡單起見展示三個光點)亦形成一共線性虛線，其中掃描之間具有小空間。亦即，參考圖13A，掃描1301及1302(在此情形中自底部至頂部形成)在其間具有一間隔S2。間隔S2小於間隔S1，然而，仍確保使用間隔S2對光束之充足空間分離。間隔S1及間隔S2由啁啾AOD中之掃描之長度控制，且在間隔等於掃描之長度(掃描大小)時得以最佳化。
在一項實施例中，垂直地形成掃描(如所展示)且水平地形成掃描帶。舉例而言，參考圖13B，可藉由以一自左向右移動分別重複掃描1301、1302及1303來形成掃描帶1310、1311及1312。在形成掃描帶(其間具有對應空間S2)之後，可在與用於形成先前組掃描帶之方向相反之一方向上以該等空間/空白區形成另一組掃描帶。舉例而言，可自右向左形成掃描帶1320、1321及1322(為清晰起見僅展示為部分掃描帶)，而以一自左向右圖案形成掃描帶1310、1311及1312(參見圖13A之箭頭及圖13B中之所得掃描帶)。再次，可使定位晶圓之一載台步進(例如)一個掃描光束。在掃描帶交錯完成之後，可以類似於圖13A至圖13C中所闡述之方式之一方式形成額外交錯掃描帶以提供一樣本之一完整掃描。由於間隔S2等於一個掃描長度，因此可在做出一個大垂直調整之前做出一個小垂直調整(例如，一個掃描長度或若干掃描光束)以形成必要填補掃描帶。在圖13D中所展示之一項實施例中，載台可步進5個掃描光束(例如，視域(FOV)之1 2/3)。在另一實施例中，且參考圖13B，代替在完成掃描帶1310、1311及1312之後向上移動一個掃描長度，下一及所有後續垂直調整可係由箭頭1350展示之 調整。應注意，此填補圖案取決於光點之數目，例如，針對一5光點圖案，留下2個空白區；針對一7光點圖案，留下3個空白區。因此，一般而言，毗鄰於除第一複數個掃描帶之一底半部之外的所有第一複數個掃描帶形成第二複數個掃描帶。此填補圖案提供完整涵蓋，惟掃描帶1310與1311之間的空間除外。在此組態中，掃描帶1311將然後指定晶圓上之第一所關注區域。此技術可應用於利用更多光點之其他組態。
圖14圖解說明可將經散射光與多個光點隔離之一例示性檢驗系統1400。值得注意地，系統1400可使用法向入射照射或傾斜入射照射。如熟習此項技術者所已知，某些缺陷最佳係使用法向入射照射來照射而其他缺陷最佳係使用傾斜入射照射來照射。值得注意地，多個收集器1430A、1430B、1430C可在不重新組態之情形下使用法向入射照射或傾斜入射照射收集來自一樣本1421(諸如一晶圓)之經散射光。具體而言，如下文進一步詳細地闡述，收集器1430A、1430B及1430C中不需要放大率改變，此乃因照射光學器件係如圖9C所闡述而組態以使所有光點重疊。
在檢驗系統1400中，可將來自一雷射1401之光引導至一歪像束腰中繼器(AWR)1402。可包含柱狀透鏡、稜鏡、光柵或球面組件(機動或非機動)之AWR 1402提供對光點大小做出調整以考量到雷射束腰參數之變化以及系統製作及對準公差之能力。一項較佳實施例利用允許對兩個獨立軸做出調整之歪像組件。AWR 1402將其輸出提供至一準直透鏡1403。
準直透鏡1403將其輸出提供至一光束塑形器1405。光束塑形器1405用於在一預掃描AOD 1406之入口處調整光束之大小。此外，若雷射1401包含一雷射BBO(硼酸鋇)倍增晶體，則由於該BBO晶體，光束塑形器1405亦可包含一狹縫以調節該光束。光束塑形器1405中之此 狹縫可實施為一標準狹縫或可包含一或多個切趾板或鋸齒狀狹縫以改良其功能。
光束塑形器1405將其輸出提供至預掃描AOD 1406。預掃描AOD 1406在偏轉模式中使用且連同望遠透鏡1407及歪像擴束器1408一起使用以相對於一啁啾AOD 1409定位光束並使該光束掃描。預掃描AOD 1406使雷射光束掃描通過一角度。一透鏡1407將來自預掃描AOD 1406之角度掃描轉換成一線性平移掃描。透鏡1407可實施為一望遠鏡、擴束器、中繼透鏡、聚焦透鏡、物鏡或此項技術中已知之任何其他適當光學組件。一歪像擴束器1408用於將來自預掃描AOD 1406及望遠鏡1407之圓形輸出轉換成一橢圓形狀。歪像擴束器1408可包含柱狀透鏡、稜鏡、光柵或球面組件。應注意，由歪像擴束器1408提供之橢圓形光束對於適應啁啾AOD 1409之製作中之限制(具體而言，繞射聲柱之高度)可係必需的。
啁啾AOD 1409用於使雷射光束在聲傳播方向上聚焦並使雷射光束掃描。啁啾AOD 1409之一換能器經組態以產生一信號，該信號產生在一啁啾AOD 1409之長度上自一開始位置傳播至一結束位置之一啁啾封包。在一項較佳實施例中，啁啾AOD 1409及預掃描AOD 1406可以軟體程式化以改良系統處理量，如上文在圖12A及圖12B中所闡述。
可將啁啾AOD 1409之輸出提供至組件1410(諸如一圓柱透鏡、一中繼透鏡、多個視野光闌/狹縫及偏光組件)。圓柱透鏡用於使掃描光束在垂直於啁啾AOD 1409之掃描運動之軸上聚焦。中繼透鏡用於在下游組件1414及1413(下文所闡述)之位置處形成一實光瞳。該等視野光闌及狹縫用於濾除來自啁啾AOD 1409及預掃描AOD 1406之不期望繞射階以及濾除來自其他組件(雷射1401至組件1410)之任何不期望經散射光。另外，該等狹縫用作視野光闌以適應所需線長度之改變。 該等偏光組件可包含用以既過濾一特定偏光又產生一特定偏光之組件，諸如一布魯斯特(Brewster)板偏光器、一線柵偏光器、一稜鏡或提供類似功能性之任何其他組件。該等偏光組件亦可包含用以變更偏光之組件，諸如一半波板、四分之一波板或提供類似功能性之其他板。此等偏光組件用於提供用於檢驗基板之多個偏光選項。
組件1410將其輸出提供至一或多個切趾板1413。切趾板1413用於回應於由正檢驗之樣本提供之挑戰而改變系統光學點擴展函數之形狀。可透過使用鋸齒狀薄片金屬組件、點密度組件、塗層或此項技術中已知之其他方法來達成切趾功能。在一項實施例中，切趾板1413可在X軸及Y軸上具有對點擴展函數之獨立控制。
切趾板1413將其輸出提供至一個零階過濾狹縫1414。狹縫1414用於自光學路徑移除零階。零階狹縫1414將其輸出提供至一放大率改變器1415。放大率改變器1415用於調整總體照射光學器件系統放大率。如此一來，此改變樣本1421處之光點之大小、光點速度及掃描長度。
一入射角鏡1416係用於改變至晶圓之入射角之一可調整鏡。當系統放大率係小且光點大小係大時，光瞳之所得數值孔徑(NA)係小的。因此，入射角鏡1416可經調整以增加檢驗光束之入射角(自晶圓法線)。當系統放大率係大且光點大小係小時，入射角鏡經定位以減小檢驗光束之入射角(自晶圓法線)。此可調整性提供過濾重複結構、檢驗速度及缺陷信號雜訊比之益處。
入射角鏡1416將其輸出提供至一光束分流器1417。光束分流器1417用於在傾斜入射照射路徑、法向入射照射路徑或傾斜及法向入射路徑之間進行選擇。
在傾斜入射路徑中，光束分流器1417將其輸出提供至一DOE 1418。DOE 1418用於形成掃描光束之多個複本，如先前所闡述。
DOE 1418將其輸出提供至一傾斜固定放大鏡(Oblique fixed magnification)1419。傾斜固定放大鏡1419用於將DOE 1418位置處之實光瞳成像至一物鏡1420之入射光瞳。物鏡1420用於使光束聚焦至正檢驗之基板上。
在法向入射路徑中，光束分流器1417將其輸出提供至一轉向鏡1425。轉向鏡1425將其輸出提供至法向入射歪像擴束器1426。歪像擴束器1426可包含柱狀透鏡、稜鏡、光柵或球面組件。歪像擴束器1426用於在一個軸上擴張光束或相反地在一個軸上縮小光束。此擴張/縮小靈活性提供過濾重複結構、檢驗速度及缺陷信號雜訊比之益處。
歪像擴束器1426將其輸出提供至一法向入射DOE 1427。法向入射DOE 1427用於形成掃描光束之多個複本，如先前所闡述。
法向入射DOE 1427將其輸出提供至一法向入射固定放大鏡1428。法向入射固定放大鏡1428用於將DOE 1427之位置處之實光瞳成像至一物鏡1422之入射光瞳。物鏡1422用於使光點聚焦至樣本上以用於法向入射通道。
法向入射固定放大鏡1428透過一轉向鏡將其輸出提供至一NI(法向入射)光束塑形器改變器1429。NI光束塑形器改變器1429用於多個功能。其具有用作孔隙、鏡及分束器之多個板。此等分束器可經組態以具有透射與反射之多個比率(例如，50/50、100/0、80/20等)。此等分束器亦可在一空間意義上具有多個透射與反射輪廓以達成一收集通道1430A之各種組態。經散射光之收集並不限於通過法向入射物鏡1422之光。亦可透過額外收集通道1430B及1430C來達成自晶圓收集光。
樣本1421可由一可移動平台1431固定。在一項實施例中，可移動平台1431可包含一卡盤、至少一線性馬達(提供x-y移動)及一心軸馬達(提供旋轉)(選用)。可移動平台1431可由一中央控制與資料獲取電 腦1432經由一馬達控制線纜1433來控制。應注意，可移動平台1431正垂直於掃描(亦即，光點之掃掠)之方向移動。在一項較佳實施例中，可移動平台1431可連續地移動，此乃因掃描相對於平台之速度要快得多(例如，針對一掃描大約數微秒對針對平台為數秒)。中央控制與資料獲取電腦1432可自收集器1430A、1430B及1430C接收輸入。
如圖15A及圖15B中所展示，一入射角調整器1501協同放大率改變器一起使用以提供至基板1504之多個傾斜入射角。圖15A圖解說明用於低放大率、大光點、低NA(由1502A指示)組態之一選用組態。在此情形中，使調整器1501移動(展示為降低而較靠近物鏡1503)以提供至基板1504之一較高入射角。圖15B展示高放大率、小光點、高NA(由1502B指示)組態，其中調整器1501處於其正常位置中。此位置可用於所有放大率選項。
如上文所闡述，可程式化啁啾AOD及定位於放大率改變器之後的DOE在一第一方向(在此情形中，為垂直)上形成掃描，而可移動平台1431及中央控制與資料獲取電腦1432在垂直於第一方向之一第二方向(在此情形中，一水平方向)上形成掃描之掃描帶。掃描光點之數目等於掃描帶之數目。包含此組態之一檢驗系統可提供毗鄰共線性掃描之間的靈活間隔以消除光點串擾。此外，由於DOE提供光點之間的間隔，因此可使用低廉的非成像收集器。
上文所闡述之本發明之結構及方法之各種實施例僅係對本發明之原理之說明且不意欲將本發明之範疇限於所闡述之特定實施例。舉例而言，雖然該等實施例係與預定數目個光點一起闡述的，但一照射系統或一檢驗系統之其他實施例可包含不同數目個光點。因此，本發明僅由以下申請專利範圍及其等效內容限制。
800‧‧‧經改良雙聲光裝置照射系統/照射系統/光源
801‧‧‧預掃描聲光裝置
802‧‧‧望遠透鏡
803‧‧‧圓柱透鏡
804‧‧‧啁啾聲光裝置
804A‧‧‧換能器/可程式化聲光裝置
804B‧‧‧啁啾封包
805‧‧‧掃描平面
806‧‧‧中繼透鏡
806A‧‧‧光瞳平面
807‧‧‧放大率改變器/放大器改變器
808‧‧‧繞射光學元件(DOE)
809‧‧‧物鏡
810‧‧‧樣本

Claims (26)

  1. 一種掃描一樣本之方法，該方法包括：同時形成沿著一共線性掃描線對準之複數個共線性掃描，每一掃描藉由一聲光裝置(AOD)沿著該共線性掃描線進行一光點之一掃掠而形成，該複數個共線性掃描藉由一預定間隔而分離；及藉由在垂直於該共線性掃描線之一方向上重複該同時形成該等共線性掃描而形成第一複數個掃描帶，該第一複數個掃描帶具有該預定間隔之一掃描帶間間隔。
  2. 如請求項1之方法，其中該預定間隔係一掃描長度。
  3. 如請求項1之方法，其中該預定間隔係整數個掃描長度。
  4. 如請求項1之方法，其進一步包含調整一AOD參數以提供整數個掃描長度作為該預定間隔。
  5. 如請求項1之方法，其進一步包含毗鄰於該第一複數個掃描帶形成第二複數個掃描帶。
  6. 如請求項1之方法，其進一步包含毗鄰於除該第一複數個掃描帶之一底半部之外的所有該第一複數個掃描帶形成第二複數個掃描帶。
  7. 如請求項6之方法，其中在與該第一複數個掃描帶之方向相反之一方向上執行該形成該第二複數個掃描帶。
  8. 如請求項6之方法，其中在與該第一複數個掃描帶之方向相同之一方向上執行該形成該第二複數個掃描帶。
  9. 一種檢驗系統，其包括：一第一聲光裝置(AOD)，其經組態以自一雷射接收一光束且沿著一角度掃描以各種角度引導該光束； 一透鏡，其經組態以將該角度掃描轉換為一線性掃描；一第二AOD，其經組態以在該線性掃描中接收該光束且產生一掃描，該掃描係進行一光點之一掃掠，藉此產生複數個共線性光點；一放大率改變器，其經組態以調整該複數個共線性光點之放大率，藉此產生複數個經調整共線性光點；一第一繞射光學元件(DOE)路徑，其經組態以複製該複數個經調整共線性光點，使得該等共線性光點之每一毗鄰對(adjacent pair)由一預定光點間隔分開，藉此同時產生沿著一共線性掃描線對準之一組共線性掃描且該組共線性掃描其間具有一預定掃描間隔；及一可移動平台系統，其經組態以固定一樣本且藉由在該第一DOE路徑產生複數個組之該等共線性掃描時在垂直於該共線性掃描線之一方向上移動該樣本來形成第一複數個掃描帶，該移動該樣本致使該複數個組之該等共線性掃描形成毗鄰組之該等共線性掃描，該第一複數個掃描帶具有等於該預定掃描間隔之一掃描帶間間隔，藉此，在該放大率改變器及該可移動平台系統之間定位(positioning)該第一DOE路徑促進控制該放大率改變器以改變該複數個共線性光點之一大小而不改變在該等共線性光點之每一毗鄰對之間的該預定光點間隔。
  10. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶毗鄰於該第一複數個掃描帶而形成，其中該預定掃描間隔係一掃描長度。
  11. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑 產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶毗鄰於該第一複數個掃描帶而形成，其中該預定掃描間隔係整數個掃描長度。
  12. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶毗鄰於該第一複數個掃描帶而形成，其中該第二AOD係可程式化的以提供用於該第二複數個掃描帶之一可調整掃描長度。
  13. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶毗鄰於除該第一複數個掃描帶之一底半部之外的該第一複數個掃描帶而形成。
  14. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶係在與該第一複數個掃描帶之方向相反之一方向上形成的。
  15. 如請求項9之檢驗系統，其中該可移動平台系統進一步經組態以在平行於該組共線性掃描之一方向上步進且憑藉該第一DOE路徑產生第二複數個掃描帶，該第二複數個掃描帶係在與該第一複數個掃描帶之方向相同之一方向上形成的。
  16. 如請求項9之檢驗系統，其中該第一DOE路徑係用於法向入射照射或傾斜入射照射。
  17. 如請求項9之檢驗系統，其中該第一DOE路徑係用於傾斜入射照射。
  18. 如請求項9之檢驗系統，其進一步包含：一第二DOE路徑；及一切換組件，其經組態以將該複數個經調整共線性光點引導 至該第一DOE路徑及該第二DOE路徑中之一者。
  19. 如請求項9之檢驗系統，其進一步包含一歪像束腰中繼器，該歪像束腰中繼器經定位以自該雷射接收該光束且經組態以允許對兩個獨立軸做出調整。
  20. 如請求項9之檢驗系統，該雷射包含一個硼酸鋇雷射倍增晶體，該檢驗系統進一步包含具有一狹縫之一光束塑形器。
  21. 如請求項9之檢驗系統，其進一步包含：一光瞳；及一或多個切趾板，其經置放而與該光瞳成操作關係且經組態以將一預定透射輪廓提供至該複數個共線性光點。
  22. 如請求項21之檢驗系統，其中該一或多個切趾板經組態以在一x軸及一y軸上提供一相同透射輪廓。
  23. 如請求項21之檢驗系統，其中該一或多個切趾板經組態以在一x軸及一y軸上提供一不同透射輪廓。
  24. 如請求項21之檢驗系統，其中該一或多個切趾板經組態以提供一可程式化透射輪廓。
  25. 如請求項21之檢驗系統，其中該光瞳相對於該第一DOE路徑之物鏡偏心。
  26. 如請求項9之檢驗系統，其進一步包含定位於該放大率改變器與該第一DOE路徑之間的一入射角鏡，該入射角鏡經組態以調整至該樣本之一入射角。
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